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B/N掺杂单栅GFET的自洽模型研究
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作者 刘杰 王军 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第2期57-61,66,共6页
建立了B/N掺杂单栅石墨烯场效应管(GFET)全工作区域下的漏极电流模型。利用自洽方法获取精确的电势-电荷关系,解决了建模过程中的多重对数问题。该模型明确捕捉到产生非零带隙和狄拉克(Dirac)点偏移对载流子片电荷密度和迁移率等参数的... 建立了B/N掺杂单栅石墨烯场效应管(GFET)全工作区域下的漏极电流模型。利用自洽方法获取精确的电势-电荷关系,解决了建模过程中的多重对数问题。该模型明确捕捉到产生非零带隙和狄拉克(Dirac)点偏移对载流子片电荷密度和迁移率等参数的影响。此外,通过考虑相互作用参数和杂质浓度建立了一种半经典扩散迁移率模型。所提出的漏极电流模型和扩散迁移率模型的模拟数据与7.5%B-掺杂单栅GFET的实验数据具有良好的一致性,验证了方法的有效性。在不同掺杂浓度下,B/N掺杂单栅GFET漏极电流模型所预测的转移特性曲线与输出特性曲线表明,通过掺杂能够完全抑制单栅GFET的双极性行为,增强了输出饱和性,并提高了开关比。因此,B/N掺杂单栅GFET能够同时满足模拟/射频电路和数字电路的应用条件。 展开更多
关键词 石墨烯场效应管 B/N掺杂 自洽方法 半经典扩散迁移率
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电磁兼容RE102测量不确定度分析与评定
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作者 童亮 曹耀龙 张淳 《环境技术》 2025年第9期124-129,共6页
电磁兼容RE102(10 kHz~18 GHz电场辐射发射)项目作为全平台均强制要求通过的测试项目,其结果的准确性和一致性尤其重要。为达到不同实验室之间的可评估性,保障测试质量,准确评定测量不确定度至关重要。本文结合GJB 151B-2013《军用设备... 电磁兼容RE102(10 kHz~18 GHz电场辐射发射)项目作为全平台均强制要求通过的测试项目,其结果的准确性和一致性尤其重要。为达到不同实验室之间的可评估性,保障测试质量,准确评定测量不确定度至关重要。本文结合GJB 151B-2013《军用设备和分系统电磁发射和敏感度要求与测量》,建立了RE102测量不确定度评定数学模型,全面分析了影响测试结果的潜在因素,并阐明了影响机理,计算了各项不确定度分量,得出了RE102项目测量不确定度评定结果。最后重点分析了对评定结果影响较大的不确定度分量,并对控制措施提出了实际建议,为实验室的质量控制与水平提升提供了支撑。 展开更多
关键词 电磁兼容 测量不确定度 RE102 辐射发射
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基于SnO_(2)-MXene的微波阵列气体传感器 被引量:1
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作者 张继豪 梁峻阁 +3 位作者 江世鹏 武恩康 吴佳糠 顾晓峰 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第7期41-45,共5页
设计了一种基于互补开口谐振环(CSRR)的微波阵列气体传感器,在3-5 GHz产生了4个独立的传输零点。利用高压静电纺丝技术和HCl-LiF刻蚀法分别制备了纳米SnO_(2)和MXene,采用机械混合法制备SnO_(2)-MXene复合材料。在微波阵列谐振器敏感区... 设计了一种基于互补开口谐振环(CSRR)的微波阵列气体传感器,在3-5 GHz产生了4个独立的传输零点。利用高压静电纺丝技术和HCl-LiF刻蚀法分别制备了纳米SnO_(2)和MXene,采用机械混合法制备SnO_(2)-MXene复合材料。在微波阵列谐振器敏感区域上分别沉积SnO_(2)和SnO_(2)-MXene敏感材料并放置在不同的丙酮气体环境下(10×10^(-6)~500×10^(-6))研究气敏特性。实验结果表明,在室温下,SnO_(2)对10×10^(-6)下丙酮响应表现为回波损耗的变化,灵敏度为22 mdB/10^(-6)。SnO_(2)-MXene复合材料对10×10^(-6)丙酮的灵敏度是纯SnO_(2)的2.32倍。此外,还验证了基于SnO_(2)-MXene的微波气体传感器具有良好的气体选择性和长期稳定性。研究结果表明,将复合气敏材料和微波阵列器件相结合所制备的基于SnO_(2)-MXene的微波气体传感器适用于工业和实验室中丙酮气体的高性能检测。 展开更多
关键词 微波阵列 复合材料 气体传感 丙酮气体
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改进肖特基二极管高频电路模型的微波整流电路效率预测
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作者 卢伟国 王晓桐 +2 位作者 李滨彬 王轲 张淮清 《电工技术学报》 北大核心 2025年第17期5379-5388,共10页
目前肖特基二极管在ADS软件自带的模型及数据表的等效模型中均没有考虑高频环境下衬底结构引起的寄生效应影响,模型不准确会导致整流电路效率预测存在偏差,不能有效地支持整流电路的优化设计。为此,该文提出了考虑衬底寄生效应影响的改... 目前肖特基二极管在ADS软件自带的模型及数据表的等效模型中均没有考虑高频环境下衬底结构引起的寄生效应影响,模型不准确会导致整流电路效率预测存在偏差,不能有效地支持整流电路的优化设计。为此,该文提出了考虑衬底寄生效应影响的改进肖特基二极管高频电路模型,以准确地表征肖特基二极管的高频特性,实现微波整流电路的效率预测和优化设计。首先,采用π型CLC网络表征衬底效应的影响,通过实测I-V和C-V特性曲线测取肖特基二极管非线性SPICE模型参数;其次,自制肖特基二极管测试支架及TRL校准件测取散射参数(S参数)并完成去嵌,进一步提取改进肖特基二极管高频电路模型中的线性寄生参数;最后,在所得改进肖特基二极管高频电路模型基础上优化设计了工作频率为2.45 GHz的整流电路,并进行整流电路的效率预测。仿真与实验数据表明,应用改进肖特基二极管高频电路模型的整流电路仿真得到的S11参数与应用实际二极管的整流电路实测得到的S11参数两者的闭合曲线面积差仅为0.90。在输入功率为30 dBm时,应用改进肖特基二极管高频电路模型的整流电路效率为73.48%,与实测效率72.29%相比,最大误差仅为1.65%。 展开更多
关键词 微波整流电路 改进高频电路模型 肖特基二极管 效率预测 衬底 去嵌
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一种基于协同仿真的高带外抑制腔体滤波器实现
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作者 史若楠 魏强 +2 位作者 汪建峰 唐平 晏明强 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期840-845,共6页
基于广义切比雪夫滤波器综合方法,通过协同仿真设计了一种X波段带通腔体滤波器,并通过优化加工方式,解决了高频窄带滤波器带外抑制差和加工实现难度大的问题。该滤波器的中心频率为9.4 GHz,相对带宽为2.13%,仿真的带外抑制在10.4~29.0 ... 基于广义切比雪夫滤波器综合方法,通过协同仿真设计了一种X波段带通腔体滤波器,并通过优化加工方式,解决了高频窄带滤波器带外抑制差和加工实现难度大的问题。该滤波器的中心频率为9.4 GHz,相对带宽为2.13%,仿真的带外抑制在10.4~29.0 GHz时阻带>70 dB,实测的带外抑制在20 GHz前阻带>75 dB,实际测试与仿真结果相吻合。该滤波器具有带外抑制高,阻带宽,易制备和可靠性高等优点。 展开更多
关键词 腔体滤波器 高抑制 X波段 协同仿真
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基于电荷的GFET等效噪声电路建模
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作者 张家浩 韩宾 武志翔 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第3期292-300,共9页
针对GFET器件中杂质和缺陷引起的本征通道不均匀而导致传统噪声模型拟合度较差的问题,提出了一种基于电荷的石墨烯场效应晶体管(Graphene Field Effect Transistors,GFET)等效噪声电路模型。首先考虑了GFET器件非互易性的影响,通过在小... 针对GFET器件中杂质和缺陷引起的本征通道不均匀而导致传统噪声模型拟合度较差的问题,提出了一种基于电荷的石墨烯场效应晶体管(Graphene Field Effect Transistors,GFET)等效噪声电路模型。首先考虑了GFET器件非互易性的影响,通过在小信号等效电路中引入电荷受控源来模拟器件在相关偏置条件下本征通道电荷传输特性,并从S参数中提取小信号模型参数,建立基于电荷的小信号等效电路模型。然后对GFET的高频噪声特性分析,采用PRC模型方法进行表征,噪声去嵌技术获取噪声模型参数,进一步建立基于电荷的GFET等效噪声电路模型。最后,在1~50GHz的频率范围内评估其射频性能,得到S参数最大误差仅为2.2%,最小噪声系数平均误差为1.2%,并将截止频率、噪声参数等射频指标与实验数据比较,验证了所提出模型的有效性和实用性。 展开更多
关键词 石墨烯场效应晶体管 小信号模型 电荷 噪声模型 S参数 噪声参数
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引入寄生耦合效应的InP HEMT高频等效噪声电路建模
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作者 李永智 张晖 武志翔 《云南大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第6期1050-1058,共9页
针对传统模型因缺少对电磁相互作用的表征而导致高频精度不足的问题,以具有优异高频特性的磷化铟高电子迁移率场效应晶体管(indium phosphide high electron mobility field-effect transistor,InP HEMT)为例,提出一种引入寄生耦合效应... 针对传统模型因缺少对电磁相互作用的表征而导致高频精度不足的问题,以具有优异高频特性的磷化铟高电子迁移率场效应晶体管(indium phosphide high electron mobility field-effect transistor,InP HEMT)为例,提出一种引入寄生耦合效应的小信号等效电路模型与高频等效噪声电路模型.首先引入栅极–漏极之间的互感元件来模拟器件在高频下由于电磁相互作用产生的寄生耦合效应,并采用电磁仿真与直接参数提取相结合的建模方法,建立小信号等效电路模型.然后以所建小信号模型为基础,通过相关噪声矩阵与噪声参数的提取方法,建立高频等效噪声电路模型.实验结果表明,在500 MHz~50 GHz频段内,S参数最大误差小于3%,四噪声参数相较于传统模型提升约2.45%,并从小信号电流增益(|h21|)、单边功率增益(U)与最小噪声系数(Fmin)出发,评估了寄生耦合效应对高频性能的影响. 展开更多
关键词 InP HEMT 小信号模型 寄生耦合 电磁仿真 噪声模型
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氧化镓射频器件研究进展
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作者 郁鑫鑫 沈睿 +4 位作者 谯兵 李忠辉 叶建东 孔月婵 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 2025年第2期1-11,共11页
氧化镓(Ga_(2)O_(3))是性能优异的超宽禁带半导体材料,不仅临界击穿场强大、饱和速度高,而且具有极高的巴利加优值和约翰逊优值,在功率和射频器件领域具有重要的应用前景。本文聚焦于Ga_(2)O_(3)射频器件,首先介绍了Ga_(2)O_(3)在射频... 氧化镓(Ga_(2)O_(3))是性能优异的超宽禁带半导体材料,不仅临界击穿场强大、饱和速度高,而且具有极高的巴利加优值和约翰逊优值,在功率和射频器件领域具有重要的应用前景。本文聚焦于Ga_(2)O_(3)射频器件,首先介绍了Ga_(2)O_(3)在射频器件领域的优势和面临的挑战,然后综述了近年来Ga_(2)O_(3)射频器件在体掺杂沟道、AlGaO/Ga_(2)O_(3)调制掺杂异质结以及与高导热衬底异质集成方面取得的进展,并对研究结果进行了讨论,最后展望了未来Ga_(2)O_(3)射频器件的发展前景。 展开更多
关键词 氧化镓 超宽禁带 射频器件
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平面型光导器件高压、高频响应测试链路研究
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作者 王日品 刘福印 +3 位作者 王朗宁 姚金妹 易木俣 荀涛 《半导体光电》 北大核心 2025年第3期396-402,共7页
针对平面型SiC,GaN光导器件,设计了一种用于高压、高频响应测试链路。根据宽禁带半导体器件的不同特性阻抗,利用PSpice软件对测试链路进行电路仿真,同时利用CST软件在0.5~5 GHz频率下进行高频响应仿真,最后分别采用SiC和GaN光导器件测... 针对平面型SiC,GaN光导器件,设计了一种用于高压、高频响应测试链路。根据宽禁带半导体器件的不同特性阻抗,利用PSpice软件对测试链路进行电路仿真,同时利用CST软件在0.5~5 GHz频率下进行高频响应仿真,最后分别采用SiC和GaN光导器件测试了链路的高压导通能力和高频响应能力。实验结果表明:所设计的高压、高频响应测试链路具有耐高压、全固态、可快速拆卸的优势,能满足平面型SiC,GaN光导器件在0~30 kV偏置电压和DC~1 GHz工作频段下的光电导测试需求。该研究成果为宽禁带半导体光电导器件的耐高压工作能力和高频响应能力提供一定的设计参考和实验借鉴。 展开更多
关键词 高压、高频响应 测试链路 平面型宽禁带半导体 光导开关 SiC GAN
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基于区域划分的多功能一体集成物理基模型
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作者 王棱 毛书漫 +2 位作者 黄磊 张波 徐跃杭 《固体电子学研究与进展》 2025年第1期75-81,共7页
射频前端芯片的多功能一体化设计对晶体管模型的功能及其复用能力提出了更高的要求。然而,传统模型无法实现多功能复用,导致模型参数提取步骤多、建模效率低。对此,本文提出了一种基于准物理区划分(Quasi-physical zone division, QPZD... 射频前端芯片的多功能一体化设计对晶体管模型的功能及其复用能力提出了更高的要求。然而,传统模型无法实现多功能复用,导致模型参数提取步骤多、建模效率低。对此,本文提出了一种基于准物理区划分(Quasi-physical zone division, QPZD)理论的多功能的器件物理基建模方法,模型具备非线性、噪声和开关特性的表征能力。首先,本文阐述了QPZD的建模原理,分别介绍了基于QPZD的非线性、微波噪声和开关三类单功能模型理论,并基于统一的核心模型方程提出了上述模型的一体化融合方法及其多功能模型架构。其次,介绍了包括自热效应、环境温度效应和陷阱效应在内的色散效应的建模方法。最后,从晶体管在片测试验证和射频前端多功能芯片设计验证两个角度对建立的模型进行了验证。仿真实测对比结果表明,模型的非线性、噪声和开关特性的综合仿真精度大于80.33%。本文的建模方法对多功能射频前端关键芯片的全面和精准设计具有重要的指导意义。 展开更多
关键词 准物理区划分理论 色散效应 噪声模型 开关模型 多功能一体集成模型
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一种低温下GaN HEMT的噪声建模方法
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作者 刘展鹏 王军 《云南大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第5期848-855,共8页
为了精确模拟低温下氮化镓高电子迁移率晶体管(Gallium Nitride high electron mobility transistor,GaN HEMT)的微波噪声性能,提出了一种基于小信号等效电路构建低温噪声模型的方法.利用导纳参数的频率依赖性获取小信号等效电路元件,... 为了精确模拟低温下氮化镓高电子迁移率晶体管(Gallium Nitride high electron mobility transistor,GaN HEMT)的微波噪声性能,提出了一种基于小信号等效电路构建低温噪声模型的方法.利用导纳参数的频率依赖性获取小信号等效电路元件,建立了精确的小信号模型.在此基础上依据Pospieszalski原理对低温噪声源进行表征,特别是栅极泄漏引入的散粒噪声,建立了低温噪声模型.仿真结果表明:在0.2~40 GHz频段,小信号模型的S参数最大误差为2.5%,在2~10 GHz频段噪声模型的四噪声参数最大误差仅在1%以内.其中,低温下栅极泄漏散粒噪声贡献约0.1 K,较于传统方法,新方法具有一定的有效性和更高的准确性. 展开更多
关键词 低温 氮化镓 高电子迁移率晶体管 噪声模型 栅极泄漏
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La^(3+)取代对Ba_(4)Sm_(8.6)Ti_(18)O_(54)陶瓷材料微波介电性能的影响
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作者 曹瑞龙 邵辉 谈敏 《压电与声光》 北大核心 2025年第6期1078-1084,共7页
采用固相反应法制备了化学计量比为Ba4(Sm_(1-y)La_(y))_(8.6)Ti_(18)O_(54)(y=0.28~0.35)的微波介质陶瓷,研究了La^(3+)取代量(y)对该陶瓷微观结构演变、相组成以及微波介电性能的影响。结果表明,随着取代量的增加,陶瓷的主晶相发生相... 采用固相反应法制备了化学计量比为Ba4(Sm_(1-y)La_(y))_(8.6)Ti_(18)O_(54)(y=0.28~0.35)的微波介质陶瓷,研究了La^(3+)取代量(y)对该陶瓷微观结构演变、相组成以及微波介电性能的影响。结果表明,随着取代量的增加,陶瓷的主晶相发生相转变,并伴随着晶粒尺寸变大和排列逐渐紧密,同时介电常数增加,品质因数升高,谐振频率温度系数接近0。当取代量y>0.33时,主晶相转变为低品质相,微波介电性能劣化。在La^(3+)取代量y=0.30,预烧温度为1100℃,烧结温度为1350℃时,陶瓷可获得较佳的微波介电性能:ε_(r)=83.48,Q×f=10720 GHz,τ_(f)=+4.29×10^(-6)/℃。 展开更多
关键词 介电性能 微波介质陶瓷 La^(3+)取代 钨青铜结构
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射频GSG探针现状及国内最新研究进展
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作者 刘丙凯 刘子欣 +4 位作者 王真 史光华 吴文萱 张安学 郭诚 《空间电子技术》 2025年第3期70-81,共12页
文章综述了片上射频探针的发展历史及其研究现状,重点介绍了各个不同发展阶段的探针类型,对比了各种探针的特点、最高工作频率及其加工方式。介绍了作者所在小组研究的基于矩形微同轴工艺的毫米波探针,此前针对W波段的微同轴探针已有详... 文章综述了片上射频探针的发展历史及其研究现状,重点介绍了各个不同发展阶段的探针类型,对比了各种探针的特点、最高工作频率及其加工方式。介绍了作者所在小组研究的基于矩形微同轴工艺的毫米波探针,此前针对W波段的微同轴探针已有详细论述,在此基础上报道了最新研究的D波段探针,并对其加工工艺进行了介绍,最后进行了探针的性能测试,实验证明该探针的射频性能与仿真结果较吻合,并且具有针尖一体成型、可快速更换、低损耗的特点。 展开更多
关键词 片上射频探针 毫米波 矩形微同轴 针尖可更换
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Correlation between the whole small recess offset and electrical performance of InP-based HEMTs
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作者 GONG Hang ZHOU Fu-Gui +5 位作者 FENG Rui-Ze FENG Zhi-Yu LIU Tong SHI Jing-Yuan SU Yong-Bo JIN Zhi 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第1期40-45,共6页
In this work,we investigate the impact of the whole small recess offset on DC and RF characteristics of InP high electron mobility transistors(HEMTs).L_(g)=80 nm HEMTs are fabricated with a double-recessed gate proces... In this work,we investigate the impact of the whole small recess offset on DC and RF characteristics of InP high electron mobility transistors(HEMTs).L_(g)=80 nm HEMTs are fabricated with a double-recessed gate process.We focus on their DC and RF responses,including the maximum transconductance(g_(m_max)),ON-resistance(R_(ON)),current-gain cutoff frequency(f_(T)),and maximum oscillation frequency(f_(max)).The devices have almost same RON.The g_(m_max) improves as the whole small recess moves toward the source.However,a small gate to source capacitance(C_(gs))and a small drain output conductance(g_(ds))lead to the largest f_(T),although the whole small gate recess moves toward the drain leads to the smaller g_(m_max).According to the small-signal modeling,the device with the whole small recess toward drain exhibits an excellent RF characteristics,such as f_(T)=372 GHz and f_(max)=394 GHz.This result is achieved by paying attention to adjust resistive and capacitive parasitics,which play a key role in high-frequency response. 展开更多
关键词 InP high-electron-mobility transistor(InP HEMT) INGAAS/INALAS DC/RF characteristic smallsignal modeling double-recessed gate process
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PIN限幅器微波脉冲热损伤温度特性 被引量:17
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作者 赵振国 马弘舸 +2 位作者 赵刚 王艳 钟龙权 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1741-1746,共6页
分析了微波对PIN限幅器的热损伤机理,基于器件物理模拟分析法,利用Sentaurus-TCAD仿真器建立了器件微波热效应模型,研究了频率为5.3,7.5,9.4GHz的微波信号作用下,器件损伤过程中温度瞬态变化规律和瞬态温度分布规律。结果表明:PIN限幅... 分析了微波对PIN限幅器的热损伤机理,基于器件物理模拟分析法,利用Sentaurus-TCAD仿真器建立了器件微波热效应模型,研究了频率为5.3,7.5,9.4GHz的微波信号作用下,器件损伤过程中温度瞬态变化规律和瞬态温度分布规律。结果表明:PIN限幅器尖峰泄露阶段器件温度上升较快;稳态限幅后温度上升缓慢;临近热击穿状态,器件进入热电失控状态,峰值温度快速上升,最终器件因温度过高烧毁;PIN二极管中的I区或P区与I区之间的结边缘处,较容易烧毁。对PIN限幅器进行大功率微波注入实验,器件损伤实验结果与数值模拟结果吻合较好。 展开更多
关键词 PIN限幅器 温度特性 热损伤 微波脉冲
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S波段10W SiC MESFET的研制 被引量:11
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作者 潘宏菽 李亮 +5 位作者 陈昊 齐国虎 霍玉柱 杨霏 冯震 蔡树军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期940-943,共4页
采用在75 mm 4H-SiC半绝缘衬底上实现的国产SiC MESFET外延材料进行器件研制,在该器件的具体研制工艺中利用感应耦合等离子体干法腐蚀,牺牲层氧化等工艺技术,研制出2 GHz工作频率下连续波输出功率大于10 W、功率增益大于9 dB、功率附加... 采用在75 mm 4H-SiC半绝缘衬底上实现的国产SiC MESFET外延材料进行器件研制,在该器件的具体研制工艺中利用感应耦合等离子体干法腐蚀,牺牲层氧化等工艺技术,研制出2 GHz工作频率下连续波输出功率大于10 W、功率增益大于9 dB、功率附加效率不低于35%的MESFET功率样管,该器件的特征频率达6.7 GHz,最高振荡频率达25 GHz。对芯片加工工艺和器件的测试技术进行了分析,给出了相应的工艺和测试结果。 展开更多
关键词 碳化硅 微波 功率器件 金属-半导体场效应晶体管
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PIN限幅器电磁脉冲效应数值模拟与验证 被引量:11
17
作者 赵振国 周海京 +2 位作者 马弘舸 赵强 钟龙权 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期81-85,共5页
基于电磁脉冲对半导体器件效应的电-热多物理场模型,利用Sentaurus-TCAD仿真器建立了PIN限幅器电磁脉冲效应数值模型,研究了不同峰值功率的电磁脉冲作用下限幅器的输入/输出特性,以及大功率电磁脉冲注入PIN器件热损伤阈值与脉冲宽度的... 基于电磁脉冲对半导体器件效应的电-热多物理场模型,利用Sentaurus-TCAD仿真器建立了PIN限幅器电磁脉冲效应数值模型,研究了不同峰值功率的电磁脉冲作用下限幅器的输入/输出特性,以及大功率电磁脉冲注入PIN器件热损伤阈值与脉冲宽度的关系。模拟与实验结果表明:基于器件热效应影响载流子输运过程的电-热多物理模场型,模拟限幅器在大功率电磁脉冲注入下输入/输出功率的结果与实验结果吻合较好;模拟大功率电磁脉冲注入PIN器件热损伤阈值与脉冲宽度的关系式,与Wunsch-Bell半经验关系式符合较好。 展开更多
关键词 PIN限幅器 电磁脉冲 多物理场模型 器件仿真
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P波段450W硅LDMOS脉冲功率器件的研制 被引量:10
18
作者 王佃利 李相光 +5 位作者 严德圣 丁小明 刘洪军 钱伟 蒋幼泉 王因生 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期60-64,共5页
报道了P波段450 W硅LDMOS器件的研制结果。所研制器件采用沟槽技术实现背面源结构,采用场板技术提高击穿电压并降低栅漏电容,采用多晶硅金属硅化物结构降低栅阻。研制结果表明,在漏源工作电压36 V,脉宽20 ms,占空比35.7%的测试条件下,48... 报道了P波段450 W硅LDMOS器件的研制结果。所研制器件采用沟槽技术实现背面源结构,采用场板技术提高击穿电压并降低栅漏电容,采用多晶硅金属硅化物结构降低栅阻。研制结果表明,在漏源工作电压36 V,脉宽20 ms,占空比35.7%的测试条件下,485~606 MHz全带内输出功率达到450 W,增益大于18 dB,效率大于60%。 展开更多
关键词 横向双扩散金属氧化物场效应晶体管 脉冲 背面源 场板 硅化钴
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有效跨导为1052mS/mm的高性能InP基In_(0.52)Al_(0.48)As/In_(0.53)Ga_(0.47)As HEMTs(英文) 被引量:5
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作者 钟英辉 王显泰 +4 位作者 苏永波 曹玉雄 张玉明 刘新宇 金智 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期193-197,288,共6页
成功研制了栅长为0.15μm、栅宽为2×50μm、源漏间距为2μm的InP基In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As高电子迁移率器件.室温下,当器件VDS为1.7 V、VGS为0.1 V时,其有效跨导达到了1 052 mS/mm.传输线方法(TLM)测试显示器件的接触电阻为... 成功研制了栅长为0.15μm、栅宽为2×50μm、源漏间距为2μm的InP基In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As高电子迁移率器件.室温下,当器件VDS为1.7 V、VGS为0.1 V时,其有效跨导达到了1 052 mS/mm.传输线方法(TLM)测试显示器件的接触电阻为0.032Ω.mm,器件欧姆接触电阻率为1.03×10-7Ω.cm-2.正是良好的欧姆接触及其短的源漏间距减小了源电阻,进而使得有效跨导比较大.器件有比较好的射频特性.从100 MHz到40 GHz,S参数外推出来的fT和fmax分别为151 GHz和303 GHz.所报道的HEMT器件非常适合毫米波段集成电路的研制. 展开更多
关键词 高电子迁移率器件 栅长 栅槽 InP INALAS INGAAS
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硅LDMOS射频功率器件的发展历程与趋势 被引量:8
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作者 王佃利 刘洪军 +4 位作者 吕勇 严德圣 盛国兴 王因生 蒋幼泉 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期141-146,173,共7页
从芯片结构的变化以及可靠性的提升角度简述了LDMOS射频功率器件的发展历程及趋势,给出了LD-MOS的最新研制结果。现在LDMOS射频功率器件在向高工作电压、高输出功率、高可靠以及脉冲应用等方向发展。
关键词 横向双扩散金属氧化物场效应晶体管 射频 功率
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