热阴极的研究进展 被引量：1

1

作者 刘燕文 尚新文 +3 位作者 陆玉新 田宏 赵恒邦 王小霞 《真空》 2025年第1期1-9,共9页

微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等领域,热阴极作为真空电子器件的核心,其性能将直接影响微波器件的寿命及输出性能,这对阴极提出了很高的要求。温度对热阴极发射性能会产生非常大的影响,因此准确地... 微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等领域,热阴极作为真空电子器件的核心,其性能将直接影响微波器件的寿命及输出性能,这对阴极提出了很高的要求。温度对热阴极发射性能会产生非常大的影响,因此准确地确定热阴极的温度非常重要。本研究介绍了热阴极的发展历史,总结对比了不同阴极及其热电子发射性能,包括纳米粒子薄膜阴极和传统覆膜阴极热电子发射均匀性的对比,以及传统覆膜阴极、浸渍阴极和纳米粒子薄膜阴极蒸发速率与温度的关系等。并且利用光学测温仪、红外测温仪、热电偶测温仪(铂铑-铂)对覆膜阴极表面、扩散阴极表面及阴极侧面(钼)的温度进行了对比测试研究。 展开更多

关键词 微波真空电子器件 热阴极 温度 金属阴极 氧化物阴极 浸渍阴极

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用于浸渍阴极的钨海绵基体的净化 被引量：13

2

作者 刘燕文 田宏 +5 位作者 陆玉新 石文奇 朱虹 方有为 谷兵 王小霞 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期144-149,共6页

微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,这些器件需要电流发射稳定、蒸发小、寿命长的浸渍阴极,阴极性能好坏将直接影响微波器件的寿命及输出性能,这对浸渍阴极钨海绵基体制备工艺提出了很高要求。... 微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,这些器件需要电流发射稳定、蒸发小、寿命长的浸渍阴极,阴极性能好坏将直接影响微波器件的寿命及输出性能,这对浸渍阴极钨海绵基体制备工艺提出了很高要求。本文首先分析研究了传统净化工艺制备的阴极钨海绵基体,发现化学去铜过程中会有一些杂质沉淀在阴极钨海绵基体上;另外,传统净化方法去铜时间很长,一般在几十至几百小时;同时化学去铜也会造成环境污染。为了克服传统净化工艺的缺点,利用金属材料饱和蒸汽压的物理特性,将阴极钨铜合金基体直接放入真空室内的加热坩埚中,通过高(中)频加热线圈对坩埚进行局部加热,从而使含有铜的阴极钨铜合金基体被加热,使其中的铜迅速蒸发而沉积到冷凝器上并形成铜钟乳。实验结果表明直接进行真空高温去铜工艺技术具有去铜彻底、基体表面没有残留污渍、时间短、对高温炉无污染、对环境无污染等优点。对实验结果进行了理论分析计算,计算结果与实验结果相符合。 展开更多

关键词 微波真空电子器件 浸渍阴极 钨铜合金 钨海绵基体 真空加热

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平栅极结构碳纳米管场发射性能实验 被引量：10

3

作者 钟寿仙 李广山 +2 位作者 李振红 任兆玉 田进寿 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期119-122,共4页

研究了碳纳米管(CNT)场发射显示器(FED)三电极结构的平栅极结构,得到了进一步降低场致发射的开启电压和缩小动态调制电压范围的方法,同时也为相关的场发射安全操作提供了借鉴。实验表明:二极结构场发射调制电压范围较大,调制电压达上千... 研究了碳纳米管(CNT)场发射显示器(FED)三电极结构的平栅极结构,得到了进一步降低场致发射的开启电压和缩小动态调制电压范围的方法,同时也为相关的场发射安全操作提供了借鉴。实验表明:二极结构场发射调制电压范围较大,调制电压达上千伏,而在三电极的平栅极结构中通过调节阳极电压不仅可控制显示亮度,还对栅极调制电路有保护作用。适当升高阳极电压、适当缩短阴极和阳极之间的距离以及阴栅极经老化后可减小栅极调制电压,同时还能有效的降低场致发射的动态调制电压的范围。这对新一代的显示器研制提供帮助。 展开更多

关键词 碳纳米管 场发射 调制电压 平栅极结构

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碳纳米管场发射器件新型阴极的研究 被引量：7

4

作者 狄云松 雷威 +3 位作者 张晓兵 崔云康 穆辉 程静 《电子器件》 EI CAS 2006年第1期62-64,共3页

碳纳米管场发射显示器件(CNTFEDs)中阴极的制备和表面处理一直是其中的关键环节而备受关注,本文通过光刻技术、丝网印刷技术、表面超声等流程制作带有平整电阻层的发射阴极,并对该阴极进行场发射测试,并通过扫描电镜(SEM)照片分析阴极表... 碳纳米管场发射显示器件(CNTFEDs)中阴极的制备和表面处理一直是其中的关键环节而备受关注,本文通过光刻技术、丝网印刷技术、表面超声等流程制作带有平整电阻层的发射阴极,并对该阴极进行场发射测试,并通过扫描电镜(SEM)照片分析阴极表面,发现开启电场、发射均匀性及电流稳定性比以前未加处理的阴极有很大程度上的改善。此法适合于大面积的碳纳米管场发射显示的阴极制作。 展开更多

关键词 碳纳米管 场发射 阴极 发射性能

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碳纳米管冷阴极大电流发射机理的研究 被引量：2

5

作者 雷威 杨扬 +1 位作者 张晓兵 娄朝刚 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期80-82,89,共4页

本文对碳纳米管冷阴极的场致发射机理进行了理论和实验研究.研究发现,如果场致发射冷阴极的发射面积很小,有可能得到较大的发射电流密度.当发射面积增加时,冷阴极的平均发射电流密度迅速下降,很难得到大的束电流.研究表明,在碳纳米管冷... 本文对碳纳米管冷阴极的场致发射机理进行了理论和实验研究.研究发现,如果场致发射冷阴极的发射面积很小,有可能得到较大的发射电流密度.当发射面积增加时,冷阴极的平均发射电流密度迅速下降,很难得到大的束电流.研究表明,在碳纳米管冷阴极的场致发射现象中,边沿场的场致发射现象起着非常重要作用.如果仅仅增加发射面积,边沿发射电流增加不多,这导致了平均发射电流密度的下降.因此,在阴极结构中增加发射体的边沿,则可有效提高阴极的发射电流. 展开更多

关键词 冷阴极 大电流发射 电流密度 边沿场

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碳纳米管场发射显示器中栅极技术的研究 被引量：2

6

作者 狄云松 王博 +3 位作者 雷威 张晓兵 崔云康 程静 《电子器件》 EI CAS 2006年第4期1007-1009,1014,共4页

碳纳米管场发射显示器件的研究已在各个国家开展了许多年,但仍然有很多的问题亟待解决,如碳纳米管作为阴极发射材料的发射均匀性、开启电场、栅极结构的制作、荧光屏制作、真空封装等困难。本文研究了碳纳米管场发射器件的几种结构、特... 碳纳米管场发射显示器件的研究已在各个国家开展了许多年,但仍然有很多的问题亟待解决,如碳纳米管作为阴极发射材料的发射均匀性、开启电场、栅极结构的制作、荧光屏制作、真空封装等困难。本文研究了碳纳米管场发射器件的几种结构、特性及其制作工艺,重点阐述了前栅极结构碳纳米管场发射显示器件中在栅极制作和阴极材料装配的瓶颈,并提出了一种栅极制作和阴极保护的方法,并运用此方法在实验室制作了三极结构器件进行验证,有效地解决了制作前栅极结构的困难,为制作大面积碳纳米管场发射显示屏提供了可行性方案。 展开更多

关键词 碳纳米管 场发射 三极结构 栅极制作

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大尺寸CNT-FED阴极制备研究 被引量：1

7

作者 王琦龙 雷威 +3 位作者 张晓兵 王保平 周雪东 张宇宁 《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期261-264,共4页

提出了两种碳纳米管场致发射阴极的制备方法,包括雾化喷涂法和丝网印刷法,对碳纳米管的提纯分散、浆料配制、浆料喷涂和印刷方法等进行了细致的研究,并结合模型计算、电镜分析、发射性能测试,对两种制备发射阴极的方法进行了比较和分析... 提出了两种碳纳米管场致发射阴极的制备方法,包括雾化喷涂法和丝网印刷法,对碳纳米管的提纯分散、浆料配制、浆料喷涂和印刷方法等进行了细致的研究,并结合模型计算、电镜分析、发射性能测试,对两种制备发射阴极的方法进行了比较和分析,结果表明丝网印刷阴极技术更适用于大尺寸的碳纳米管场致发射显示.文中对阴极后处理技术也进行了相关的讨论. 展开更多

关键词 碳纳米管 场致发射 阴极 平板显示 制备方法

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射频磁控溅射制备SiO_2膜 被引量：2

8

作者 陈国平 张随新 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第5期310-316,共7页

利用石英靶射频磁控溅射制备SiO2膜的工艺，采用L型阻抗匹配网络，并计算得到了等离子体的等效电容及等效电导。指出射频功率密度是最重要的沉积参数，靶面自偏压及SiO2膜沉积速率均随功率密度的增加而线性增加。溅射气压及氧分压对自... 利用石英靶射频磁控溅射制备SiO2膜的工艺，采用L型阻抗匹配网络，并计算得到了等离子体的等效电容及等效电导。指出射频功率密度是最重要的沉积参数，靶面自偏压及SiO2膜沉积速率均随功率密度的增加而线性增加。溅射气压及氧分压对自偏压的影响较小，但两者的增加将导致SiO2沉积速率的降低。制备了可见光区透光性良好，折射率为1．46，沉积速率为35nm／min的SiO2膜。 展开更多

关键词 射频磁控溅射 阻抗匹配 二氧化硅膜

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对向靶溅射制备NiCr-NiSi薄膜热电偶的动态特性研究 被引量：1

9

作者 刘裕光 姜恩永 +1 位作者 刘明升 程启 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第5期317-320,共4页

用对向靶溅射制备NiCr－NiSi薄膜热电偶，实现了薄膜成分与靶材基本一致。对热电偶进行动态特性测试表明，薄膜热电偶的时间常数τ随膜厚变薄而减小，并对此进行讨论。

关键词 对向靶溅射 薄膜热电偶 时间常数

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用于浸渍阴极的钨海绵基体制备 被引量：3

10

作者 刘燕文 张连正 +7 位作者 陆玉新 田宏 石文奇 朱虹 李芬 谷兵 赵恒帮 王小霞 《真空电子技术》 2020年第1期41-47,共7页

微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,这些器件需要电流发射稳定、蒸发小、寿命长的浸渍阴极,进而对浸渍阴极钨海绵基体制备工艺提出了很高要求。本文首先利用分级技术对钨粉进行了分级,制备出流... 微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,这些器件需要电流发射稳定、蒸发小、寿命长的浸渍阴极,进而对浸渍阴极钨海绵基体制备工艺提出了很高要求。本文首先利用分级技术对钨粉进行了分级,制备出流动性好颗粒均匀的钨粉。采用气体纯化与检测系统,可以除掉氢气中残余的氧和水,使氢气的露点降至-90℃以下,为制备无氧化的钨海绵基体提供良好的烧结气氛。采用真空去铜技术,制备出表面非常光洁,没有任何污渍和杂质沉淀的阴极基体,利用X射线能量色散谱(EDX)分析了制备的阴极基体断面,结果表明新方法达到了传统化学去铜及再高温去铜后的效果,新方法更节省时间,更环保。通过调节烧结时间和烧结气氛可以制备出微波器件所需的孔度适宜、闭孔率低的阴极基体,为制备低蒸发、长寿命微波器件的阴极打下基础。 展开更多

关键词 微波真空电子器件 浸渍阴极 钨海绵基体 真空加热

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TIN_x薄膜的特性和俄歇电子能谱分析 被引量：2

11

作者 刘必荣 《真空》 CAS 北大核心 1995年第5期11-15,共5页

采用不同工艺，在Ｆｅ基上气相沉积ＴＩＮｘ薄膜。通过扫描电镜，划痕仪，俄歇电子能谱，粘着力测量仪的观测，分析和计算，给出了膜的形貌，组份，光学特性和力学特性。发现随着ＴＩＮｘ膜中组分及其氧含量的变化，膜的颜色，粘着力，... 采用不同工艺，在Ｆｅ基上气相沉积ＴＩＮｘ薄膜。通过扫描电镜，划痕仪，俄歇电子能谱，粘着力测量仪的观测，分析和计算，给出了膜的形貌，组份，光学特性和力学特性。发现随着ＴＩＮｘ膜中组分及其氧含量的变化，膜的颜色，粘着力，ＴＩＮｘ膜的均匀性都发生显著的变化。本文还采用一种与文献不同的方法，较为简便地处理了俄歇谱中Ｔｉ和Ｎ峰的重造现象。 展开更多

关键词 沉积 俄歇电子能谱 粘着力 钛 氮 薄膜

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碳纳米管场致发射显示(CNT-FED)的新型灰度等级调制方式

12

作者 李晨 雷威 +4 位作者 张晓兵 宗耿 张宇宁 马晓燕 金笑丛 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期32-35,共4页

碳纳米管在显示领域的一个比较重要的应用就是作为场发射显示器件的发射体.和其他平板显示器件一样,矩阵寻址方式也通常被用作为CNT-FED的驱动方式.本文主要探讨平板显示中的几种常见的灰度等级实现方式,特别提出根据现有的工艺条件,用... 碳纳米管在显示领域的一个比较重要的应用就是作为场发射显示器件的发射体.和其他平板显示器件一样,矩阵寻址方式也通常被用作为CNT-FED的驱动方式.本文主要探讨平板显示中的几种常见的灰度等级实现方式,特别提出根据现有的工艺条件,用脉冲宽度调制(PWM Pulse width modulation)方式实现二极管结构CNT-FED的32级灰度调制. 展开更多

关键词 脉冲宽度调制 灰度等级调制 场致发射显示 碳纳米管

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CVD法和丝印法制作的碳纳米管场致发射冷阴极的研究

13

作者 穆辉 张晓兵 +2 位作者 雷威 娄朝刚 朱春晖 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期83-85,共3页

本文研究了丝网印刷法和CVD生长法制备的碳纳米管冷阴极的场致发射性能.结果表明,在没有模板的情况下,通过CVD生长的碳纳米管的直径与催化剂颗粒的直径有关,随催化剂颗粒的直径变化而变化,生长方向是随机的,但大电流发射稳定性较差;用... 本文研究了丝网印刷法和CVD生长法制备的碳纳米管冷阴极的场致发射性能.结果表明,在没有模板的情况下,通过CVD生长的碳纳米管的直径与催化剂颗粒的直径有关,随催化剂颗粒的直径变化而变化,生长方向是随机的,但大电流发射稳定性较差;用丝网印刷方法制作的碳纳米管致发射冷阴极,场发射电流发射较稳定. 展开更多

关键词 碳纳米管 丝网印刷 场发射 CVD

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碳纳米管薄膜场发射器件中栅极的调制特性研究

14

作者 狄云松 王维列 +4 位作者 雷威 张晓兵 王保平 崔云康 苏星 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期1-4,共4页

三极结构的场发射器件的研究备受关注,栅极的调制特性是三极结构的主要研究对象.本文通过计算机模拟分析碳纳米管薄膜层表面的电场分布,结合在二极结构中碳纳米管薄膜发射的实验结果,将两者代入Fowler-Nordheim公式中求得三极结构中阴... 三极结构的场发射器件的研究备受关注,栅极的调制特性是三极结构的主要研究对象.本文通过计算机模拟分析碳纳米管薄膜层表面的电场分布,结合在二极结构中碳纳米管薄膜发射的实验结果,将两者代入Fowler-Nordheim公式中求得三极结构中阴极发射电流,得到不同栅极电压对发射电流的调制关系. 展开更多

关键词 薄膜 调制特性 场发射

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场发射金属尖阴极阵列的制备

15

作者 陈德英 唐国洪 《电子器件》 CAS 1996年第4期235-238,共4页

本文采用ＳｉＯ２作锥尖的塑模，再利用塑模制备出场发射金属尖阴极阵列，并给出ＳＥＭ金属尖照片，分析了工艺因素对金属尖的影响。

关键词 场发射 真空微电子器件 金属阴极锥尖

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微型场致发射冷阴极的制作

16

作者 罗援 朱长纯 关辉 《贵州大学学报（自然科学版）》 1994年第3期169-172,共4页

我们利用微电子技术在硅片上制作了微型场致发射冷阴极,并对获得形貌一致的发射阵列尖锥的方法进行了讨论。

关键词 场致发射阴极 冷阴极 湿法刻蚀

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孔度可控扩散式阴极研制进展

17

作者 白振纲 《真空电子技术》 北大核心 1994年第6期41-44,共4页

扼要地阐述了孔度可控扩散式阴极的发展与特性。着重介绍Ｗ＋２５ｗｔ％Ｒｅ合金箔孔度可控扩散式阴极工作范围宽（８５０～１１００℃），发射电流密度大（３～５０Ａ／ｃｍ２）、蒸发少，抗中毒，耐轰击，长寿命的特点。

关键词 扩散式 阴极 孔度可控 电流密度 电真空器件

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用于热阴极的热子绝缘层研究

18

作者 邯娇 张连正 +4 位作者 任峰 赵庆兰 李云 阴生毅 王小霞 《真空电子技术》 2020年第1期48-51,62,共5页

研究了热子涂层的原材料粒度对热子绝缘层质量的影响,粒度过细或过粗,涂层附着不均匀,烧结后涂层表面开裂、起皮、粗糙、掉粉严重。采用粒度级配的配比方案制备了氧化铝涂层,电镜分析表明,涂层致密,质量得到明显改善;与原有工艺相比,氧... 研究了热子涂层的原材料粒度对热子绝缘层质量的影响,粒度过细或过粗,涂层附着不均匀,烧结后涂层表面开裂、起皮、粗糙、掉粉严重。采用粒度级配的配比方案制备了氧化铝涂层,电镜分析表明,涂层致密,质量得到明显改善;与原有工艺相比,氧化铝涂层抗压能力提高了1倍。 展开更多

关键词 微波真空电子器件 热阴极 热子 绝缘层

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像增强管制作过程中的气密性研究 被引量：3

19

作者 王涛 赵文锦 +1 位作者 唐家业 袁志耀 《光电子技术》 CAS 2015年第2期140-143,共4页

作为真空光电器件,像增强管的气密性封装直接决定了整管的性能和可靠性。一般而言,像增强管制作过程中涉及的封接工艺有热铟封、钎焊、低熔点玻璃粉熔封和金属熔融焊。本文从生产实际出发,探讨了低熔点玻璃粉熔封和金属熔融焊对像增强... 作为真空光电器件,像增强管的气密性封装直接决定了整管的性能和可靠性。一般而言,像增强管制作过程中涉及的封接工艺有热铟封、钎焊、低熔点玻璃粉熔封和金属熔融焊。本文从生产实际出发,探讨了低熔点玻璃粉熔封和金属熔融焊对像增强管气密性的影响,并提出了工艺改进措施,结果表明,像增强管的可靠性和成品率均有明显的提升。 展开更多

关键词 像增强管 封接 气密性

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“磁脉冲挤压法”组合降压收集极的新工艺 被引量：1

20

作者 王薇 丁宇杰 +3 位作者 张宁江 孙自强 丁晟 史召臣 《电子器件》 CAS 北大核心 2012年第3期276-279,共4页

微波管中收集极要受到电子束轰击而发热,如果散热不及时,会出现收集极内表面熔蚀。收集极的散热问题、绝缘问题以及降压问题要同时考虑。降压收集极组件如果装配不紧密,收集极散热的效果就变差,导致大量放气,整管寿命缩短;挤压过紧则容... 微波管中收集极要受到电子束轰击而发热,如果散热不及时,会出现收集极内表面熔蚀。收集极的散热问题、绝缘问题以及降压问题要同时考虑。降压收集极组件如果装配不紧密,收集极散热的效果就变差,导致大量放气,整管寿命缩短;挤压过紧则容易使陶瓷材料断裂,导致收集极的绝缘、耐压性能变差。运用国际上先进的磁脉冲挤压法技术,经过30多次试验,成功组合各类降压收集极40只。采用这种新工艺完全能够解决降压收集极组合的问题。 展开更多

关键词 收集极 高可靠 磁脉冲挤压技术 快速成型

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