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集成梳齿电容位移传感器的静电驱动MEMS光学移相器研究
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作者 韩雨薇 夏彧虎 +3 位作者 周碧青 蔡敏力 王潇悦 吴亚明 《功能材料与器件学报》 2025年第4期292-301,共10页
提出并制作一种集成梳齿电容位移传感器的静电驱动型微机电系统(MEMS)光学移相器。针对当前MEMS光学移相器普遍存在的驱动电压较高、控制精度不足问题,通过设计镂空蛇形弹性梁结构,在有限芯片尺寸内减小了弹性梁的面外垂直运动刚度以降... 提出并制作一种集成梳齿电容位移传感器的静电驱动型微机电系统(MEMS)光学移相器。针对当前MEMS光学移相器普遍存在的驱动电压较高、控制精度不足问题,通过设计镂空蛇形弹性梁结构,在有限芯片尺寸内减小了弹性梁的面外垂直运动刚度以降低驱动电压,并通过集成梳齿电容位移传感器来构建光学镜面位移传感系统,从而提高控制精度。实验结果表明,在59 V驱动电压下,微镜可实现2.1395πrad的光学相位调制量,集成的梳齿电容传感器的检测误差小于0.5 fF,对应的光学移相误差小于0.0162πrad。作为相位调控器件,该器件在光通信系统和矢量相控阵等方面展现了良好的应用前景。 展开更多
关键词 微机电系统 光学移相器 微镜 静电驱动
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