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光纤陀螺温度影响的补偿方法分析
1
作者 张鹏 朱纬 董雪明 《中国计量》 2025年第3期97-102,共6页
外部环境温度的变化会给光纤陀螺的精度带来较大影响,限制了光纤陀螺的应用。为有效克服环境温度改变引起的光纤陀螺温度漂移误差,文章提出了一种包含温度、温度变化率及光纤陀螺输入角速率的多变量非线性模型补偿方法。首先分析了光纤... 外部环境温度的变化会给光纤陀螺的精度带来较大影响,限制了光纤陀螺的应用。为有效克服环境温度改变引起的光纤陀螺温度漂移误差,文章提出了一种包含温度、温度变化率及光纤陀螺输入角速率的多变量非线性模型补偿方法。首先分析了光纤陀螺的温度效应机理,据此得出外部环境温度及环境温度变化率均会对光纤陀螺的输出值产生干扰,引起温度漂移误差;其次构建了转台转动条件下的光纤陀螺输出模型,通过实验确定模型中参数;最后完成光纤陀螺输出模型的有效性验证,相对误差达10-5量级,模型可以较好实现光纤陀螺全温范围内的温度误差补偿,有效改善温度和温度变化率对光纤陀螺输出精度的影响,提高了光纤陀螺的温度性能,拓展了应用范围。 展开更多
关键词 计量学 光纤陀螺 温度漂移 零偏 标度因数 补偿方法
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基于VMD-CNN-LSTM的光纤陀螺故障诊断方法
2
作者 刘颖 贾志航 +2 位作者 张娟 倪波波 徐金涛 《西安邮电大学学报》 2025年第5期119-130,共12页
针对光纤陀螺故障特征提取困难、诊断精度不高的问题,提出一种融合变分模态分解(Variational Mode Decomposition,VMD)、卷积神经网络(Convolutional Neural Network,CNN)与长短期记忆(Long Short-Term Memory,LSTM)网络的混合诊断算法... 针对光纤陀螺故障特征提取困难、诊断精度不高的问题,提出一种融合变分模态分解(Variational Mode Decomposition,VMD)、卷积神经网络(Convolutional Neural Network,CNN)与长短期记忆(Long Short-Term Memory,LSTM)网络的混合诊断算法。首先构建光纤陀螺漂移模型,根据漂移误差不确定性原理生成包含5类故障的模拟信号;其次利用VMD信号进行自适应频域分解,提取各本征模态函数(Intrinsic Mode Function,IMF)分量的样本熵构成多维特征向量;最后将提取出来的特征向量输入到CNN-LSTM网络模型,通过CNN层捕获局部时频特征,LSTM门控机制挖掘时间序列的依赖关系,采取Softmax函数进行分类故障识别。实验结果表明,该方法在相同数据集下的平均诊断准确率为94.57%,较EEMD-CNN和EMD-CNN方法分别提升14%与17.72%,可有效用于光纤陀螺故障诊断。 展开更多
关键词 光纤陀螺 故障诊断 变分模态分解 卷积神经网络 长短期记忆网络
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内燃机瞬时转速测试系统开发 被引量：3
3
作者 程勇 王建昕 +2 位作者 庄人隽 吴波 张立梅 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期522-525,共4页
瞬时转速测量的主要误差为晶振脉冲计数误差和转角计量误差。转角计量误差包括角标器分度误差,曲轴扭振产生的误差。论文对瞬时转速的滤波方法进行了分析,认为FIR低通滤波器对高频干扰有抑制作用,对低频干扰信号抑制作用较差,不适于瞬... 瞬时转速测量的主要误差为晶振脉冲计数误差和转角计量误差。转角计量误差包括角标器分度误差,曲轴扭振产生的误差。论文对瞬时转速的滤波方法进行了分析,认为FIR低通滤波器对高频干扰有抑制作用,对低频干扰信号抑制作用较差,不适于瞬时转速信号滤波。切比雪夫与巴特沃思滤波器对低频干扰信号的抑制效果更好,推荐采用6阶巴特沃思低通滤波器对瞬时转速信号滤波。 展开更多
关键词 内燃机 瞬时转速 测试系统 数字滤波
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基于DSP的全数字闭环光纤陀螺检测 被引量：1
4
作者 李建 王怡 王俊峰 《应用科技》 CAS 2002年第11期33-35,共3页
介绍了一种基于DSP和可编程逻辑器件的全数字光纤陀螺闭环检测方案———数字相位斜坡技术,讨论了采用该方案的电路设计具体问题。很好地解决了标度因子线性度及大的动态范围等问题。
关键词 全数字闭环光纤陀螺 DSP 闭环控制 零差检测 数字相位斜坡反馈 可编程逻辑器件 闭环检测系统 角速度测量
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基于细分插值技术的光栅干涉MOEMS加速度计
5
作者 杨鹏 金丽 +1 位作者 解琨阳 李孟委 《微纳电子技术》 2025年第3期135-141,共7页
为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后... 为了解决光栅加速度计信号全量程线性化的问题,提出了一种基于细分插值技术的光栅干涉微光机电系统(MOEMS)加速度计。首先阐述了光栅干涉式加速度计的敏感机理,即通过两束衍射光之间的光程差变化引起的干涉光强变化实现加速度检测,然后利用仿真对所设计的加速度计结构进行优化设计。由于光栅干涉式加速度计输出信号为单路正弦信号,因此采用细分插值电路技术,结合90°相移和高精度直流偏置电压技术,将具有正弦特性的模拟信号转换为线性变化的标准增量数字信号输出,大大抑制了细分插值过程中两路正交信号的相位、幅值和偏置误差。实验结果表明,所设计光栅干涉MOEMS加速度计灵敏度可达591.484 V/g,结合83倍的细分插值因子,将分辨率提升至39.18μg。该设计为实现高分辨率MOEMS加速度计提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 加速度计 微光机电系统(MOEMS) 光栅干涉 细分插值 线性化
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基于分频与锁相环的双工作物质核磁陀螺激励磁场快速闭环控制
6
作者 傅启 仰燕兰 +2 位作者 王翔宇 翟长伟 牛丹 《工业控制计算机》 2025年第2期114-116,共3页
锁相环是最常用的核磁共振陀螺激励磁场闭环控制方案。双工作物质核磁陀螺具有良好的抗静磁场干扰能力,发展前景广阔,但是目前对锁相环在双工作物质核磁陀螺中的应用研究较少。提出一种基于陷波器组分频结合正交信号发生器锁相环的双工... 锁相环是最常用的核磁共振陀螺激励磁场闭环控制方案。双工作物质核磁陀螺具有良好的抗静磁场干扰能力,发展前景广阔,但是目前对锁相环在双工作物质核磁陀螺中的应用研究较少。提出一种基于陷波器组分频结合正交信号发生器锁相环的双工作物质核磁陀螺激励磁场快速闭环控制方案。相比传统锁相环闭环方案,仿真结果表明,采用所提出闭环方案的陀螺仪动态响应更迅速,系统稳定性更强,且量程可达2500°/s,带宽7 Hz,具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 核磁共振陀螺仪 激励磁场闭环 频率分离 锁相环 量程带宽
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面向MEMS谐振加速度计灵敏度提升的梯形微杠杆优化研究 被引量：1
7
作者 赵文胜 李挺 +2 位作者 李蓉 何江波 周吴 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第2期11-15,共5页
灵敏度影响微机电系统(MEMS)谐振加速度计精度。针对传统矩形微杠杆宽度较大会导致灵敏度损失的问题,提出并优化了一种梯形微杠杆。首先介绍了带有梯形微杠杆的MEMS谐振加速度计的工作原理和结构特点。再以灵敏度为目标函数,基于有限元... 灵敏度影响微机电系统(MEMS)谐振加速度计精度。针对传统矩形微杠杆宽度较大会导致灵敏度损失的问题,提出并优化了一种梯形微杠杆。首先介绍了带有梯形微杠杆的MEMS谐振加速度计的工作原理和结构特点。再以灵敏度为目标函数,基于有限元方法建立了梯形微杠杆的优化模型,包含2个步骤:第1步,建立了以支点梁位置及支点梁、输出梁和输入梁的长度为变量的灵敏度优化模型,优化结果使灵敏度达到272.9 Hz/g;第2步,以第1步得到的优化尺寸为基础,对杠杆臂的梯形形状进行优化,使灵敏度提高到302.4 Hz/g。优化得到的单位质量块面积对应的灵敏度达到42.7 Hz/(g·mm^(2)),因此通过梯形微杠杆优化可以在紧凑空间内实现高灵敏度。 展开更多
关键词 微机电系统 谐振加速度计 梯形微杠杆 灵敏度 结构优化
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基于粒子群优化的BP神经网络PID的加速度计组件温控算法 被引量：1
8
作者 魏国 朱旭 +3 位作者 高春峰 侯承志 程嘉奕 陈迈伦 《中国惯性技术学报》 北大核心 2025年第4期359-366,共8页
在高精度惯性导航系统和惯性重力测量系统中,石英挠性加速度计的温变特性直接影响着系统的导航精度和重力测量系统精度,加速度的高精度信息测量对加速度计组件工作环境温度稳定性提出了更高要求。为进一步提高温控精度和抗扰动能力,提... 在高精度惯性导航系统和惯性重力测量系统中,石英挠性加速度计的温变特性直接影响着系统的导航精度和重力测量系统精度,加速度的高精度信息测量对加速度计组件工作环境温度稳定性提出了更高要求。为进一步提高温控精度和抗扰动能力,提出了基于PSO-BPNN-PID控制器,利用粒子群优化算法和反向传播算法对神经网络PID控制器进行离线和在线的连接权值整定,实现石英挠性加速度计组件一体化温度控制算法,满足加速度计组件的自适应智能控制需求。仿真和实验结果表明,所提算法能够显著提升系统的温度稳定性,可实现±0.002℃的温度稳定控制。同时,验证了系统具备快速响应温度变化的能力,能够在短时间内将温度调整至设定值附近,并有效抑制超调现象。此外,实验还模拟了外部扰动情况,验证了系统在面对扰动时能够迅速恢复稳定状态,表现出优越的抗扰动能力,可以满足多种温度环境下的加速度计组件高精度温控应用需求。 展开更多
关键词 石英挠性加速度计 温度控制 粒子群优化算法 BP神经网络
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基于计数卡的振动台角速度和角加速度测量 被引量：2
9
作者 余臻 孙浩 +1 位作者 贺忠江 韩业伟 《计测技术》 2008年第1期35-36,共2页
介绍了利用IK220计数卡实现角速率、振动台的角速度和角加速度测量,给出了具体的系统组成、软件结构和最终的测试结果。该装置可以较方便地实现角速度和角加速度测量,实际应用达到了比较满意的效果。
关键词 IK220计数卡 角速率 振动台 角速度 角加速度
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基于微镜空间耦合的低光学噪声谐振式空芯光纤陀螺研究
10
作者 张宏运 邹康 +2 位作者 徐小虎 郑畅 王晨晟 《光学与光电技术》 2025年第4期41-48,共8页
空芯光子晶体光纤作为一种新型特种光纤,应用在谐振式光纤陀螺中能够制备高性能小型化谐振腔,具有较强的环境抗干扰性以及能够减小非线性光噪声的优势。针对空芯光纤熔接损耗过大问题,提出了一种硅基光学平台上单分束镜反射式空间微镜... 空芯光子晶体光纤作为一种新型特种光纤,应用在谐振式光纤陀螺中能够制备高性能小型化谐振腔,具有较强的环境抗干扰性以及能够减小非线性光噪声的优势。针对空芯光纤熔接损耗过大问题,提出了一种硅基光学平台上单分束镜反射式空间微镜耦合方案,实现了小尺寸低耦合损耗的空芯光子晶体光纤谐振腔,同时提供了入腔光功率稳定性补偿接口,结合光功率反馈模块能够有效抑制系统中光学克尔噪声;对空芯光子晶体光纤谐振腔的小型化和温度不敏感性等特性进行研究,最后对谐振腔进行测试,结果表明:谐振腔耦合损耗为0.28 dB,输出精细度为19.4,为目前同类方案中最优水平;反馈补偿后顺逆光功率差为17.5 nW,光学克尔噪声决定的系统探测精度达到0.07°/h,满足高精度陀螺精度需求。 展开更多
关键词 谐振式光纤陀螺 空芯光子晶体光纤 空间微镜耦合系统 光学克尔噪声
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基于EKF的无轴承异步电机无速度传感器控制 被引量：22
11
作者 杨泽斌 樊荣 +2 位作者 孙晓东 董大伟 朱熀秋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1023-1030,共8页
为解决无接触、无摩擦无轴承异步电机低成本运行中转速辨识问题,提出了一种基于扩展卡尔曼滤波器的无速度传感器控制方法。该方法分别将电机的端电压和定子电流作为无轴承异步电机状态方程的控制变量和可测变量,并将系统状态方程降阶后... 为解决无接触、无摩擦无轴承异步电机低成本运行中转速辨识问题,提出了一种基于扩展卡尔曼滤波器的无速度传感器控制方法。该方法分别将电机的端电压和定子电流作为无轴承异步电机状态方程的控制变量和可测变量,并将系统状态方程降阶后,经扩展卡尔曼滤波器估计的递推公式得出含有电机转子转速的状态变量,实现转速参量的在线辨识并减少计算量。仿真结果表明:利用该检测方法构造的控制系统不仅能在宽速范围内有效观测转子转速,且具有优良的转速和转矩特性。进一步实验也表明,该控制方法能准确辨识出转速,并将转子径向位移峰-峰值控制在100μm以内稳定悬浮运行,实现了无轴承异步电机无速度传感器方式下的稳定悬浮运行,验证了所提检测方法的正确性与有效性。 展开更多
关键词 扩展卡尔曼滤波器 无速度传感器 无轴承异步电机 矢量控制
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微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析 被引量：17
12
作者 王立森 胡宇群 +2 位作者 李志宏 余同希 赵亚溥 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期516-522,共7页
抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁... 抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标 ,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式 ,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究。实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式 ,即微梁结构的整体破坏和微结构在横向之间的粘附。应用拟静态和能量方法给出微结构在冲击载荷下的响应。 展开更多
关键词 微加速度计 体硅加工工艺 冲击载荷 失效分析 粘附
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压阻加速度计的Au-Si共晶键合 被引量：15
13
作者 王翔 张大成 +5 位作者 李婷 王玮 阮勇 李修函 王小保 杜先锋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期332-336,共5页
通过将压阻加速度计上帽与结构片的键合 ( 36 5℃保温 10min) ,再进行下帽与结构片的键合 ( 380± 10℃保温2 0min) ,成功进行了三层键合 .测得的键合强度约为 2 30MPa.硅片 基体 /SiO2 /Cr/Au层和硅片之间键合时 ,SiO2 溶解而形成C... 通过将压阻加速度计上帽与结构片的键合 ( 36 5℃保温 10min) ,再进行下帽与结构片的键合 ( 380± 10℃保温2 0min) ,成功进行了三层键合 .测得的键合强度约为 2 30MPa.硅片 基体 /SiO2 /Cr/Au层和硅片之间键合时 ,SiO2 溶解而形成CrSi2 硅化物 .共晶反应因Cr层而被推迟 ,键合温度高出共晶温度 2 0℃左右 ,从而避免了由于Au元素向硅中扩入而造成的污染 ,进而避免可能造成的对集成微电子器件性能的影响 .试验还证明硅基体 SiO2 /Cr/Au/Poly Si/Au键合层结构设计模型也遵循这一键合过程中的原子扩散理论 . 展开更多
关键词 金 硅 共晶键合 压阻式加速度计 封装
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小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试 被引量：12
14
作者 赵健 施芹 +3 位作者 夏国明 裘安萍 吴志强 苏岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1927-1933,共7页
设计了一款由微机电系统和专用集成电路构成的小型化硅微谐振式加速度计。该加速度计采用80μm厚SOI工艺加工微机电系统(MEMS)结构,采取真空封装技术降低结构噪声。首先,采用振荡信号作为自动增益控制电路中斩波器的控制信号,降低了闪... 设计了一款由微机电系统和专用集成电路构成的小型化硅微谐振式加速度计。该加速度计采用80μm厚SOI工艺加工微机电系统(MEMS)结构,采取真空封装技术降低结构噪声。首先,采用振荡信号作为自动增益控制电路中斩波器的控制信号,降低了闪变噪声且不会引入额外的功耗。其次,使用线性区工作的乘法器取代传统的吉尔伯特单元,通过大幅降低系统总体供电电压来降低功耗。最后,采用复位计数器进行频率数字转换,在所关心的带宽内抑制量化噪声。实验显示:该加速度计在达到±30 g线性量程的前提下,实现了2.5μg/√Hz的分辨率和1μg的零偏不稳定度。此外,为了减小电路自身发热引起的温度漂移,该样机的功耗被控制在3.5mW以内,系统集成后的尺寸约为45mm×30mm×20mm。基于所述技术,系统在体积、功耗和性能方面均有较大的提升。 展开更多
关键词 硅微谐振式加速度计 专用集成电路 SOI工艺 真空封装 小型化 低功耗
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MEMS陀螺仪器件级真空封装技术 被引量：24
15
作者 施芹 苏岩 +1 位作者 裘安萍 朱欣华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1987-1992,共6页
为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品... 为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品质因数陀螺仪的空气阻尼。对早期真空封装陀螺仪品质因数的变化曲线进行了分析,得出了腔体内残余气体是品质因数下降的主要原因。采用程序升温脱附质谱分析法(TPD-MS)分析陶瓷管壳和金属盖板的放气特性,并选用了合适的吸气剂。最后,改进了器件级真空封装流程。测试结果表明,采用改进的器件级真空封装的陀螺仪品质因数最高可达162660,约为早期真空封装陀螺仪品质因数的14倍,且在一年内的变化<0.05%。 展开更多
关键词 MEMS陀螺仪 真空封装 真空保持度 吸气剂
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加速度传感器的动态特性软件补偿方法研究 被引量：27
16
作者 才海男 周兆英 +1 位作者 李勇 张文栋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期263-267,共5页
本文提出了一种加速度传感器动态测量误差的软件补偿方法，其基本原理是根据加速度传感器的输入输出传递函数，构造出一个软件的补偿算法，这个算法的传递函数的零极点分别与加速度传感器的传递函数的极零点相抵消，从而使加速度传感器... 本文提出了一种加速度传感器动态测量误差的软件补偿方法，其基本原理是根据加速度传感器的输入输出传递函数，构造出一个软件的补偿算法，这个算法的传递函数的零极点分别与加速度传感器的传递函数的极零点相抵消，从而使加速度传感器的输出信号经过运算后其动态误差得到补偿，扩展了加速度传感器的使用频带。 展开更多
关键词 加速度传感器 动态特性 软件误差补偿 传感器
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梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化 被引量：13
17
作者 吴天准 董景新 +1 位作者 刘云峰 赵长德 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期285-289,共5页
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指... 为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。 展开更多
关键词 微机电系统 梳齿式微加速度计 性能分析 量 程 稳定性 线性度 分辨率 参数设计
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基于电涡流传感器的转速测量方法研究 被引量：18
18
作者 王成栋 朱永生 +1 位作者 康荣学 张优云 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第6期45-47,共3页
研究了一种利用电涡流传感器和PCI-9118DG数据采集卡测量转速的方法。该方法利用电涡流传感器测量转子测速圆盘上均匀分布小孔产生的周期信号,再对测量信号进行Butterworth低通滤波处理,然后进行0、1转换,得到一系列脉冲信号,便于对信... 研究了一种利用电涡流传感器和PCI-9118DG数据采集卡测量转速的方法。该方法利用电涡流传感器测量转子测速圆盘上均匀分布小孔产生的周期信号,再对测量信号进行Butterworth低通滤波处理,然后进行0、1转换,得到一系列脉冲信号,便于对信号周期数进行计数。由于采样时间可通过采样频率和采样点数计算得到,因而可根据这一时间间隔内信号的周期数来计算转速。中文详细论述了该方法的硬件组成、测量原理和软件实现,分析了该方法的误差来源以及相应的改进措施,在小型转子试验台的测量结果表明,该方法在测量平稳转速时,准确度高,简单实用。 展开更多
关键词 转速测量 电涡流传感器 Bunerworth滤波 数据采集 低通滤波
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基于步态加速度的步态分析研究 被引量：22
19
作者 刘蓉 黄璐 +1 位作者 李少伟 刘毅 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期893-896,共4页
介绍了基于加速度传感器的便携式步态数据采集模块的设计方案。重点分析了步态加速度信号的特征,以及利用步态加速度的无偏自相关特性提取步态参数方法,并通过分析、对比人单步(左、右脚步)与步态周期间的相关系数,实现了步态对称性的... 介绍了基于加速度传感器的便携式步态数据采集模块的设计方案。重点分析了步态加速度信号的特征,以及利用步态加速度的无偏自相关特性提取步态参数方法,并通过分析、对比人单步(左、右脚步)与步态周期间的相关系数,实现了步态对称性的评估。 展开更多
关键词 加速度传感器 步态分析 自相关 步态对称性
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微机械惯性传感器的技术现状及展望 被引量：35
20
作者 刘危 解旭辉 李圣怡 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第5期425-431,共7页
对微机械惯性传感器—微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述。根据其不同的技术实现,诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述。这些微传感器的用途很广,而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗... 对微机械惯性传感器—微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述。根据其不同的技术实现,诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述。这些微传感器的用途很广,而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点,正在全世界范围内被广泛研究。最后,对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论,并提出了展望。 展开更多
关键词 微机械 惯性传感器 微加速度计 微陀螺 技术现状
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