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宽带高功率三维异构集成微波光子探测器 被引量:1
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作者 许向前 龚广宇 +4 位作者 孙雷 李宇 康晓晨 李思敏 潘时龙 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第1期112-117,共6页
本研究采用三维异构集成技术实现单行载流子光电二极管与微波集成电路芯片堆叠集成,研制出一款微波光子应用的高功率、宽带探测器芯片。通过优化单行载流子光电二极管的材料掺杂和外延工艺,显著提高了功率承受能力;采用集成背入射透镜... 本研究采用三维异构集成技术实现单行载流子光电二极管与微波集成电路芯片堆叠集成,研制出一款微波光子应用的高功率、宽带探测器芯片。通过优化单行载流子光电二极管的材料掺杂和外延工艺,显著提高了功率承受能力;采用集成背入射透镜和增设金属反射层的设计,有效提升了响应度;通过提取光电二极管的精确模型并采用阻抗补偿及宽带匹配电路设计技术,成功增强了宽带特性。将光电二极管芯片倒装集成在微波集成电路芯片上,大幅减小了芯片互连电路对高频性能的不利影响;采用高导热率底层芯片的设计,极大提升了探测器芯片的导热性能和高功率处理特性。研制的三维异构集成光电探测器1 dB带宽高达42 GHz,射频回波损耗优于11 dB,响应度优于0.85 A/W,暗电流低于50 nA,饱和输入光功率超过120 mW。三维异构集成微波光子探测器芯片实现了优异的带宽和响应度特性,该设计方法为微波光子应用提供了创新性的解决方案。 展开更多
关键词 微波光子学 单行载流子光电二极管 宽带 高功率 三维异构集成
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异质集成在SiC衬底上的大带宽高响应度InGaAs光电探测器
2
作者 李冠宇 刘天宏 +4 位作者 陈鑫 戴家赟 钱广 孔月婵 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 2025年第6期11-15,共5页
为满足光通信系统对高性能光电探测器日益增长的需求,设计并制备了一种基于异质集成技术的大带宽、高响应度光电探测器。传统正入射型光电探测器普遍面临带宽和响应度相互制约以及散热能力不足的问题。为解决上述问题,本研究提出一种基... 为满足光通信系统对高性能光电探测器日益增长的需求,设计并制备了一种基于异质集成技术的大带宽、高响应度光电探测器。传统正入射型光电探测器普遍面临带宽和响应度相互制约以及散热能力不足的问题。为解决上述问题,本研究提出一种基于异质集成技术的新型探测器结构,通过晶圆键合工艺将高速InGaAs近红外探测器集成于具有高导热率的碳化硅(SiC)衬底上。测试结果表明,所制备的光电探测器在1550 nm波段可实现高达86 GHz的3 dB带宽及0.6 A/W的响应度,其量子效率-带宽积明显优于基于原生磷化铟(InP)衬底制备的面入射型器件。此外SiC衬底优异的散热性能,使得所制备器件的饱和特性得以大幅提升。本研究证实,将光电探测器与高导热衬底进行异质集成,是突破传统器件性能瓶颈的有效策略,可为下一代高速、高灵敏度光接收模块的发展提供重要技术参考。 展开更多
关键词 光电探测器 异质集成 高导热衬底 大带宽 高响应度
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320×256 InGaAs短波红外焦平面阵列探测器 被引量:8
3
作者 高新江 张秀川 +3 位作者 唐遵烈 陈扬 蒋利群 陈红兵 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期178-182,190,共6页
研制了320×256InGaAs焦平面阵列(FPA)探测器,它由InGaAs光电二极管阵列(PDA)与SiCMOS集成读出电路(ROIC)通过In凸点倒焊技术混合集成。背照射工作方式下其响应光谱范围为0.9~1.7μm。为实现InGaAsPDA与所设计的可调积分... 研制了320×256InGaAs焦平面阵列(FPA)探测器,它由InGaAs光电二极管阵列(PDA)与SiCMOS集成读出电路(ROIC)通过In凸点倒焊技术混合集成。背照射工作方式下其响应光谱范围为0.9~1.7μm。为实现InGaAsPDA与所设计的可调积分电容跨阻抗反馈放大器接口电路良好匹配,分析讨论了InGaAs光电二极管响应度、暗电流、结电容等光电特性对表征InGaAsFPA的主要性能指标的影响,优化了InGaAs光电二极管单元结构设计。采用优化结果研制的320×256InGaAsFPA,在室温下的峰值探测率达到6×10^12cm·Hz1/2·W^-1,动态范围达到68dB。 展开更多
关键词 320×256 InGaAs焦平面 等效输人噪声电子 峰值探测率 动态范围
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二维位置敏感探测器及信号处理器 被引量:14
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作者 施隆照 黄梅珍 +1 位作者 杨小玲 郑明学 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第8期20-22,共3页
介绍一种基于单片机的数字式二维PSD信号处理器的设计、性能和测试结果。与模拟式二维PSD信号处理器相比 ,该处理器具有通用、直观、准确度高、易于实现接口和控制等特点。此外 ,该处理器还根据四边形结构PSD的非线性特征增加了非线性... 介绍一种基于单片机的数字式二维PSD信号处理器的设计、性能和测试结果。与模拟式二维PSD信号处理器相比 ,该处理器具有通用、直观、准确度高、易于实现接口和控制等特点。此外 ,该处理器还根据四边形结构PSD的非线性特征增加了非线性修正功能 ,使四边形结构PSD也具有相当高的线性度和位置测量准确度。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 PSD 信号处理 单片机 二维 模拟式
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金属与半导体肖特基接触势垒模型及其载流子传输机制的研究进展 被引量:6
5
作者 李亚鹏 李颖峰 +3 位作者 贺志荣 郭从盛 闫群民 徐峰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期57-62,共6页
肖特基结具有整流特性,在整流器和光电检测等电子元器件制造中有极其重要的应用,重点介绍了相关研究人员在金属与半导体肖特基接触势垒的形成机理、相关数学模型及其影响因素等方面的研究进展。有研究表明,肖特基势垒的形成主要是由于... 肖特基结具有整流特性,在整流器和光电检测等电子元器件制造中有极其重要的应用,重点介绍了相关研究人员在金属与半导体肖特基接触势垒的形成机理、相关数学模型及其影响因素等方面的研究进展。有研究表明,肖特基势垒的形成主要是由于费米能级的钉扎,而费米能级钉扎则源于界面新相的形成或界面极化键的存在。同时,在肖特基势垒的相关模型中,热电子激发模型是目前应用最为广泛的、用于解释界面载流子传输机制的肖特基接触势垒模型。随着对接触界面载流子传输机制的深入研究,热发射-扩散、热场发射等载流子传输机制模型相继被研究者提出。另外,相关研究表明,快速退火处理可导致肖特基接触界面处的原子扩散、重排、新相生成等现象,对肖特基接触的稳定性产生重要影响。 展开更多
关键词 肖特基结 势垒模型 载流子传输机制 接触界面 快速退火
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160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制 被引量:7
6
作者 种明 苏艳梅 +4 位作者 张艳冰 胡小燕 马文全 孙永伟 陈良惠 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期702-704,共3页
报道了新研制出的160×128元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面器件。使用MBE的方法在半绝缘的GaAs衬底上生长器件结构;开发了用普通光刻技术和离子束刻蚀法制备2D光栅技术,以及探测器芯片与读出电路互联技术。在77 K时测试,器件... 报道了新研制出的160×128元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面器件。使用MBE的方法在半绝缘的GaAs衬底上生长器件结构;开发了用普通光刻技术和离子束刻蚀法制备2D光栅技术,以及探测器芯片与读出电路互联技术。在77 K时测试,器件的平均峰值探测率Dλ*=1.28×1010 cmW-1Hz1/2,峰值波长为λp=8.1μm,截止波长为λc=8.47μm。器件的非盲元率≥98.8%,不均匀性10%。 展开更多
关键词 长波红外探测器 量子阱 焦平面阵列
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一种红外探测器的图像采集系统 被引量:6
7
作者 王德江 匡海鹏 +2 位作者 周刚 陈柠檬 徐正平 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期429-433,共5页
针对一款定制红外探测器,以Xilinx的XC3S400为核心器件,利用485传输协议,完整地设计了该探测器的驱动电路、模数转换电路和数据传输电路,并完成了系统的软、硬件测试,其中红外图像量化为10 bit,数据吞吐率为25.6 Mbit/s。试验表明该系... 针对一款定制红外探测器,以Xilinx的XC3S400为核心器件,利用485传输协议,完整地设计了该探测器的驱动电路、模数转换电路和数据传输电路,并完成了系统的软、硬件测试,其中红外图像量化为10 bit,数据吞吐率为25.6 Mbit/s。试验表明该系统能够达到后续理论分析与试验的要求。 展开更多
关键词 红外焦平面阵列 数据采集 现场可编程门阵列
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超宽带高饱和单行载流子光探测器研究(特邀) 被引量:4
8
作者 熊兵 晁恩飞 +6 位作者 罗毅 孙长征 韩彦军 王健 郝智彪 汪莱 李洪涛 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第7期64-69,共6页
超宽带单行载流子(UTC)光电探测器因其仅需快速的电子输运过程,较传统PIN探测器具有明显宽带优势,是6G宽带无线通信、太赫兹成像、超宽带噪声发生器等亚太赫兹频段系统中的核心光电子器件之一。面向亚太赫兹频段光电转换需求,针对UTC探... 超宽带单行载流子(UTC)光电探测器因其仅需快速的电子输运过程,较传统PIN探测器具有明显宽带优势,是6G宽带无线通信、太赫兹成像、超宽带噪声发生器等亚太赫兹频段系统中的核心光电子器件之一。面向亚太赫兹频段光电转换需求,针对UTC探测器中大带宽与高饱和功率之间的矛盾问题,分别研究并突破了光生载流子高速输运机理、感性共面波导器件(CPW)结构等关键技术,研制成功带宽106 GHz、饱和输出功率7.3 dBm的双漂移层结构MUTC探测器芯片,和带宽超过150 GHz的超宽带MUTC探测器芯片。 展开更多
关键词 光探测器 单行载流子结构 亚太赫兹 高饱和功率
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用SiO_2气凝胶做隔热层的铁电薄膜红外探测器性能与铁电薄膜层厚度的关系 被引量:4
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作者 林铁 孙璟兰 +6 位作者 孟祥建 马建华 石富文 张晓东 汪琳 陈静 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期329-331,335,共4页
研究了铁电薄膜红外探测器响应率等器件参数随铁电薄膜厚度的变化.器件的隔热层结构采用气凝胶二氧化硅.实验发现器件的热释电系数,吸收率以及热导均随膜厚增加而增加.铁电膜层厚度为240nm的器件,其热导与微桥结构器件的热导相近,都为10... 研究了铁电薄膜红外探测器响应率等器件参数随铁电薄膜厚度的变化.器件的隔热层结构采用气凝胶二氧化硅.实验发现器件的热释电系数,吸收率以及热导均随膜厚增加而增加.铁电膜层厚度为240nm的器件,其热导与微桥结构器件的热导相近,都为10-7W/K量级,证明气凝胶二氧化硅做隔热层能够制备出性能优良的热释电红外探测器.随着薄膜厚度增加,热导急剧增大,这是引起器件响应率降低的原因.制备铁电薄膜过程中的多次650°高温退火可能降低了二氧化硅多孔率. 展开更多
关键词 红外探测器 铁电薄膜厚度 二氧化硅气凝胶
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量子级联红外探测器 被引量:4
10
作者 刘俊岐 翟慎强 +4 位作者 孔宁 李路 刘峰奇 王利军 王占国 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第8期1397-1402,共6页
半导体基中远红外探测器在成像、传感、国家安全以及国防领域具有广泛的应用背景。目前,在这个领域最主流的技术之一是量子阱红外探测器(QWIPs)。传统的量子阱红外探测器往往存在较大的暗电流和较低的工作温度等限制。量子级联探测器(QC... 半导体基中远红外探测器在成像、传感、国家安全以及国防领域具有广泛的应用背景。目前,在这个领域最主流的技术之一是量子阱红外探测器(QWIPs)。传统的量子阱红外探测器往往存在较大的暗电流和较低的工作温度等限制。量子级联探测器(QCDs)是一种新型的光伏型量子阱红外探测器。其工作原理基于电子吸收光子后在量子阱的子带间跃迁并且激发态电子通过人工设计的势能阶梯形成无需外加偏置电压的定向输运。这种基于新原理的红外探测器一经出现便引起人们高度的关注并经历了快速的发展。文中介绍了中国科学院半导体所在量子级联探测器研究方面的最新成果。 展开更多
关键词 量子阱 红外探测器 量子级联
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检测红外弱小目标的对比滤波时域廓线算法 被引量:4
11
作者 董维科 张建奇 +1 位作者 邵晓鹏 刘德连 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期13-17,共5页
针对弱小目标与云边缘杂波的运动速度相当时,传统时域廓线算法的检测性能将会出现明显下降.文中提出一种对比滤波的时域廓线算法.针对传统方法出现虚警的情况,该方法在分析弱小目标、云边缘杂波以及平稳背景3类像素点时域特性的基础之上... 针对弱小目标与云边缘杂波的运动速度相当时,传统时域廓线算法的检测性能将会出现明显下降.文中提出一种对比滤波的时域廓线算法.针对传统方法出现虚警的情况,该方法在分析弱小目标、云边缘杂波以及平稳背景3类像素点时域特性的基础之上,首先利用时域廓线特性抑制平稳背景;然后依据云边缘杂波像素在空域连续,而弱小目标像素在空域孤立的特性,构造空域对比滤波器,并使用对比滤波器对去除平稳背景的图像数据进行滤波;最后再进行时域廓线的驻点连线滤波,以实现对弱小目标的检测.仿真结果表明,该算法能明显消除与弱小目标运动速度相当的云边缘杂波虚警,提高了弱小目标的检测概率. 展开更多
关键词 弱小目标 检测 对比滤波 时域廓线
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双色量子阱红外探测器大面阵芯片的研制 被引量:3
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作者 种明 马文全 +3 位作者 苏艳梅 张艳冰 胡小燕 陈良惠 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期782-784,共3页
采用GaAs/AlGaAs和InGaAs/AlGaAs多量子阱,研制出了双色同像素读取结构的中波/长波量子阱红外探测器及160×128元中波/长波双色多量子阱红外探测器芯片。器件的材料结构生长是采用分子束外延技术,在5.08 cm半绝缘GaAs衬底上完成的... 采用GaAs/AlGaAs和InGaAs/AlGaAs多量子阱,研制出了双色同像素读取结构的中波/长波量子阱红外探测器及160×128元中波/长波双色多量子阱红外探测器芯片。器件的材料结构生长是采用分子束外延技术,在5.08 cm半绝缘GaAs衬底上完成的。发展了双色大面阵制备工艺,二维光栅的制备使用标准光刻和离子束刻蚀技术。在77 K时,对量子阱红外探测器测试,得到中、长波段峰值探测率分别为Dλ=(1.61~1.90)×1010 cmHz1/2W-1和(1.54~2.67)×1010 cmHz1/2W-1。中、长波段峰值波长分别为(2.7~3.8)μm和8.3μm。 展开更多
关键词 红外探测器 量子阱 双色 大面阵
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Ⅱ类超晶格双光谱红外探测器光谱串音的量化分析计算 被引量:5
13
作者 王忆锋 余连杰 田萦 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第5期293-295,共3页
对于起降阶段的各类飞机来说,便携式导弹是主要威胁。以基于Ⅱ类超晶格双光谱红外探测器的机载导弹逼近告警(MAW)系统为应用背景,介绍了光谱串音的定义及计算方法。分别测出两个光谱通道的光谱响应曲线,容易利用MATLAB样条函数积分命令... 对于起降阶段的各类飞机来说,便携式导弹是主要威胁。以基于Ⅱ类超晶格双光谱红外探测器的机载导弹逼近告警(MAW)系统为应用背景,介绍了光谱串音的定义及计算方法。分别测出两个光谱通道的光谱响应曲线,容易利用MATLAB样条函数积分命令算出两条曲线交叉部分围成的面积,该面积的数值反映了器件光谱串音的大小。给出了所用MATLAB程序,该方法具有实现容易、使用快捷等特点。 展开更多
关键词 双波段 双色 双光谱 红外探测器 光谱串音
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红外光电散射式感烟探测器的研制 被引量:6
14
作者 唐钰 葛龙 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 2002年第4期117-120,共4页
根据瑞利 (RayLeigh)散射原理 ,利用波长λ =0 .2 5 ~ 0 .95 μm的红外光线照射在一定粒度的烟幕上时产生的汤姆森 (Thomson)散射效应 ,研制了由分立半导体元件构成的室内烟雾信号探测器。该探测器在 2 4h内温度飘移在 ± 2 0mV以... 根据瑞利 (RayLeigh)散射原理 ,利用波长λ =0 .2 5 ~ 0 .95 μm的红外光线照射在一定粒度的烟幕上时产生的汤姆森 (Thomson)散射效应 ,研制了由分立半导体元件构成的室内烟雾信号探测器。该探测器在 2 4h内温度飘移在 ± 2 0mV以内 ,对每个回路容量为 1A的火灾自动报警器 ,驱动能量为 10 0 ~ 15 0个探测器。此仪器与国内外同类产品相比全面地提升了电路的性能 ,如频率响应 ,非线性失真 。 展开更多
关键词 红外光电散射式感烟探测器 研制 烟雾 散射 火灾自动报警器 火灾报警探测器 半导体元件
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基于偶极天线的石墨烯太赫兹光热电探测器研究
15
作者 张锦华 田汶翔 郭旭光 《光学仪器》 2025年第4期69-75,共7页
光热电型的太赫兹探测器能有效地把光信号转化为电信号,并且具有零偏、室温、高灵敏等显著优势,在安检成像、无损检测和生物医学等方面具有重要的潜在应用价值。设计了一种基于光热电效应的石墨烯太赫兹探测器,该探测器将偶极天线作为... 光热电型的太赫兹探测器能有效地把光信号转化为电信号,并且具有零偏、室温、高灵敏等显著优势,在安检成像、无损检测和生物医学等方面具有重要的潜在应用价值。设计了一种基于光热电效应的石墨烯太赫兹探测器,该探测器将偶极天线作为非对称光耦合结构,利用偶极天线将空间中自由传播电磁能量局域在沟道处,通过增强局域电场来提高光吸收,在石墨烯沟道中获得非对称温度分布,产生了实现光热电响应,从而实现了偶极共振频率处的高灵敏太赫兹探测。探测器的性能指标主要有响应率R_(v)和噪声等效功率。在室温、零偏工作模式下,将局域电场强度提升了1~2个数量级,探测器电压响应率达到400 V/W,噪声等效功率低至22 pW·Hz^(-1/2),结果表明该共振耦合结构能有效实现电磁能量局域增强,在太赫兹高灵敏探测上具有重要的应用前景。 展开更多
关键词 太赫兹 石墨烯 偶极天线 探测器
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n-InGaAs/p-InP/p-InGaAs场助光阴极电极剥离工艺研究
16
作者 岳江楠 刘风华 +1 位作者 沈琦涛 陈钊庆 《电子制作》 2025年第8期95-97,共3页
场助光电阴极通过扩展波长阈值,在红外探测领域展现出显著优势。然而,场助光电阴电极制备工艺难度较大。本文对n-InGaAs/p-InP/p-InGaAs场助光电阴极结构的电极剥离工艺进行研究,通过对比单层正胶、双层胶和氯苯浸泡三种掩膜层制备方法... 场助光电阴极通过扩展波长阈值,在红外探测领域展现出显著优势。然而,场助光电阴电极制备工艺难度较大。本文对n-InGaAs/p-InP/p-InGaAs场助光电阴极结构的电极剥离工艺进行研究,通过对比单层正胶、双层胶和氯苯浸泡三种掩膜层制备方法,优化了电极剥离工艺。实验结果表明,双层胶和氯苯浸泡法能够显著改善电极剥离效果,形成倒“八”字形结构,有利于电极剥离,为场助光电阴极的电极制备提供了重要参考。 展开更多
关键词 光电阴极 光刻 电极剥离 光刻胶
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电子辐照的P(VDF/TrFE)共聚物的铁电弛豫异常现象 被引量:2
17
作者 陈小刚 姚熹 +3 位作者 张德生 宋志棠 沈波 张良莹 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期101-105,共5页
本文研究了聚偏氟乙烯和三氟乙烯的铁电共聚物P(VDF/TrFE)的铁电弛豫现象,并讨论了铁电弛豫异常想象。比较了VDF不同含量的共聚物在辐照前后铁电性能的改变,电子辐照大大改变了聚合物样品的性能,使VDF含量52%和70%的样品出现了明显的铁... 本文研究了聚偏氟乙烯和三氟乙烯的铁电共聚物P(VDF/TrFE)的铁电弛豫现象,并讨论了铁电弛豫异常想象。比较了VDF不同含量的共聚物在辐照前后铁电性能的改变,电子辐照大大改变了聚合物样品的性能,使VDF含量52%和70%的样品出现了明显的铁电弛豫现象,但发现在VDF含量为80%的样品中存在一种铁电弛豫异常现象:铁电居里峰随着频率的升高而向低温端移动。研究样品的二氟乙烯(VDF)的摩尔含量在52%~80%之间。 展开更多
关键词 铁电共聚物 电子辐照 铁电弛豫 铁电异常
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双色量子阱红外探测器中的耦合光栅 被引量:2
18
作者 齐利芳 李献杰 +1 位作者 赵永林 尹顺政 《微纳电子技术》 CAS 2008年第3期136-139,共4页
在量子阱红外探测器(QWIP)上制备光栅的目的是对垂直入射的红外辐射进行有效耦合。从实验、测试和有关文献出发,探讨了影响其耦合效率的参数及参数的优化值。重点分析了双色QWIP的光栅设计问题,并从提高双色量子阱红外探测器光栅耦合效... 在量子阱红外探测器(QWIP)上制备光栅的目的是对垂直入射的红外辐射进行有效耦合。从实验、测试和有关文献出发,探讨了影响其耦合效率的参数及参数的优化值。重点分析了双色QWIP的光栅设计问题,并从提高双色量子阱红外探测器光栅耦合效率和响应均匀性出发,介绍了一种新型交叉组合二维双周期结构光栅的设计方法;以一种具体AlGaAs/GaAs双色量子阱红外探测器为例,模拟了对应的交叉组合二维双周期结构光栅的几何参数和耦合强度,并与传统的二维双周期光栅结果对比,显示了新型双周期结构光栅在提高光耦合强度方面的优越性。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 耦合效率 光栅设计 双色 双周期
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向数字化发展的红外焦平面列阵 被引量:6
19
作者 王忆锋 陆剑鸣 《红外技术》 CSCD 北大核心 2013年第4期195-201,222,共8页
在过去数年里,红外焦平面列阵(FPA)取得了显著进步,近来的研发重点已经集中到硅读出集成电路(ROIC)上,帧频增加、引入新型的信号处理功能是该领域的重要进展。因为优于具有模拟信号输出的探测器,具有数字信号输出的FPA备受关注。数模转... 在过去数年里,红外焦平面列阵(FPA)取得了显著进步,近来的研发重点已经集中到硅读出集成电路(ROIC)上,帧频增加、引入新型的信号处理功能是该领域的重要进展。因为优于具有模拟信号输出的探测器,具有数字信号输出的FPA备受关注。数模转换器(ADC)在芯片上的实现是数字FPA的基础,片上ADC有三种结构,即芯片级ADC、列级ADC和像元级ADC。主要通过对部分有关英语文献资料的归纳分析,介绍了数字化FPA的发展动向和趋势。 展开更多
关键词 数字化FPA 读出集成电路 红外成像系统 模数转换器
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甚高灵敏度长波红外相机测试技术 被引量:2
20
作者 龙亮 张丽莎 吴立民 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第5期31-36,共6页
对于温度灵敏度优于10 mK的长波红外相机,如何精确测量表征其灵敏度的指标-噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference,NETD),是一项重要的工作。首先,依照尽量缩短标准辐射传递链路减少误差项的原则,对比不同的测量方法,选... 对于温度灵敏度优于10 mK的长波红外相机,如何精确测量表征其灵敏度的指标-噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference,NETD),是一项重要的工作。首先,依照尽量缩短标准辐射传递链路减少误差项的原则,对比不同的测量方法,选取"黑体直接测量法";其次,基于相机噪声理论模型,对不同温度点下的实测噪声分析,提出噪声修正方法对噪声进行修正,以此减小环境影响带来的测量误差;最后,基于NETD测量计算公式及不确定度分析理论对测试结果的不确定度进行分析评定。结果表明:针对甚高灵敏度长波红外相机所采用的测试设备及方法,可满足测试要求,测试结果相对不确定度在7.7%左右。 展开更多
关键词 噪声等效温差 测试技术 长波红外相机 不确定度
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