压阻加速度计的Au-Si共晶键合 被引量：15

1

作者 王翔 张大成 +5 位作者 李婷 王玮 阮勇 李修函 王小保 杜先锋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期332-336,共5页

通过将压阻加速度计上帽与结构片的键合 ( 36 5℃保温 10min) ,再进行下帽与结构片的键合 ( 380± 10℃保温2 0min) ,成功进行了三层键合 .测得的键合强度约为 2 30MPa.硅片 基体 /SiO2 /Cr/Au层和硅片之间键合时 ,SiO2 溶解而形成C... 通过将压阻加速度计上帽与结构片的键合 ( 36 5℃保温 10min) ,再进行下帽与结构片的键合 ( 380± 10℃保温2 0min) ,成功进行了三层键合 .测得的键合强度约为 2 30MPa.硅片 基体 /SiO2 /Cr/Au层和硅片之间键合时 ,SiO2 溶解而形成CrSi2 硅化物 .共晶反应因Cr层而被推迟 ,键合温度高出共晶温度 2 0℃左右 ,从而避免了由于Au元素向硅中扩入而造成的污染 ,进而避免可能造成的对集成微电子器件性能的影响 .试验还证明硅基体 SiO2 /Cr/Au/Poly Si/Au键合层结构设计模型也遵循这一键合过程中的原子扩散理论 . 展开更多

关键词 金 硅 共晶键合 压阻式加速度计 封装

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基于加速度计的旋转平台角加速度检测方法 被引量：4

2

作者 高扬 张新磊 +1 位作者 麦吉 胡睿 《宇航计测技术》 CSCD 2015年第2期14-16,共3页

角加速度是衡量转台动态性能的重要技术指标。以加速度计标定方法为理论依据,分析了利用加速度计对转台进行角加速度测量的可行性,并予以具体实现,解决了在特定条件下对角加速度测量的需要。

关键词 角加速度 加速度计 旋转平台

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窗函数在高速飞行目标跟踪中的应用与分析 被引量：6

3

作者 陈明方 张永霞 《国外电子测量技术》 2009年第1期20-22,29,共4页

本文介绍了基于窗函数的数字滤波技术在一种特殊领域——高速飞行目标跟踪中的应用。相对于自适应算法,基于窗函数的数字滤波算法具有更强的实用性。为了提高信号的处理速度与效果,数据截取尤为关键。为此文中引入了矩形窗、汉宁窗、海... 本文介绍了基于窗函数的数字滤波技术在一种特殊领域——高速飞行目标跟踪中的应用。相对于自适应算法,基于窗函数的数字滤波算法具有更强的实用性。为了提高信号的处理速度与效果,数据截取尤为关键。为此文中引入了矩形窗、汉宁窗、海明窗3种窗函数,并对其作了较全面的对比与分析。通过理论分析和实验验证,对比分析选择不同窗函数的不同效果,最终结果证明选择汉宁窗作为截取函数最为理想。 展开更多

关键词 频谱分析 傅里叶变换 窗函数

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精密离心机动态半径的测试与数据分析 被引量：2

4

作者 牛宝良 宁菲 《太赫兹科学与电子信息学报》 北大核心 2019年第5期892-897,共6页

精密离心机动态半径是影响其输出加速度精确度的主要因素。为获得精密离心机的动态半径变化规律及影响因素,基于外基准法采用高精度电容测微仪测试不同转速下的动态半径。基于转速不变时动态半径是直流分量的假定,对测试的数据进行分析... 精密离心机动态半径是影响其输出加速度精确度的主要因素。为获得精密离心机的动态半径变化规律及影响因素,基于外基准法采用高精度电容测微仪测试不同转速下的动态半径。基于转速不变时动态半径是直流分量的假定,对测试的数据进行分析,获得该离心机的动态半径随加速度变化规律为0.011 482μm.m^-1.s^-2和精密离心机转盘形状误差。分析数据可为精密离心机工作半径的修正及补偿提供依据。 展开更多

关键词 精密离心机 动态半径 形状误差

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线加速度计模型方程系数的测量不确定度 被引量：6

5

作者 龙祖洪 邢馨婷 +1 位作者 贺忠江 何懿才 《航空计测技术》 2003年第3期30-31,40,共3页

阐述了线加速度计静态数学模型方程的精密离心校准方法 ,利用最小二乘原理推导了实验数据处理方法 。

关键词 精密离心校准 最小二乘原理 数据处理 线加速度计 模型方程系数 测量不确定度

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线加速度台中稳速台转动对随动台定位稳定性的影响

6

作者 高扬 唐声权 +1 位作者 张新磊 吴华阳 《宇航计测技术》 CSCD 2012年第4期29-32,68,共5页

针对线加速度台用于加速度计测试时,随动台定位受稳速台旋转干扰的现象进行了分析,提出被测设备质量要在负载允许范围内,使设备质心尽可能靠近随动台回转中心,并对其配平,以使稳速台转动带来的干扰力矩大大降低,保证测试中随动台的定位... 针对线加速度台用于加速度计测试时,随动台定位受稳速台旋转干扰的现象进行了分析,提出被测设备质量要在负载允许范围内,使设备质心尽可能靠近随动台回转中心,并对其配平,以使稳速台转动带来的干扰力矩大大降低,保证测试中随动台的定位准确度及稳定性。 展开更多

关键词 线加速度台 稳速台 转动 随动台 稳定性

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基于STC12C5202控制的超声波物位系统设计

7

作者 陈明方 李政芝 +1 位作者 张永霞 陈淦 《国外电子测量技术》 2011年第4期69-72,共4页

为解决特殊工业场所的现场监控问题,设计了一种经济、实用、可靠的非接触式在线物位置监测系统。该系统通过超声波探测物体,选用性价比高的STC12C5202单片机作为主控制器,利用其内置定时器和外中断技术等实现物位监测。系统的实时性好,... 为解决特殊工业场所的现场监控问题,设计了一种经济、实用、可靠的非接触式在线物位置监测系统。该系统通过超声波探测物体,选用性价比高的STC12C5202单片机作为主控制器,利用其内置定时器和外中断技术等实现物位监测。系统的实时性好,电路结构简单。经反复长时间的现场实践证明,该系统运行稳定、可靠。 展开更多

关键词 超声波 STC12C5202 AD694 LCD12864

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智能线速度测试仪

8

作者 茅成 叶耐霜 《机械与电子》 1995年第3期11-12,共2页

介绍了一种线速度测试仪的工作原理及其电路设计方法。

关键词 智能仪表 线速度计 微机

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线速度测量仪 被引量：2

9

作者 郑思义 《国外计量》 1991年第1期 64-65,F004,共3页

关键词 线速度 测量仪 测量

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粒子成像测速法：像面平移技术的测量动态范围

10

作者 周革 张以谟 李贺桥 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1995年第3期316-319,共4页

分析粒子成像测速法中像面平移技术的测量范围，得出选择最佳像面平移量的理论依据．

关键词 粒子成像测速法 像面平移技术 测量范围 速度

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LED测速仪

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作者 许雅娟 《家庭电子》 2004年第3期18-18,共1页

本文介绍一种LED测速仪,它可十分方便地测量汽车、摩托车在高速公路或市区公路上行驶的速度,并用发光二极管以8km/h分档步进显示各种不同的车速:零速、低速、常速、高速和超高速,电路原理如附图所示。该LED测速仪主要由LM2917(IC1)和LM3... 本文介绍一种LED测速仪,它可十分方便地测量汽车、摩托车在高速公路或市区公路上行驶的速度,并用发光二极管以8km/h分档步进显示各种不同的车速:零速、低速、常速、高速和超高速,电路原理如附图所示。该LED测速仪主要由LM2917(IC1)和LM3914(IC2)等组成。IC1为国家半导体公司生产的F-V转换集成电路。由于汽车、摩托车发动机的RPM(每分钟转速)与接触断路器(CB)端点的点火信号脉冲频率成正比。 展开更多

关键词 LED测速仪 发光二极管 电路原理 车速

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