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用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法 被引量:7
1
作者 戴高良 殷纯永 《光学技术》 EI CAS CSCD 1999年第1期21-23,27,共4页
通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数,可得到存在一定冗余度的一组测量结果,经过一定的逻辑混合;可实观测量分辨率优于0.1nm,测量范围不受λ/2周期限制,从而克服了以往单一采用相位测量法测量范围限于一个周... 通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数,可得到存在一定冗余度的一组测量结果,经过一定的逻辑混合;可实观测量分辨率优于0.1nm,测量范围不受λ/2周期限制,从而克服了以往单一采用相位测量法测量范围限于一个周期和锁相倍频计数法分辨率不易提高的难题。给出了在实际纳米测量干涉仪采用这种外差信号处理方法的测量结果。 展开更多
关键词 纳米测量学 外差干涉仪 相位测量 信号处理 激光
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用计算机细分干涉条纹技术的研究 被引量:5
2
作者 肖国宏 黄丽清 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期53-54,共2页
本文提出了一种对干涉条纹的变化进行记录和细分的计算机系统。由于采用了一种新的细分标准,使细分干涉条纹更加合理、简便、准确。在文章的最后以实验结果验证了本系统的可靠性。
关键词 干涉条纹 细分 计算机系统
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外差干涉仪频率混叠误差分析 被引量:12
3
作者 赵慧洁 《计量学报》 CSCD 北大核心 1999年第3期166-171,共6页
研究了激光外差干涉仪中存在的频率混叠现象、误差形成机理和变化规律。重点分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和Wolaston棱镜的安装方位角引起的频率混叠误差的大小及变化规律。对进一步提高共光路外差干涉测... 研究了激光外差干涉仪中存在的频率混叠现象、误差形成机理和变化规律。重点分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和Wolaston棱镜的安装方位角引起的频率混叠误差的大小及变化规律。对进一步提高共光路外差干涉测量精度具有现实意义。 展开更多
关键词 频率混叠 外差干涉 误差分析 干涉仪
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用改造后的柯氏干涉仪测量量块中心长度的测量不确定度评定 被引量:6
4
作者 倪育才 邵宏伟 刘香斌 《现代计量测试》 1999年第6期7-16,共10页
通过用633nm 短频He-Ne 激光代替氪灯,提高小数测量的准确度等措施,对常规柯氏干涉仪进行了改造,结果获得测量量块中心长度的标准不确定度为uc= (5.5nm )2+ (8.3×10- 8L)2。
关键词 柯氏干涉仪 测量不确定度 量块中心长度
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波长扫描光纤干涉仪扫描模型的建立及分析
5
作者 王勇 廖延彪 田芊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期459-464,共6页
介绍了一种新的可用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪,建立了测量系统及波长扫描的模型,分析了波长扫描的随机漂移对测量的影响,提出了对光源扫描性能的要求.实验结果表明,测量系统的精度可达到0.05μm.
关键词 光纤干涉仪 波长扫描 距离 扫描模型 干涉仪
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考虑入射光场光谱分布和损耗的Fabry-Perot干涉仪透射函数
6
作者 杨亚培 袁纵横 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第4期379-383,共5页
运用部分相干光理论,分析了多光束干涉,得到了考虑损耗和入射光光谱函数分布的Fabry-Perot干涉仪透射函数.并就损耗和入射光场光谱宽度对透射函数的透过峰高度、对比度、精细常数,即Fabry-Perot干涉仪的性能... 运用部分相干光理论,分析了多光束干涉,得到了考虑损耗和入射光光谱函数分布的Fabry-Perot干涉仪透射函数.并就损耗和入射光场光谱宽度对透射函数的透过峰高度、对比度、精细常数,即Fabry-Perot干涉仪的性能的影响做了分析。 展开更多
关键词 F-P干涉仪 透射函数 光谱 损耗 干涉仪
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剪切电子散斑干涉术中消偏振效应的研究
7
作者 任雅萍 姜力军 +3 位作者 范华 张弛 骆德渊 谭玉山 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第2期54-57,共4页
就散射光的偏振性对剪切电子散斑干涉术中的影响进行了研究,文中给出了理论分析及实验结果,得出了消偏振效应不改变计量条纹调制度,但降低光能利用率的结论。
关键词 剪切干涉术 散斑干涉术 偏振效应 消偏振
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相移剪切 ESPI 测量精度分析
8
作者 任雅萍 姜力军 +2 位作者 范华 张弛 谭玉山 《计量技术》 北大核心 1998年第7期2-4,共3页
条纹信噪比、相移量误差和探测器非线性是影响相移剪切EPSI测量精度的三个主要因素。本文分析了这些因素对相移剪切ESPI测量精度的影响,并对相移剪切ESPI系统的整体误差进行了估计。
关键词 相移剪切 电子散斑干涉术 误差分析
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铌酸锂电光调制器用于激光外差干涉新方法
9
作者 李彬 梁晋文 《宇航计测技术》 CSCD 1997年第4期9-12,共4页
介绍铌酸锂电光调制器的特点,恰当利用这些特点可以研制出新型的激光外差干涉仪,并给出了两个应用实例。
关键词 铌酸锂 电光调制器 长度测量 激光 干涉仪
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激光双谱线功率的不一致性与拍波干涉仪对准精度的关系
10
作者 邓罗根 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第1期105-109,共5页
双谱线功率一致性是拍波干涉测长方案对激光光源提出的特殊要求。本文从拍波干涉仪对准方法的实际出发,在分析双谱线拍波干涉仪输出信号的基础上,研究了双谱线功率不一致与拍波干涉仪对准精度的关系,提出了基本对准盲区和盲区扩大量... 双谱线功率一致性是拍波干涉测长方案对激光光源提出的特殊要求。本文从拍波干涉仪对准方法的实际出发,在分析双谱线拍波干涉仪输出信号的基础上,研究了双谱线功率不一致与拍波干涉仪对准精度的关系,提出了基本对准盲区和盲区扩大量的新概念,建立了描述盲区扩大量与双谱线相对功率差之间关系的解析表达式。为设计拍波干涉仪的激光稳定环路和提高拍波干涉仪的对准精度提供了理论分析工具。 展开更多
关键词 拍波 干涉仪 双波长干涉计量 激光双谱线功率
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相位物体测试系统的设计与误差分析
11
作者 李田泽 《计量技术》 北大核心 1999年第6期6-8,共3页
本文以横向错位干涉原理为基础,对相位物体测试系统进行了设计与误差分析,并给出了应用该测量系统测试的实验结果。
关键词 相位物体 测试系统 设计 误差分析 横向错位干涉
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高精度激光干涉测量中环境误差因素的综合补偿 被引量:5
12
作者 李东光 张国雄 曲军 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第4期28-33,共6页
分析了高精度激光干涉测量中环境误差因素对测量的影响;针对不同情况。
关键词 激光干涉测量 空气折射率 误差补偿
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偏振干涉相位细分的误差分析与补偿 被引量:2
13
作者 张孟斌 孙文林 齐恕安 《计量学报》 CSCD 1994年第3期204-209,共6页
高分辨率、高精确度的偏振干涉测长方法在几何量测量中得到了广泛的应用。本文应用严格的数学方法分析了它的测量误差,并提出补偿与消减该项误差的方法。
关键词 位移测量 干涉仪 误差 相位
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准外差干涉计量算法分析及应用 被引量:1
14
作者 郑文 《计量学报》 CSCD 1994年第3期226-231,共6页
采用最小二乘方法,在更一般的意义下推导了准外差干涉计量的相位计算公式,提出了测量误差与采样方式、采样次数、信噪比及相位漂移的关系,提出了相位算法选择的基本依据。建立了准外差全息干涉计量系统,能对条纹图进行全场、高精度... 采用最小二乘方法,在更一般的意义下推导了准外差干涉计量的相位计算公式,提出了测量误差与采样方式、采样次数、信噪比及相位漂移的关系,提出了相位算法选择的基本依据。建立了准外差全息干涉计量系统,能对条纹图进行全场、高精度、全自动的定量分析;将其应用于实际物体变形的测量之中,给出了实验结果。 展开更多
关键词 干涉计量 准外差 相位 算法
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干涉条纹机器客观读数系统的研究 被引量:2
15
作者 黄晓蓉 《实用测试技术》 1996年第6期15-18,共4页
怎样客观地进行干涉条纹测量并提高干涉条纹读数分辨力及读数准确度是进行一等量块检测的首要前提条件,本文介绍利用激光与数值化图像处理技术分析与解决这一问题。
关键词 干涉仪 干涉条纹机器 激光 数值化图像处理
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条纹扫描干涉术中白光的影响
16
作者 周必春 陈家壁 《南京师大学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1995年第3期30-34,共5页
在条纹扫描干涉中,白光光谱分布引起的测量误差是一种原理误差.本文阐述了产生这种误差的原因,并给出了模拟计算的结果.结果显示这一误差大于20%,该误差不能忽略,必须加以补偿,文中给出了一个补偿系数C.
关键词 条纹扫描干涉术 白光 干涉条纹 测量误差
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莫尔条纹在分析冲击场气流密度测试中的应用
17
作者 李田泽 《光学仪器》 1998年第6期9-13,共5页
应用莫尔条纹方法,设计了一种显示燃气射流冲击场的实验装置,测出了射流冲击场的气流密度分析,指出颗粒散射光是马赫盘附近对条纹清晰度差的原因。
关键词 莫尔条纹 气流密度 马赫盘 冲击场 干涉仪
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激光光源迈克耳逊干涉仪的图样分析
18
作者 杨友松 《包头钢铁学院学报》 1993年第2期25-27,共3页
用激光作迈克耳逊干涉仪的光源,除了得到一可调节变化的图形外,还发现了一个在调节中不变的图样。分析这一现象,对教学演示、干涉测量、提高干涉仪的图形质量以及改进实验都很有意义。
关键词 激光光源 迈克耳逊干涉仪 图样分析 干涉仪
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不同观察平面上两个相干点光源干涉图样的数学分析
19
作者 王世来 《浙江水产学院学报》 1998年第3期219-222,共4页
1引言对于两个相干点光源干涉的情况,具有等光程差点在空间的轨迹是一个以点源S1和S2为焦点的旋转双曲面,图一示。一般光学教科书中在分析其干涉图样时,均将观察平面放在Σ1位置上(即为典型的杨氏实验),从而观察到干涉图样... 1引言对于两个相干点光源干涉的情况,具有等光程差点在空间的轨迹是一个以点源S1和S2为焦点的旋转双曲面,图一示。一般光学教科书中在分析其干涉图样时,均将观察平面放在Σ1位置上(即为典型的杨氏实验),从而观察到干涉图样为等距离的直线条纹。但如果将观察平... 展开更多
关键词 相干点光源干涉 观察平面 数学分析
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干涉仪中部分偏振光干涉的理论分析 被引量:2
20
作者 孙柏忠 《长春光学精密机械学院学报》 1993年第2期12-17,共6页
在干涉仪中,光的偏振态是不可忽视的。本文在干涉仪的物理模型基础上,推导了两束偏振光干涉的强度公式、一束偏振光与一束部分偏振光干涉的强度公式,以及两束部分偏振光干涉的强度公式。分析了光的偏振态对干涉条纹对比度的影响。讨论... 在干涉仪中,光的偏振态是不可忽视的。本文在干涉仪的物理模型基础上,推导了两束偏振光干涉的强度公式、一束偏振光与一束部分偏振光干涉的强度公式,以及两束部分偏振光干涉的强度公式。分析了光的偏振态对干涉条纹对比度的影响。讨论了在干涉义中提高干涉条纹对比度的方法。 展开更多
关键词 干涉仪 光学仪器 偏振光干涉 理论分析
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