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胶带输送机上物料重量测量系统的设计 被引量:4
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作者 张石平 《工矿自动化》 北大核心 2007年第2期55-57,共3页
采用称重传感器测量胶带输送机上的物料重量,并以单片机为计算和控制的核心元件,对传感器送来的信号进行必要的分析、控制、处理和驱动显示,实现了重量的在线动态测量和控制。
关键词 胶带输送机 重量在线测量 称重传感器 单片机
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压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备 被引量:4
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作者 冯可 佟建华 +2 位作者 王宇 方东明 夏善红 《科学技术与工程》 北大核心 2015年第8期90-94,共5页
提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同... 提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同时具有屏蔽电场和感应电荷功能。对传感器感应电荷的能力进行了计算;并根据计算结果和工艺要求设计了传感器的参数。该微型电场传感器采用微加工技术制作,每根悬臂梁为多层复合结构(Al/Si3N4/Pt/PZT/Pt/Ti/Si O2/Si),其中PZT薄膜采用溶胶-凝胶法制备。测试结果证明,传感器具有良好的响应特性。 展开更多
关键词 电场传感器 压电驱动 PZT
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