期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到6篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
计量型原子力显微镜的非线性误差及轴间耦合误差的校准(英文) 被引量：4
1
作者 高思田 赵克功 王春艳 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期441-445,450,共6页
本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种SPM的校准中。对于位移轴的非线性误差和耦和误差进行了校准,给出了校准后残余误差的测量结果。并对一块经过PTB检定的样板进行了测量,测量结果表... 本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种SPM的校准中。对于位移轴的非线性误差和耦和误差进行了校准,给出了校准后残余误差的测量结果。并对一块经过PTB检定的样板进行了测量,测量结果表明对于300nm的台阶高度,测量偏差平均为1. 展开更多
关键词 原子力显微镜 校准 非线性误差 轴间偶合误差
在线阅读 下载PDF
扫描探针显微镜单管式扫描器结构误差的研究 被引量：3
2
作者 刘安伟 胡小唐 张国雄 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期45-48,共4页
单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一。本文对单管式扫描器的结构误差，主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差，进行了实验和理论研究，并提出了一些相应的补偿措施。
关键词 扫描探针显微镜 单管式扫描器 结构误差
在线阅读 下载PDF
运用回归分析法建立万能显微镜示值误差的校准式 被引量：3
3
作者 徐森祺 《计量技术》 1995年第2期13-15,共3页
本文介绍了运用回归分析法，建立万能显微镜示值误差校准式。方法简便易行，可提高计量检测设备的测量准确度。
关键词 万能显微镜 回归分析 误差 校准 显微镜
在线阅读 下载PDF
万能工具显微镜物镜垂轴放大率误差的分析与调整
4
作者 赵勇 《标准计量与质量（陕西）》 1999年第3期24-25,共2页
关键词 万能工具显微镜 物镜 垂轴 放大率 误差分析
在线阅读 下载PDF
提高万工显测角精度的探讨
5
作者 刁裕英 《四川标准化与计量》 1990年第4期35-37,共3页
关键词 万工显 测角 精度 显微镜
在线阅读 下载PDF
万工显示值误差检定方法及其误差分析
6
作者 林伟光 《上海计量测试》 1995年第3期19-19,共1页
JJG56—84工具显微镜检定规程要求,检定示值误差用检定极限误差不大于0.5μm的玻璃刻度尺检定。实践中发现影响示值误差之大小有三个主要因素:①仪器刻线尺本身检定精度高低;②修正量的大小;③刻线尺变形程度大小。在检定示值误差时,从... JJG56—84工具显微镜检定规程要求,检定示值误差用检定极限误差不大于0.5μm的玻璃刻度尺检定。实践中发现影响示值误差之大小有三个主要因素:①仪器刻线尺本身检定精度高低;②修正量的大小;③刻线尺变形程度大小。在检定示值误差时,从0开始每隔25mm检定一尺寸段,就能较好地反映出整个仪器的示值误差情况,若能以几个小数尺寸的检定,就更能反映出示值误差情况。 展开更多
关键词 工具显微镜 误差 检验
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部