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高性能薄膜压力传感器设计与工艺 被引量：4
1
作者 王洪业 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第11期13-14,共2页
介绍了基于离子束溅射工艺，生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点。
关键词 离子束溅射 压力传感器 薄膜压力传感器
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