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不同工艺制备的氟化镁材料对真空镀膜的影响 被引量:2
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作者 王武育 孙平 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期22-25,共4页
用三种不同工艺制得的氟化镁为镀膜材料,考察了不同材料的结构对镀膜工艺和薄膜光学性能折射率的影响,并就其影响的原因进行了宏观分析,为选择高质量的镀膜材料提供了理论依据。
关键词 真空镀膜 氟化镁 光学材料
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电子束蒸镀半导体光电器件的增透膜
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作者 罗江财 王剑格 《四川真空》 1995年第3期9-13,共5页
用自动电子束蒸发设备,蒸镀用于光纤通信等中的GaAs和InP系列双异质结红外发光二极管的增透膜。结果表明,对波长为0.8μm左右的GaAlAs/GaAs发光二极管,蒸镀四分之一波长厚的Al2O3介质膜后,其输出光功率... 用自动电子束蒸发设备,蒸镀用于光纤通信等中的GaAs和InP系列双异质结红外发光二极管的增透膜。结果表明,对波长为0.8μm左右的GaAlAs/GaAs发光二极管,蒸镀四分之一波长厚的Al2O3介质膜后,其输出光功率在50mA和100mA电流注入,可增加25-35%,最大可增加-50%。对1.3μm波长的InP系列红餐发光管,用ZrO2作介质增透膜效果更好。 展开更多
关键词 发光二极管 增透膜 半导体光电器件 电子束
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