文摘探索了一种X射线反射(X-ray reflectance,XRR)表征六方氮化硼(Hexagonal boron nitride,h-BN)薄膜厚度的测试方法。通过金属有机化学气相沉积在蓝宝石衬底上生长不同厚度的h-BN薄膜,并利用拉曼光谱表征,证实了h-BN薄膜在蓝宝石衬底上的成功生长。对比了不同生长条件的h-BN与蓝宝石衬底的XRR测试曲线,表明XRR测试曲线振荡与薄膜厚度强相关。通过拟合XRR测试曲线来获得h-BN的厚度值与材料密度值,经对比发现拟合厚度值与原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)测试或透射电子显微镜(Transmission electron mi‑croscopy,TEM)测试值一致,同时发现3.5 nm厚度的样品材料密度值与体材料密度值接近,但2 nm以下样品的材料密度均值低于体材料。
