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半导体三维磁敏管及其线性度分析
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作者 刘亿 赖宗声 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第6期18-18,17,共2页
一般情况下,磁场与敏感器很难严格垂直或平行,这就要求敏感器对磁场的三个分量都敏感.此时,只要磁矢的绝对值达到某一定值,敏感器就会有一信号输出.为此,本文设计了一种3-D(三维)磁敏晶体管,空间分辩率为10×15×80μm^3,其结... 一般情况下,磁场与敏感器很难严格垂直或平行,这就要求敏感器对磁场的三个分量都敏感.此时,只要磁矢的绝对值达到某一定值,敏感器就会有一信号输出.为此,本文设计了一种3-D(三维)磁敏晶体管,空间分辩率为10×15×80μm^3,其结构见图1. 展开更多
关键词 半导体 三维 磁敏管 线性 分析
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