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基于神经网络及机理分析的气力输送粉料质量流量软测量 被引量:10
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作者 赵昀 黄志尧 +1 位作者 王保良 李海青 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期360-363,共4页
本文提出了神经网络与机理分析结合的软测量方法 ,用以实现对气力输送系统中粉料质量流量的在线测量。通过实验验证 ,这种混合软测量方法是有效的。同时 ,与机理模型以及与基于标准神经网络的软测量方法的比较研究表明 。
关键词 气力输送 质量流量 神经网络 软测量模型 粉料
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质量流量计流量误差分析 被引量:2
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作者 李晓峰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期102-106,共5页
质量流量计(MFC)广泛用于微电子工艺气体的流量控制。硅片制造工艺水平通常取决于对工艺过程中气体流量的精确控制。目前在线使用的质量流量计对工艺过程有较大影响,包括质量流量计的设计缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对质... 质量流量计(MFC)广泛用于微电子工艺气体的流量控制。硅片制造工艺水平通常取决于对工艺过程中气体流量的精确控制。目前在线使用的质量流量计对工艺过程有较大影响,包括质量流量计的设计缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对质量流量计提出了更高要求。根据质量流量计的设计机理和外围条件,分析了MFC对相关气体工艺的影响。 展开更多
关键词 质量流量计 流量计 误差分析
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利用流体动量变化率测定气体质量流量的研究
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作者 任江 王子延 贾旺存 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期136-138,共3页
本文提出了沿垂直于流体流动方向激振流体,并在下游测量流体动量变化率,从而确定流体质量流量的一种新方法。对该方法进行了理论分析,并以气体为介质进行了实验研究,取得了与理论分析相一致的实验结果。所得结论为新型质量流量计的... 本文提出了沿垂直于流体流动方向激振流体,并在下游测量流体动量变化率,从而确定流体质量流量的一种新方法。对该方法进行了理论分析,并以气体为介质进行了实验研究,取得了与理论分析相一致的实验结果。所得结论为新型质量流量计的开发打下了良好的基础。 展开更多
关键词 质量汉量 测量 动量 流体 流量
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质量流量计计量超差原因分析 被引量:8
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作者 武胜林 《石油化工自动化》 CAS 1999年第4期66-69,共4页
从实践的角度,剖析了科里奥利质量流量计计量超差的原因,提出了消除计量误差的措施和忠告。
关键词 流量计 质量流量计 计量误差
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DBL-1型电热式边界层质量流量计
5
作者 王伟 《有色金属(冶炼部分)》 CAS 北大核心 1995年第5期38-40,共3页
介绍以管内流动流体边界层为基础的电热式质量流量计的原理、结构。
关键词 流量计 质量流量计 边界层理论 电热式
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用于大管道中的烟气流量的计量
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作者 朱玲 《仪器仪表标准化与计量》 1998年第3期34-35,共2页
由于工况较差、烟气含尘量偏高、流速低、有腐蚀等诸多因素,给大管道烟气流量计的选型造成了一定的困难。而选用热式气体质量流量计可发挥其独特优点,作为大管道烟气流量测量手段的一种补充手段。
关键词 流量计 冶金工业 烟气 质量流量计 大管道
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