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结构光3D相机倾斜拍摄下的料仓物料检测方法
1
作者 赖雄鸣 李鹏程 +2 位作者 谭援强 黄泽浩 陈煜新 《华侨大学学报(自然科学版)》 2025年第6期640-645,共6页
针对工业现场中相机因补料装置限制而无法正对料仓安装的难题,提出一种基于结构光3D相机倾斜拍摄的料仓物料体积检测方法。首先,通过建立倾斜坐标系下的3D重建数学模型,并利用三角测量原理和相位解算技术获取物料表面点云;其次,设计一... 针对工业现场中相机因补料装置限制而无法正对料仓安装的难题,提出一种基于结构光3D相机倾斜拍摄的料仓物料体积检测方法。首先,通过建立倾斜坐标系下的3D重建数学模型,并利用三角测量原理和相位解算技术获取物料表面点云;其次,设计一种空间坐标预测方法,有效修复点云中的空洞区域;最后,构建差分体积算法,通过空仓与含料仓点云的差值精确计算物料体积。实验结果表明:在30°~60°倾斜角度下,文中方法体积检测的相对误差控制在2.5%以内,且不受料仓形状和尺寸的影响。 展开更多
关键词 结构光三维测量 倾斜拍摄 料仓物料 空洞修复 差分体积计算
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基于VMD-KF联合的激光测量直线度中空气扰动抑制方法研究
2
作者 郭正刚 常富 +2 位作者 牛宇鸣 郝婉秀 邹玮 《制造业自动化》 2025年第11期32-39,共8页
针对激光直线度测量中空气扰动引起的激光准直信号高频随机抖动与低频漂移问题,提出一种基于变分模态分解-卡尔曼滤波(VMD-KF)的联合抑制方法。VMD通过频域分解精准分离并剔除受空气扰动影响的较高频率模态,而KF基于状态空间模型实时跟... 针对激光直线度测量中空气扰动引起的激光准直信号高频随机抖动与低频漂移问题,提出一种基于变分模态分解-卡尔曼滤波(VMD-KF)的联合抑制方法。VMD通过频域分解精准分离并剔除受空气扰动影响的较高频率模态,而KF基于状态空间模型实时跟踪补偿低频漂移。开展了在人为制造空气扰动条件下所提方法对空气扰动的影响抑制实验。实验表明:在400 mm传输距离下,该方法使水平/竖直方向激光准直信号的标准差分别降低了47%和46%。有效抑制了激光直线度测量中的空气随机扰动对直线测量基准的影响。 展开更多
关键词 激光准直 直线度测量 空气扰动 变分模态分解 卡尔曼滤波
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增量式轴角编码器的电子细分及零位处理 被引量：26
3
作者 徐洲 胡晓东 +1 位作者 罗长洲 谷林 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1497-1500,共4页
使用单片机对增量式光电轴角编码器产生的叠栅条纹信号进行计数和电子细分 ,便可将轴的机械转动模拟量转换成数字量 ;加上固定参考零位后 ,可使编码器具有“记忆”功能 ,因此对如何解决零位技术问题做了详细分析说明 。
关键词 增量式轴角编码器 零位处理 光电轴角编码器 叠栅条纹 电子细分 参考零位 角度测量
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基于粒子群-梯度下降混合优化的物镜偏振像差测量研究
4
作者 裴世鑫 郑改革 曹兆楼 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第8期198-205,共8页
受到镀膜及材料双折射、内部应力的影响,高数值孔径光学系统不可避免存在一定的偏振像差,使得系统的成像质量与入射光偏振态相关。现有偏振像差测量技术一般装置较为复杂,测量不便,效率较低。针对此问题,提出了使用往返式光路进行测量,... 受到镀膜及材料双折射、内部应力的影响,高数值孔径光学系统不可避免存在一定的偏振像差,使得系统的成像质量与入射光偏振态相关。现有偏振像差测量技术一般装置较为复杂,测量不便,效率较低。针对此问题,提出了使用往返式光路进行测量,利用偏振分辨波前测量技术从聚焦光场的强度分布反演显微物镜的Jones矩阵,降低系统复杂度。首先,基于光线追迹及标量衍射理论建立了数值计算模型,模拟聚焦光场不同轴向位置处的强度分布;其次,将复振幅反演转化为最优化问题,进而利用粒子群及梯度下降混合优化算法建立了反演模型,通过优化表征偏振像差的Zernike多项式系数使得预测与目标强度分布之间的偏差最小化,实现光学系统Jones矩阵的反演;再次,基于数值模拟测试了给定偏振像差时模型的反演结果,Jones矩阵元素反演结果与目标值符合较好,误差值<10^(-3);最后,实验测量了商用高数值孔径显微物镜的偏振像差,反演了Zernike多项式系数,预测与目标强度分布保持一致。理论与实验结果表明,所提出的算法能够有效获得显微物镜的偏振像差,且具有结构简单、操作方便的特点,有望为高数值孔径光学系统的制造检测提供一个新的技术手段。 展开更多
关键词 偏振像差 相位复原 粒子群优化 梯度下降 并行计算 JONES矩阵
原文传递
日球成像仪太阳杂光抑制能力测试方法研究
5
作者 高天宇 张天一 +3 位作者 孟庆宇 咸竞天 罗敬 王维 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第4期811-818,共8页
为了对日球成像仪太阳杂光抑制能力进行定量化评价,开展了日球成像仪太阳杂光抑制能力的测试方法研究和实验验证。提出了一种通过将前端光阑与相机进行分段测试,进而实现在实验室条件下测试日球成像仪太阳杂光抑制能力的方法,避免了真... 为了对日球成像仪太阳杂光抑制能力进行定量化评价,开展了日球成像仪太阳杂光抑制能力的测试方法研究和实验验证。提出了一种通过将前端光阑与相机进行分段测试,进而实现在实验室条件下测试日球成像仪太阳杂光抑制能力的方法,避免了真空测试环境下空间受限引起的结构散射误差对测试精度的影响问题。利用该方法在实验室条件下对一台日球成像仪太阳杂光抑制能力进行测试。测试结果表明:日球成像仪前端光阑的PST在WACH1相机处为1.4×10^(−8),在WACH2处为4.3×10^(−9)。对测试结果进行误差分析,其中随机误差为21.6%,系统误差导致WACH1处PST测试误差为1.1×10^(−8),在WACH2处为4.2×10^(−9),测试精度满足高杂光抑制比的日球成像仪测试要求,证明了该测试方法的可行性和准确性。本文研究为日球成像仪太阳杂光抑制能力测试提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 日球成像仪 杂散光测试 误差分析
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提高谐波残差阶次的圆光栅自标定方法
6
作者 池烽 纪鹏宇 +1 位作者 姜博文 黄银国 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第7期214-224,共11页
圆光栅是实现超高精度全圆周角度测量的重要工具,在微纳加工、瞄准定位和计量科学等领域起着重要作用。圆光栅自标定技术通过布置读数头,并采用特定的数据处理方法分离系统误差,克服了测量量程小和缺乏更高参考基准的问题,从而实现自标... 圆光栅是实现超高精度全圆周角度测量的重要工具,在微纳加工、瞄准定位和计量科学等领域起着重要作用。圆光栅自标定技术通过布置读数头,并采用特定的数据处理方法分离系统误差,克服了测量量程小和缺乏更高参考基准的问题,从而实现自标定。为了提高圆光栅角度测量精度,降低圆光栅自标定中谐波抑制的影响,故提出一种含素数夹角的多读数头自标定方法,以提高谐波残差阶次。基于传递函数法的自标定原理,研究了残差阶次与读数头夹角的定量关系,建立了残差阶次为360整数倍的多读数头布局夹角计算公式。利用该公式计算得到六读数头布局夹角,计算结果表明:对于360点采样的数据,对比实验的布局1残差为0.8″,残差阶次是6的整数倍;布局2残差为0.2″,残差阶次是40的整数倍;该方法得到的本文布局残差为3×10^(-13)″,残差阶次为360的整数倍。通过搭建六读数头自标定实验,使用本文方法消除94.37%的圆光栅测角系统的误差,实现了圆光栅测角系统的全圆周标定,且重复性良好,验证了在实际应用中的有效性。本标定方法极大提高了圆光栅自标定中谐波残差的阶次,对减小测角谐波误差有一定的参考价值,为超高精度角位移传感器的实现提供支撑。 展开更多
关键词 圆光栅 自标定 布局方法 谐波残差
原文传递
基于双读数头的转台定位误差分离方法研究
7
作者 常仁威 朱维斌 +3 位作者 朱进 黄垚 邹伟 薛梓 《传感技术学报》 北大核心 2025年第9期1559-1563,共5页
转台是角度测量的重要部件,而误差分离是保障其精度的关键环节。针对传统定位误差分离方法中依赖读数头过多、系统成本过高等问题,在分析转台定位误差特性的基础上,提出一种利用转台自身信号,使用双读头完成定位误差分离的方法。根据传... 转台是角度测量的重要部件,而误差分离是保障其精度的关键环节。针对传统定位误差分离方法中依赖读数头过多、系统成本过高等问题,在分析转台定位误差特性的基础上,提出一种利用转台自身信号,使用双读头完成定位误差分离的方法。根据传递函数的性质,重点说明了读数头安装角间隔与可有效分离谐波阶次间的关系,建立了一套读数头角间隔的选取原则。搭建实验平台,验证了双读数头误差分离方法的准确性,证明了读数头角间隔选取优化的有效性。 展开更多
关键词 转台 双读数头 定位误差 误差分离
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三维激光扫描技术在大规格异形环件测量中的研究与应用 被引量：2
8
作者 周章程 张洪铖 黄强胜 《铝加工》 2025年第3期40-46,共7页
由于工艺及后续加工的特殊要求,某大规格异形环件在生产中需要实时监测产品尺寸,但其特殊的外形及恶劣的生产环境限制了常规的检测手段。为实现生产过程中外形尺寸的精确测量及检测结果的快速判定,提出了一种基于三维激光扫描技术的现... 由于工艺及后续加工的特殊要求,某大规格异形环件在生产中需要实时监测产品尺寸,但其特殊的外形及恶劣的生产环境限制了常规的检测手段。为实现生产过程中外形尺寸的精确测量及检测结果的快速判定,提出了一种基于三维激光扫描技术的现场检测方案。该方案采用三维激光扫描仪对环件进行非接触式扫描,获取点云数据,然后通过分析软件将其与产品理论数模进行比对分析,获取三维全尺寸测量结果。结果表明,该方案不但可以高效、精准地测量异形环件所需的各种尺寸,而且能将检测结果反馈至工艺生产,优化工艺参数,提高过程质量控制水平。 展开更多
关键词 三维激光扫描技术 异形环件 点云数据 数模 三维全尺寸测量
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长距离无衍射光莫尔条纹直线度测量系统的工作原理 被引量：2
9
作者 赵斌 李虎 《光学仪器》 2002年第6期3-6,共4页
在无衍射光测量直线度系统中 ,常常采用锥透镜作为产生无衍射光的元件。要实现长距离的直线度测量 ,则必须采用大口径锥透镜 ,制造成本较高 ,整个系统体积比较大。提出一种用偏转抛物镜系统来替代锥透镜产生无衍射光束 ,可以实现大口径... 在无衍射光测量直线度系统中 ,常常采用锥透镜作为产生无衍射光的元件。要实现长距离的直线度测量 ,则必须采用大口径锥透镜 ,制造成本较高 ,整个系统体积比较大。提出一种用偏转抛物镜系统来替代锥透镜产生无衍射光束 ,可以实现大口径无衍射光束。具有成本低 ,精度较高 ,实现方法简单等优点。 展开更多
关键词 长距离 无衍射光 莫尔条纹 直线度测量系统 工作原理 贝塞尔函数
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在等倾干涉装置上检定研磨平尺的不确定度评定 被引量：1
10
作者 张成悌 《中国测试技术》 2008年第3期27-30,共4页
对不同长度的研磨平尺用两种不同长度长平晶在等倾干涉装置上检定的不确定度进行了评定,其中包括分段法不够一整段时的评定。指出误差分量要分清是影响空气层厚度测量的,还是影响直线度测量的;在用分段法测量时要分清随机误差与系统误... 对不同长度的研磨平尺用两种不同长度长平晶在等倾干涉装置上检定的不确定度进行了评定,其中包括分段法不够一整段时的评定。指出误差分量要分清是影响空气层厚度测量的,还是影响直线度测量的;在用分段法测量时要分清随机误差与系统误差对直线度测量不确定度的影响是不同的。其温度误差分为随机误差和系统误差两部分。在不同情况应该用不同的数学模型。 展开更多
关键词 研磨平尺 不确定度 评定 等倾干涉装置 长平晶 分段法
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基于TDC的光栅信号载波调制细分方法研究
11
作者 王宝珠 李文娟 +2 位作者 余晓玫 谌丽 陈俊吉 《传感技术学报》 北大核心 2025年第4期683-688,共6页
针对光栅信号载波调制细分方法中采样频率与细分倍数相互制约的问题,提出一种基于TDC的光栅信号载波调制细分方法。根据载波调制原理,将光栅信号幅值中包含的被测位移信息调制到信号相位上,利用TDC芯片的高精度时间测量能力,提高相位解... 针对光栅信号载波调制细分方法中采样频率与细分倍数相互制约的问题,提出一种基于TDC的光栅信号载波调制细分方法。根据载波调制原理,将光栅信号幅值中包含的被测位移信息调制到信号相位上,利用TDC芯片的高精度时间测量能力,提高相位解调过程中的时间测量分辨力,在保证细分倍数的前提下,拓宽采样频率的可选择范围,从而解决采样频率与细分倍数相互制约的问题。实验研究表明,采样频率范围拓宽了125倍,提高了光栅在高分辨力条件下的快速响应能力。 展开更多
关键词 光栅信号细分 载波调制 TDC 采样频率 细分倍数
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用线性光纤器件验证光的半波损失
12
作者 孙世菊 马海强 《光通信研究》 北大核心 2020年第6期45-48,共4页
针对验证光半波损失问题,文章提出了一种验证光半波损失的方案并进行了详细的理论推导和实验验证。该方案采用琼斯矩阵进行计算,分析了光场量子态的变化,计算了光在通过两种Sagnac干涉环后的出射情况,进而得到相位的π变化方案。该方案... 针对验证光半波损失问题,文章提出了一种验证光半波损失的方案并进行了详细的理论推导和实验验证。该方案采用琼斯矩阵进行计算,分析了光场量子态的变化,计算了光在通过两种Sagnac干涉环后的出射情况,进而得到相位的π变化方案。该方案实验装置借助了由X型耦合器组成的Sagnac干涉环和附加偏振分束器与法拉第旋转镜组成的改进型Sagnac干涉环。实验结果表明,该方案结构简单,现象结果明显,得到的干涉对比度均达99%以上。 展开更多
关键词 半波损失 Sagnac干涉环 琼斯矩阵 偏振分束器 法拉第旋转镜
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激光扫描显微镜中的OBIC成像功能
13
作者 袁雅珍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第3期111-115,共5页
扼要的介绍了激光扫描显微镜在国内外的发展状况，着重介绍了激光扫描显微镜中特殊成像功能ＯＢＩＣ成像的测量方法、基本原理、技术特色和应用前景。
关键词 激光扫描 显微镜 OBIC 成像 CCD
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二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析 被引量：20
14
作者 曹召良 卢振武 +2 位作者 李凤友 张慧娟 孙强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期537-541,共5页
利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题。以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例,主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响。通过计算发现,当光栅周期... 利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题。以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例,主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响。通过计算发现,当光栅周期足够小的时候,光栅面形对反射率没有影响,同时占空比严重影响着光栅的特性,这对设计制造抗反射光栅非常有用。同时也研究了等效介质理论的适用性。 展开更多
关键词 光栅 设计 抗反射 亚波长 占空比 反射率 表面面形
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大型光电设备基准平面自动调平系统 被引量：34
15
作者 姜伟伟 高云国 +2 位作者 冯栋彦 陈兆兵 蒲继承 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1039-1045,共7页
研制了一种光电设备自动调平系统。选用了3条机械支腿支撑大型光电设备载车,由安装在光电设备基座上的倾角传感器测得基准平面的倾角大小及方向,将此角度根据调平算法换算为3个机械支腿的伸长量,驱动机械支腿伸长使基准平面达到水平。... 研制了一种光电设备自动调平系统。选用了3条机械支腿支撑大型光电设备载车,由安装在光电设备基座上的倾角传感器测得基准平面的倾角大小及方向,将此角度根据调平算法换算为3个机械支腿的伸长量,驱动机械支腿伸长使基准平面达到水平。给出了支撑腿数量和机械式支腿的选择依据,设计了一种可以在小角度范围内自动矫正受力方向的机械支腿,设计了整个传动系统,并且给出了驱动电路和调平算法。实验测定其调平精度为0.003°,整个光电设备调平时间约为120 s。实验结果表明:与以往的调平系统相比,该系统缩短了光电设备开展工作的准备时间,提高了调平精度。 展开更多
关键词 光电设备 机械支腿 限位 调平算法
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智能优化算法应用于近红外光谱波长选择的比较研究 被引量：18
16
作者 宾俊 范伟 +2 位作者 周冀衡 李鑫 梁逸曾 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期95-102,共8页
近红外光谱(NIRS)是一种间接分析技术,其应用需建立相应的校正模型。为了提高模型的解释能力、预测准确度和建模效率,需要对NIRS进行波长选择,优选最小化冗余信息。智能优化算法是以生物的行为方式或物质的运动形态为背景,经过数学抽象... 近红外光谱(NIRS)是一种间接分析技术,其应用需建立相应的校正模型。为了提高模型的解释能力、预测准确度和建模效率,需要对NIRS进行波长选择,优选最小化冗余信息。智能优化算法是以生物的行为方式或物质的运动形态为背景,经过数学抽象建立算法模型,通过迭代计算来求解组合最优化问题,其核心策略是以某种目标函数为标准,基于多元校正建模并以逐步逼近的方法筛选出有效的波长点。选用蚁群优化(ACO)、遗传优化(GA)、粒子群优化(PSO)、随机青蛙(RF)和模拟退火(SA)5种智能优化算法对烟叶总氮和烟碱近红外光谱数据进行特征波长选择,结合偏最小二乘(PLS)算法,构建了多个烟叶总氮和烟碱的校正模型,结果显示:所选用两个数据集的总氮最优模型分别为PSO-PLS和GA-PLS模型,烟碱最优模型分别为GA-PLS和SA-PLS模型,五种智能优化算法所建模型预测性能并非全部优于全谱PLS模型,但是通过智能优化算法进行波长选择后建立的PLS模型大大简化,模型的预测精度、可解释性和稳定性均有所提高。同时也对优选波长进行了解释和分析,烟叶总氮特征波长优选组合为4 587~4 878和6 700~7 200cm-1;烟叶烟碱特征波长优选组合为4 500~4 700和5 800~6 000cm-1,优选出来的特征波长具有实际物理意义。 展开更多
关键词 近红外光谱 智能优化算法 波长选择 总氮 烟碱
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提高CCD激光自准直测角精度的硬件方法 被引量：28
17
作者 史亚莉 高云国 +1 位作者 张磊 邓伟杰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期726-732,共7页
设计了一个CCD激光自准直测角系统。为提高系统的测量精度,对系统中的硬件参数进行了研究,包括小孔光阑的直径、CCD的积分时间、会聚镜头的焦距值、采集卡的亮度和对比度参数等。分别对各硬件参数进行分析,得出优化值并对系统进行了改... 设计了一个CCD激光自准直测角系统。为提高系统的测量精度,对系统中的硬件参数进行了研究,包括小孔光阑的直径、CCD的积分时间、会聚镜头的焦距值、采集卡的亮度和对比度参数等。分别对各硬件参数进行分析,得出优化值并对系统进行了改进。对改进前后的系统进行对比实验,实验结果表明:改进后系统的测角误差由原来的5.0″提高到了1.0″,处理一帧图像的平均时间为0.417 s,满足实际要求。对CCD激光自准直测角系统中的硬件参数进行优化,可有效改善图像质量,提高系统的测量精度。 展开更多
关键词 电荷耦合器件 激光自准直仪 角度测量 硬件参数 图像质量 精度
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岩心扫描仪光谱数据质量评估方法研究 被引量：17
18
作者 修连存 郑志忠 +6 位作者 殷靓 陈春霞 俞正奎 黄宾 张秋宁 修小旭 高扬 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2352-2356,共5页
岩心光谱扫描仪是近年来发展起来、用于岩心光谱和图片在线检测的仪器,它可以对岩心进行数字化,从而实现岩心自动编录,为地质科研、矿床研究和外围找矿提供依据,同时通过岩心数字化,可以建立岩心网上数据库,解决岩心保存带来的成本问题... 岩心光谱扫描仪是近年来发展起来、用于岩心光谱和图片在线检测的仪器,它可以对岩心进行数字化,从而实现岩心自动编录,为地质科研、矿床研究和外围找矿提供依据,同时通过岩心数字化,可以建立岩心网上数据库,解决岩心保存带来的成本问题,实现资源共享。岩心光谱测量数据的质量直接影响矿物识别、参数反演结果的可靠度,因此进行岩心光谱测试服务之前针对拟采用仪器进行数据质量评估是一项非常重要的工作。结合自主研发的CSD350A型岩心光谱扫描仪,以光谱学基本理论、光谱分析方法、岩心光谱分析要求等为基础,深入探讨了岩心光谱数据质量评估方法、评价准则、目标参数等关键问题,对自主研发的岩心光谱扫描仪数据质量进行了全面评估,表明仪器光谱测试功能的可靠性和有效性。实验测试表明,本方法所涉及的检测项目和检测参数,能够很好地反映岩心光谱扫描仪所测光谱的反射率光谱、波长精度、重复性及信噪比指标,从而对岩心光谱扫描仪数据质量做出正确评价,为商业服务提供数据质量依据。在目前缺少相关评估标准的情况下,本研究提出的评估方法对于岩心光谱测试工作的开展具有较大的应用价值。 展开更多
关键词 岩心光谱扫描仪 岩心光谱 矿物 波长 信噪比
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天空偏振光测量系统的设计(英文) 被引量：17
19
作者 崔岩 曹楠楠 +2 位作者 褚金奎 赵开春 王体昌 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1431-1435,共5页
根据一束光的偏振特性可以由斯托克斯矢量来表征的原理,设计搭建了一种天空偏振光测量系统。该系统由计算机、赤道仪、光纤光谱仪和配备了可旋转偏振片的改进式天文望远镜组成,在400～900nm的光谱分辨率为1.4nm。赤道仪经过标定后可以实... 根据一束光的偏振特性可以由斯托克斯矢量来表征的原理,设计搭建了一种天空偏振光测量系统。该系统由计算机、赤道仪、光纤光谱仪和配备了可旋转偏振片的改进式天文望远镜组成,在400～900nm的光谱分辨率为1.4nm。赤道仪经过标定后可以实现0～180°方位角以及0～90°高度角的调整,角度分辨率为2.5°。系统的光学全视场为4.5°,使用该系统可以测量全天空的光强辐射度、偏振度以及偏振方位角。由标定结果可知,系统光强测量的重复率在450～500 nm为99 %,在500～900 nm为(95±3)%;在400 ～750nm偏振度测量误差<2 %,在475nm处达到1.2 %。偏振方位角的测量误差<2°。 展开更多
关键词 天空偏振光 偏振光测量 斯托克斯矢量 偏振度 瑞利散射
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解决计量光栅仪器特殊误差的方法
20
作者 秦少军 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第5期813-814,共2页
针对 JDY- 4型测长仪的边界区域产生的一种未定粗大误差进行实验研究 ,作出误差分布曲线 ,找到产生误差的原因 。
关键词 计量光栅 测量误差 测长仪 误差分布曲线
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