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射频轴快流CO_(2)激光器动态L型阻抗匹配网络设计
1
作者 黄盼 赵崇霄 +5 位作者 董祝君 赵振 潘其坤 冯育泽 张来明 郭劲 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第5期1155-1163,共9页
针对高功率轴快流CO_(2)激光器射频放电阻抗的匹配问题,本文设计了低反射率、高动态匹配范围的阻抗匹配网络,以实现射频激励轴快流CO_(2)激光器在不同放电结构下射频功率的高效利用。基于射频电路阻抗匹配理论,构建了多电极等效电路模型... 针对高功率轴快流CO_(2)激光器射频放电阻抗的匹配问题,本文设计了低反射率、高动态匹配范围的阻抗匹配网络,以实现射频激励轴快流CO_(2)激光器在不同放电结构下射频功率的高效利用。基于射频电路阻抗匹配理论,构建了多电极等效电路模型,提出向匹配网络中引入可调高压陶瓷电容的方法,设计了适用于高功率射频激励轴快流CO_(2)激光器的动态L型匹配网络。模拟的动态L型匹配网络可向16根放电管注入60kW射频功率,在12.81Ω~49.94Ω总负载阻抗范围内反射率小于1%。搭建了单管射频放电实验装置,实验测得动态L型匹配网络在4kW注入功率下反射率小于1%,与仿真结果相符。上述结果表明引入可调高压陶瓷电容的动态L型匹配网络能够实现高动态范围内的阻抗匹配,基本满足高功率射频激励轴快流CO_(2)激光器匹配电路的设计要求。 展开更多
关键词 轴快流CO_(2)激光器 射频激励 阻抗匹配 L型动态匹配
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633nm碘稳频波长标准的数字化控制方法研究
2
作者 储明达 唐波 +7 位作者 王建波 殷聪 毕文文 张明宇 杨知让 朱怡轩 张靖 孔明 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期243-253,共11页
为满足计量领域对碘稳频He-Ne激光器便携性和智能化的需求,扩展碘稳频激光器的应用场景,研究了一种基于微处理器的碘稳频He-Ne激光器波长标准的数字化稳频方法,使用数字算法实现了信号调制、谐波解调和稳频控制等关键技术,通过简单调整... 为满足计量领域对碘稳频He-Ne激光器便携性和智能化的需求,扩展碘稳频激光器的应用场景,研究了一种基于微处理器的碘稳频He-Ne激光器波长标准的数字化稳频方法,使用数字算法实现了信号调制、谐波解调和稳频控制等关键技术,通过简单调整少量参数便可以自由调整信号发生频率并以高信噪比的方式完成谐波信号的解调,从而实现吸收峰的精准识别和激光频率的快速锁定。该方法克服了传统模拟技术的调试繁琐、操作不便和智能化水平有限等问题。控制系统集成了蓝牙通信功能,使操作人员能够通过上位机软件实时监测激光器状态,可按需求调整优化参数来适应不同的激光器。实验表明,该系统可以较好地匹配不同类型的碘稳频He-Ne激光器,实现了控制系统的数字化和集成化。通过与光频梳的拍频测量表明,研制的633 nm碘稳频数字化波长标准,1 s的频率稳定度达到1.5×10^(-11),1000 s的稳定度达到5.0×10^(-13),波长复现性达到1.4×10^(-11),稳频效果与模拟控制系统相当。该数字化稳频方法具有良好地可靠性,显著提升了633 nm波长标准的便携性和智能化水平,为产业现场的应用奠定了坚实的基础。 展开更多
关键词 633nm激光稳频 波长标准 数字化控制 智能化 拍频测量
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基于大数据挖掘的电气仪表故障自动诊断方法
3
作者 潘越 《自动化应用》 2025年第12期100-102,共3页
常规的电气仪表故障自动诊断模型效率低,误诊率高。为此,设计了基于大数据挖掘的电气仪表故障自动诊断方法。该方法首先采集特征数据并自动分类故障,然后利用大数据挖掘技术提升诊断效率。测试结果表明,该方法误诊率低,辅助效果好,诊断... 常规的电气仪表故障自动诊断模型效率低,误诊率高。为此,设计了基于大数据挖掘的电气仪表故障自动诊断方法。该方法首先采集特征数据并自动分类故障,然后利用大数据挖掘技术提升诊断效率。测试结果表明,该方法误诊率低,辅助效果好,诊断针对性强,验证了预设目标。通过偏移核验方式实现自动诊断处理,进一步提升了诊断的准确性和效率。 展开更多
关键词 大数据挖掘 电气仪表 故障诊断 自动化监测 诊断方法 故障识别
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半导体激光器腔面薄膜制备及其可靠性研究进展
4
作者 徐礼彬 赵西坡 《广东化工》 2025年第8期50-53,共4页
半导体激光器腔面膜作为激光器谐振腔的关键界面介质,其性能直接决定了器件的输出功率、转换效率及可靠性,是制约半导体激光技术发展的核心要素。系统综述了半导体激光器腔面膜制备技术、可靠性提升策略及其对器件性能的优化机理,介绍... 半导体激光器腔面膜作为激光器谐振腔的关键界面介质,其性能直接决定了器件的输出功率、转换效率及可靠性,是制约半导体激光技术发展的核心要素。系统综述了半导体激光器腔面膜制备技术、可靠性提升策略及其对器件性能的优化机理,介绍了磁控溅射、离子辅助沉积与电子束蒸发、原子层沉积等方法在解理面构筑腔面膜的应用现状,总结了多层膜设计、优化膜层厚度与材料匹配有助于增强光学损伤阈值并提升斜率效率。材料体系-复合工艺协同优化与膜层应力匹配设计有望显著延长器件寿命和可靠性,为高功率、长寿命半导体激光器的膜层设计与可靠性提升提供了重要技术参考。 展开更多
关键词 半导体激光器 腔面薄膜 增透膜 高反膜
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CO_(2)激光管利用内调焦望远镜校准镜片工艺
5
作者 李增祥 《科技与创新》 2025年第4期146-148,共3页
CO_(2)激光管在生产过程中玻璃管头研磨和镜片贴片工艺是极其重要的环节,影响着CO_(2)激光管最终输出功率和光束质量。为提高输出端尾端镜片和与CO_(2)激光管的同轴度,介绍了利用内调焦望远镜校准输出端尾端镜片和与CO_(2)激光管同轴,... CO_(2)激光管在生产过程中玻璃管头研磨和镜片贴片工艺是极其重要的环节,影响着CO_(2)激光管最终输出功率和光束质量。为提高输出端尾端镜片和与CO_(2)激光管的同轴度,介绍了利用内调焦望远镜校准输出端尾端镜片和与CO_(2)激光管同轴,其整体布局小型化,操作便捷,同轴精度高;镜片与玻璃管头间用精加工金属零件过渡连接,可有效保护镜面镀膜层,延长镜片使用寿命,提高功率稳定输出;并模拟CO_(2)激光管运行在负压环境下校准镜片,减小因使用环境改变引起系统误差和减小校准镜片时暴露在大气环境中时长,避免镜片受污染。多方面工艺改进最终可实现提高输出功率及稳定性、提升光束质量、提升生产效率的效果,也为后续开发指引了方向。 展开更多
关键词 气体激光器 内调焦望远镜 镜片 负压环境
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基于声光调制器的光学锁相环He-Ne激光稳频方法研究 被引量：2
6
作者 刘宇森 王建波 +4 位作者 殷聪 韩绍坤 毕文文 俞秋叶 邹金澎 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期93-101,共9页
报道了一种基于声光调制器与光学锁相环相结合的高稳定度激光稳频方法,用于提高热稳频He-Ne激光器的频率稳定度和准确度。为了克服全内腔热稳频He-Ne激光精密调谐困难的缺点,发展了基于声光调制器两次移频的频率调谐光路,有效地消除声... 报道了一种基于声光调制器与光学锁相环相结合的高稳定度激光稳频方法,用于提高热稳频He-Ne激光器的频率稳定度和准确度。为了克服全内腔热稳频He-Ne激光精密调谐困难的缺点,发展了基于声光调制器两次移频的频率调谐光路,有效地消除声光调制器移频光束路径对衍射角θ的依赖。自行研制了具有高灵敏度与捕获带宽的光学锁相环系统,利用声光调制器的高频率响应特性实现热稳频He-Ne激光高速、准确的锁定。成功实现了热稳频He-Ne激光器偏频锁定至碘稳频HeNe激光器。实验结果表明,环路锁定后拍频频率波动在±0.2 Hz范围内,频率抖动的标准差为0.04。偏置频率为30 MHz时,系统在1 s和1000 s积分时间的相对阿伦方差分别为3.3×10^(-9)和1.4×10^(-12)。系统锁定后,压缩后的拍频线宽小于2 kHz。该研究表明,采用基于声光调制器与光学锁相环相结合的激光稳频方法可以实现亚赫兹级的激光频差控制,通过将热稳频He-Ne激光器偏频锁定至高稳定度的参考激光源可以显著提升其频率稳定度和准确度。 展开更多
关键词 激光稳频 声光调制器 光学锁相环 偏频锁定
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激光系统的指向控制实验研究
7
作者 邱沁昕 周申蕾 唐顺兴 《中国科技纵横》 2024年第20期159-161,共3页
激光系统的指向控制实验研究是一个复杂而精细的过程,涉及光学、机械、电子和自动控制等多个学科领域。基于此,本文通过对激光系统的指向控制实验研究,初步探索光束自动控制的流程和关键技术。通过实际操作,掌握简单光学仪器的使用流程... 激光系统的指向控制实验研究是一个复杂而精细的过程,涉及光学、机械、电子和自动控制等多个学科领域。基于此,本文通过对激光系统的指向控制实验研究,初步探索光束自动控制的流程和关键技术。通过实际操作,掌握简单光学仪器的使用流程和操作规范,并通过实验观察和数据分析,对激光系统的指向控制形成初步认识。实验结果显示,在实验环境中,通过合适的控制措施,能够实现对激光光束的准确指向控制,从而为相关领域的应用提供技术支持和有益参考。 展开更多
关键词 激光系统 指向控制 实验研究 光束自动控制 光学仪器
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ArF准分子激光器脉冲参数高精度在线测量系统设计与实现
8
作者 赵万琦 江锐 +4 位作者 冯泽斌 许泽 郭宁 蒋衍 朱精果 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期71-80,共10页
保持激光光源输出能量稳定是光刻的关键环节,需要对深紫外准分子光源脉冲参数进行高精度在线测量。传统的准分子激光器能量测量装置多工作于低重复频率,针对高重频准分子激光器脉冲测量需求,设计了激光脉冲参数在线测量系统,使用峰值保... 保持激光光源输出能量稳定是光刻的关键环节,需要对深紫外准分子光源脉冲参数进行高精度在线测量。传统的准分子激光器能量测量装置多工作于低重复频率,针对高重频准分子激光器脉冲测量需求,设计了激光脉冲参数在线测量系统,使用峰值保持电路配合模数转换器实现脉冲能量采集,通过建立并仿真峰值保持电路寄生等效模型,优化了高重频准分子激光脉冲峰值保持电路设计方法。所设计的系统在193nm ArF准分子光源平台上测试,实现了准分子光源脉冲参数的在线提取和能量实时高精度测量。经测试,光源在6kHz频率时,系统能量测量值相对于标准能量计的平均相对误差为0.22%,最大相对误差为0.56%,线性度为99.83%,为光刻深紫外准分子光源脉冲参数在线高精度测量系统的实际应用做了有益探索。 展开更多
关键词 能量探测 在线测量 准分子激光 脉冲参数 线性度
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多态增强机抖激光陀螺随机噪声注入技术
9
作者 吕明森 马家君 +4 位作者 杨辉 孙佑焮 敖晓纯 徐金涛 刘尚波 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第6期1284-1290,共7页
针对机抖激光陀螺存在的随机噪声注入效率低的问题,深入研究了随机噪声对消除激光陀螺动态锁区的影响,获得了噪声频率分量与动态锁区之间的函数关系。基于伪随机序列并结合对激光陀螺噪声注入传递函数的分析,提出了多态增强随机噪声注... 针对机抖激光陀螺存在的随机噪声注入效率低的问题,深入研究了随机噪声对消除激光陀螺动态锁区的影响,获得了噪声频率分量与动态锁区之间的函数关系。基于伪随机序列并结合对激光陀螺噪声注入传递函数的分析,提出了多态增强随机噪声注入技术,在现场可编程门阵列(field programmable gate array,FPGA)中设计了多态随机噪声增强注入算法,并对多态随机噪声增强注入技术进行了实验验证。结果表明,相对于传统随机噪声注入技术,多态增强随机噪声注入明显丰富了随机噪声的频率分量,并在高频段增强了噪声幅度,从而使激光陀螺的噪声注入效率提高了约50.57%,陀螺精度提高了约33.62%,角随机游走系数降低了约17.62%。多态增强随机噪声注入技术为提高机抖激光陀螺的性能提供了重要参考。 展开更多
关键词 激光光学 激光陀螺 抖动偏频 随机噪声 锁区阈值
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调整横向激励气体激光器反射镜的一种方法
10
作者 张育川 《激光杂志》 CAS 1984年第1期45-46,21,共3页
通常我们可以用眼睛观察来调整横向激励的气体激光器的反射镜,但是比较粗略。当然,我们还可以用He-Ne激光器或内调焦望远镜来调整,但是它需要仪器设备。本文介绍了另一种调整方法,就是利用激光本身的小孔衍射图象来调整,而且能够在激光... 通常我们可以用眼睛观察来调整横向激励的气体激光器的反射镜,但是比较粗略。当然,我们还可以用He-Ne激光器或内调焦望远镜来调整,但是它需要仪器设备。本文介绍了另一种调整方法,就是利用激光本身的小孔衍射图象来调整,而且能够在激光输出状态下作动态性精确的调整。 展开更多
关键词 气体激光器 横向激励 反射镜 调整 HE-NE激光器 仪器设备 小孔衍射 输出状态 内调焦 动态性
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准分子激光光束均匀技术 被引量：13
11
作者 叶震寰 楼祺洪 +2 位作者 李红霞 董景星 魏运荣 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期207-209,212,共4页
由于放电结构及谐振腔的限制,准分子激光光斑呈现不均的分布。介绍了各种均匀器的工作原理,从衡量光束均匀性的各项指标出发,评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围。
关键词 准分子激光 光束均匀 蝇眼 光刻
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“天光一号”平滑化角多路系统的建立 被引量：14
12
作者 向益淮 高智星 +3 位作者 佟小惠 戴辉 汤秀章 单玉生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期795-798,共4页
采用诱导空间非相干(FEISI)的平滑方法结合传递傅里叶面的技术,建立了一套平滑化六束角多路系统。该系统输出总能量158 J,能量稳定度约4%,输出脉冲宽度25 ns,靶面有效焦斑直径400μm,焦斑均匀性1.6%,激光功率密度3.7×1012W/cm2。
关键词 角多路系统 均匀性 激光功率密度 像传递
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大功率TEA CO_2激光器系统中电磁干扰的抑制 被引量：15
13
作者 孟范江 郭立红 +1 位作者 杨贵龙 李殿军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期177-182,共6页
大功率TEA CO2激光器系统产生的强电磁干扰主要来源于激光器主放电回路、脉冲火花开关和电源。这种强电磁干扰使大功率TEA CO2激光器控制子系统出现数据混乱、显示屏帧频滚动及功率模块损坏等电磁兼容问题。对大功率TEA CO2激光器系统... 大功率TEA CO2激光器系统产生的强电磁干扰主要来源于激光器主放电回路、脉冲火花开关和电源。这种强电磁干扰使大功率TEA CO2激光器控制子系统出现数据混乱、显示屏帧频滚动及功率模块损坏等电磁兼容问题。对大功率TEA CO2激光器系统中产生强电磁干扰的部位和干扰途径进行了测试及分析。通过调整放电回路的参数降低电磁干扰强度,采用埋入式同轴高压电连接器专利技术对主放电回路进行屏蔽,控制子系统选用PLC为控制核心及屏蔽滤波,软件中输入及输出程序的抗干扰设计等措施,有效地抑制了干扰电磁波在系统内外的传播,解决了大功率TEA CO2激光器系统电磁兼容问题。结果表明:主动降低电磁干扰强度和对电磁干扰源进行屏蔽,提高控制子系统硬件抑噪能力等措施,是抑制电磁干扰,保证激光器控制子系统硬件不受损坏的主要手段。软件抗干扰,是硬件抑制电磁干扰措施的补充和延伸,能使激光器系统具有很高的可靠性。 展开更多
关键词 TEA CO2激光器 电磁兼容 同轴高压电连接器 电磁干扰
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中红外Fe:ZnSe激光技术最新研究进展 被引量：14
14
作者 柯常军 孔心怡 +1 位作者 王然 李志永 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第3期136-142,共7页
3-5μm中红外激光处于大气传输窗口,在分子光谱学、环境遥感、工业加工、空间通讯、光电对抗等领域有重要的应用前景。过渡金属掺杂II-VI族硫化物晶体可以直接实现中红外激光输出,是最有前途的技术途径之一。具有优良物理特性和光谱特性... 3-5μm中红外激光处于大气传输窗口,在分子光谱学、环境遥感、工业加工、空间通讯、光电对抗等领域有重要的应用前景。过渡金属掺杂II-VI族硫化物晶体可以直接实现中红外激光输出,是最有前途的技术途径之一。具有优良物理特性和光谱特性的Fe：ZnSe晶体是高效、宽带可调谐中红外激光介质的有力竞争者,介绍并分析了Fe：ZnSe晶体的光谱特性及其制备方法,综合评述了Fe：ZnSe激光技术的发展历程和最新研究进展,指出制备高光学质量的Fe：ZnSe晶体和研制3μm波段高效、高能窄脉冲泵浦源是发展实用室温Fe：ZnSe激光器当前面临的挑战。并对实现室温高能、高功率Fe：ZnSe激光的关键问题进行了讨论。 展开更多
关键词 Fe:ZnSe晶体 光谱特性 宽带调谐 中红外激光 HF激光
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平滑化窄脉冲高功率准分子激光放大技术 被引量：11
15
作者 赵学庆 刘晶儒 +9 位作者 易爱平 薛全喜 华恒祺 钱航 郑国鑫 胡云 张永生 黄珂 黄超 于力 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期397-406,共10页
对于高功率准分子激光,光学角多路和诱导空间非相干（EFISI）光束平滑是高功率准分子激光压缩脉宽、提高功率密度和实现靶面均匀辐照的有效途径,其应用涉及前端至靶前的各个环节,主要体现为平滑化窄脉冲激光的传输放大问题。首先介绍了... 对于高功率准分子激光,光学角多路和诱导空间非相干（EFISI）光束平滑是高功率准分子激光压缩脉宽、提高功率密度和实现靶面均匀辐照的有效途径,其应用涉及前端至靶前的各个环节,主要体现为平滑化窄脉冲激光的传输放大问题。首先介绍了基于散射法开展的部分相干源前端技术及脉冲整形的初步研究结果,利用直接法和反射率耦合方法,研究了5台激光放大器增益特性。然后,讨论了窄脉宽激光放大时的自发辐射放大（ASE）控制技术,最后,介绍了窄脉冲激光放大实验系统。实验获得了预期的实验结果,输出能量为56 J,激光脉宽约10 ns,聚焦光斑约Φ300μm。单路系统实验结果表明,系统放大链和光学设计合理,基本满足角多路MOPA系统的技术验证要求,为系统工程设计奠定基础。 展开更多
关键词 准分子激光 高功率激光 激光放大 光束平滑
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大功率TEA CO_2激光器的电磁辐射测试及屏蔽方舱设计 被引量：8
16
作者 葛欣宏 郭立红 +3 位作者 孟范江 于洪君 王思雯 王鹤淇 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期983-991,共9页
为了抑制大功率TEA CO2激光器对其他电子设备的电磁干扰,在测量并分析激光器的近场电磁辐射特性的基础上,设计了电磁屏蔽方舱并进行了实验验证。根据大功率TEA CO2激光器的工作原理,分析了激光器工作过程中的主要电磁辐射源;结合电磁辐... 为了抑制大功率TEA CO2激光器对其他电子设备的电磁干扰,在测量并分析激光器的近场电磁辐射特性的基础上,设计了电磁屏蔽方舱并进行了实验验证。根据大功率TEA CO2激光器的工作原理,分析了激光器工作过程中的主要电磁辐射源;结合电磁辐射理论与激光器的实际结构,确定了电磁辐射测试的主要部位为火花开关、主回路、激光器出光口处。分析测试结果,得到了激光器近场不同方位的主要辐射频率及辐射场特性,据此设计了屏蔽方舱,并在屏蔽方舱门处进行了屏蔽效能验证。结果表明,大功率TEA CO2激光器在近场区的电磁辐射源为磁场源,据此设计的屏蔽方舱其屏蔽效能整体达到40dB以上,部分频率的屏蔽效能达到60dB以上。 展开更多
关键词 大功率TEACO2激光器 电磁辐射 近场探头 电磁兼容 屏蔽方舱 屏蔽效能
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CO_2激光抽运太赫兹成像研究新进展 被引量：8
17
作者 李琦 姚睿 +2 位作者 尹奇国 单纪鑫 王骐 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期151-155,158,共6页
为了研究基于CO_2激光抽运的远红外激光源的太赫兹2维成像方法的各自特点和今后的发展方向,在介绍CO_2激光抽运的远红外激光源的基本工作原理及美、英两国典型产品SIFlR-50FPL和FIRL100激光器的基础上,重点介绍了国内外近几年的主要成... 为了研究基于CO_2激光抽运的远红外激光源的太赫兹2维成像方法的各自特点和今后的发展方向,在介绍CO_2激光抽运的远红外激光源的基本工作原理及美、英两国典型产品SIFlR-50FPL和FIRL100激光器的基础上,重点介绍了国内外近几年的主要成像研究成果,并对其成像特性进行了简要评述。最后总结出CO_2激光抽运太赫兹成像研究的发展趋势是大力发展能远距离成3维像的太赫兹雷达、能实时成像的焦平面探测及实时图像处理和目标自动识别系统。 展开更多
关键词 激光器 气体激光器 太赫兹成像 太赫兹雷达 2维扫描
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声光调QCO_2激光器 被引量：13
18
作者 谢冀江 李殿军 +1 位作者 张传胜 郭汝海 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1008-1013,共6页
为满足激光测距、环境探测、空间通讯及激光与物质相互作用机理研究等领域应用要求,研制了声光调QCO2激光器。针对影响声光调QCO2激光器输出的各种因素,利用调Q脉冲激光器速率方程对该激光器输出的主要技术参数进行了理论分析和计算,提... 为满足激光测距、环境探测、空间通讯及激光与物质相互作用机理研究等领域应用要求,研制了声光调QCO2激光器。针对影响声光调QCO2激光器输出的各种因素,利用调Q脉冲激光器速率方程对该激光器输出的主要技术参数进行了理论分析和计算,提出了声光调QCO2激光器优化设计的方法,并进行了验证实验。激光器脉冲重复频率为1Hz^50 kHz,在1 kHz运转时获得的输出激光脉冲宽度为180 ns,峰值功率为4 062 W,与理论计算基本一致。结果证明:通过声光晶体(AO)的优选及谐振腔的合理设计,可实现小型CO2激光器的高重频、窄脉宽,高峰值功率输出,并可通过光栅选线的设计方式和TTL信号控制实现此类激光器的波长调谐和编码输出。 展开更多
关键词 激光技术 CO2激光器 声光调Q 速率方程
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KrF激光脉冲整形研究 被引量：10
19
作者 王双义 吕志伟 +3 位作者 林殿阳 王超 高洪岩 董永康 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1669-1673,共5页
实验研究了脉冲堆积法对KrF激光的整形能力.利用受激布里渊散射(SBS)压缩脉冲获得了脉宽为3～5 ns的短脉冲,用4束激光堆积获得了脉宽为10～15 ns、平顶宽度为5～10 ns的整形脉冲.利用实测SBS脉冲数据,对脉冲堆积法进行了数值模拟,模拟... 实验研究了脉冲堆积法对KrF激光的整形能力.利用受激布里渊散射(SBS)压缩脉冲获得了脉宽为3～5 ns的短脉冲,用4束激光堆积获得了脉宽为10～15 ns、平顶宽度为5～10 ns的整形脉冲.利用实测SBS脉冲数据,对脉冲堆积法进行了数值模拟,模拟的脉冲宽度为12.7 ns,平顶宽度为7.7 ns,该结果与实验相符.对脉冲堆积法的任意整形能力进行了模拟,讨论了脉冲宽度变化对整形的影响,发现脉宽变化在5%以内时,对整形脉冲的影响较小.对整形脉冲的放大进行了定性研究,结果表明:平顶脉冲通过放大器后,前沿部分放大较多,由于饱和作用,后沿放大较少;如果前端整形脉冲前沿为斜坡状,放大后可以得到近平顶的脉冲. 展开更多
关键词 受激布里渊散射 脉冲整形 数值模拟 KRF激光
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高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究 被引量：8
20
作者 王效顺 梁勖 +2 位作者 游利兵 赵家敏 方晓东 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期763-766,共4页
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提... 为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。 展开更多
关键词 激光器 能量稳定 比例积分算法 高重复频率 ArF准分子激光器
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