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石英MEMS陀螺的结构特性分析 被引量：8
1
作者 林日乐 谢佳维 +3 位作者 周倩 满欣 李文蕴 张巧云 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第4期544-546,553,共4页
介绍了石英微机电系统(MEMS)陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点,采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性,并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应,设计了合理的电极布局,并结合敏感芯片结构特点介绍了其微机械加工工艺。通过结... 介绍了石英微机电系统(MEMS)陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点,采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性,并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应,设计了合理的电极布局,并结合敏感芯片结构特点介绍了其微机械加工工艺。通过结构优化和合理的电极布局,提高了石英MEMS陀螺的性能。 展开更多
关键词 石英 微机电系统(MEMS) 陀螺 音叉
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石英微机电陀螺的频率干扰特性研究 被引量：2
2
作者 林日乐 谢佳维 +6 位作者 王伟 董勇 蒋昭兴 冉龙明 李文蕴 罗华 朱振忠 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第2期186-188,共3页
石英微机电陀螺是一种哥氏(Coriolis)振动陀螺,其敏感芯片采用音叉式结构,工作时音叉处于谐振状态。敏感芯片具有多阶模态,前9阶模态覆盖频率为3~21 kHz。敏感芯片的部分模态易受外部振动影响而导致敏感芯片产生共振,使陀螺产生零位偏... 石英微机电陀螺是一种哥氏(Coriolis)振动陀螺,其敏感芯片采用音叉式结构,工作时音叉处于谐振状态。敏感芯片具有多阶模态,前9阶模态覆盖频率为3~21 kHz。敏感芯片的部分模态易受外部振动影响而导致敏感芯片产生共振,使陀螺产生零位偏移误差,陀螺的零位偏移误差可达0.5(°)/s。该文分析了敏感芯片模态共振误差机理,提出通过结构错频设计避免外部环境特定频率对敏感芯片的影响,从而抑制了零位偏移误差,零位偏移误差减小到约0.03(°)/s,提高了陀螺的振动环境适应性。 展开更多
关键词 石英 微机电陀螺 频率干扰 模式 振动
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新型压电晶体La_3Ga_5SiO_(14)的生长及特性 被引量：1
3
作者 王增梅 袁多荣 +8 位作者 潘立虎 张沛霖 李正法 程秀凤 吕衍秋 段秀兰 郭世义 吕孟凯 许东 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第6期490-493,共4页
用提拉法成功地生长了La3Ga5SiO14(LGS)单晶,用X-ray粉末衍射证明了其单晶结构,测得沿Y、Z方向的热膨胀系数分别为5×10-6K-1、3.8×10-6K-1,在453.15K时测得晶体的比热为0.90J/g·K,并在200～800nm之间测其透过谱,测得了... 用提拉法成功地生长了La3Ga5SiO14(LGS)单晶,用X-ray粉末衍射证明了其单晶结构,测得沿Y、Z方向的热膨胀系数分别为5×10-6K-1、3.8×10-6K-1,在453.15K时测得晶体的比热为0.90J/g·K,并在200～800nm之间测其透过谱,测得了其全部压电及弹性常数。 展开更多
关键词 提拉法 La3Ga5SiO14 结构 热膨胀 比热 透过谱 压电特性
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压电石英晶体在电解质水溶液中的振荡性能研究(Ⅱ)——频率、频移特性 被引量：1
4
作者 周铁安 张文柳 +1 位作者 聂利华 姚守拙 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1990年第2期176-179,共4页
根据两面电极浸入液体中的压电晶体等效电路模型和Pierce振荡器振荡方程的解,得到晶体在电解质溶液中的振荡频率(F_1)与溶液电导率(x)的关系式:F_1=(1/2π)(1/C_1+1/C_2)(1/X_e)[(R_e^2+X_e^2)x^2+2R_ex+1]。以自行设计的Pierce晶体振... 根据两面电极浸入液体中的压电晶体等效电路模型和Pierce振荡器振荡方程的解,得到晶体在电解质溶液中的振荡频率(F_1)与溶液电导率(x)的关系式:F_1=(1/2π)(1/C_1+1/C_2)(1/X_e)[(R_e^2+X_e^2)x^2+2R_ex+1]。以自行设计的Pierce晶体振荡器。研究了晶体和主振电路参数、输入电压及检测池外壳屏蔽接地对AT切9MHz石英晶体在KCl、Na_2SO_4水溶液中的频率、相对于纯水频移随溶液电导率变化的影响规律,结果与上式相符。 展开更多
关键词 压电晶体 石英 等效电路 振荡频率
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压电石英晶片灵敏度分布规律及其跟踪检测 被引量：1
5
作者 孙宝元 王吉军 钱敏 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第1期59-64,共6页
为提高压电测力传感器的检测精度，减小横向干扰，应用坐标变换矩阵对压电石英晶片灵敏度分布规律进行了理论研究，给出了在新坐标系中的压电系数矩阵ｄ'＝ａｄα-１通用公式，并解出 Ｙ０°，ＡＴ，ＢＴ等切型的压电系数矩阵... 为提高压电测力传感器的检测精度，减小横向干扰，应用坐标变换矩阵对压电石英晶片灵敏度分布规律进行了理论研究，给出了在新坐标系中的压电系数矩阵ｄ'＝ａｄα-１通用公式，并解出 Ｙ０°，ＡＴ，ＢＴ等切型的压电系数矩阵和Ｙ０°切型切向灵敏度分布规律。同时介绍了最新研制的应用微机控制的灵敏度分布规律连续跟踪检测系统，并用其对Ｙ０°切型晶片切向灵敏度分布情况进行了检测，结果表明理论分析与实测结果完全吻合。 展开更多
关键词 压电石英 灵敏度 检测 跟踪
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超高精度实时时钟DS3231及其在多费率电能表中的应用 被引量：7
6
作者 汪社民 《电测与仪表》 北大核心 2007年第2期60-64,共5页
DS3231是一款由Maxim Dallas公司推出的低成本、超高精度实时时钟芯片,在其封装内集成有温补振荡器和晶体,能够在-40℃～+85℃温度范围内提供优于±2分钟/年的计时精度,非常适合那些对计时精度要求极高的应用。介绍了DS3231的主要... DS3231是一款由Maxim Dallas公司推出的低成本、超高精度实时时钟芯片,在其封装内集成有温补振荡器和晶体,能够在-40℃～+85℃温度范围内提供优于±2分钟/年的计时精度,非常适合那些对计时精度要求极高的应用。介绍了DS3231的主要特性、引脚功能、内部结构和编程要点。给出了DS3231在多费率电能表中的应用方法。 展开更多
关键词 实时时钟 DS3231 多费率 电能表 I^C总线
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石英晶片表面处理方法对比 被引量：1
7
作者 常浩 陈柱 聂立波 《湖南工业大学学报》 2011年第4期91-94,共4页
分别用浓H2SO4溶液、浓HCl溶液、NH3.H2O溶液以及RCA清洗法对石英晶片进行亲水化处理,再用荧光蛋白扫描来检验4种方法处理后的效果。结果表明:用浓H2SO4溶液处理30min的效果最佳。
关键词 石英晶片 亲水化处理 接触角 荧光扫描
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三角弹性托架抗高冲击石英晶体振荡器 被引量：1
8
作者 李建文 于为群 +1 位作者 吕培青 祖兵 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第5期746-748,共3页
抗高冲击石英晶体振荡器一直是我国军事通信的弱点。该文主要介绍了面向精确打击和导弹目标跟踪中使用的抗高冲击石英晶体元件的研发过程,分析了3～50MHz频率段抗冲击力在2 000～20 000g系列石英晶体振荡器的研制过程。结果表明,成功地... 抗高冲击石英晶体振荡器一直是我国军事通信的弱点。该文主要介绍了面向精确打击和导弹目标跟踪中使用的抗高冲击石英晶体元件的研发过程,分析了3～50MHz频率段抗冲击力在2 000～20 000g系列石英晶体振荡器的研制过程。结果表明,成功地研制出了高性能的抗高冲击石英晶体振荡器,为我国该类产品的小型化、频率点扩展、生产批量化奠定了基础。 展开更多
关键词 石英晶体 振荡器 高冲击
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新型压电化学传感器的理论与应用研究 被引量：3
9
作者 申大忠 康琪 《抚顺石油学院学报》 1996年第3期13-16,共4页
介绍了近年来在新型压电传感器方面的研究工作。液隔电极式压电传感器具有构造简单、使用寿命长的优点，能传感晶体表面质量及溶液粘度、密度、电导率、介电常数等信息。串联式压电传感器对溶液的电导率和介电常数有高灵敏的频率响应，... 介绍了近年来在新型压电传感器方面的研究工作。液隔电极式压电传感器具有构造简单、使用寿命长的优点，能传感晶体表面质量及溶液粘度、密度、电导率、介电常数等信息。串联式压电传感器对溶液的电导率和介电常数有高灵敏的频率响应，而且具有极其优异的频率稳定性，其使用寿命可无限期地延长。压电光谱电化学技术可同时现场检测电极中有关电、光、质量三方面的信息。 展开更多
关键词 压电 石英晶体 传感器
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A_3BGa_3Si_2O_(14)晶体的结构、光学性质的系统研究
10
作者 王增梅 袁多荣 +3 位作者 石绪忠 程秀凤 许东 吕孟凯 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第3期280-282,共3页
用提拉法成功地生长了具有La3Ga5SiO14(LGS)结构的A3BGa3Si2O14(A=Ca,Sr;B=Nb,Ta)系列单晶;用X-射线粉末衍射证明了其单晶结构,并在200～3200nm间测其透过谱。
关键词 提拉法 结构 X-射线粉末衍射 透过谱
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Ca_3NbGa_3Si_2O_(14)晶体光学和热学特性的研究
11
作者 程秀凤 王增梅 袁多荣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第2期175-177,181,共4页
用提拉法成功地生长了一种具有La3Ga5SiO14(LGS)结构的Ca3NbGa3Si2O14(CNGS)单晶;用X-射线粉末衍射证明了其具有单一相且同LGS同构的单晶结构;DSC实验表明CNGS单晶的熔点为1349.9°C。在293.15～403.15K间测得垂直于z方向的热膨胀... 用提拉法成功地生长了一种具有La3Ga5SiO14(LGS)结构的Ca3NbGa3Si2O14(CNGS)单晶;用X-射线粉末衍射证明了其具有单一相且同LGS同构的单晶结构;DSC实验表明CNGS单晶的熔点为1349.9°C。在293.15～403.15K间测得垂直于z方向的热膨胀系数为1.7×10-6/K,而在283.15和433.15K的温度范围内z方向的热膨胀几乎不变。在300.42K测得晶体的比热为0.763J/mol·K;并在190～3200nm间测其透过谱。 展开更多
关键词 提拉 Ca3NbGa3Si2O14 晶体结构 热膨胀 比热 透过谱
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人造石英晶体标准IEC 60758:2016与GB/T 3352-2012差异分析
12
作者 薛超 刘学孔 《中国标准化》 2019年第S01期199-202,共4页
本文对比人造石英晶体标准IEC 60758:2016与GB/T 3352-2012,分析IEC 60758:2016新增的光学用人造石英晶体的包裹体密度、腐蚀隧道密度、红外吸收系数α值的等级分类和内部透射率指标等方面的要求,为修订GB/T 3352-2012提供支撑。
关键词 人造石英晶体 规范 光学用人造石英晶体
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阴极材料正尖晶石LiMn_2O_4制备方法研究现状 被引量：19
13
作者 李群 卢世刚 +1 位作者 邱向东 李玉增 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期289-292,共4页
综述了制备锂离子电池正极材料正尖晶石ＬｉＭｎ２Ｏ４ 的几种常用方法及其各自特点。对于高温固相反应而言，阐述了原料及合成条件的选择方式，并讨论了焙烧温度、升降温方式及机械研磨对产物晶型结构、粒度大小分布和电化学性能的影... 综述了制备锂离子电池正极材料正尖晶石ＬｉＭｎ２Ｏ４ 的几种常用方法及其各自特点。对于高温固相反应而言，阐述了原料及合成条件的选择方式，并讨论了焙烧温度、升降温方式及机械研磨对产物晶型结构、粒度大小分布和电化学性能的影响，提出合成温度是控制固相合成正尖晶石ＬｉＭｎ２Ｏ４ 的关键因素，直接影响产物的结构、粒度、杂质含量；对于低温合成技术，介绍了通过控制制备前体的反应条件及其转化正尖晶石ＬｉＭｎ２Ｏ４ 焙烧温度，来优化材料的组成、结构形貌，提高产物均匀性和电化学性能的途径，认为发展尖晶石ＬｉＭｎ２Ｏ４ 展开更多
关键词 正尖晶石 LIMN2O4 制备 锂离子电池 阴极材料
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不同电极数石英谐振器集群力敏特性分析 被引量：5
14
作者 田文杰 陈福彬 +1 位作者 佟盟 冯洁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第4期516-523,共8页
为了提高石英力敏谐振器的力-频转换系数,根据石英晶体压电效应及各向异性特性,利用Matlab数值计算方法,研究了径向力作用时AT切石英晶体薄圆片内各点的应力分布特点,设计了不同基频及不同电极数的石英力敏谐振器集群,并对其力敏特性进... 为了提高石英力敏谐振器的力-频转换系数,根据石英晶体压电效应及各向异性特性,利用Matlab数值计算方法,研究了径向力作用时AT切石英晶体薄圆片内各点的应力分布特点,设计了不同基频及不同电极数的石英力敏谐振器集群,并对其力敏特性进行了测试。结果表明:谐振器的力敏特性与谐振器的谐振频率、电极位置及力作用方位有关;集成于同一晶体基片不同位置的谐振器谐振频率作差频处理,得到的差频信号仍具有显著的力敏特性,同时差频信号中材料自身干扰因素的影响得到了抑制;在非耦合状态下,同一晶体基片上电极集成数越多,差频组合形式越多,得到的叠加信号的力敏特性越显著;经差频及叠加处理,集成式石英六电极谐振器的力-频转换系数可达8655.8 Hz/N。这种结构的力敏谐振器可用于高稳定的数字式力传感器及相关姿态检测控制系统。 展开更多
关键词 石英力敏谐振器集群 力敏特性 数值计算 应力分布 姿态检测
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压电晶体化学传感器研究进展
15
作者 刘展眉 陈睿 《仲恺农业技术学院学报》 1997年第1期92-99,共8页
本文综述了压电晶体化学传感器在气相、液相物质和生物学上的应用，介绍了压电晶体化学传感器的新型装置（如传感器阵列）、新型敏感材料.
关键词 压电 晶体 传感器
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横向电场激励的LiNbO3压电谐振器的仿真分析 被引量：1
16
作者 鄢良 马廷锋 +2 位作者 王明飞 王骥 杜建科 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第3期373-377,共5页
该文对横向电场激励下的(yxl)-58°LiNbO3压电谐振器的高频振动进行了研究。首先,基于Mindlin一阶板理论,计算了压电谐振器的模态频谱关系,得到晶体基板长厚比;然后,利用有限元分析软件COMSOL Multiphysics建立了谐振器的三维有限... 该文对横向电场激励下的(yxl)-58°LiNbO3压电谐振器的高频振动进行了研究。首先,基于Mindlin一阶板理论,计算了压电谐振器的模态频谱关系,得到晶体基板长厚比;然后,利用有限元分析软件COMSOL Multiphysics建立了谐振器的三维有限元模型,通过增加厚度方向网格扫掠层数的方法,验证了仿真模型的网格无关性;其次,通过特征频率计算与频域计算得到了谐振器一阶厚度剪切模态频率值;最后,通过改变电极与晶体板质量比以及电极间距的大小,获得了不同尺寸参数对谐振器高频振动特性的影响规律。仿真分析结果表明,电极与晶体板的质量比同谐振器谐振频率成负相关,质量比越大,谐振频率越小;电极间距值与谐振频率成负相关,间距值越大,谐振频率越小。 展开更多
关键词 横向电场 LiNbO3谐振器 能陷效应 厚度剪切模态 COMSOL MULTIPHYSICS
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石英晶体在Bi_4Si_3O_(12)熔体中析出形态及机理 被引量：1
17
作者 孙仁英 吴金娣 林雅芳 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期206-206,共1页
石英晶体在Ｂｉ４Ｓｉ３Ｏ１２熔体中析出形态及机理孙仁英范世吴金娣林雅芳（中国科学院上海硅酸盐研究所，上海２０００５０）ＭｏｒｐｈｏｌｏｇｙａｎｄＭｅｃｈａｎｉｓｍｏｆＱｕａｒｔｚＣｒｙｓｔａｌＧｒｏｗｎｆｒｏｍＭｅ... 石英晶体在Ｂｉ４Ｓｉ３Ｏ１２熔体中析出形态及机理孙仁英范世吴金娣林雅芳（中国科学院上海硅酸盐研究所，上海２０００５０）ＭｏｒｐｈｏｌｏｇｙａｎｄＭｅｃｈａｎｉｓｍｏｆＱｕａｒｔｚＣｒｙｓｔａｌＧｒｏｗｎｆｒｏｍＭｅｌｔｏｆＢｉ４Ｓｉ３Ｏ１２ＳｕｎＲ... 展开更多
关键词 硅酸铋晶体 引上法晶体生长 晶体钕 石英晶体
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新型压电材料——La_3Ga_5SiO_(14)单晶 被引量：7
18
作者 胡少勤 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第4期299-305,313,共8页
介绍了一种性能优异的新型压电材料—— Ｌａ３ Ｇａ５ Ｓｉ Ｏ１４单晶的结构及其性能。叙述了 Ｌａ３ Ｇａ５ Ｓｉ Ｏ１４单晶的生长条件及其原料制备方法，同时对这种晶体在声体波及声表面波领域的良好应用前景进行了讨论。
关键词 单晶 压电性能 声表面波 声体波 压电材料
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石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究 被引量：1
19
作者 郑德忠 王晓维 +1 位作者 史锦珊 翟姝红 《传感技术学报》 CAS CSCD 1998年第3期49-52,共4页
本文介绍一种石英晶体膜测厚的差动工作方式。它的厚度测量精度为１ｎｍ，分辨率为纳米级，其温度稳定性在０－＋４００℃范围内达到５０Ｈｚ。这种差动测量技术不仅可在真空镀膜工艺中实现在线测量，而且在纳米技术及超精细加工中具有... 本文介绍一种石英晶体膜测厚的差动工作方式。它的厚度测量精度为１ｎｍ，分辨率为纳米级，其温度稳定性在０－＋４００℃范围内达到５０Ｈｚ。这种差动测量技术不仅可在真空镀膜工艺中实现在线测量，而且在纳米技术及超精细加工中具有广阔应用前景。 展开更多
关键词 石英晶体 薄膜 厚度测量
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基于DSP石英晶片研磨的自动测控系统 被引量：1
20
作者 谢琰华 喻寿益 《中南工业大学学报》 CSCD 北大核心 2003年第1期92-94,共3页
提出一种在线检测石英压电晶片在研磨过程中频率变化的方法,以便自动控制晶片研磨厚度.以TMS320F240 DSP为核心构成测控系统,应用PLL锁相环技术产生晶片驱动信号,晶片在某一频率电压驱动下发生谐振,实时捕获谐振信号,经过信号处理,测出... 提出一种在线检测石英压电晶片在研磨过程中频率变化的方法,以便自动控制晶片研磨厚度.以TMS320F240 DSP为核心构成测控系统,应用PLL锁相环技术产生晶片驱动信号,晶片在某一频率电压驱动下发生谐振,实时捕获谐振信号,经过信号处理,测出晶片频率.当频率达到给定值时,自动停止研磨过程.运行结果表明,基于此方法设计的晶片频率自动测控装置,响应速度快.精度高,并可实现石英压电晶体研磨过程自动化. 展开更多
关键词 石英晶片 研磨 自动测控系统 压电晶体 谐振 PLL锁相环 DSP 数字信号处理
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