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粉末颗粒大小对X射线光电子能谱仪测试的影响
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作者 朱笑东 王洁如 《光谱学与光谱分析》 北大核心 2025年第9期2620-2624,共5页
X射线光电子能谱仪(XPS)是一种强大的表面分析技术,能分析除H和He以外的所有元素,包括几乎所有固体样品以及离子液体等材料的表面化学状态,实现材料表面的定性或者半定量的分析,结合离子刻蚀或角分辨还可实现对材料的深度分析和界面分... X射线光电子能谱仪(XPS)是一种强大的表面分析技术,能分析除H和He以外的所有元素,包括几乎所有固体样品以及离子液体等材料的表面化学状态,实现材料表面的定性或者半定量的分析,结合离子刻蚀或角分辨还可实现对材料的深度分析和界面分析、以及价带等电学性质分析,广泛应用在半导体材料、高分子材料、催化材料、冶金、腐蚀等领域。固体粉末材料是X射线光电子能谱仪测试中最常见的测试对象,其常见的制备方法为粉末洒在或压入胶带中(文中简称粘样法)。一般来说,在同样的测试条件下,粗糙的固体样品XPS信号更弱,而关于粉末粒径对测试信号的影响机制尚不明确。本研究聚焦粘样法制备的粉末样品在XPS测试中,粉末大小与基底对测试信号的作用机制,系统研究了粒径分布对XPS信号强度、峰形特征及元素定量分析的影响规律。本论文以氧化铝(Al_(2)O_(3))粉末为典型研究对象,通过梯度粒径样品(4.5~500μm)的XPS全谱/窄谱[Al(2p)、Si(2p)、C(1s)、O(1s)等]分析,结合扫描电子显微的形貌表征和元素含量统计,揭示了粉末粒径与测试信号的非单调响应关系。实验发现随着氧化铝粉末粒径的增加(>150μm时),Al(2p)的峰强逐渐减小,半高宽逐渐增大。这与颗粒增大增加表面粗糙度而引起XPS信号变化密切相关。当粒径小于13μm时,Al(2p)的峰强呈现减小趋势,而基底胶带的Si(2p)信号增加,这说明了颗粒减小无法避免基底信号对样品信号的影响。该研究可为固体粉末样品的XPS测试方法优化提供科学依据与理论指导。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱仪 固体粉末 氧化铝 粘样法
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X射线光电子能谱测试参数对CaF_(2)氧元素含量测试结果的影响
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作者 侯瑶 崔云 +1 位作者 陶春先 冯殿福 《理化检验(物理分册)》 2025年第3期25-31,共7页
针对在X射线光电子能谱刻蚀剖析过程中出现测试结果失真的问题,以CaF2试样为研究对象,通过改变离子束能量、刻蚀后停顿时间、氧元素的精细谱扫描顺序等参数,对试样表面氧元素含量的测试结果进行分析,同时使用SRIM软件模拟计算氩离子束刻... 针对在X射线光电子能谱刻蚀剖析过程中出现测试结果失真的问题,以CaF2试样为研究对象,通过改变离子束能量、刻蚀后停顿时间、氧元素的精细谱扫描顺序等参数,对试样表面氧元素含量的测试结果进行分析,同时使用SRIM软件模拟计算氩离子束刻蚀CaF2产生的空位缺陷,为测试失真分析提供数据支持。结果表明:在CaF2表面测得氧元素的原因为试样表面吸附残余气体中的羟基和O2;通过优化X射线光电子能谱测试参数,有效去除了表面的羟基和吸附的O2,削弱或者消除了残余气体对测试结果的影响;材料的极性分子和低表面结合能是离子刻蚀过程中表面快速吸附残余气体的主要原因。研究结果对使用X射线光电子能谱准确表征具有极性分子材料的元素成分具有重要指导意义。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱 刻蚀深度剖析 表面吸附 表面分析技术 SRIM软件
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ECO IC-863 型离子色谱仪常见故障分析 被引量:1
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作者 文芙蓉 陈平 温皓 《仪器仪表与分析监测》 2025年第2期17-20,共4页
本文介绍了瑞士万通ECO IC-863型离子色谱仪的基本组成结构和操作方法。并就该设备在使用过程中出现的背景基线电导率偏高、不出现阴离子特征峰的问题进行了原因分析,并提出了相应的解决方案,以保证该设备在测量公司核电产品用水中阴离... 本文介绍了瑞士万通ECO IC-863型离子色谱仪的基本组成结构和操作方法。并就该设备在使用过程中出现的背景基线电导率偏高、不出现阴离子特征峰的问题进行了原因分析,并提出了相应的解决方案,以保证该设备在测量公司核电产品用水中阴离子浓度时的数据准确可靠。 展开更多
关键词 离子色谱仪 背景基线电导率 阴离子 定量环
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X射线光电子能谱在材料表面研究中的应用 被引量:34
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作者 余锦涛 郭占成 +1 位作者 冯婷 支歆 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期119-124,共6页
通过阐述XPS测试原理及工作特点,讨论其在材料表面研究中的具体应用。通过光电子谱峰位置、形状和强度,可以分析元素价态、含量。角分辨XPS可以检测超薄样品表面的化学状态,成像XPS可以显示样品表面的元素和价态分布,从而进行微区分析... 通过阐述XPS测试原理及工作特点,讨论其在材料表面研究中的具体应用。通过光电子谱峰位置、形状和强度,可以分析元素价态、含量。角分辨XPS可以检测超薄样品表面的化学状态,成像XPS可以显示样品表面的元素和价态分布,从而进行微区分析。利用氩离子刻蚀进行深度剖析,可以研究样品化学状态随深度的变化关系。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱 表面分析 材料研究
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用于瞬变种研究的气相紫外光电子能谱仪 被引量:11
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作者 王殿勋 赵恒奇 徐广智 《分析仪器》 CAS 1992年第2期55-58,共4页
介绍了用于瞬变种研究的气相紫外光电子能谱仪,概述了设计要求和谱仪的组成,给出了某些研究示例.
关键词 瞬变种 气相紫外 光电子能谱仪
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X射线光电子能谱仪的功能开发与利用 被引量:2
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作者 叶小燕 宋伟杰 +1 位作者 朱永法 曹立礼 《实验技术与管理》 CAS 1999年第5期68-70,共3页
关键词 能谱仪 XPS AES 自动标准 重峰识别
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一种确定X射线能谱仪(EDS)分析中接收角的方法 被引量:3
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作者 戴宏 梁浩雁 张中明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期209-211,共3页
利用扫描电镜中物镜电流与焦距的关系 ,通过实验和计算得出了物镜电流调节旋钮刻度值与样品微区高低位置的对应关系。利用该关系得到了一种确定接收角的方法。该法易于应用且适于一些特殊样品接收角的确定。
关键词 X射线能谱仪 接收角 EDS
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X射线光电子能谱仪(XPS)在纳米材料进行表征分析的应用与研究
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作者 徐龙尾 《流体测量与控制》 2025年第2期55-57,共3页
X射线光电子能谱仪(XPS)是一种利用X射线激发样品表面发射光电子,通过测量光电子的能量分布来分析样品表面化学信息的技术。XPS技术具有高灵敏度、高分辨率、无损伤、多功能等特点,是纳米材料表征分析的重要手段之一。本文介绍了XPS技... X射线光电子能谱仪(XPS)是一种利用X射线激发样品表面发射光电子,通过测量光电子的能量分布来分析样品表面化学信息的技术。XPS技术具有高灵敏度、高分辨率、无损伤、多功能等特点,是纳米材料表征分析的重要手段之一。本文介绍了XPS技术的基本原理、特点和优势,以及在金属纳米材料表征分析中的应用实例。讨论了XPS技术在纳米材料表征分析中存在的挑战和限制,以及需要改进和优化的方面,旨在为XPS技术和纳米材料表征分析的研究提供一个综述和参考。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱仪 纳米材料 表征分析
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软X射线质量吸收系数的测定 被引量:2
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作者 尚玉华 刘志东 徐乐英 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期621-626,共6页
制备了厚度为25~225nm的C、Al、Ti、Cu、Nb、Mo、Ag、Ta和W9种纯元素薄膜样品,用化学分析方法测定了薄膜的质量厚度pz,并用电子探针测定了软X射线CKα、BKα的出射强度几和穿过薄膜后的强度I根据X射线通过物质时的指数衰减定律:I/I... 制备了厚度为25~225nm的C、Al、Ti、Cu、Nb、Mo、Ag、Ta和W9种纯元素薄膜样品,用化学分析方法测定了薄膜的质量厚度pz,并用电子探针测定了软X射线CKα、BKα的出射强度几和穿过薄膜后的强度I根据X射线通过物质时的指数衰减定律:I/I0=e-μpz得到了这9种纯元素对CKα、BKα辐射的质量吸收系数μ。 展开更多
关键词 质量吸收系数 软X射线 薄膜 质量厚度 电子探针
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XPS结合氩离子溅射剖析Si/C多层膜的化学状态 被引量:3
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作者 卢洋藩 王君 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期46-50,共5页
采用X射线光电子能谱结合氩离子溅射对用作锂离子电池负极的Si/C多层膜进行了表面测试及深度剖析,获得了Si/C多层膜结构中不同深度位置的成分及化学状态。分析结果表明,Si/C多层膜中各层Si、C薄膜之间存在界面元素相互扩散,扩散至相邻... 采用X射线光电子能谱结合氩离子溅射对用作锂离子电池负极的Si/C多层膜进行了表面测试及深度剖析,获得了Si/C多层膜结构中不同深度位置的成分及化学状态。分析结果表明,Si/C多层膜中各层Si、C薄膜之间存在界面元素相互扩散,扩散至相邻层薄膜中的Si、C元素主要以化合物SiC形式存在,且处于不同位置的SiC的化学键能受周围环境影响有所差别;氩离子对Si的溅射速率大于对C的溅射速率,存在择优溅射。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱 氩离子溅射 深度剖析 锂离子电池负极
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离子束溅射技术在X射线光电子能谱(XPS)深度剖析中的应用 被引量:1
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作者 周传强 袁干印 +1 位作者 龚翔翔 黄学武 《中国无机分析化学》 北大核心 2025年第1期56-63,共8页
X射线光电子能谱技术是唯一一种既能检测材料表面元素组成又可分析元素价态或化学态的现代分析测试方法,但它只能探测样品表面1~10个原子层深度。离子束溅射技术能够实现材料表面层的逐层可控剥离,广泛应用于功能材料的X射线光电子能谱... X射线光电子能谱技术是唯一一种既能检测材料表面元素组成又可分析元素价态或化学态的现代分析测试方法,但它只能探测样品表面1~10个原子层深度。离子束溅射技术能够实现材料表面层的逐层可控剥离,广泛应用于功能材料的X射线光电子能谱深度剖析。对近年来离子束溅射技术在材料X射线光电子能谱深度剖析中的应用研究进行综述,分析了当前单原子离子束与气体团簇离子束溅射技术在材料深度剖析中面临的瓶颈难题,讨论了离子束溅射技术的应用前景和发展趋势。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱 表面分析 溅射 深度剖析
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铝板带表面检测缺陷自适应分割方法 被引量:2
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作者 邢青青 罗新斌 +1 位作者 黄秀琴 贾建昇 《有色金属加工》 CAS 2012年第6期42-44,共3页
缺陷定位是表面检测技术中进行缺陷分类的基础,在实际工程应用中有着重要的地位。本文介绍了一种基于图像背景值进行二值化,然后进行缺陷分割的自适应方法。通过软件平台Labview实现,给出了各个步骤及相应的测试图片。经现场测试证明这... 缺陷定位是表面检测技术中进行缺陷分类的基础,在实际工程应用中有着重要的地位。本文介绍了一种基于图像背景值进行二值化,然后进行缺陷分割的自适应方法。通过软件平台Labview实现,给出了各个步骤及相应的测试图片。经现场测试证明这种方法抗噪能力极强,响应快、提取的缺陷定位精确。 展开更多
关键词 缺陷分割 自适应方法 二值化
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ESCALAB MK Ⅱ型电子能谱仪数据系统改造 被引量:1
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作者 季振国 朱玲 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第2期129-131,共3页
介绍对目前国内占主导地位的VG系列谱仪的数据收集及处理系统的改造方法。主要采用当今流行的IBM-PC机(8086-80586系列)与工业及实验室用PCL-812控制卡取代原谱仪所带的PDP-11/73为主的数据系统。改造后各项指标均达到原谱仪水... 介绍对目前国内占主导地位的VG系列谱仪的数据收集及处理系统的改造方法。主要采用当今流行的IBM-PC机(8086-80586系列)与工业及实验室用PCL-812控制卡取代原谱仪所带的PDP-11/73为主的数据系统。改造后各项指标均达到原谱仪水平,数据收集及处理方面还有些改进。由于以APPLE Ⅱ系列微机为数据系统的VG谱仪的微机/谱仪接口与以PDP-11微机数据系统的基本相同,所以该方法对前者的改造同样适用。 展开更多
关键词 电子能谱仪 数据系统 仪器改造
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浓度对“微量”样品NMR信号影响 被引量:4
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作者 欧阳捷 张巍 +2 位作者 李林 李维超 邓志威 《现代仪器》 2006年第1期25-28,35,共5页
本工作利用微量核磁管(Φ2.5 mm)和常规核磁管(Φ5 mm)对同一化合物同等质量(2 mg)两份样品进行多种核磁共振实验,对两种不同浓度下NMR信号进行分析,并利用微量样品管顺利完成对头孢硫脒的结构确认。实验结果表明:当可用于测试样品量较... 本工作利用微量核磁管(Φ2.5 mm)和常规核磁管(Φ5 mm)对同一化合物同等质量(2 mg)两份样品进行多种核磁共振实验,对两种不同浓度下NMR信号进行分析,并利用微量样品管顺利完成对头孢硫脒的结构确认。实验结果表明:当可用于测试样品量较少时,利用微量样品管提高样品测试浓度可明显地改善核磁谱图质量;微量样品管在小样品量的NMR分析中具有潜在应用价值。 展开更多
关键词 核磁共振 “匹配”转子 头孢硫脒
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XPS分析绝缘样品中磁透镜对中和效果的影响研究 被引量:1
15
作者 冯婷 冯根生 +1 位作者 祁成林 杨彬 《分析测试技术与仪器》 CAS 2016年第3期159-164,共6页
以绝缘样品聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)为X射线光电子能谱(XPS)分析测试对象,探讨了使用不同的X射线源作为激发源时,磁透镜对荷电中和系统中和效果的影响.试验结果表明,当使用单色化Al Kα为激发源时,磁透镜对荷电中和器的中和效果没有... 以绝缘样品聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)为X射线光电子能谱(XPS)分析测试对象,探讨了使用不同的X射线源作为激发源时,磁透镜对荷电中和系统中和效果的影响.试验结果表明,当使用单色化Al Kα为激发源时,磁透镜对荷电中和器的中和效果没有显著影响.而使用非单色化双阳极Mg Kα为激发源,磁透镜开启时才能得到良好的荷电中和效果,磁透镜关闭时所测谱峰会因荷电效应而发生峰形畸变. 展开更多
关键词 X射线光电子能谱 绝缘样品 磁透镜 荷电中和 X射线源
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扫描电镜及能谱仪在本科比较性实验教学初探 被引量:5
16
作者 王能为 崔旭梅 《攀枝花学院学报》 2009年第3期1-4,共4页
扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDS)是广泛应用于材料科学的精贵仪器,本文通过对两门不同的实验课进行比较性教学,初步探索出扫描电镜及能谱仪在本科实验教学中的可行性,结果表明,效果比较理想。
关键词 扫描电镜 本科教学 比较 可行性.
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机械装备的失效分析(续前) 第7讲 电子光学分析技术 被引量:2
17
作者 王荣 《理化检验(物理分册)》 CAS 2017年第10期691-700,共10页
对高速电子束入射到试样表面时产生的一系列电子和光子信号进行了介绍,对透射电子、背散射电子和二次电子的衍射机理和成像机理,以及利用特征X射线和俄歇电子进行元素成分的定性和定量分析原理进行了概述,对透射电子显微镜和扫描电子显... 对高速电子束入射到试样表面时产生的一系列电子和光子信号进行了介绍,对透射电子、背散射电子和二次电子的衍射机理和成像机理,以及利用特征X射线和俄歇电子进行元素成分的定性和定量分析原理进行了概述,对透射电子显微镜和扫描电子显微镜的结构、工作原理、工作特性、试样要求及制样过程等作了较详细的描述,重点讨论了X射线能谱仪、电子背散射衍射仪以及俄歇电子谱仪在机械装备构件深层次失效机理研究方面的作用。实际应用表明:电子光学分析技术在机械构件失效分析中的主要应用是可以从深层次(可达到原子级别)研究构件失效的本质,包括材料的晶体结构、组分、表面微观形貌及各种特性等。 展开更多
关键词 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 X射线能谱仪 电子背散射衍射仪 俄歇电子谱仪
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3D扫描的产品质量检测方法 被引量:3
18
作者 饶锡新 钟春华 《江西冶金》 2006年第2期35-36,46,共3页
提出了一种基于逆向工程技术的光学3D扫描测量来检测产品质量的方法。介绍了该方法的硬件平台、软件平台、应用实例等。该方法可以解决曲面质量检测效率低、精度低的问题。
关键词 逆向工程 3D扫描 质量检测
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原位测量式分析仪在烟气排放监测系统中的设计研究 被引量:1
19
作者 王毅 何玲 《天津科技》 2014年第7期11-15,共5页
空气污染问题在我国日益严重,空气质量逐年下降给人们的生活环境造成巨大影响,监测和控制工业排放对空气造成的污染越来越受到重视。针对烟气排放监测系统中原位测量式分析仪的设计方法进行了研究,对设计如何满足使用环境和监测对象的要... 空气污染问题在我国日益严重,空气质量逐年下降给人们的生活环境造成巨大影响,监测和控制工业排放对空气造成的污染越来越受到重视。针对烟气排放监测系统中原位测量式分析仪的设计方法进行了研究,对设计如何满足使用环境和监测对象的要求,从而更准确地得到监测数据进行了阐述。 展开更多
关键词 烟气排放连续检测系统 原位测量式分析仪 光谱 光学深度 气体浓度分层
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Macromeritics ASAP 2010 N孔容和比表面分析仪验收中一个问题
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作者 白正伟 陈予红 《分析仪器》 CAS 1999年第4期55-56,共2页
在Macromeritics ASAP 2010 N孔容和比表面分析仪验收过程中,由于采用氮气作分析气,氦作回充气,计算得到的结果与仪器说明书不一致。本文就此问题进行了分析和讨论,证明出现问题的原因是由于样品管内分析气... 在Macromeritics ASAP 2010 N孔容和比表面分析仪验收过程中,由于采用氮气作分析气,氦作回充气,计算得到的结果与仪器说明书不一致。本文就此问题进行了分析和讨论,证明出现问题的原因是由于样品管内分析气和回充气种类不一致,而说明书对此叙述不够全面明确。 展开更多
关键词 孔容 比表面分析仪 样品管 回充气 分析仪
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