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基于少量缺陷样本的带钢表面缺陷检测方法
1
作者 李爱梅 王芳 +2 位作者 于静 刘冀伟 王硕朋 《科技资讯》 2024年第19期33-36,共4页
带钢在生产过程中受到工艺或设备等因素的影响,在表面产生了压伤、滴焦油等缺陷。提出了一种只需要少量的缺陷样本来训练生成对抗网络模型。模型通过学习大量的无缺陷图像数据分布特征,再引入少部分的缺陷图像来进行对比,模型可以学习... 带钢在生产过程中受到工艺或设备等因素的影响,在表面产生了压伤、滴焦油等缺陷。提出了一种只需要少量的缺陷样本来训练生成对抗网络模型。模型通过学习大量的无缺陷图像数据分布特征,再引入少部分的缺陷图像来进行对比,模型可以学习和掌握无缺陷图像和有缺陷图像的分布情况,更有利于缺陷检测。为了使模型稳定,在损失函数中添加抽离项和多样性比因子,并加入优化特征的范数来稀疏模型,从而减少无用特征的干扰。提出的方法对带钢表面缺陷检测的精度达到了95%。 展开更多
关键词 缺陷检测 图像处理 生成对抗网络 支持向量机
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热轧带钢表面缺陷在线检测的方法与工业应用 被引量：62
2
作者 徐科 杨朝霖 周鹏 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期111-114,124,共5页
热轧带钢表面的温度高,辐射光强,并且存在着水、氧化铁皮、光照不均等现象,与冷轧带钢的表面存在着很大的差别。将线阵CCD摄像机作为图像采集装置,用绿色激光线光源作照明,通过窄带滤色镜滤除钢板表面的辐射光,从而提高了缺陷对比度。... 热轧带钢表面的温度高,辐射光强,并且存在着水、氧化铁皮、光照不均等现象,与冷轧带钢的表面存在着很大的差别。将线阵CCD摄像机作为图像采集装置,用绿色激光线光源作照明,通过窄带滤色镜滤除钢板表面的辐射光,从而提高了缺陷对比度。根据热轧带钢表面的特点提出新的缺陷检测与识别算法流程,通过增加4种不同类型的缺陷检测步骤,去除了大量由水、氧化铁皮等造成的伪缺陷,在保证缺陷检出率的同时,减小缺陷的误识率。经在线应用,该方法可以满足在线检测的要求,缺陷的检出率达95%以上,识别率达85%以上。 展开更多
关键词 热轧带钢 表面缺陷 在线检测 表面检测
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被测件随机移相干涉面形测量方法 被引量：8
3
作者 赵维谦 李文宇 +2 位作者 赵齐 邱丽荣 王允 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2167-2172,共6页
针对光学元件的面形测量,提出了一种被测件随机移相干涉面形测量法,用于降低移相干涉仪的成本,避免移相器老化产生的移相误差对面形检测精度的影响。该方法利用微位移驱动器驱动被测件在摩擦气浮复合导轨上移动进行随机移相并用相机采... 针对光学元件的面形测量,提出了一种被测件随机移相干涉面形测量法,用于降低移相干涉仪的成本,避免移相器老化产生的移相误差对面形检测精度的影响。该方法利用微位移驱动器驱动被测件在摩擦气浮复合导轨上移动进行随机移相并用相机采集若干幅干涉图;然后利用最小二乘迭代算法处理干涉图数据进而迭代出被测表面相位分布;最后进行一系列数据处理求解出被测件的面形结果。为了验证该方法的可行性,在实验室搭建了改进的斐索移相干涉系统,并选用一个凹面镜和一个平面镜作为被测件在搭建的系统上进行了实验测试,同时与同台仪器上的传统移相方法得到的测量结果进行了比对。结果表明:在激光光源波长λ为632.8nm的情况下,凹球面镜面形PV值和RMS值与传统移相方式测量结果相差0.001λ,和0.002λ;平面镜面形PV值和RMS值与传统移相方式的测量结果相差0.002λ和0.003λ,面形数据基本一致。该方法避免了移相器老化引入移相误差,降低了仪器成本,测量精度高。 展开更多
关键词 干涉测量 面形测量 被测件 移相器 随机移相 最小二乘迭代
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基于干涉显微原理的表面形貌测量系统 被引量：11
4
作者 王海珊 史铁林 +2 位作者 廖广兰 刘世元 张文栋 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期84-89,共6页
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂... 根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。 展开更多
关键词 相移干涉法 垂直扫描干涉法 林尼克干涉结构 五步相移算法 SEST算法
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用于非球面通用化检测的部分零位透镜 被引量：10
5
作者 刘东 杨甬英 +1 位作者 田超 卓永模 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第2期322-325,共4页
非球面的非零位法检测高效快速,并可实现较高精度的通用化检测。介绍了一种可用于非球面非零位检测中降低检测光波前斜率的部分零位透镜。该透镜具有较大的球差,可以显著补偿被测非球面的纵向法线像差,使得返回的检测光波前能够被探测... 非球面的非零位法检测高效快速,并可实现较高精度的通用化检测。介绍了一种可用于非球面非零位检测中降低检测光波前斜率的部分零位透镜。该透镜具有较大的球差,可以显著补偿被测非球面的纵向法线像差,使得返回的检测光波前能够被探测器分辨。论述了部分零位透镜的设计过程,特别是约束控制条件以及初始结构的选取原则,并就相对口径为f/2和f/1.5的两个抛物面给出了设计实例。设计结果表明:该部分零位透镜可以对一定口径和相对口径范围内的非球面实现部分零位补偿。利用一系列部分零位镜将可以对较大范围内的非球面进行补偿,从而实现常见非球面的通用化检测。该研究对非球面的通用化检测具有重要意义。 展开更多
关键词 非球面 部分零位透镜 补偿法 通用化检测 非零位
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小型非球面轮廓测量仪的原理及应用 被引量：9
6
作者 倪颖 余景池 +1 位作者 郭培基 丁泽钊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第6期612-616,共5页
介绍了自行研制的FLY I非球面轮廓仪的设计以及测量软件数学模型,其实用精度为1～2μm。光学元件的抛光精度取决于精磨精度,本实验室现有的LOH高精度铣磨机床经过对第1次精磨后的光学元件面形进行修正,2次精磨后其精磨精度可达到2μm。... 介绍了自行研制的FLY I非球面轮廓仪的设计以及测量软件数学模型,其实用精度为1～2μm。光学元件的抛光精度取决于精磨精度,本实验室现有的LOH高精度铣磨机床经过对第1次精磨后的光学元件面形进行修正,2次精磨后其精磨精度可达到2μm。研究了这一非球面轮廓仪以配合LOH铣磨机床,测量得到1次精磨后的面形误差数据,经过误差反馈进行2次精磨,以保证光学元件的精磨精度。通过多次实验以及数据处理、分析,证明自行设计、装调的非球面轮廓仪达到了设计的精度要求,可满足实验室,光学加工车间对小型非球面精磨阶段面形的检测要求,即精磨面形误差在2μm以内,同时也可直接用于中低精度非球面光学元件的最终检测。 展开更多
关键词 轮廓仪 非球面加工 光学元件 测量软件 数学模型
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一种新型多波段大口径平行光管的设计 被引量：10
7
作者 高明辉 李丽富 +1 位作者 徐敬礼 鲍金河 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第4期698-701,共4页
平行光管是光学仪器装调、检测领域常用的标校设备。随着目前光学仪器向着大口径、长焦距、多波段方向的发展,仪器的口径与焦距都远远超出常规平行光管的适用范围。因此,为了保证其检测精度,需使用超出常规的平行光管,这就给光学加工,... 平行光管是光学仪器装调、检测领域常用的标校设备。随着目前光学仪器向着大口径、长焦距、多波段方向的发展,仪器的口径与焦距都远远超出常规平行光管的适用范围。因此,为了保证其检测精度,需使用超出常规的平行光管,这就给光学加工,尤其是机械支撑提出了很高的要求,针对此问题提出了一种新型的大口径平行光管的设计,在传统平行光管应用原理的基础上,采用一种分体式软连接新型机械结构,该设计结构不仅可以降低长焦距、大口径光管的分段连接难度,而且减轻了整个光管的质量,从而可以很大程度上提高检测、装调的效率,降低制造成本。 展开更多
关键词 大口径平行光管 多波段 分体式 软连接
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数字微镜器件的时空特性对相位测量轮廓术的影响 被引量：6
8
作者 曹益平 苏显渝 +2 位作者 陈文静 向立群 张启灿 《光学技术》 EI CAS CSCD 2004年第2期157-160,共4页
数字微镜器件是一种新型的微电子、微机械、微光学集成器件,可广泛的用于大屏幕投影显示。实际上,数字微镜器件作为一种新型的空间光调制器,在光学信息处理和结构照明型三维传感中也具有广泛的应用前景。介绍了数字微镜器件和数字光处... 数字微镜器件是一种新型的微电子、微机械、微光学集成器件,可广泛的用于大屏幕投影显示。实际上,数字微镜器件作为一种新型的空间光调制器,在光学信息处理和结构照明型三维传感中也具有广泛的应用前景。介绍了数字微镜器件和数字光处理器的基本原理,分析了数字微镜器件的时间空间特性,用计算机模拟了这种时空特性对相位测量轮廓术的影响。结果表明,数字微镜器件(DMD)可为投影系统在结构照明型光学三维传感中的应用提供指导。 展开更多
关键词 数字微镜器件 相位测量轮廓术 一维测量 结构照明 空间光调制器 光学信息处理 时空特性
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基于相移电子莫尔条纹的深度非球面检测(英文) 被引量：8
9
作者 程仕东 张学军 +1 位作者 张忠玉 张峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第3期250-255,共6页
通过相移技术检测深度非球面波前时 ,CCD相机和计算机分辨率受到Nyguist频率的限制。基于相互平行相移莫尔条纹干涉技术 ,我们提出一种新颖有效的检测技术。相互平行的相移电子莫尔条纹是由计算机产生三幅光栅作为参考波前 ,分别和输入... 通过相移技术检测深度非球面波前时 ,CCD相机和计算机分辨率受到Nyguist频率的限制。基于相互平行相移莫尔条纹干涉技术 ,我们提出一种新颖有效的检测技术。相互平行的相移电子莫尔条纹是由计算机产生三幅光栅作为参考波前 ,分别和输入被检干涉图相叠加 ,并通过低通滤波器滤波滤掉高频而得到的。最后 ,由三步相移算法 ,我们得出非球面的面形分布。 展开更多
关键词 深度非球面检测 莫尔条纹 面形分布 相移技术 CCD相机 计算机
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复杂轮廓表面光纤数字化系统 被引量：6
10
作者 赵勇 刘丽华 +2 位作者 王军 浦昭邦 李鹏生 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期540-543,共4页
详细描述了系统的构成。实验结果表明,所设计研制的光纤传感测量系统能很好地实现复杂轮廓表面形状的检测问题。测量系统的稳定性优于0.15％,高度分辨力优于0.4μm,定位测量的重复性达到±3μm,由于在传感头端部采用了自聚焦透镜技... 详细描述了系统的构成。实验结果表明,所设计研制的光纤传感测量系统能很好地实现复杂轮廓表面形状的检测问题。测量系统的稳定性优于0.15％,高度分辨力优于0.4μm,定位测量的重复性达到±3μm,由于在传感头端部采用了自聚焦透镜技术,使该传感器有较高的横向分辨力,能有效地实现对微小复杂形状尺寸的扫描检测。将系统用于螺纹型面的检测,测量结果与用万能工具显微镜的检测结果比对,证明了本测量系统的实用性和方法的正确性。 展开更多
关键词 光纤测量技术 微小尺寸测量 复杂形状 螺纹检测
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结构光三维测量中的亚像素级特征提取与边缘检测 被引量：7
11
作者 梁治国 徐科 +1 位作者 徐金梧 宋强 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期96-99,共4页
提高采样频率和检测精度是目前结构光三维测量研究中的关键问题。传统的结构光测量主要通过提取光条中心线来求取物体表面轮廓特征。以激光线光源为结构光光源,提出了针对单条线型激光光束的双特征线提取方法,从而使采样频率提高一倍。... 提高采样频率和检测精度是目前结构光三维测量研究中的关键问题。传统的结构光测量主要通过提取光条中心线来求取物体表面轮廓特征。以激光线光源为结构光光源,提出了针对单条线型激光光束的双特征线提取方法,从而使采样频率提高一倍。同时在算法中引入亚像素检测思想,实现对激光光束的亚像素级特征提取,提高了测量精度。对激光光束宽度与物体表面倾角的关系进行分析,利用Lambert漫反射模型,给出了物体表面倾斜时的阈值修正算法,试验结果验证了算法对提高测量精度的有效性。 展开更多
关键词 结构光 亚像素 三维测量 Lambert模型
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复合型超精密表面形貌测量仪 被引量：11
12
作者 王淑珍 谢铁邦 常素萍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期828-835,共8页
研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪。分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的... 研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪。分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式。研制了三维精密位移系统和基于白光显微干涉的原子力探针测头。采用原子力探针扫描测量对NT-MDT公司生产的扫描探针校准光栅TGZ2_PTB进行了重复性实验,实验显示标准差为0.96nm,相对重复性误差为3.08%。给出了原子力探针扫描测量、相移干涉测量及白光干涉垂直扫描测量的测量实例。实验结果表明,所研制的超精密表面形貌测量仪可用于超精密加工工程表面、光学表面以及微纳几何结构的测量。 展开更多
关键词 超精密测量 表面形貌测量 原子力探针扫描 白光干涉
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非球面部分补偿检测系统的误差分析与处理 被引量：5
13
作者 骆永洁 杨甬英 +2 位作者 田超 韦涛 卓永模 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期636-642,733,共8页
为了实现非球面通用化、高精度检测,提出非球面部分补偿法,并进行误差分析与处理.在光学设计软件ZEMAX中对部分补偿检测系统进行系统建模并优化,分析器件姿态误差及装调精度对重构非球面面形的影响.通过对系统误差的分析,提出基于系统... 为了实现非球面通用化、高精度检测,提出非球面部分补偿法,并进行误差分析与处理.在光学设计软件ZEMAX中对部分补偿检测系统进行系统建模并优化,分析器件姿态误差及装调精度对重构非球面面形的影响.通过对系统误差的分析,提出基于系统建模的光线追迹与误差存储相结合的系统误差处理方法,将系统误差归为由系统建模得到检测光路的误差和由误差存储得到不含检测光路的干涉仪系统的误差.通过计算机仿真及实验证明,部分补偿检测系统采用该误差处理方法去除系统误差后,可以由逆向迭代优化重构(ROR)技术重构出更精确的非球面面形.将该非球面面形与采用无像差点法得到的面形对比,结果较吻合,均方根(RMS)精度接近0.02λ(λ为波长). 展开更多
关键词 非球面检测 部分补偿法 误差分析 误差存储
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激光表面粗糙度测量仪的研制 被引量：7
14
作者 王世华 周肇飞 +1 位作者 周卫东 迟桂纯 《成都科技大学学报》 EI CAS CSCD 1995年第3期62-66,共5页
激光表面粗糙度测量仪利用半导体激光器为光源，激光束投射到试件表面经微观形貌调制而形成散射场，根据对散射场分布的处理测量表面粗糙度。接收半散射带的方法处理散射光分布，测量对试件的放置位置要求低（允许的最大倾斜度Ｘ向±... 激光表面粗糙度测量仪利用半导体激光器为光源，激光束投射到试件表面经微观形貌调制而形成散射场，根据对散射场分布的处理测量表面粗糙度。接收半散射带的方法处理散射光分布，测量对试件的放置位置要求低（允许的最大倾斜度Ｘ向±２°，ｙ向±５°，测量距离偏差限为±２ｍｍ）；测量范围Ｒａ从０．００５μｍ到２μｍ，配置附件可对有特殊形面的试件和内表面的粗糙度进行测量． 展开更多
关键词 表面粗糙度 半导体激光器 测量仪 激光
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粗糙表面精度测量系统的研究 被引量：17
15
作者 高春甫 邬敏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期697-702,共6页
设计了一套粗糙表面精度测量系统,采用线边缘激光三角法实现了亚像素级测量,在图像算法上采用改进的阈值法进行边缘检测,用形态滤波法对被测物表面图像进行处理。研究结果表明,该系统能较好地提高测量精度,并得出较满意的图像边缘,可达... 设计了一套粗糙表面精度测量系统,采用线边缘激光三角法实现了亚像素级测量,在图像算法上采用改进的阈值法进行边缘检测,用形态滤波法对被测物表面图像进行处理。研究结果表明,该系统能较好地提高测量精度,并得出较满意的图像边缘,可达到5 m的测量精度要求,且具有一定的通用性,实现了对具有粗糙表面的电池极片涂敷层的厚度及均匀性的测量。 展开更多
关键词 厚度测量 粗糙表面 亚像素 阈值法 激光三角法 线边缘法 形态滤波
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非接触式表面粗糙度测量研究新进展 被引量：6
16
作者 李粉兰 唐文彦 +1 位作者 段海峰 郝建国 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期498-502,共5页
文中综述了各类非接触式测量方法及其研究现状,并对其未来的研究发展方向进行了展望,以进一步推动理论和应用研究的工作。
关键词 非接触 粗糙度 全场 在线 实时
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圆结构光光条中心亚像素级提取方法 被引量：5
17
作者 杨宪铭 贺俊吉 +1 位作者 张广军 周富强 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期46-49,共4页
从图像中准确提取光条中心对于主动视觉系统十分重要。分析微小物体内表面视觉检测系统中圆形结构光光条图像特征,将干扰光条分为漫反射和镜面反射两类。利用Hessian矩阵确定图像中光条法线方向,在光条法线方向上求解光条中心亚像素位置... 从图像中准确提取光条中心对于主动视觉系统十分重要。分析微小物体内表面视觉检测系统中圆形结构光光条图像特征,将干扰光条分为漫反射和镜面反射两类。利用Hessian矩阵确定图像中光条法线方向,在光条法线方向上求解光条中心亚像素位置,用8方向搜索法剔除干扰光条。实验证明,光条提取和剔除干扰光条方法是有效的。 展开更多
关键词 视觉检测 光条中心提取 亚像素 内窥镜 HESSIAN矩阵
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一种接触式大量程表面形貌测量仪 被引量：5
18
作者 郧建平 杨旭东 +1 位作者 谢铁邦 张玲玲 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期909-913,共5页
为了解工件加工表面的性能和监控表面形貌的形成工艺过程,需要对表面形貌进行精密的测量。用带有白光光源的Linnik干涉显微镜、一个杠杆机构、共基面x-y工作台和垂直扫描工作台共同组成一种接触式大量程表面形貌测量系统,该系统具有测... 为了解工件加工表面的性能和监控表面形貌的形成工艺过程,需要对表面形貌进行精密的测量。用带有白光光源的Linnik干涉显微镜、一个杠杆机构、共基面x-y工作台和垂直扫描工作台共同组成一种接触式大量程表面形貌测量系统,该系统具有测量精度高、测量接触力小的特点,可对常用工件表面进行接触式大量程的测量。测量系统的垂直测量范围为5mm,分辨率小于1nm;x向和y向的水平测量范围为±25mm,分辨率为1.25μm。 展开更多
关键词 表面形貌 触针法 干涉显微镜 白光干涉技术
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ISO5436-2的表面形貌评定基准 被引量：4
19
作者 崔长彩 蒋向前 +1 位作者 李小改 刘晓军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1063-1071,共9页
为了评价仪器的软件和整体性能,根据ISO软件测量标准(SoftGauge)5436-2,应用过程仿真、以及实测电加工表面和实测珩磨表面得到的标准数据,研究了采用不同方法获得的表面形貌即粗糙度轮廓的评定基准,分别为高斯滤波基准、最小二乘中线基... 为了评价仪器的软件和整体性能,根据ISO软件测量标准(SoftGauge)5436-2,应用过程仿真、以及实测电加工表面和实测珩磨表面得到的标准数据,研究了采用不同方法获得的表面形貌即粗糙度轮廓的评定基准,分别为高斯滤波基准、最小二乘中线基准和最小二乘曲线基准。给出了不同基准下ISO 4287定义的表面粗糙度轮廓典型参数的评定结果,包括Ra、Rq、Rp、Rv、Rsk、Rku等,分析了几种基准下各参数相对于标准结果的计算偏差。计算结果表明:对于仿真数据,3种方法的计算精度都比较好,仅仅参数Rsk在两个最小二乘基准下偏差较大,达50%左右;对于电加工表面数据,高斯基准下的各个参数偏差最小,其它两种基准下偏差稍大,而相对偏差较大的是Rsk和Rp,其中Rsk分别为3.55%和-7.45%,Rp分别为-3.45%和3.95%;对于含有跳跃点的珩磨表面,3种基准下的评定结果都有较大偏差,其中求均值运算的Ra、Rq的偏差稍小,其它较大,经过剔除处理后,Ra、Rq偏差仍然相对稍小,Rsk和Rp由较大偏差明显减小为稍小偏差,而Rku、Rp偏差没有明显改进,仍约为40%。总之,3种方法对奇异点较敏感,对无奇异点的粗糙度轮廓的常用参数评定结果基本一致。在评定一般精度、表面无明显周期波纹度成分和较大奇异特征时,对于常用表面功能评定参数,如Ra、Rq,选用原理简单、实现方便的最小二乘拟合基准即可满足要求。 展开更多
关键词 粗糙度评定 基准 标准数据 ISO5436-2 ISO4287
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基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头 被引量：4
20
作者 李瑞君 钱剑钊 +1 位作者 龚伟 黄强先 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期1761-1763,1835,共4页
DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响;去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其... DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响;去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其迟滞特性的影响,可获得较高的精度;更换数值孔径值为0.16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明,该扫描探头的线性感测范围超过90μm,20min的稳定性误差为82.5nm。 展开更多
关键词 DVD光学读取头 扫描探头 聚焦透镜 数值孔径 量程
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