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基于EBAPS的光响应非均匀性测试方法研究
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作者 刘秀娟 杨晔 +1 位作者 郑舟 刘欢 《应用光学》 北大核心 2025年第3期682-688,共7页
电子轰击有源像素传感器(electron bombardment active pixel sensor,EBAPS)的光响应非均匀性是指EBAPS中光电阴极被均匀光源照射时,不同像素输出灰度不一致的现象,尤其是在低光环境下,图像的非均匀性会使细节识别变得困难,影响后续图... 电子轰击有源像素传感器(electron bombardment active pixel sensor,EBAPS)的光响应非均匀性是指EBAPS中光电阴极被均匀光源照射时,不同像素输出灰度不一致的现象,尤其是在低光环境下,图像的非均匀性会使细节识别变得困难,影响后续图像处理和分析的准确性。光响应非均匀性主要由光电阴极不同区域对光响应的差异、电子敏感互补金属氧化物半导体不同区域的电子倍增特性差异、各像素间对同一激励的响应差异以及读出电路中传输信道的差异性等因素导致。针对EBAPS的非均匀性问题,提出了一种基于EBAPS光电阴极响应、电子倍增以及像素响应非均匀性协同适配的测试方法。实验结果表明,该方法能够有效评价EBAPS的非均匀性,并且能够对器件的测试筛选和算法校正起到指导作用。 展开更多
关键词 电子轰击有源像素传感器 非均匀性 光响应 测试方法 测试模型
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基于电子轰击型有源像素传感器的瞄准镜光学系统设计 被引量:1
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作者 王司龙 胡健钏 +4 位作者 孙爱平 李训牛 曹新飞 董江涛 陈洁 《红外技术》 北大核心 2025年第2期148-158,共11页
为了实现低照度探测,基于北方夜视股份有限公司电子轰击型有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)设计一款昼夜兼容光电瞄准镜。首先分析EBAPS传感器的成像特性,结合传感器昼夜分模式分焦面的特点,选择折射式初... 为了实现低照度探测,基于北方夜视股份有限公司电子轰击型有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)设计一款昼夜兼容光电瞄准镜。首先分析EBAPS传感器的成像特性,结合传感器昼夜分模式分焦面的特点,选择折射式初始结构,以机械调焦的方式满足器件分焦面成像要求。利用CODEV光学设计软件对EBAPS物镜光学系统进行像质优化,并通过调整部分镜组位置实现昼夜模式焦面分离0.3 mm,物镜视场角10°×8.2°,F数1.3,光谱范围450~1000 nm,清晰成像范围5 m~无穷远。同时设计一款视度调节范围为±5D的目镜,搭配OLED微型显示器,光电瞄准镜整机在10-3lx照度空间下满足对直立行走的人有不小于300 m的识别距离。 展开更多
关键词 EBAPS 低照度 机械调焦 分离焦面
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基于EBAPS的昼夜微光成像跟踪系统
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作者 张旭旭 段文博 +4 位作者 张夏疆 王毅 李琦 张卫国 闫磊 《半导体光电》 北大核心 2025年第1期106-112,共7页
电子轰击型有源像素传感器(Electron Bombarded Active Pixel Sensor,EBAPS)作为一种数字化微光成像器件,以其成像系统具有小型化、低成本和低功耗的优势,以及在昼夜条件下连续拍摄时具备清晰成像的能力,成为微光成像领域的研究热点。... 电子轰击型有源像素传感器(Electron Bombarded Active Pixel Sensor,EBAPS)作为一种数字化微光成像器件,以其成像系统具有小型化、低成本和低功耗的优势,以及在昼夜条件下连续拍摄时具备清晰成像的能力,成为微光成像领域的研究热点。文章基于国产某型EBAPS微光器件,利用FPGA作为核心处理器,完成了EBAPS器件驱动电路、图像处理和跟踪电路、显示电路的设计。同时,构建了满足昼夜复用的光学系统,搭建了一种小型化的手持成像跟踪系统。实验结果表明,该EBAPS昼夜成像系统可在1×10^(-4)~1×10^(4) lx照度条件下实现良好的成像和跟踪效果。 展开更多
关键词 数字微光器件 EBAPS 昼夜 FPGA 跟踪
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宽光谱吸收增强的透射式GaAs光电阴极亚波长结构设计
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作者 高毅 过般响 +3 位作者 徐卓 李诗曼 石峰 张益军 《红外技术》 北大核心 2025年第8期963-971,共9页
负电子亲和势GaAs光电阴极具备高量子效率、暗电流小、低发射度、长波扩展潜力大等优势,在真空光电器件和真空电子源等领域具有广泛应用。对于透射式GaAs光电阴极,如何在保证较薄发射层厚度的前提下获得高的量子效率是需要攻克的难题。... 负电子亲和势GaAs光电阴极具备高量子效率、暗电流小、低发射度、长波扩展潜力大等优势,在真空光电器件和真空电子源等领域具有广泛应用。对于透射式GaAs光电阴极,如何在保证较薄发射层厚度的前提下获得高的量子效率是需要攻克的难题。本文提出了采用新型亚波长周期陷光结构的GaAlAs窗口层设计方案,以实现薄发射层透射式GaAs光电阴极宽光谱吸收增强的目的。围绕透射式GaAs光电阴极的光学性能,采用有限时域差分法进行光学仿真,在光电阴极结构设计方面开展了研究。相较传统的平面GaAs光电阴极,具有亚波长陷光结构设计的GaAs光电阴极的光吸收率显著提高。进一步,对周期为600 nm的纳米阵列的线宽、直径、高度、排列等方面进行仿真优化,获得最佳亚波长阵列结构为:线宽为440 nm,高度为490 nm,采用1/4周期交错排列的圆柱阵列,500~930nm波长范围的平均吸收率达到了84.91%,相比传统平面结构在近红外波段提升尤为显著。 展开更多
关键词 GAAS光电阴极 透射式 陷光 亚波长结构 光吸收率
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Delta势垒结构对CMOS图像传感器表面暗电流抑制仿真研究
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作者 钟荣 闫磊 郝昆 《应用光学》 北大核心 2025年第3期689-694,共6页
在CMOS(complementary metal-oxide-semiconductor)图像传感器表面形成具有Delta结构(delta-doping)的势垒可以有效地解决传统CMOS图像传感器在辐照环境中的性能变化问题,势垒宽度、高度参数直接影响CMOS图像传感器表面暗电流,以及表面... 在CMOS(complementary metal-oxide-semiconductor)图像传感器表面形成具有Delta结构(delta-doping)的势垒可以有效地解决传统CMOS图像传感器在辐照环境中的性能变化问题,势垒宽度、高度参数直接影响CMOS图像传感器表面暗电流,以及表面探测信号的效率。假设电子的总能量和横截隧穿方向满足薛定谔方程,计算了隧穿概率以及隧穿高度与宽度的关系,得出Delta掺杂势垒的最小宽度应该在1 nm以上,进而设计掺杂结构和掺杂浓度。讨论了Delta掺杂的CMOS具有高效、稳定和均匀的量子效率,能够提高低能电子探测,并在微光成像以及太空探测中做出贡献。 展开更多
关键词 CMOS Delta掺杂 分子束外延 暗电流 量子隧穿
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一种用于MCP的新型防离子反馈膜 被引量:1
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作者 张妮 孙超 +7 位作者 杨凯莉 朱宇峰 焦岗成 邱洪金 李朋博 郝子恒 黄武军 王江浩 《红外技术》 北大核心 2025年第1期115-120,共6页
传统技术制备的MCP防离子反馈膜在一定程度上会影响像管的信噪比,长时间的工作条件下也会降低像管的可靠性,基于传统防离子反馈膜缺陷导致的像管信噪比和可靠性性能亟需改善和提高的迫切需求,开展一种用于MCP的新型防离子反馈膜研究。... 传统技术制备的MCP防离子反馈膜在一定程度上会影响像管的信噪比,长时间的工作条件下也会降低像管的可靠性,基于传统防离子反馈膜缺陷导致的像管信噪比和可靠性性能亟需改善和提高的迫切需求,开展一种用于MCP的新型防离子反馈膜研究。采用原子层沉积技术(Atomic Layer Deposition,ALD)在有较高长径比的MCP通道内壁及输入端的通道孔处制备一层连续的高质量U型结构的防离子反馈膜,经MCP综合检测装置测试,与传统技术制备的MCP部件性能相比,新型防离子反馈膜致密,增益值较高,部件含碳量低,新型防离子反馈膜的MCP部件经制管后像管信噪比高,寿命可靠性高,此技术制备的新型防离子反馈MCP部件对与像增强器信噪比和可靠性性能的提升具有重要意义。 展开更多
关键词 新型防离子反馈膜 原子层沉积技术 高长径比 信噪比 长寿命
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像增强器品质因素在系统视距评估中的作用
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作者 石峰 丁丹 +1 位作者 拜晓锋 程宏昌 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第10期147-156,共10页
微光夜视系统通过捕捉并增强低光环境下的微弱光信号,显著提升人眼在夜间或黑暗环境中的视觉能力,广泛应用于军事、防务监控和野外探险等领域。其中,视距是衡量其性能的关键指标,受核心器件、环境条件、目标特征及系统参数等多重因素影... 微光夜视系统通过捕捉并增强低光环境下的微弱光信号,显著提升人眼在夜间或黑暗环境中的视觉能力,广泛应用于军事、防务监控和野外探险等领域。其中,视距是衡量其性能的关键指标,受核心器件、环境条件、目标特征及系统参数等多重因素影响。作为核心器件,像增强器的性能直接决定系统的成像质量。品质因素(FOM)作为一种评价方法,以信噪比和极限分辨率为核心参数,能够在一定程度上反映像增强器的性能特征,但其局限性不容忽视。文中基于微光夜视系统视距的定义,深入探讨影响因素,包括光谱匹配、灵敏度、分辨率、信噪比、光阴极面照度及等效背景照度等。在外场试验中,通过分析三代像增强器的实验数据,研究工作分辨率与极限分辨率的偏差,并结合超二代像增强器的实验数据探讨工作分辨率的影响因素。此外,选取四种不同型号的微光夜视仪,对比视距与FOM值的关系,进一步揭示FOM在评估中的局限性,例如未考虑系统动态范围、环境适应性、光谱匹配度及灵敏度等关键因素。文中指出,仅依赖FOM难以全面评估微光夜视系统的性能,需通过完整、多元化的指标体系进行评价,以提升评估的科学性和实用性。 展开更多
关键词 微光夜视系统 像增强器 品质因素 视距
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有机载膜对防离子反馈MCP性能的影响
8
作者 杨凯莉 张妮 +4 位作者 郝子恒 朱宇峰 孙超 高雨挺 王江浩 《红外技术》 北大核心 2025年第2期250-256,共7页
有机载膜作为Al_(2)O_(3)防离子反馈膜制备的临时衬底,其膜层厚度及致密度显著影响防离子反馈微通道板(MCP)的电子透过性及电特性。本文利用台阶仪及金相显微镜研究了有机载膜厚度对其膜层致密度的影响,并结合微通道板综合性能测试台分... 有机载膜作为Al_(2)O_(3)防离子反馈膜制备的临时衬底,其膜层厚度及致密度显著影响防离子反馈微通道板(MCP)的电子透过性及电特性。本文利用台阶仪及金相显微镜研究了有机载膜厚度对其膜层致密度的影响,并结合微通道板综合性能测试台分析膜层厚度对防离子反馈MCP电子透过性及电特性的影响。研究结果证明有机载膜膜层致密度随其厚度的增加而提高;有机载膜厚度低至17 nm时,其膜层致密度低,电子可直接从有机载膜内的微孔穿过,使得带有机载膜及Al_(2)O_(3)薄膜的微通道板具备一定的电子透过性;有机载膜厚度增加至136 nm,膜层致密度显著提升,带有机载膜及Al_(2)O_(3)薄膜的微通道板几乎可阻挡所有入射电子,这也是仅带Al_(2)O_(3)膜的防离子反馈MCP的阈值电压及电子增益损失量随有机载膜厚增加的重要原因;有机载膜厚度处于56~101 nm之间可满足高增益、高致密性防离子反馈MCP的性能最佳需求。 展开更多
关键词 微通道板 有机载膜 电子透过特性 电特性
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柔性浅埋物的声-振智能探测
9
作者 王驰 曹鹏 +2 位作者 黄庆 王超 盛才良 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期661-669,共9页
提出一种基于目标检测算法的柔性浅埋物的声-振智能探测方法,将声波激励、激光散斑干涉测振和目标检测算法有机结合,用以柔性浅埋物的大范围快速探测。在论述YOLO系列目标检测算法原理的基础上,选择并优化柔性浅埋物的智能探测网络模型... 提出一种基于目标检测算法的柔性浅埋物的声-振智能探测方法,将声波激励、激光散斑干涉测振和目标检测算法有机结合,用以柔性浅埋物的大范围快速探测。在论述YOLO系列目标检测算法原理的基础上,选择并优化柔性浅埋物的智能探测网络模型;然后,搭建声-光融合智能探测系统,构建不同柔性浅埋物的激光散斑干涉条纹图数据集;最后,对数据集进行训练和测试,验证该算法用于干涉条纹图识别的可行性。实验结果表明:在给定实验条件下,柔性浅埋物智能探测网络模型的精确率为98.39%,召回率为84.72%,平均识别精度为99.66%。该声-振智能探测方法可以在给定实验环境下对多种柔性浅埋物的激光散斑干涉条纹图进行智能识别,适用于浅层地下柔性掩埋物的大面积快速探测。 展开更多
关键词 声-光融合探测 柔性浅埋物 YOLOv5 声-地震耦合 干涉条纹
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基于Retinex里双分量改进的微光图像增强方法 被引量:8
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作者 陈华腾 刘磊 +2 位作者 钱芸生 邓伟涛 石峰 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第4期819-827,共9页
近年来,微光图像增强技术备受关注,但仍存在一些问题。例如,有时暗区域没有完全改善,有时光源或光源附近的明亮区域曝光过度。针对以上问题,提出了一种基于Retinex模型里照度分量和反射分量双增强的图像增强方法。该方法首先将原始图像... 近年来,微光图像增强技术备受关注,但仍存在一些问题。例如,有时暗区域没有完全改善,有时光源或光源附近的明亮区域曝光过度。针对以上问题,提出了一种基于Retinex模型里照度分量和反射分量双增强的图像增强方法。该方法首先将原始图像由RGB空间转换到HSV空间,并提取其中的V分量进行后续处理;然后对V分量进行引导滤波获得图像照度分量,根据Retinex理论通过分解得到图像的反射分量;接着对照度分量进行全局自适应亮度增强,对反射分量进行多尺度细节加强;再将增强后的照度分量和反射分量按照Retinex模型重构得到V分量重构图,并经过非线性变换处理和局部对比度增强处理;最终转换回RGB空间获得最终增强图。实验结果表明,该方法的峰值信噪比(peak signal-to-noise ratio,PSNR)和结构相似指数(structural similarity index measure,SSIM)评价值分别为17.741和0.765,具有更好的图像质量,较其他方法表现出更好的增强效果。 展开更多
关键词 微光图像增强 Retinex模型 全局亮度增强 局部对比度增强 细节增强
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电子轰击型有源像素传感器(EBAPS)研究进展 被引量:2
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作者 王司龙 孙爱平 +4 位作者 李训牛 余佳桐 周玲玲 陈玉柔 皮冬明 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第10期1120-1129,共10页
电子轰击型有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是一种电子轰击型的数字化微光器件,低功耗、高灵敏度、适用于极低照度探测。本文从EBAPS原理出发,以传感器阴极、阳极内部结构为着手点,阐述EBAPS从光信号输... 电子轰击型有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是一种电子轰击型的数字化微光器件,低功耗、高灵敏度、适用于极低照度探测。本文从EBAPS原理出发,以传感器阴极、阳极内部结构为着手点,阐述EBAPS从光信号输入到数字图像输出的工作过程,分析EBAPS光学系统的结构特点,结合Intevac公司系列EBAPS产品综述EBAPS的发展迭代与应用。最后,总结影响EBAPS传感器性能的各方面因素并展望器件的发展趋势。 展开更多
关键词 EBAPS 数字化微光器件 极低照度探测
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EBAPS闪烁噪声测试系统 被引量:2
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作者 罗振华 成帅 +1 位作者 钱芸生 张益军 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第10期1130-1137,共8页
电子轰击有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是新型的真空-固体混合型数字微光夜视器件。闪烁噪声是影响EBAPS分辨力和成像质量的关键因素,然而,目前EBAPS闪烁噪声的测试研究不足。为此,本文首先开展EBAPS... 电子轰击有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是新型的真空-固体混合型数字微光夜视器件。闪烁噪声是影响EBAPS分辨力和成像质量的关键因素,然而,目前EBAPS闪烁噪声的测试研究不足。为此,本文首先开展EBAPS闪烁噪声测试方法研究,使用连通域检测算法筛选高亮噪点区域,提出异常像素点自适应中值替代的离散系数测试方法,在此基础上研制了EBAPS闪烁噪声测试系统,采用离散系数和高亮噪点数量作为闪烁噪声的表征参数,驱动EBAPS将不同测试条件下采集到的图像数据传输至上位机进行噪声处理与分析,测试结果表明:合适的测试照度为1.27×10^(-3) lx,高亮噪点数量在-1000~-1300 V范围内数量较少,-1300~-1500 V时高亮噪点数量则明显提升。离散系数和连通域数量重复度均在3%以内,验证了测试系统的稳定性,为国产EBAPS闪烁噪声测试提供有效手段。 展开更多
关键词 EBAPS 闪烁噪声 电子倍增 测试系统 连通域检测算法
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基于MI-EMD的激光引信回波信号去噪方法研究 被引量:1
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作者 何海军 胡鹏飞 +3 位作者 田博 苏宏 李林豪 李铁 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期285-290,共6页
为解决激光引信回波信号容易被噪声污染、信噪比低的问题,提出一种基于互信息经验模态分解的激光引信回波信号去噪方法。该方法融合了互信息相关性和经验模态分解自适应性的特点,对基于雷达原理建立的激光引信回波信号进行经验模态分解... 为解决激光引信回波信号容易被噪声污染、信噪比低的问题,提出一种基于互信息经验模态分解的激光引信回波信号去噪方法。该方法融合了互信息相关性和经验模态分解自适应性的特点,对基于雷达原理建立的激光引信回波信号进行经验模态分解,通过互信息及相关阈值区分噪声模态和信号模态,提取出分解信号中的有用信号分量,并将其相关模态进行重构实现噪声的有效去除。实验结果表明:该方法处理后的信噪比提高到了18.8854 dB,均方根误差减小到2.81×10^(-6),且去噪后信号曲线的平滑度较高。该方法能有效滤除激光引信回波信号中的噪声,很好地还原激光引信回波原始信号,保证信号的完整性,为后续激光引信在噪声条件下的精确定距奠定了坚实的基础。 展开更多
关键词 激光引信 回波信号 互信息 经验模态分解 去噪
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基于自编码器结构与改进Bytetrack的低光照行人检测及跟踪算法 被引量:1
14
作者 任泽林 庞澜 +2 位作者 王超 李嘉恒 周方琰 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第3期616-629,共14页
针对夜间低光照场景下目标特征提取困难和跟踪不稳定的问题,提出了基于自编码器结构及改进Bytetrack的多目标行人检测及跟踪算法。在检测阶段,基于YOLOX(you only look once X)搭建多任务自编码变换模型框架,以一种自监督的方式考虑物... 针对夜间低光照场景下目标特征提取困难和跟踪不稳定的问题,提出了基于自编码器结构及改进Bytetrack的多目标行人检测及跟踪算法。在检测阶段,基于YOLOX(you only look once X)搭建多任务自编码变换模型框架,以一种自监督的方式考虑物理噪声模型和图像信号处理(image signal processing,ISP)的过程,通过对真实光照退化变换过程进行编码与解码学习内在视觉结构,并基于这种表示通过解码边界框坐标与类实现目标检测任务。为了抑制背景噪声的干扰,在目标解码器颈部网络引入自适应特征融合模块ASFF。跟踪阶段,基于Bytetrack算法进行改进,将基于Tranformer重识别网络提取到的外观嵌入信息与NSA卡尔曼滤波获得的运动信息通过自适应加权的方法完成数据关联,并通过Byte两次匹配的算法完成夜间行人的跟踪。在自建夜间行人检测数据集上测试检测模型的泛化能力,mAP@0.5达到了94.9%,结果表明本文的退化变换过程符合现实条件,具有良好的泛化能力。最后通过自建夜间行人跟踪数据集验证多目标跟踪性能,实验结果表明,本文提出的夜间低光照行人多目标跟踪算法MOTA(multiple object tracking accuracy)为89.55%,IDF1(identity F1 score)为88.34%,IDs(ID switches)为15。与基准方法Bytetrack相比,MOTA提高了10.72%,IDF1提高了6.19%,IDs减少了50%。结果表明,本文提出的基于自编码结构及改进Bytetrack的多目标跟踪算法可以有效解决在夜间低光照场景下行人跟踪困难的问题。 展开更多
关键词 多任务自编码变换 低光照 YOLOX 目标检测 多目标跟踪
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基于条件生成对抗网络的低照度彩色图像增强算法 被引量:2
15
作者 王珏 洪敏轩 +3 位作者 夏叶桐 徐秀钰 孔筱芳 万敏杰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期308-321,共14页
针对低照度条件下的彩色图像增强问题,提出一种基于条件生成对抗网络(Conditional Generative Adversarial Network,CGAN)的低照度图像增强算法。首先,设计了集成密集连接残差模块和注意力机制模块的生成器网络,更加关注低照度图像中的... 针对低照度条件下的彩色图像增强问题,提出一种基于条件生成对抗网络(Conditional Generative Adversarial Network,CGAN)的低照度图像增强算法。首先,设计了集成密集连接残差模块和注意力机制模块的生成器网络,更加关注低照度图像中的重要目标特征;然后,构建了基于选择性卷积核的判别器网络,使得判别器能够根据输入自适应地调整其感受野大小;接着,通过设计Prewitt边缘损失项和YUV色度损失项分别增强了网络模型对于图像边缘细节的提取能力和对图像色彩畸变的消除能力;最后,在LOL公开数据集上对文中算法分别进行了定性和定量测试。实验结果表明:与目前基于深度学习的低照度彩色图像增强算法相比,文中算法在峰值信噪比(Peak Signal-to-Noise Ratio,PSNR)、结构相似度(Structure Similarity Index Measure,SSIM)和色差(Color Difference,CD)等指标上分别提升了32.7%、57.5%和48.45%,能够较好地克服低照度成像条件下的图像噪声与色偏干扰问题。 展开更多
关键词 密集连接残差 注意力机制 CGAN 低照度成像 彩色图像增强
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基底均匀掺杂下EBCMOS空间分辨率的影响因素研究
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作者 郑佳彤 宋德 +3 位作者 石峰 姜北 张桐 陈卫军 《红外与激光工程》 CSCD 北大核心 2024年第12期208-215,共8页
电子轰击互补金属氧化物半导体(EBCMOS)是一种结合电子束轰击和CMOS技术的先进成像技术。为提升EBCMOS的成像质量,获得高分辨率的EBCMOS微光成像器件,对EBCMOS电子倍增层结构均匀掺杂下的空间分辨率的影响因素进行了研究。依据载流子传... 电子轰击互补金属氧化物半导体(EBCMOS)是一种结合电子束轰击和CMOS技术的先进成像技术。为提升EBCMOS的成像质量,获得高分辨率的EBCMOS微光成像器件,对EBCMOS电子倍增层结构均匀掺杂下的空间分辨率的影响因素进行了研究。依据载流子传输和复合理论结合蒙特卡洛方法,建立了EBCMOS中电子倍增层内空间分辨率理论计算模型。模拟分析了在基底均匀掺杂下基底厚度、基底掺杂浓度以及入射电子能量对EBCMOS分辨率的影响。研究结果表明,在基底均匀掺杂结构下对基底进行减薄和降低基底掺杂浓度可以缩小倍增电子的扩散半径,进而获得高分辨率的成像器件;改变入射电子能量对倍增电子聚焦和分辨率的影响不大。经优化基底均匀掺杂结构下基底厚度为10μm、基底掺杂浓度为10^(14) cm^(−3)、入射电子能量为1 keV时极限分辨率可达37 lp/mm,文中工作将为优化电子倍增层结构和提升EBCMOS分辨率提供理论基础。 展开更多
关键词 EBCMOS 分辨率 均匀掺杂 微光成像
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低能电子轰击引起氧化铝钝化膜BCMOS传感器暗电流变化研究 被引量:2
17
作者 闫磊 石峰 +7 位作者 程宏昌 焦岗成 杨晔 肖超 樊海波 郑舟 董海晨 何惠洋 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第3期342-346,共5页
针对低能电子(电子能量为300~1500 eV)轰击引起氧化铝钝化层BCMOS(Back-thinned Complementary Metal-Oxide-Semiconductor,BCMOS)图像传感器暗电流增加问题,设计了电子轰击BCMOS图像传感器实验,经统计发现,对于厚度为10 nm的氧化铝钝化... 针对低能电子(电子能量为300~1500 eV)轰击引起氧化铝钝化层BCMOS(Back-thinned Complementary Metal-Oxide-Semiconductor,BCMOS)图像传感器暗电流增加问题,设计了电子轰击BCMOS图像传感器实验,经统计发现,对于厚度为10 nm的氧化铝钝化层BCMOS图像传感器,轰击能量大于600 eV时暗电流增加速率明显;轰击电子能量不超过1.5 keV时,暗电流存在最大值,约为12000 e-/pixel/s;电子轰击后的BCMOS图像传感器在电子干燥柜中静置时,其暗电流呈指数趋势下降。通过分析指出入射电子引起氧化铝钝化层与硅界面处缺陷态增加,是引起上述现象的主要原因。 展开更多
关键词 暗电流 电子轰击 背减薄CMOS 氧化铝钝化层
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EBAPS的调制传递函数测试系统
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作者 周潮虹 钱芸生 张景智 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第5期992-1000,共9页
电子轰击有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是一种新型的真空-固体混合型微光夜视器件,而调制传递函数(modulation transfer function,MTF)作为EBAPS的性能参数之一,能够反映成像系统对不同频率成分的传递... 电子轰击有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)是一种新型的真空-固体混合型微光夜视器件,而调制传递函数(modulation transfer function,MTF)作为EBAPS的性能参数之一,能够反映成像系统对不同频率成分的传递能力,但目前国内缺少相应的测试手段。因此,为了表征并评价EBAPS的成像质量,基于像增强器狭缝法测试MTF的原理,设计并搭建了一套EBAPS的MTF测试系统。通过驱动EBAPS器件,利用USB接口将采集到的数据传输至上位机进行图像分析,对狭缝图像进行处理获得线扩散函数(line spread function,LSF),经离散傅里叶变换后得到相应的调制传递函数曲线。在狭缝靶标处照度为2×10^(-2) lx时,一定范围内随着电压升高,EBAPS的MTF先升高后降低,且在外加-1 000 V时取得最大值。在光成像模式下,微调狭缝与传感器成像面的相对位置,连续5次测试得到几个重要频率点的MTF值的标准差均低于0.01,稳定性较好。 展开更多
关键词 调制传递函数 电子轰击 线扩散函数 有源像素传感器 成像质量
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偏振-微光一体化EMCCD相机的设计与开发 被引量:1
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作者 那启跃 姜恺文 +2 位作者 徐建东 沈吉 常维静 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第2期321-328,共8页
多维度的信息获取是微光夜视探测技术未来的发展方向,偏振成像是光电探测领域中的一种维度,偏振相机的研制是研究偏振成像技术的前提。基于集成偏振阵列结构的电子倍增CCD(electron multiplying CCD, EMCCD)器件,集合EMCCD微光探测的优... 多维度的信息获取是微光夜视探测技术未来的发展方向,偏振成像是光电探测领域中的一种维度,偏振相机的研制是研究偏振成像技术的前提。基于集成偏振阵列结构的电子倍增CCD(electron multiplying CCD, EMCCD)器件,集合EMCCD微光探测的优势和偏振维度的探测功能,论述了偏振-微光一体化相机的硬件电路设计和开发方案,完成偏振维度信息与光强度信息一机同步采集作业,并通过FPGA对原始数据进行偏振运算与图像传输处理。搭建测试系统,对设计与开发的偏振样机进行性能测试。实验结果表明,在温度273 K、读出频率2 MHz条件下,器件的读出噪声为8.81e-,动态范围约为74 dB,样机的消光比可达50.95,透过率可达60.16%,并可实时地选择性输出偏振度图像、偏振角图像、光强度与偏振融合图像,极大地提高了夜间环境下对目标的识别探测能力。 展开更多
关键词 EMCCD 偏振成像 微光 一体化 识别探测
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MCP部件制备用有机膜溶液配制技术及应用研究 被引量:1
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作者 张妮 程耀进 +7 位作者 朱宇峰 杨凯莉 孙超 李朋博 郝子恒 邱洪金 严诚 高雨挺 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第7期838-842,共5页
微通道板(Micro-channel Plate,简称MCP)有上百万通孔,MCP部件输入面防离子反馈膜的制备需要连续致密的有机膜做临时载体,因此有机膜是MCP防离子反馈膜制备的一项重要影响因素,为了满足防离子反馈MCP部件批量化生产的需求,需要提高有机... 微通道板(Micro-channel Plate,简称MCP)有上百万通孔,MCP部件输入面防离子反馈膜的制备需要连续致密的有机膜做临时载体,因此有机膜是MCP防离子反馈膜制备的一项重要影响因素,为了满足防离子反馈MCP部件批量化生产的需求,需要提高有机膜的制作效率及合格率。本文分析了提高有机膜制作成品率的方法,使有机膜的成品率提升30个百分点,这对于MCP部件制备成品率及效率的提升具有重要意义,同时MCP部件制备用有机膜溶液配制技术对于高可靠性像管三代化的实现也具有重要的推动作用。 展开更多
关键词 有机膜液 制作效率 合格率 配制技术
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