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面向MEMS谐振加速度计灵敏度提升的梯形微杠杆优化研究 被引量：1
1
作者 赵文胜 李挺 +2 位作者 李蓉 何江波 周吴 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第2期11-15,共5页
灵敏度影响微机电系统(MEMS)谐振加速度计精度。针对传统矩形微杠杆宽度较大会导致灵敏度损失的问题,提出并优化了一种梯形微杠杆。首先介绍了带有梯形微杠杆的MEMS谐振加速度计的工作原理和结构特点。再以灵敏度为目标函数,基于有限元... 灵敏度影响微机电系统(MEMS)谐振加速度计精度。针对传统矩形微杠杆宽度较大会导致灵敏度损失的问题,提出并优化了一种梯形微杠杆。首先介绍了带有梯形微杠杆的MEMS谐振加速度计的工作原理和结构特点。再以灵敏度为目标函数,基于有限元方法建立了梯形微杠杆的优化模型,包含2个步骤:第1步,建立了以支点梁位置及支点梁、输出梁和输入梁的长度为变量的灵敏度优化模型,优化结果使灵敏度达到272.9 Hz/g;第2步,以第1步得到的优化尺寸为基础,对杠杆臂的梯形形状进行优化,使灵敏度提高到302.4 Hz/g。优化得到的单位质量块面积对应的灵敏度达到42.7 Hz/(g·mm^(2)),因此通过梯形微杠杆优化可以在紧凑空间内实现高灵敏度。 展开更多
关键词 微机电系统 谐振加速度计 梯形微杠杆 灵敏度 结构优化
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基于粒子群优化的BP神经网络PID的加速度计组件温控算法 被引量：1
2
作者 魏国 朱旭 +3 位作者 高春峰 侯承志 程嘉奕 陈迈伦 《中国惯性技术学报》 北大核心 2025年第4期359-366,共8页
在高精度惯性导航系统和惯性重力测量系统中,石英挠性加速度计的温变特性直接影响着系统的导航精度和重力测量系统精度,加速度的高精度信息测量对加速度计组件工作环境温度稳定性提出了更高要求。为进一步提高温控精度和抗扰动能力,提... 在高精度惯性导航系统和惯性重力测量系统中,石英挠性加速度计的温变特性直接影响着系统的导航精度和重力测量系统精度,加速度的高精度信息测量对加速度计组件工作环境温度稳定性提出了更高要求。为进一步提高温控精度和抗扰动能力,提出了基于PSO-BPNN-PID控制器,利用粒子群优化算法和反向传播算法对神经网络PID控制器进行离线和在线的连接权值整定,实现石英挠性加速度计组件一体化温度控制算法,满足加速度计组件的自适应智能控制需求。仿真和实验结果表明,所提算法能够显著提升系统的温度稳定性,可实现±0.002℃的温度稳定控制。同时,验证了系统具备快速响应温度变化的能力,能够在短时间内将温度调整至设定值附近,并有效抑制超调现象。此外,实验还模拟了外部扰动情况,验证了系统在面对扰动时能够迅速恢复稳定状态,表现出优越的抗扰动能力,可以满足多种温度环境下的加速度计组件高精度温控应用需求。 展开更多
关键词 石英挠性加速度计 温度控制 粒子群优化算法 BP神经网络
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惯性器件贮存寿命评估方法研究进展
3
作者 要彦清 张舒楠 +1 位作者 汤一 廖兴才 《装备环境工程》 2025年第3期80-93,共14页
针对惯性器件贮存寿命评估方法,总结了自然贮存试验评估方法其贮存数据应具备的特点、寿命分布,分析了加速贮存试验评估方法通过预实验确定加速应力类型与范围的必要性,介绍了建立惯性器件寿命分布模型、加速寿命模型、性能退化模型的... 针对惯性器件贮存寿命评估方法,总结了自然贮存试验评估方法其贮存数据应具备的特点、寿命分布,分析了加速贮存试验评估方法通过预实验确定加速应力类型与范围的必要性,介绍了建立惯性器件寿命分布模型、加速寿命模型、性能退化模型的常用方法,总结探讨了现阶段贮存寿命评估的失效判据、试验时间、测试周期等具体试验方案。调研结果表明,惯性传感器贮存寿命评估多采用加速贮存试验评估,其寿命多符合威布尔分布,采用温度作为加速应力时多采用阿伦尼斯模型作为加速模型,开展试验时多采用步加温度应力、定时截尾方式,对开展惯性器件贮存寿命试验具有一定参考意义。 展开更多
关键词 惯性器件 传感器 贮存寿命 评估方法 加速贮存 自然贮存
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基于C#的低成本自动采集方法研究
4
作者 余小圃 罗有旺 +3 位作者 柳中强 许冠 梁翱 谢林根 《机电工程技术》 2025年第17期70-74,共5页
为了解决小型化数据采集系统中存在的成本控制、效率提升、精度保障以及多通道自动采集等技术难题,以数据采集与精度验证为切入点,提出了一种高精度、多通道、全自动、低成本的高精度加速度计数据采集方法。基于C#语言开发的上位机软件... 为了解决小型化数据采集系统中存在的成本控制、效率提升、精度保障以及多通道自动采集等技术难题,以数据采集与精度验证为切入点,提出了一种高精度、多通道、全自动、低成本的高精度加速度计数据采集方法。基于C#语言开发的上位机软件平台,利用采集通信模块与继电器模块,通过RS485串行总线实现采集数据的PC端传输,并完成后续数据处理与存储功能。测试结果表明,所设计的采集系统运行稳定、操作便捷,能够准确读取下位机数据并按预设格式进行处理,系统采集效率满足设计要求。该方案具有以下显著优势:无需依赖下位机即可实现自动采集;具备低成本、高效率、高精度及多通道特性。与传统方法相比,该系统显著降低了硬件投入与人力成本,同时大幅提升了数据采集效率,为数据采集技术发展提供了参考。 展开更多
关键词 C# 上位机 全自动采集 加速度计
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基于细分插值技术的光栅干涉MOEMS加速度计
5
作者 杨鹏 金丽 +1 位作者 解琨阳 李孟委 《微纳电子技术》 2025年第3期135-141,共7页
为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后... 为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后利用仿真对所设计的加速度计结构进行优化设计。由于光栅干涉式加速度计输出信号为单路正弦信号,因此采用细分插值电路技术,结合90°相移和高精度直流偏置电压技术,将具有正弦特性的模拟信号转换为线性变化的标准增量数字信号输出,大大抑制了细分插值过程中两路正交信号的相位、幅值和偏置误差。实验结果表明,所设计光栅干涉MOEMS加速度计灵敏度可达591.484 V/g,结合83倍的细分插值因子,将分辨率提升至39.18μg。该设计为实现高分辨率MOEMS加速度计提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 加速度计 微光机电系统(MOEMS) 光栅干涉 细分插值 线性化
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精密加速度计组件自动装配及焊接系统 被引量：1
6
作者 刘正尧 罗怡 +1 位作者 王晓东 钱志龙 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第9期89-97,共9页
悬丝摆式加速度计广泛应用于航空、航天、惯性导航等领域,其装配质量对加速度测量精度有很大的影响,其关键组件的装配涉及位置和姿态的调整,同时悬丝在装配中需要控制张紧力并完成焊接。针对悬丝摆式加速度计组件的精密装配,研发了集成... 悬丝摆式加速度计广泛应用于航空、航天、惯性导航等领域,其装配质量对加速度测量精度有很大的影响,其关键组件的装配涉及位置和姿态的调整,同时悬丝在装配中需要控制张紧力并完成焊接。针对悬丝摆式加速度计组件的精密装配,研发了集成力、温度传感器和机器视觉的精密装配及焊接系统。采用相机配合转台实现待装配零件视觉测量,完成零件特征点的识别定位;利用精密滑台和转台调整待装配零件位姿;直线电机运动结合力反馈实现装配过程中零件间隙调整以及张紧力控制;开发专用焊接单元,实现在紧凑空间内对微小器件的自动温控焊接。试验结果表明,该系统能够完成加速度计组件自动装配及焊接,装配结果满足技术指标要求,焊点无虚焊,摆组件内边缘相对于磁钢边缘间隙偏差小于10μm,悬丝中心相对于加速度计底座地面位置精度优于20μm,悬丝张紧力偏差控制在±5 mN之内,能够达到产品装配质量要求。 展开更多
关键词 加速度计 精密装配 自动焊接 机器视觉 力反馈 误差测量
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线加速度计磁灵敏度校准技术研究 被引量：1
7
作者 王晓云 董雪明 王敏林 《中国计量》 2024年第6期120-124,共5页
某些行业中加速度计的应用处于强磁场环境下,此时磁场成为影响加速度计准确度的重要因素之一。目前比较成熟的振动加速度计磁灵敏度校准方法不适用于线加速度计,而国内线加速度计磁灵敏度校准尚处于起步阶段,急需对其进行相关研究。针... 某些行业中加速度计的应用处于强磁场环境下,此时磁场成为影响加速度计准确度的重要因素之一。目前比较成熟的振动加速度计磁灵敏度校准方法不适用于线加速度计,而国内线加速度计磁灵敏度校准尚处于起步阶段,急需对其进行相关研究。针对以上问题,文章建立了线加速度计磁灵敏度耦合模型,采用亥姆霍兹线圈的原理产生均匀磁场,以减小磁场不均匀带来的影响。实验过程中,采用四点法对线加速度计进行测试,分析了磁场对线加速度计0g、1g状态下的输出信号,线加速度计零偏、标度因数以及二阶非线性系数的影响。研究成果可为线加速度计性能研究提供一定参考。 展开更多
关键词 线加速度计 磁灵敏度 耦合模型 四点法
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电磁力驱动的光栅泰伯MOEMS加速度计设计与分析
8
作者 罗戴钟 徐浩东 +1 位作者 金丽 李孟委 《舰船电子工程》 2024年第6期204-208,共5页
为提高MEMS加速度计灵敏度与线性工作范围,论文提出一种基于泰伯效应的双层衍射光栅透射式MOEMS加速度计,对其进行光学效应分析、结构与工艺设计。通过有限元分析,确定加速度计工作模态的固有频率为147.25Hz,结构灵敏度为11.5μm/g,光... 为提高MEMS加速度计灵敏度与线性工作范围,论文提出一种基于泰伯效应的双层衍射光栅透射式MOEMS加速度计,对其进行光学效应分析、结构与工艺设计。通过有限元分析,确定加速度计工作模态的固有频率为147.25Hz,结构灵敏度为11.5μm/g,光学检测线性范围为3.3μm。通过对结构施加预应力的方式,将加速度计线性工作范围提高4.75倍,为新型光栅加速度计的制造与测试奠定了理论基础。 展开更多
关键词 加速度计 泰伯效应 双层光栅 工艺设计
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基于TEC的石英挠性加速度计组件一体化温控结构热设计
9
作者 朱旭 侯承志 +5 位作者 程嘉奕 魏国 谢元平 邓斌 周厦 高春峰 《测试技术学报》 2024年第5期543-551,共9页
在高精度惯性导航系统和捷联惯导重力测量系统中,石英挠性加速度计组件的温控精度直接影响系统的导航和重力测量精度。为保证加速度计工作环境的温度稳定性,设计了基于半导体制冷器(Thermoelectric Cooler, TEC)的石英挠性加速度计一体... 在高精度惯性导航系统和捷联惯导重力测量系统中,石英挠性加速度计组件的温控精度直接影响系统的导航和重力测量精度。为保证加速度计工作环境的温度稳定性,设计了基于半导体制冷器(Thermoelectric Cooler, TEC)的石英挠性加速度计一体化温度控制系统。对系统硬件结构和热特性进行了分析,完成了相关组件的热力学建模、仿真分析和结构优化,并设计了常温及变温环境下的温控实验。相关结果表明,一体化温控系统在2 h室温环境下,加速度计组件温度波动峰-峰值优于0.006℃;在最高10℃/h的快速变温环境下,系统3 h温度控制波动峰-峰值优于0.006℃,加速度计表头温度波动峰-峰值优于0.03℃。对比温控关闭状态下的实验结果,温控开启时,加表输出稳定性及输出精度分别得到了34.2倍和37.6倍的提升。相关结果表明系统有较好的鲁棒性和温控精度,可以满足多种应用环境下的加速度计组件温控应用需求。 展开更多
关键词 捷联惯导系统 石英挠性加速度计 温度控制 半导体制冷器
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加速度计自旋修正系数标定方法探讨 被引量：1
10
作者 关伟 王宽 +1 位作者 赵永乾 宋宇康 《中国测试》 北大核心 2024年第S2期74-77,共4页
参考国内外权威标准,指出现行国家军用测试标准中标定加速度计自旋修正系数的试验状态将引入方法误差。首先,通过分析加速度计自旋修正系数和角速度灵敏度及相关术语的定义,指出标定自旋修正系数时输入角速度必须通过加速度计的角速度... 参考国内外权威标准,指出现行国家军用测试标准中标定加速度计自旋修正系数的试验状态将引入方法误差。首先,通过分析加速度计自旋修正系数和角速度灵敏度及相关术语的定义,指出标定自旋修正系数时输入角速度必须通过加速度计的角速度有效质量中心并与其输入敏感轴平行,而现行测试标准采用的试验状态不能满足这一要求;其次,基于标准的加速度计误差模型,推导出自旋修正系数标定模型,并通过算例验证加速度计在旋转条件下的偏值可以用其输出的平均值替代,从而设计出加速度计自选修正系数的标定步骤和数据处理方法。所提供的标定方法简明易懂,可以作为现行国家军用测试标准的补充。 展开更多
关键词 加速度计 自旋修正系数 角速度灵敏度 测试标准 标定模型
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微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试 被引量：1
11
作者 王策 张晓玉 +4 位作者 金丽 解琨阳 贾鑫瑞 张鹏 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期114-120,共7页
提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受... 提出了一种基于微纳光栅泰伯效应的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过Comsol软件对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。由于受外界温度起伏影响,双层光栅结构间距受热膨胀系数的影响产生相对位移。为了减小由于温度起伏对光栅加速度计零偏的影响,采用温度闭环反馈控制技术将加速度计温度变化控制在±10 mK范围内。经实验测试,加速度计零偏稳定性达3.7μg,相较于无温控情况提升了近7倍。最终实现光栅MOEMS加速度计的灵敏度达5.23 V/g,线性相关系数为99.9%,分辨率达286.8μg。 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 光栅加速度计 泰伯效应 温度闭环反馈控制 零偏稳定性
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基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计 被引量：1
12
作者 杜艺鑫 金丽 +2 位作者 解琨阳 吴倩楠 李孟委 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期98-104,共7页
对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速... 对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速度的高精度测量,采用不同周期的两组光栅进行双轴加速度检测,通过磁控溅射工艺将两组光栅结构沉积在质量块的不同区域,最终通过阳极键合方式实现该双轴MOEMS加速度计的制备。实验结果表明,光栅泰伯效应双轴MOEMS加速度计x轴与y轴的灵敏度分别为3.36和3.54 V/g,零偏稳定性分别为25.53和20.91μg@1 s。该研究为实现高精度多轴加速度计提供了一种新的方法。 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合
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用于三轴MEMS加速度计的集成数字调理电路 被引量：1
13
作者 王晓 任臣 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 2024年第6期138-147,共10页
基于0.18μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺,设计了一种用于三轴微电子机械系统(MEMS)加速度计的集成数字调理电路,实现了三轴加速度信号的数字后处理。该数字调理电路采用级联积分梳状(CIC)与有限冲击响应(FIR)相结合的滤波器形式,有... 基于0.18μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺,设计了一种用于三轴微电子机械系统(MEMS)加速度计的集成数字调理电路,实现了三轴加速度信号的数字后处理。该数字调理电路采用级联积分梳状(CIC)与有限冲击响应(FIR)相结合的滤波器形式,有效滤除了带外的量化噪声,提高了输出信号的信噪比;零位采用四阶多项式拟合温补算法,标度因数采用二阶多项式拟合温补算法,有效降低了加速度输出随温度的漂移,提升了加速度计的测量精度。此外,FIR滤波器采用时分复用的实现形式,温补模块采用串行实现形式,有效减小了芯片面积,最终芯片面积为1.5 mm^(2)。测试结果表明,滤波器符合设计值,三轴MEMS加速度计的零偏不稳定性为15μg,速率随机游走为0.035 m/s/√h,温补后零偏全温区变化量为3.55mg,提升了5.4倍;温补后标度因数全温区变化量为0.0026,提升了4.1倍,电路性能良好。 展开更多
关键词 数字调理电路 微电子机械系统(MEMS) 加速度计 级联积分梳状(CIC)滤波器 有限冲击响应(FIR)滤波器 时分复用 温度补偿
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压电加速度计不同安装方式对灵敏度频率响应的影响 被引量：1
14
作者 王玲 《上海计量测试》 2024年第5期29-31,共3页
提出了比较法中频振动标准装置中不同安装方式对压电加速度计灵敏度频率响应的影响,并进行试验研究。通过不同测量结果的比较,得出了在对压电加速度计进行比较法校准时选择合理的安装方式,对规范和完善压电加速度计的校准过程有非常重... 提出了比较法中频振动标准装置中不同安装方式对压电加速度计灵敏度频率响应的影响,并进行试验研究。通过不同测量结果的比较,得出了在对压电加速度计进行比较法校准时选择合理的安装方式,对规范和完善压电加速度计的校准过程有非常重要的意义,并能够保证压电加速度计灵敏度有良好的频率响应特性。 展开更多
关键词 比较法中频振动标准装置 压电加速度计 灵敏度频率响应 安装方式 校准结果
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基于EMD和分形高斯噪声的陀螺仪噪声滤波方法研究 被引量：1
15
作者 张海涛 赵振东 +2 位作者 陈伟 洪磊 吴金国 《汽车科技》 2024年第1期76-82,共7页
为降低MEMS陀螺仪输出信号中低频噪声提高信号精度,提出一种采用基于EMD和分形高斯噪声的滤波方法。陀螺仪输出的横摆角速度信号使用滑动窗口法,对窗口数据进行聚合方差法估计Hurst参数,并通过EMD分解窗口数据获得各层IMF分量及余项,计... 为降低MEMS陀螺仪输出信号中低频噪声提高信号精度,提出一种采用基于EMD和分形高斯噪声的滤波方法。陀螺仪输出的横摆角速度信号使用滑动窗口法,对窗口数据进行聚合方差法估计Hurst参数,并通过EMD分解窗口数据获得各层IMF分量及余项,计算窗口阈值并进行阈值处理选择,逐步处理滑动窗口数据,将处理后的IMF分量和余项整合,得出滤波后的信号数据。通过仿真实验验证及实车数据验证,证明滤波方法对信号噪声精度提高的可行性。 展开更多
关键词 陀螺仪 EMD分解 分形高斯噪声 阈值处理
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微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析 被引量：17
16
作者 王立森 胡宇群 +2 位作者 李志宏 余同希 赵亚溥 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期516-522,共7页
抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁... 抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁结构的整体破坏和微结构在横向之间的粘附。应用拟静态和能量方法给出微结构在冲击载荷下的响应。 展开更多
关键词 微加速度计 体硅加工工艺 冲击载荷 失效分析 粘附
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小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试 被引量：12
17
作者 赵健 施芹 +3 位作者 夏国明 裘安萍 吴志强 苏岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1927-1933,共7页
设计了一款由微机电系统和专用集成电路构成的小型化硅微谐振式加速度计。该加速度计采用80μm厚SOI工艺加工微机电系统(MEMS)结构,采取真空封装技术降低结构噪声。首先,采用振荡信号作为自动增益控制电路中斩波器的控制信号,降低了闪... 设计了一款由微机电系统和专用集成电路构成的小型化硅微谐振式加速度计。该加速度计采用80μm厚SOI工艺加工微机电系统(MEMS)结构,采取真空封装技术降低结构噪声。首先,采用振荡信号作为自动增益控制电路中斩波器的控制信号,降低了闪变噪声且不会引入额外的功耗。其次,使用线性区工作的乘法器取代传统的吉尔伯特单元,通过大幅降低系统总体供电电压来降低功耗。最后,采用复位计数器进行频率数字转换,在所关心的带宽内抑制量化噪声。实验显示:该加速度计在达到±30 g线性量程的前提下,实现了2.5μg/√Hz的分辨率和1μg的零偏不稳定度。此外,为了减小电路自身发热引起的温度漂移,该样机的功耗被控制在3.5mW以内,系统集成后的尺寸约为45mm×30mm×20mm。基于所述技术,系统在体积、功耗和性能方面均有较大的提升。 展开更多
关键词 硅微谐振式加速度计 专用集成电路 SOI工艺 真空封装 小型化 低功耗
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加速度传感器的动态特性软件补偿方法研究 被引量：27
18
作者 才海男 周兆英 +1 位作者 李勇 张文栋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期263-267,共5页
本文提出了一种加速度传感器动态测量误差的软件补偿方法，其基本原理是根据加速度传感器的输入输出传递函数，构造出一个软件的补偿算法，这个算法的传递函数的零极点分别与加速度传感器的传递函数的极零点相抵消，从而使加速度传感器... 本文提出了一种加速度传感器动态测量误差的软件补偿方法，其基本原理是根据加速度传感器的输入输出传递函数，构造出一个软件的补偿算法，这个算法的传递函数的零极点分别与加速度传感器的传递函数的极零点相抵消，从而使加速度传感器的输出信号经过运算后其动态误差得到补偿，扩展了加速度传感器的使用频带。 展开更多
关键词 加速度传感器 动态特性 软件误差补偿 传感器
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梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化 被引量：13
19
作者 吴天准 董景新 +1 位作者 刘云峰 赵长德 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期285-289,共5页
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指... 为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。 展开更多
关键词 微机电系统 梳齿式微加速度计 性能分析 量 程 稳定性 线性度 分辨率 参数设计
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基于步态加速度的步态分析研究 被引量：22
20
作者 刘蓉 黄璐 +1 位作者 李少伟 刘毅 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期893-896,共4页
介绍了基于加速度传感器的便携式步态数据采集模块的设计方案。重点分析了步态加速度信号的特征,以及利用步态加速度的无偏自相关特性提取步态参数方法,并通过分析、对比人单步(左、右脚步)与步态周期间的相关系数,实现了步态对称性的... 介绍了基于加速度传感器的便携式步态数据采集模块的设计方案。重点分析了步态加速度信号的特征,以及利用步态加速度的无偏自相关特性提取步态参数方法,并通过分析、对比人单步(左、右脚步)与步态周期间的相关系数,实现了步态对称性的评估。 展开更多
关键词 加速度传感器 步态分析 自相关 步态对称性
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