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光纤陀螺温度影响的补偿方法分析
1
作者 张鹏 朱纬 董雪明 《中国计量》 2025年第3期97-102,共6页
外部环境温度的变化会给光纤陀螺的精度带来较大影响,限制了光纤陀螺的应用。为有效克服环境温度改变引起的光纤陀螺温度漂移误差,文章提出了一种包含温度、温度变化率及光纤陀螺输入角速率的多变量非线性模型补偿方法。首先分析了光纤... 外部环境温度的变化会给光纤陀螺的精度带来较大影响,限制了光纤陀螺的应用。为有效克服环境温度改变引起的光纤陀螺温度漂移误差,文章提出了一种包含温度、温度变化率及光纤陀螺输入角速率的多变量非线性模型补偿方法。首先分析了光纤陀螺的温度效应机理,据此得出外部环境温度及环境温度变化率均会对光纤陀螺的输出值产生干扰,引起温度漂移误差;其次构建了转台转动条件下的光纤陀螺输出模型,通过实验确定模型中参数;最后完成光纤陀螺输出模型的有效性验证,相对误差达10-5量级,模型可以较好实现光纤陀螺全温范围内的温度误差补偿,有效改善温度和温度变化率对光纤陀螺输出精度的影响,提高了光纤陀螺的温度性能,拓展了应用范围。 展开更多
关键词 计量学 光纤陀螺 温度漂移 零偏 标度因数 补偿方法
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基于VMD-CNN-LSTM的光纤陀螺故障诊断方法
2
作者 刘颖 贾志航 +2 位作者 张娟 倪波波 徐金涛 《西安邮电大学学报》 2025年第5期119-130,共12页
针对光纤陀螺故障特征提取困难、诊断精度不高的问题,提出一种融合变分模态分解(Variational Mode Decomposition,VMD)、卷积神经网络(Convolutional Neural Network,CNN)与长短期记忆(Long Short-Term Memory,LSTM)网络的混合诊断算法... 针对光纤陀螺故障特征提取困难、诊断精度不高的问题,提出一种融合变分模态分解(Variational Mode Decomposition,VMD)、卷积神经网络(Convolutional Neural Network,CNN)与长短期记忆(Long Short-Term Memory,LSTM)网络的混合诊断算法。首先构建光纤陀螺漂移模型,根据漂移误差不确定性原理生成包含5类故障的模拟信号;其次利用VMD信号进行自适应频域分解,提取各本征模态函数(Intrinsic Mode Function,IMF)分量的样本熵构成多维特征向量;最后将提取出来的特征向量输入到CNN-LSTM网络模型,通过CNN层捕获局部时频特征,LSTM门控机制挖掘时间序列的依赖关系,采取Softmax函数进行分类故障识别。实验结果表明,该方法在相同数据集下的平均诊断准确率为94.57%,较EEMD-CNN和EMD-CNN方法分别提升14%与17.72%,可有效用于光纤陀螺故障诊断。 展开更多
关键词 光纤陀螺 故障诊断 变分模态分解 卷积神经网络 长短期记忆网络
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基于分频与锁相环的双工作物质核磁陀螺激励磁场快速闭环控制
3
作者 傅启 仰燕兰 +2 位作者 王翔宇 翟长伟 牛丹 《工业控制计算机》 2025年第2期114-116,共3页
锁相环是最常用的核磁共振陀螺激励磁场闭环控制方案。双工作物质核磁陀螺具有良好的抗静磁场干扰能力,发展前景广阔,但是目前对锁相环在双工作物质核磁陀螺中的应用研究较少。提出一种基于陷波器组分频结合正交信号发生器锁相环的双工... 锁相环是最常用的核磁共振陀螺激励磁场闭环控制方案。双工作物质核磁陀螺具有良好的抗静磁场干扰能力,发展前景广阔,但是目前对锁相环在双工作物质核磁陀螺中的应用研究较少。提出一种基于陷波器组分频结合正交信号发生器锁相环的双工作物质核磁陀螺激励磁场快速闭环控制方案。相比传统锁相环闭环方案,仿真结果表明,采用所提出闭环方案的陀螺仪动态响应更迅速,系统稳定性更强,且量程可达2500°/s,带宽7 Hz,具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 核磁共振陀螺仪 激励磁场闭环 频率分离 锁相环 量程带宽
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基于微镜空间耦合的低光学噪声谐振式空芯光纤陀螺研究
4
作者 张宏运 邹康 +2 位作者 徐小虎 郑畅 王晨晟 《光学与光电技术》 2025年第4期41-48,共8页
空芯光子晶体光纤作为一种新型特种光纤,应用在谐振式光纤陀螺中能够制备高性能小型化谐振腔,具有较强的环境抗干扰性以及能够减小非线性光噪声的优势。针对空芯光纤熔接损耗过大问题,提出了一种硅基光学平台上单分束镜反射式空间微镜... 空芯光子晶体光纤作为一种新型特种光纤,应用在谐振式光纤陀螺中能够制备高性能小型化谐振腔,具有较强的环境抗干扰性以及能够减小非线性光噪声的优势。针对空芯光纤熔接损耗过大问题,提出了一种硅基光学平台上单分束镜反射式空间微镜耦合方案,实现了小尺寸低耦合损耗的空芯光子晶体光纤谐振腔,同时提供了入腔光功率稳定性补偿接口,结合光功率反馈模块能够有效抑制系统中光学克尔噪声;对空芯光子晶体光纤谐振腔的小型化和温度不敏感性等特性进行研究,最后对谐振腔进行测试,结果表明:谐振腔耦合损耗为0.28 dB,输出精细度为19.4,为目前同类方案中最优水平;反馈补偿后顺逆光功率差为17.5 nW,光学克尔噪声决定的系统探测精度达到0.07°/h,满足高精度陀螺精度需求。 展开更多
关键词 谐振式光纤陀螺 空芯光子晶体光纤 空间微镜耦合系统 光学克尔噪声
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利用三轴转台的MEMS陀螺仪温度误差研究综述 被引量：1
5
作者 夏瑞阳 肖承翔 潘康华 《机械工业标准化与质量》 2024年第1期41-43,共3页
本文通过研究分析相关研究领域的文献,阐述了MEMS陀螺仪的工作机理以及产生温度误差的原因,并总结了当前MEMS陀螺仪温度误差研究领域所使用的测试方法和取得的一些成果,为后续的课题研究奠定基础。
关键词 MEMS陀螺仪 三轴转台 零偏输出温度误差
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针对品质因子变化的微陀螺仪正交误差抑制
6
作者 钟鸣宇 周浩 +2 位作者 熊壮 施志贵 赵宝林 《电子制作》 2024年第12期27-30,共4页
MEMS陀螺仪的正交误差会对最终角速度输出的零位偏置与零偏稳定性产生影响。文章首先对测试使用的双质量块音叉陀螺结构进行介绍,并利用等效模型计算分析了正交误差对输出的影响;其次,文章分析了气压变化对陀螺仪品质因子的影响,并提出... MEMS陀螺仪的正交误差会对最终角速度输出的零位偏置与零偏稳定性产生影响。文章首先对测试使用的双质量块音叉陀螺结构进行介绍,并利用等效模型计算分析了正交误差对输出的影响;其次,文章分析了气压变化对陀螺仪品质因子的影响,并提出正交误差抑制优化方案,设计了测试电路;接下来,利用优化后的正交误差抑制方案,对不同品质因子的情况进行了仿真测试,验证了该方案的可行性;最后利用测控电路,并对陀螺仪表芯进行测试,使用优化方案后,陀螺仪零偏稳定性仅为不使用情况下的10%,验证了使用该优化方案可提高陀螺仪性能。 展开更多
关键词 MEMS 音叉陀螺 正交误差 品质因子
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IMU位姿测量中MEMS陀螺在线多参数标定方法研究 被引量：1
7
作者 秦伟 徐斌 陈友 《机电工程技术》 2024年第12期111-114,125,共5页
惯性测量单元(Inertial Measurement Unit,IMU)作为AGV导航部件应用时存在位姿误差累积。采用高精度磁强计信息对MEMS陀螺误差参数进行在线标定,以减小长航时运动任务时的导航定位误差。通过推导磁强计的测量模型及IMU的姿态测量关系,... 惯性测量单元(Inertial Measurement Unit,IMU)作为AGV导航部件应用时存在位姿误差累积。采用高精度磁强计信息对MEMS陀螺误差参数进行在线标定,以减小长航时运动任务时的导航定位误差。通过推导磁强计的测量模型及IMU的姿态测量关系,将磁航向角与姿态偏航角两个参数值对比,以磁强计信息作为稳定参考量,估计MEMS陀螺的误差参数。估计算法采用非线性的无迹卡尔曼滤波(UKF),建立了MEMS陀螺误差模型,确定12维参数作为估计对象,包括零漂、刻度因子、安装失准角等,作为系统状态向量,采用磁强计测量参数模型建立量测方程,实现多参数的在线最优估计,将标定后的参数进行位姿测量可提高导航精度。用该方法标定后的陀螺进行姿态解算进行实验,实验结果表明:对比较标定前数据,标定后的静态姿态精度(1σ)提高约47%;动态精度小于2°,提高约25%。相对于离线标定,此方法不需要频繁拆卸,快速、实时地进行误差校准,可以减少长航时在线标定的误差积累。 展开更多
关键词 AGV MEMS陀螺 在线标定 误差模型 磁强计 无迹卡尔曼滤波(UKF)
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基于信号分解与分类建模的HRG稳定期预测
8
作者 李新三 李灿 +2 位作者 沈强 汪立新 王海洋 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期3729-3738,共10页
为准确预测半球谐振陀螺(HRG)输出稳定期,提出基于信号分解与分类建模的稳定期预测方法。针对HRG高可靠、长期稳定特点引起的样本变化规律不明显问题,使用具有频率显微镜能力的互补集合经验模态分解(CEEMD)算法对输出进行分解,得到不同... 为准确预测半球谐振陀螺(HRG)输出稳定期,提出基于信号分解与分类建模的稳定期预测方法。针对HRG高可靠、长期稳定特点引起的样本变化规律不明显问题,使用具有频率显微镜能力的互补集合经验模态分解(CEEMD)算法对输出进行分解,得到不同频率尺度的信号分量;采用增广Dickey-Fuller(ADF)检验方法对分量信号进行平稳性检验,对于平稳分量建立自回归滑动平均(ARMA)预测模型,对于非平稳分量建立熵-径向基(RBF)神经网络模型。在时间对齐后,分量信号重构得到陀螺输出预测模型。设计陀螺输出稳定标准,给定基于输出预测的稳定期预测流程。经实验验证,组合模型预测平均相对误差仅为1.29%,比自回归积分滑动平均模型(ARIMA)误差减小了1个数量级,比熵-RBF神经网络模型误差减小了约1倍,验证了信号分解与分类建模方法的有效性与高精度。基于陀螺预测输出对陀螺稳定期进行预测,得到了实验陀螺输出稳定期约为3.95年的结论,与实际应用中相一致,说明所提方法的可行性。 展开更多
关键词 半球谐振陀螺 稳定期预测 互补集合经验模态分解 分类建模 熵-RBF神经网络
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MEMS陀螺仪器件级真空封装技术 被引量：24
9
作者 施芹 苏岩 +1 位作者 裘安萍 朱欣华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1987-1992,共6页
为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品... 为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品质因数陀螺仪的空气阻尼。对早期真空封装陀螺仪品质因数的变化曲线进行了分析,得出了腔体内残余气体是品质因数下降的主要原因。采用程序升温脱附质谱分析法(TPD-MS)分析陶瓷管壳和金属盖板的放气特性,并选用了合适的吸气剂。最后,改进了器件级真空封装流程。测试结果表明,采用改进的器件级真空封装的陀螺仪品质因数最高可达162660,约为早期真空封装陀螺仪品质因数的14倍,且在一年内的变化<0.05%。 展开更多
关键词 MEMS陀螺仪 真空封装 真空保持度 吸气剂
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基于改进EMD的微机械陀螺随机误差建模方法 被引量：23
10
作者 杨菊花 刘洋 +2 位作者 陈光武 魏宗寿 邢东峰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期196-204,共9页
为了降低微机械(MEMS)陀螺仪的随机误差,提出一种将改进的经验模态分解法(EMD)与传统建模滤波方法相结合的新方法对随机误差进行处理。首先采用传统EMD算法将信号分解为有限个本征模态函数(IMF),并根据皮尔逊相关系数准则和噪声统计特... 为了降低微机械(MEMS)陀螺仪的随机误差,提出一种将改进的经验模态分解法(EMD)与传统建模滤波方法相结合的新方法对随机误差进行处理。首先采用传统EMD算法将信号分解为有限个本征模态函数(IMF),并根据皮尔逊相关系数准则和噪声统计特性提出一种筛选机制,将IMF分为噪声IMFs、混叠IMFs和信号IMFs 3类;其次,对混叠IMFs进行时间序列建模,建模完成后进行卡尔曼滤波拟合;最后,将建模滤波后的混叠IMFs与信号IMFs进行重构,得到最终去噪信号。实验分析结果表明,本文方法在抑制随机误差的效果上有明显的优势,极大地改善了信号的质量,提高了惯导的解算精度。 展开更多
关键词 微机械陀螺 随机误差 改进经验模态分解法 时间序列模型 KALMAN滤波 ALLAN方差
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微石英音叉陀螺激励与检测电极的研究 被引量：9
11
作者 王莹 孙雨南 +1 位作者 秦秉坤 印平 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期503-507,共5页
根据弹性力学和静电场理论建立压电梁弯曲振动时晶体内电场分布的泊松方程 ,研究微石英音叉陀螺不同形式的激励与检测电极的性能 .对泊松方程求解 ,得出了几种典型电极形式下压电梁内电场的分布表达式 ,计算驱动电极的等效体力和检测电... 根据弹性力学和静电场理论建立压电梁弯曲振动时晶体内电场分布的泊松方程 ,研究微石英音叉陀螺不同形式的激励与检测电极的性能 .对泊松方程求解 ,得出了几种典型电极形式下压电梁内电场的分布表达式 ,计算驱动电极的等效体力和检测电极的压电电流 .根据等效体力和压电电流的大小确定出了最佳驱动电极和检测电极的形式 ,给出了微石英音叉陀螺电极性能的研究方法 . 展开更多
关键词 石英陀螺 压电效应 等效体力 压电电流 检测电极 微机械角速度传感器
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硅微陀螺正交误差直流校正设计与分析 被引量：10
12
作者 倪云舫 李宏生 +4 位作者 杨波 黄丽斌 赵立业 王攀 刘嘉 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期104-108,共5页
为硅微陀螺设计了一种正交误差直流校正方法,通过设计校正结构和加载直流电压实现正交校正。建立了存在正交误差时敏感质量的运动微分方程,分析明确了正交响应的成因和对驱动运动轨迹的影响。为硅微陀螺设计了正交校正结构,实现构建静... 为硅微陀螺设计了一种正交误差直流校正方法,通过设计校正结构和加载直流电压实现正交校正。建立了存在正交误差时敏感质量的运动微分方程,分析明确了正交响应的成因和对驱动运动轨迹的影响。为硅微陀螺设计了正交校正结构,实现构建静电耦合弹性系数并利用驱动运动产生校正静电力。校正力的频率和相位无需电路控制,使该方法相较于传统校正方法具备特殊优势。设计并分析了校正电压的两种加载方式,通过实验测试验证了正交响应幅值随校正电压的变化规律。实测校正电压接近理论值,证明了校正结构设计的正确性。该方法在双线振动式硅微陀螺中具有重要应用价值。 展开更多
关键词 硅微陀螺 正交误差 正交校正 直流电压 结构设计
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核磁共振陀螺仪研究进展 被引量：8
13
作者 陈颖 刘占超 刘刚 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期1017-1023,共7页
核磁共振陀螺仪(NMRG)是基于量子原理的、目前世界上体积最小的导航级陀螺仪,具有加速度不敏感、抗干扰能力强且没有运动部件等优势,有望在与微机电陀螺仪同等体积、成本下达到光学陀螺仪的精度,受到了国内外广泛关注.介绍了核磁共振陀... 核磁共振陀螺仪(NMRG)是基于量子原理的、目前世界上体积最小的导航级陀螺仪,具有加速度不敏感、抗干扰能力强且没有运动部件等优势,有望在与微机电陀螺仪同等体积、成本下达到光学陀螺仪的精度,受到了国内外广泛关注.介绍了核磁共振陀螺仪基于核磁共振技术的基本工作原理,然后回顾了核磁共振陀螺仪自20世纪60年代起的发展历史,重点分析了21世纪以来国内外研究机构在核磁共振陀螺领域取得的重大研究成果,并对国内外核磁共振陀螺仪的最新研究进展进行了跟踪,美国Northrop Grumman公司已经率先研制出了面向军事领域的微小型导航级核磁共振陀螺仪.最后对核磁共振陀螺仪未来发展的方向进行展望,将进一步向高精度、低成本和小体积方向发展,同时分析了核磁共振陀螺可能应用前景,将广泛应用于民用领域以及军用领域. 展开更多
关键词 核磁共振陀螺仪 原子陀螺仪 微陀螺仪 惯性导航 量子原理
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基于改进径向基函数神经网络的激光陀螺温度补偿 被引量：6
14
作者 史震 陈帅 +2 位作者 张健 赵琳 孙骞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期2975-2982,共8页
传统的径向基神经网络(RBFNN)在激光陀螺零偏的温度补偿过程中会由于随机选取中心不合适而导致算法效率降低和数值病态,故本文提出了一种基于Kohonen网络和正交最小二乘(OLS)算法的RBFNN温度补偿方法。介绍了该方法的原理及建模步骤,设... 传统的径向基神经网络(RBFNN)在激光陀螺零偏的温度补偿过程中会由于随机选取中心不合适而导致算法效率降低和数值病态,故本文提出了一种基于Kohonen网络和正交最小二乘(OLS)算法的RBFNN温度补偿方法。介绍了该方法的原理及建模步骤,设计了常温和变温环境下激光陀螺的数据采集试验及其温度补偿试验。由于结合了Kohonen网络的模式分类能力和OLS的优化选择能力,该方法可以快速、准确地辨识出受温度影响的激光陀螺零偏。利用逐步回归法、RBFNN法及其改进方法对多种温变环境影响的激光陀螺零偏进行了辨识与补偿试验,试验结果表明,在常温环境下,三者的辨识能力相当;随着温变速率的上升,改进RBFNN法不仅节省了时间,其补偿后的零偏也均小于5×10-4(°)/h(1σ),提高精度均能达86%以上。得到的结果表明改进RBFNN法提高了辨识精度且稳定、有效,适用于多种温度变化环境下激光陀螺零偏的温度补偿。 展开更多
关键词 激光陀螺 RBF神经网络(RBFNN) KOHONEN网络 正交最小二乘(OLS)
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硅微陀螺正交误差校正方案优化 被引量：6
15
作者 曹慧亮 王玉良 +4 位作者 石云波 申冲 李宏生 刘俊 杨志才 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期134-142,共9页
本文意在寻求双质量硅微机械陀螺仪正交校正最优方案。首先介绍了带有正交校正和检测力反馈梳齿的双质量硅微机械陀螺结构,量化分析了正交误差对输出信号的影响并进行了仿真,结果显示解调相角变化为±2°,200(°)/s的正交... 本文意在寻求双质量硅微机械陀螺仪正交校正最优方案。首先介绍了带有正交校正和检测力反馈梳齿的双质量硅微机械陀螺结构,量化分析了正交误差对输出信号的影响并进行了仿真,结果显示解调相角变化为±2°,200(°)/s的正交误差等效输入角速率可引起15(°)/s的输出信号变化。然后,对目前3种比较主流的硅微机械陀螺仪正交校正方法(电荷注入法(CIM)、正交力校正法(QFCM)和正交耦合刚度校正法(QCSCM))进行了实验研究,从理论上证明了这3种方法的可行性。对未加入正交校正环节的陀螺进行了实验,结果显示其左、右质量块输出的正交误差信号峰峰值分别为150mV和300mV。针对两质量块正交误差不等的实际问题提出了质量块单独校正的方案。采用CIM、QFCM和QCSCM对校正前零偏及其稳定性分别为-4.589(°)/s和378(°)/h的陀螺进行了实验校正,结果显示3种方法均可有效消除检测通道中正交信号,3种方法的零偏及零偏稳定性结果分别为-8.361(°)/s和423(°)/h,2.419(°)/s和82(°)/h,1.751(°)/s和25(°)/h,证明了正交耦合刚度校正法为3种方法中的最优方案。 展开更多
关键词 硅微机械陀螺仪 电荷注入法 正交力校正 正交耦合刚度校正
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磁悬浮控制力矩陀螺高速电机绕组涡流损耗计算及热分析 被引量：6
16
作者 韩邦成 彭松 +2 位作者 贺赞 刘旭 张旭 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期130-140,共11页
为了更准确地预测磁悬浮控制力矩陀螺中高速电机工作时的温升,需要计算电机绕组涡流损耗和对陀螺进行热分析。本文以最大角动量200 N·m·s,额定转速12000 r/min的磁悬浮控制力矩陀螺为研究对象,首先分析了电机绕组涡流产生原理... 为了更准确地预测磁悬浮控制力矩陀螺中高速电机工作时的温升,需要计算电机绕组涡流损耗和对陀螺进行热分析。本文以最大角动量200 N·m·s,额定转速12000 r/min的磁悬浮控制力矩陀螺为研究对象,首先分析了电机绕组涡流产生原理,采用了一种解析法和有限元法结合的方法,推导并计算了高速电机绕组涡流损耗。然后,建立了陀螺三维有限元模型,在已知陀螺各部件损耗的基础上进行了热分析,得到了温度仿真分布。最后,设计了陀螺样机温升实验进行验证。仿真分析得知高速电机定子温度最高,定子绕组温度为40.3℃。温升实验测得电机定子温度为41.6℃,与理论值误差为3.1%。这相比未考虑绕组涡流损耗时的热分析,精度提高了3.7%。考虑了绕组涡流损耗的热分析预测温升更加准确,这对于优化磁悬浮控制力矩陀螺的热设计有重要意义。 展开更多
关键词 磁悬浮控制力矩陀螺 永磁无刷直流电机 涡流损耗 有限元 热分析
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石英振梁加速度计静态输入输出特性 被引量：10
17
作者 杨挺 杨贵玉 李庆丰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期386-390,共5页
通过平衡方程建立了一种石英振梁加速度计敏感元件的静力学模型,分别利用梁弯曲振动微分方程和有限元分析方法获得了敏感元件的输入加速度与输出频率之间的精确关系,从而从理论上获得了敏感元件的静态输入输出特性。通过离心试验对所设... 通过平衡方程建立了一种石英振梁加速度计敏感元件的静力学模型,分别利用梁弯曲振动微分方程和有限元分析方法获得了敏感元件的输入加速度与输出频率之间的精确关系,从而从理论上获得了敏感元件的静态输入输出特性。通过离心试验对所设计的加速度计进行了标定,并与理论计算结果进行比对,最终认为理论计算能够准确的反映出石英振梁加速度计的静态输入输出特性。同时,该计算方法可以为其他包含振梁的传感器的设计提供依据。最后,提出了实测结果与理论计算存在偏差的原因:标度因数的偏差来源于振梁厚度的加工误差,非线性度的偏差来源于装配角度偏差以及外界温度变化引起的频率漂移等因素。 展开更多
关键词 静态输入输出特性 石英振梁加速度计 振动微分方程 有限元分析
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高真空环境下硅微机械陀螺品质因数的温度特性 被引量：4
18
作者 姜劭栋 苏岩 +1 位作者 裘安萍 施芹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1990-1995,共6页
分析了温度在高真空环境下对硅微机械陀螺品质因数的影响机理。阐述了热弹性阻尼的复频率模型和硅材料的温度特性,建立了品质因数温度特性理论模型,并对理论模型进行了仿真验证和实验验证。理论计算得到常温下品质因数的温度系数为-9.76... 分析了温度在高真空环境下对硅微机械陀螺品质因数的影响机理。阐述了热弹性阻尼的复频率模型和硅材料的温度特性,建立了品质因数温度特性理论模型,并对理论模型进行了仿真验证和实验验证。理论计算得到常温下品质因数的温度系数为-9.76×10-3/℃。利用ANSYS对品质因数的温度系数进行仿真分析,得到常温下品质因数温度系数的仿真值为-9.96×10-3/℃。对硅微机械陀螺进行品质因数温度实验,得到常温下品质因数的温度系数为-9.02×10-3/℃,与理论计算结果相差8.20%。实验结果表明:高真空环境下建立陀螺品质因数温度特性的理论模型可为陀螺的温度误差补偿提供理论依据,为陀螺的优化设计提供实际指导。 展开更多
关键词 硅微机械陀螺 品质因数 温度特性 热弹性阻尼 高真空
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石英微陀螺的机械耦合问题研究 被引量：7
19
作者 谢立强 吴学忠 李圣怡 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期131-134,共4页
通过研究石英微陀螺的机械耦合误差,对理想和非理想陀螺进行了机械建模和分析,推导出了微陀螺的敏感输出信号和机械耦合的关系公式。通过仿真,讨论了机械耦合与陀螺各参数之间的关系和相互影响程度。
关键词 微机械陀螺 机械耦合 石英
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位置敏感探测器在转角测量中的应用 被引量：5
20
作者 程继伟 巩马理 +3 位作者 贾维溥 刘兴占 闫平 张海涛 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第10期40-42,共3页
简要介绍了位置敏感检测器 (PSD)的基本原理和特点 ,以二维PSD为核心器件 ,设计制作了单镜二维激光扫描器转角测量系统。采用光学滤波和PSD后续信号处理电路相结合的方式 ,有效地消除了杂散光和暗电流的影响。对PSD作了位移标定 ,该系... 简要介绍了位置敏感检测器 (PSD)的基本原理和特点 ,以二维PSD为核心器件 ,设计制作了单镜二维激光扫描器转角测量系统。采用光学滤波和PSD后续信号处理电路相结合的方式 ,有效地消除了杂散光和暗电流的影响。对PSD作了位移标定 ,该系统可实现 30°二维转角测量 ,分辨力为 30″。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 激光扫描器 转角测量 PSD 位置传感器
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