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微波功率放大器的负载牵引测试技术研究
1
作者 童亮 李伟 王鑫 《环境技术》 2025年第6期47-53,共7页
负载牵引测试系统在射频功率放大器的最优参数测试和抗失配可靠性试验中得到广泛应用,对优化功率放大器的设计具有重要作用。本文介绍了当前基于矢量接收机的负载牵引技术,并详细介绍了双端面校准、去嵌入和三次谐波测试等关键技术。矢... 负载牵引测试系统在射频功率放大器的最优参数测试和抗失配可靠性试验中得到广泛应用,对优化功率放大器的设计具有重要作用。本文介绍了当前基于矢量接收机的负载牵引技术,并详细介绍了双端面校准、去嵌入和三次谐波测试等关键技术。矢量接收机的高效应用不仅显著提升了测量效率和准确度,还能够方便地实现输出功率、效率等关键参数的优化以及谐波测试,为功率放大器的性能评估和设计改进提供了有力支持。 展开更多
关键词 半导体 阻抗匹配 负载牵引 氮化镓 微波测试
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基于寄生结构的6 cell砷化镓HBT模型
2
作者 胡甘霖 刘军 《杭州电子科技大学学报(自然科学版)》 2025年第6期12-21,38,共11页
本文提出了一种简单而高精度的方法来确定微波功率多胞(Multi-cell)异质结双极型晶体管(Heterojunction Bipolar Transistors,HBT)器件的寄生结构模型。提出的模型不依赖于特定的单元(cell)数或晶体管材料技术,而是与器件的版图结构紧... 本文提出了一种简单而高精度的方法来确定微波功率多胞(Multi-cell)异质结双极型晶体管(Heterojunction Bipolar Transistors,HBT)器件的寄生结构模型。提出的模型不依赖于特定的单元(cell)数或晶体管材料技术,而是与器件的版图结构紧密相关。该模型能够通过在零偏置条件下测量的S参数,准确提取等效电路中的元件值,且所得元件值与偏置和功率条件无关。此外,该模型可与单胞(unit cell)HBT紧凑模型相结合,以精确表征多胞HBT的直流(DC)及射频(RF)工作特性。以6 cell GaAs HBT器件为对象,验证了所提模型的适用性及准确性。 展开更多
关键词 多胞HBT建模 多胞GaAs HBT Agilent HBT模型
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SiGe HBT大电流密度下的基区渡越时间模型 被引量:7
3
作者 戴显英 吕懿 +3 位作者 张鹤鸣 何林 胡永贵 胡辉勇 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期86-89,共4页
 在考虑基区扩展效应及载流子浓度分布的基础上,建立了SiGeHBT的基区渡越时间模型。该模型既适合产生基区扩展的大电流密度,又适合未产生基区扩展的小电流密度。模拟分析结果表明,与SiBJT相比,SiGeHBT基区渡越时间显著减小,同时表明,...  在考虑基区扩展效应及载流子浓度分布的基础上,建立了SiGeHBT的基区渡越时间模型。该模型既适合产生基区扩展的大电流密度,又适合未产生基区扩展的小电流密度。模拟分析结果表明,与SiBJT相比,SiGeHBT基区渡越时间显著减小,同时表明,载流子浓度分布对基区渡越时间有较大影响。 展开更多
关键词 SiGe-HBT 大电流密度 基区渡越时间模型 载流子浓度分布 迁移率 锗化硅
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最大振荡频率为200GHz的蓝宝石衬底AlGaN/GaN HEMT(英文) 被引量:5
4
作者 刘果果 魏珂 +2 位作者 黄俊 刘新宇 牛洁斌 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期289-292,共4页
报道了最大振荡频率为200 GHz的基于蓝宝石衬底的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT).外延材料结构采用InGaN背势垒层来减小短沟道效应,器件采用凹栅槽和T型栅结合的工艺,实现了Ka波段AlGaN/GaNHEMT.器件饱和电流达到1.1 A/mm,跨导为421... 报道了最大振荡频率为200 GHz的基于蓝宝石衬底的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT).外延材料结构采用InGaN背势垒层来减小短沟道效应,器件采用凹栅槽和T型栅结合的工艺,实现了Ka波段AlGaN/GaNHEMT.器件饱和电流达到1.1 A/mm,跨导为421 mS/mm,截止频率(fT)为30 GHz,最大振荡频率(fmax)为105GHz.采用湿法腐蚀工艺将器件的Si3N4钝化层去除后,器件的Cgs和Cgd减小,器件截止频率提高到50 GHz,最大振荡频率提高到200 GHz. 展开更多
关键词 ALGAN/GAN HEMT 蓝宝石衬底 fmax InGaN背势垒 湿法腐蚀
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自对准GaInP/GaAs HBT器件 被引量:8
5
作者 钱永学 刘训春 +1 位作者 王润梅 石瑞英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期513-516,共4页
利用发射极金属掩蔽进行内切腐蚀的方法研制成自对准 In Ga P/Ga As异质结双极晶体管 ( HBT) ,其特征频率 ( ft)达到 5 4 GHz,最高振荡频率 ( fmax)达到 71GHz,并且 ,这种方法工艺简单 ,成品率高 .文中还对该结果进行了分析 。
关键词 异质结双极晶体管 镓铟磷/镓砷 T形发射极 铡向内切 HBT
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14W X-Band AlGaN/GaN HEMT Power MMICs 被引量:5
6
作者 陈堂胜 张斌 +3 位作者 任春江 焦刚 郑维彬 陈辰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1027-1030,共4页
The development of an AIGaN/GaN HEMT power MMIC on SI-SiC designed in microstrip technology is pres- ented. A recessed-gate and a field-plate are used in the device processing to improve the performance of the AIGaN/G... The development of an AIGaN/GaN HEMT power MMIC on SI-SiC designed in microstrip technology is pres- ented. A recessed-gate and a field-plate are used in the device processing to improve the performance of the AIGaN/GaN HEMTs. S-parameter measurements show that the frequency performance of the AIGaN/GaN HEMTs depends significantly on the operating voltage. Higher operating voltage is a key to higher power gain for the AIGaN/GaN HEMTs. The developed 2-stage power MMIC delivers an output power of more than 10W with over 12dB power gain across the band of 9-11GHz at a drain bias of 30V. Peak output power inside the band reaches 14.7W with a power gain of 13.7dB and a PAE of 23%. The MMIC chip size is only 2.0mm × 1. 1mm. This work shows superiority over previously reported X-band AIGaN/GaN HEMT power MMICs in output power per millimeter gate width and output power per unit chip size. 展开更多
关键词 X-BAND AIGAN/GAN HEMTS power MMIC
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AlGaN/GaN HEMT器件研究 被引量:6
7
作者 曾庆明 刘伟吉 +4 位作者 李献杰 赵永林 敖金平 徐晓春 吕长志 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第3期170-173,共4页
叙述了AlGaN/GaNHEMT的特点及制造工艺,给出其测试结果,最大跨导~157ms/mm,由S参数测量推出器件的截止频率fT和最高振荡频率fmax分别为12GHz和24GHz。
关键词 GAN HEMT ALGAN 制造 研制 截止频率
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C波段3.5W/mm,PAE>40%的InGaP/GaAs HBT功率管 被引量:5
8
作者 申华军 陈延湖 +4 位作者 严北平 葛霁 王显泰 刘新宇 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1612-1615,共4页
通过优化InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)的材料结构和器件结构,采用BE金属自对准、发射极镇流和电镀空气桥等工艺技术,研制了C波段InGaP/GaAsHBT功率管.其击穿电压BVCBO大于31V,BVCEO大于21V;在5.4GHz时连续波(CW)饱和输出功率达到1.... 通过优化InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)的材料结构和器件结构,采用BE金属自对准、发射极镇流和电镀空气桥等工艺技术,研制了C波段InGaP/GaAsHBT功率管.其击穿电压BVCBO大于31V,BVCEO大于21V;在5.4GHz时连续波(CW)饱和输出功率达到1.4W,功率密度达到3.5W/mm,功率附加效率(PAE)大于40%. 展开更多
关键词 INGAP/GAAS 异质结双极晶体管 功率管
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基于Darlington Cascode结构的SiGe异质结双极晶体管UWB低噪声放大器的设计 被引量:4
9
作者 丁春宝 张万荣 +7 位作者 金冬月 谢红云 陈亮 沈佩 张东晖 刘波宇 周永强 郭振杰 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1070-1076,共7页
详细地分析了Cascode结构的线性度和3dB带宽,利用Cascode结构的高线性度和Darlington结构的高增益的优点构成了Darlington—Cascode结构,在此基础上,基于台积电TSMC0.35μm SiGe工艺,设计了一款芯片面积小的满足超宽带(UWB)标准... 详细地分析了Cascode结构的线性度和3dB带宽,利用Cascode结构的高线性度和Darlington结构的高增益的优点构成了Darlington—Cascode结构,在此基础上,基于台积电TSMC0.35μm SiGe工艺,设计了一款芯片面积小的满足超宽带(UWB)标准的无电感SiGe异质结双晶体管(HBT)低噪声放大器(LNA)。该放大器利用电阻反馈结构替代了电感-电容(LC)匹配网络结构,实现了输入、输出阻抗匹配,未采用无源电感,节省了芯片面积,芯片面积仅为0.046mm2,并将Darlington—Cascode结构作为LNA的输出级,既提高了增益,又提高了线性度。LNA版图仿真结果表明,在UWB频带范围内,LNA的增益为19.5~20dB,增益平坦度为4-0.25dB;输入、输出匹配良好;线性度为-5- -2dBm;在整个频段内,无条件稳定。 展开更多
关键词 低噪声放大器(LNA) SiGe异质结双极晶体管(HBT) 电阻反馈 线性度 共射-共基放大器
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高性能1mm AlGaN/GaN功率HEMTs研制 被引量:4
10
作者 邵刚 刘新宇 +6 位作者 和致经 刘键 魏珂 陈晓娟 吴德馨 王晓亮 陈宏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期88-91,共4页
报道了基于蓝宝石衬底的高性能 1mmAlGaN/GaNHEMTs功率器件 .为了提高微波功率器件性能 ,采用新的欧姆接触和新型空气桥方案 .测试表明 ,器件电流密度为 0 784A/mm ,跨导 197mS/mm ,击穿电压大于 4 0V ,截止态漏电较小 ,1mm栅宽器件的... 报道了基于蓝宝石衬底的高性能 1mmAlGaN/GaNHEMTs功率器件 .为了提高微波功率器件性能 ,采用新的欧姆接触和新型空气桥方案 .测试表明 ,器件电流密度为 0 784A/mm ,跨导 197mS/mm ,击穿电压大于 4 0V ,截止态漏电较小 ,1mm栅宽器件的单位截止频率达到 2 0GHz,最大振荡频率为 2 8GHz ,功率增益为 11dB ,功率密度为 1 2W/mm ,PAE为 32 % 。 展开更多
关键词 ALGAN/GAN HEMT 微波功率 单位截止频率
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PHEMT结构材料及器件 被引量:4
11
作者 谢自力 邱凯 +5 位作者 尹志军 方小华 陈建炉 王向武 陈堂胜 高建峰 《微纳电子技术》 CAS 2002年第2期15-17,共3页
概述了微波毫米波赝配结构高电子迁移率晶体管材料的结构特性,研究了该材料的分子束外延生长工艺,并且报道了用这种材料研制的赝配结构高电子迁移率晶体管的器件研制结果。
关键词 微波毫米波 分子束外延 赝配结构高电子迁移率晶体管 异质结 二维电子气
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新型宽带SiC功率器件在电力电子中的应用 被引量:23
12
作者 王莉 朱萍 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期524-532,共9页
新型宽带SiC功率器件由于其突出的性能优势在电力电子领域得到了广泛应用。首先介绍了SiC功率器件的发展现状,其次阐述了其性能特点,最后给出了SiC功率器件目前在新能源、民用输配电、航空航天等场合的应用情况,指出了SiC器件在电力电... 新型宽带SiC功率器件由于其突出的性能优势在电力电子领域得到了广泛应用。首先介绍了SiC功率器件的发展现状,其次阐述了其性能特点,最后给出了SiC功率器件目前在新能源、民用输配电、航空航天等场合的应用情况,指出了SiC器件在电力电子领域的应用前景。 展开更多
关键词 电力电子与电力传动 SiC功率器件 宽带半导体器件
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AlGaN/GaN HEMT研制及特性分析 被引量:8
13
作者 王冲 郝跃 张进城 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期234-236,共3页
以蓝宝石为衬底研制出栅长1μmAlGaN/GaNHEMT.在室温下,测试该器件显示出良好的输出特性和肖特基伏安特性,最大跨导160mS/mm,栅压1V下饱和电流720mA/mm,击穿电压大于50V.分析了几个关键工艺对器件特性的影响,指出较大的欧姆接触电阻(3 1... 以蓝宝石为衬底研制出栅长1μmAlGaN/GaNHEMT.在室温下,测试该器件显示出良好的输出特性和肖特基伏安特性,最大跨导160mS/mm,栅压1V下饱和电流720mA/mm,击穿电压大于50V.分析了几个关键工艺对器件特性的影响,指出较大的欧姆接触电阻(3 19Ω·mm)限制了器件性能进一步提高,需提高肖特基接触的势垒高度. 展开更多
关键词 微波功率器件 ALGAN/GAN 高电子迁移率晶体管
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变温C-V和传输线模型测量研究AlGaN/GaN HEMT温度特性 被引量:3
14
作者 王冲 张金风 +3 位作者 杨燕 郝跃 冯倩 张进城 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期864-868,共5页
通过对异质结材料上制作的肖特基结构变温C-V测量和传输线模型变温测量,研究了蓝宝石衬底AIGaN/GaN异质结高电子迁移率晶体管的直流特性在25-200℃之间的变化,分析了载流子浓度分布、沟道方块电阻、欧姆比接触电阻和缓冲层泄漏电流... 通过对异质结材料上制作的肖特基结构变温C-V测量和传输线模型变温测量,研究了蓝宝石衬底AIGaN/GaN异质结高电子迁移率晶体管的直流特性在25-200℃之间的变化,分析了载流子浓度分布、沟道方块电阻、欧姆比接触电阻和缓冲层泄漏电流随温度的变化规律,得出了器件饱和电流随温度升高而下降主要由输运特性退化造成,沟道泄漏电流随温度的变化主要由栅泄漏电流引起的结论,同时,证明了GaN缓冲层漏电不是导致器件退化的主要原因。 展开更多
关键词 高电子迁移率晶体管 二维电子气 传输线模型 泄漏电流
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基于AlGaN/GaNHEMT的功率放大器的研究进展 被引量:3
15
作者 王冲 刘道广 +1 位作者 郝跃 张进城 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期245-247,共3页
介绍了几类常见的基于AlGaN/GaNHEMT的微波功率放大器;论述了制造微波功率放大器的两种关键工艺技术———倒装芯片集成(FCIC)和共平面线(CPW);分析了自行研制的微波功率放大器核心器件AlGaN/GaNHEMT的性能。
关键词 微波功率放大器 微波集成电路 高电子迁移率器件 ALGAN/GAN 倒装芯片集成 共平面线
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4W/mm蓝宝石衬底AlGaN/GaN HEMT 被引量:3
16
作者 任春江 李忠辉 +4 位作者 焦刚 董逊 李肖 陈堂胜 李拂晓 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期320-324,共5页
报道了利用南京电子器件研究所生长的蓝宝石衬底AlGaN/GaN异质结材料制作的HEMT,器件功率输出密度达4W/mm。通过材料结构及生长条件的优化,利用MOCVD技术获得了二维电子气(2DEG)面密度为0.97×1013cm-2、迁移率为1000cm2/Vs的AlGaN/... 报道了利用南京电子器件研究所生长的蓝宝石衬底AlGaN/GaN异质结材料制作的HEMT,器件功率输出密度达4W/mm。通过材料结构及生长条件的优化,利用MOCVD技术获得了二维电子气(2DEG)面密度为0.97×1013cm-2、迁移率为1000cm2/Vs的AlGaN/GaN异质结构材料,用此材料完成了栅长1μm、栅宽200μm AlGaN/GaN HEMT器件的研制。小信号测试表明器件的fT为17GHz、最高振荡频率fmax为40GHz;负载牵引测试得到2GHz下器件的饱和输出功率密度为4.04W/mm。 展开更多
关键词 氮化镓 高电子迁移率晶体管 二维电子气 单位截止频率 最高振荡频率
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基于76.2mm圆片工艺的GaN HEMT可靠性评估 被引量:3
17
作者 蒋浩 任春江 +2 位作者 陈堂胜 焦刚 肖德坚 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期115-119,140,共6页
报道了利用76.2 mm圆片工艺实现了SiC衬底GaN HEMT微波功率管的研制,并对其进行了多项试验以评估其可靠性。器件工艺中通过引入难熔金属作器件肖特基势垒,有效提高了GaN HEMT器件肖特基势垒的热稳定性,经过500°C高温处理30 s后器... 报道了利用76.2 mm圆片工艺实现了SiC衬底GaN HEMT微波功率管的研制,并对其进行了多项试验以评估其可靠性。器件工艺中通过引入难熔金属作器件肖特基势垒,有效提高了GaN HEMT器件肖特基势垒的热稳定性,经过500°C高温处理30 s后器件肖特基特性依然保持稳定。随后的高温工作寿命试验表明,该GaN HEMT能够经受225°C结温500 h的工作而未发生失效,但器件的饱和电流出现了退化,进一步的分析表明引起器件饱和电流下降的主要原因是电迁徙引起的欧姆退化。针对电迁徙现象进行了相关工艺的改进,对改进后器件的三温加速寿命试验表明,器件在150°C结温下平均失效时间(MTTF)达4×105h,激活能为1.0 eV。将研制的GaN HEMT管芯用于了两级级联结构的C波段功率模块,对研制的功率模块在28 V工作电压125°C结温下进行了射频工作寿命试验,增益压缩5 dB下连续波工作1 000 h后输出功率变化量小于0.1 dB。 展开更多
关键词 铝镓氮/氮化镓 高电子迁移率晶体管 场板 栅挖槽 难熔栅 平均失效时间
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X波段单级氮化镓固态放大器 被引量:2
18
作者 陈炽 郝跃 +3 位作者 冯辉 马晓华 张进城 胡仕刚 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1039-1043,共5页
利用自主研制的SiC衬底的栅宽为2.5 mm的AlGaN/GaN HEMT器件,设计完成了单级X波段氮化镓固态放大器模块.模块由AlGaN/GaN HEMT器件、偏置电路和微带匹配电路构成.采用金属腔体和测试夹具,保证在连续波下具有良好的接地和散热性能.利用... 利用自主研制的SiC衬底的栅宽为2.5 mm的AlGaN/GaN HEMT器件,设计完成了单级X波段氮化镓固态放大器模块.模块由AlGaN/GaN HEMT器件、偏置电路和微带匹配电路构成.采用金属腔体和测试夹具,保证在连续波下具有良好的接地和散热性能.利用双偏置电路馈电,并且采用独特的电容电阻网络和栅极串联电阻消除了低频和射频振荡.利用微带短截线完成了器件的输入输出匹配.在8 GHz频率及连续波情况下(直流偏置电压为Vds=27 V,Vgs=-4.0 V),放大器线性增益为5.6 dB,最大效率为30.5%,输出功率最大可达40.25 dBm(10.5 W),此时增益压缩为2 dB.在带宽为500 MHz内,输出功率变化为1 dB. 展开更多
关键词 ALGAN/GAN HEMT 固态放大器模块 饱和输出功率 增益压缩 功率附加效率
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GaN HEMT的温度特性及其应用 被引量:3
19
作者 任春江 陈堂胜 +1 位作者 余旭明 张斌 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期226-232,共7页
对0.25μm双场板结构GaN HEMT器件的温度特性进行了研究。负载牵引测试结果显示,GaN HEMT增益的温度系数为-0.02 dB/℃、饱和输出功率系数为-0.004 dB/℃。大的增益温度系数结合GaN HEMT自热效应引起的高温升对实际应用特别是功率MMIC... 对0.25μm双场板结构GaN HEMT器件的温度特性进行了研究。负载牵引测试结果显示,GaN HEMT增益的温度系数为-0.02 dB/℃、饱和输出功率系数为-0.004 dB/℃。大的增益温度系数结合GaN HEMT自热效应引起的高温升对实际应用特别是功率MMIC的设计带来了挑战。按常温设计的GaN功率MMIC在高温下输出功率出现了较大幅度的下降,并且连续波与脉冲下工作输出功率存在较大差异。针对GaN HEMT应用中的这些问题提出了解决措施,包括降低2DEG浓度来减小增益的温度系数,通过选择SiC衬底和衬底减薄以及版图设计改善器件散热,降低器件工作时的温升。 展开更多
关键词 铝镓氮/氮化镓 高电子迁移率晶体管 场板 栅挖槽 难熔栅
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一种新的AlGaN/GaN HEMT半经验直流特性模型 被引量:2
20
作者 刘丹 陈晓娟 +3 位作者 刘果果 和致经 刘新宇 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1984-1988,共5页
在EEHEMT1模型的基础上给出一种新的AlGaN/GaN HEMT半经验直流特性模型,考虑了栅源电压对膝点电压的影响,得到描述AlGaN/GaN HEMT器件I-V特性的方程.此模型可以应用于蓝宝石和SiC两种不同衬底AlGaN/GaN HEMT器件的I-V特性模拟.仿真结果... 在EEHEMT1模型的基础上给出一种新的AlGaN/GaN HEMT半经验直流特性模型,考虑了栅源电压对膝点电压的影响,得到描述AlGaN/GaN HEMT器件I-V特性的方程.此模型可以应用于蓝宝石和SiC两种不同衬底AlGaN/GaN HEMT器件的I-V特性模拟.仿真结果和实验测量结果拟合误差小于3%. 展开更多
关键词 ALGAN/GAN HEMT 模型 膝点电压 衬底
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