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一种高透过率光纤探针的制作 被引量：7
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作者 张工力 白永林 +1 位作者 J.D.White 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第5期436-439,共4页
本文介绍了一种用于近场扫描光学显微镜（ＮＳＯＭ）中的高透过率光纤探针的制作方法．采用缓冲氢氟酸腐蚀低掺杂的普通单模石英光纤，选取适当比例的腐蚀液，可以得到直径、圆锥角均十分理想的针尖．这种方法不需要高掺杂的特殊光纤或... 本文介绍了一种用于近场扫描光学显微镜（ＮＳＯＭ）中的高透过率光纤探针的制作方法．采用缓冲氢氟酸腐蚀低掺杂的普通单模石英光纤，选取适当比例的腐蚀液，可以得到直径、圆锥角均十分理想的针尖．这种方法不需要高掺杂的特殊光纤或是采用先熔拉后腐蚀的复合工艺．针尖经过镀膜后经测量为针尖直径１００ｎｍ、透过率５．５×１０－４． 展开更多
关键词 近场 扫描光学显微术 光纤探针 化学腐蚀 制作
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