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陶瓷厚膜力敏传感器 被引量：1
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作者 常慧敏 马以武 戈瑜 《自动化仪表》 CAS 北大核心 1997年第12期12-15,共4页
介绍采用厚膜工艺技术制作陶瓷力敏传感器,详细叙述圆膜片式压力传感器和陶瓷双孔梁式力传感器的工作原理、主要性能、结构设计、制作工艺,展望其应用前景.
关键词 力敏传感器 厚膜应变电阻 陶瓷 传感器 压力
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