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混合式PtSi—SBIRFPA的进展
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作者 程开富 《四川真空》 1997年第1期29-33,共5页
着重介绍混合式硅化铂肖特基势垒红外焦平面阵列（ＨＰｔＳｉ－ＳＢＩＲＦＰＡ）的典型结构和现状。
关键词 硅化铂 肖特基势垒 传感器 红外焦平面阵列
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