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电子束偏放输出温度漂移的自动补偿 被引量：2
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作者 尹明 孙晓军 张玉林 《微细加工技术》 1999年第1期39-43,共5页
分析了ＳＤＳ－２多功能电子束扫描系统输出温度漂移的主要因素，经过理论分析提出了一种减少温度漂移的有效方法，实验表明此方法有很好的温度漂移的自动补偿。
关键词 扫描系统 温度漂移 偏放 补偿 电子束
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