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半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测方法
1
作者
宋婉贞
《自动化应用》
2025年第6期225-227,共3页
由于传统的激光切割焦点位置检测方法多采用接触式或机械式方式,存在操作复杂、精度不高等问题,因此提出半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测方法。首先设计柔性电容式传感器进行标定,将标定后的柔性电容式传感器安装在晶圆上方,然...
由于传统的激光切割焦点位置检测方法多采用接触式或机械式方式,存在操作复杂、精度不高等问题,因此提出半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测方法。首先设计柔性电容式传感器进行标定,将标定后的柔性电容式传感器安装在晶圆上方,然后通过电容量计算加工焦点和被加工对象间位置,实现加工焦点位置的高精度自动检测。实验结果表明,应用设计方法,其半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测结果最大误差仅为0.09 mm,满足高精度的检测需求。
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关键词
半导体晶圆
激光切割
加工焦点
焦点位置
高精度自动检测
柔性电容式传感器
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职称材料
柔性关节式坐标测量机的结构设计分析
被引量：
2
2
作者
尚平
费业泰
《合肥工业大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期886-889,共4页
文章阐述了六自由度柔性关节式坐标测量机的机械结构和测量原理,推导出了其测量方程;重点进行了整体方案设计,使得坐标测量机的测量空间尽可能大,减少测量死角,同时对杆长进行优化设计;最后,比较了国际上生产坐标测量机的3家公司产品的...
文章阐述了六自由度柔性关节式坐标测量机的机械结构和测量原理,推导出了其测量方程;重点进行了整体方案设计,使得坐标测量机的测量空间尽可能大,减少测量死角,同时对杆长进行优化设计;最后,比较了国际上生产坐标测量机的3家公司产品的特点。
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关键词
柔性
坐标测量机
非正交
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职称材料
柔性坐标测量机结构参数标定的采样覆盖率研究
被引量：
1
3
作者
刘菲
于连栋
《电子科技》
2013年第7期4-6,共3页
采用非线性最小二乘法作为柔性坐标测量机标定的优良算法,提出采样覆盖率来评定采样是否充分。转角范围和采样角度是各个关节采样覆盖率的必要求解因子,首先通过模拟实验计算各个关节转角变量对测量精度权的大小,并找出权重最大的关节1...
采用非线性最小二乘法作为柔性坐标测量机标定的优良算法,提出采样覆盖率来评定采样是否充分。转角范围和采样角度是各个关节采样覆盖率的必要求解因子,首先通过模拟实验计算各个关节转角变量对测量精度权的大小,并找出权重最大的关节1和关节2,然后对其进行实验对比,结果证明,良好的采样覆盖率会使采样更充分,测量结果更精确。
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关键词
标定
采样覆盖率
转角变量
权重
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职称材料
基于标准器的大尺寸测量系统坐标统一化方法
被引量：
16
4
作者
王德元
唐文彦
+2 位作者
张晓琳
马强
王军
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期1845-1852,共8页
针对大尺寸测量系统坐标统一化过程中公共点的测量误差不可控制的问题,提出了利用可现场溯源的标准器取代传统的独立公共点的方法。设计了一种标准器,并用更高精度等级的三坐标测量机对标准器上各个目标点之间的空间几何位置关系进行标...
针对大尺寸测量系统坐标统一化过程中公共点的测量误差不可控制的问题,提出了利用可现场溯源的标准器取代传统的独立公共点的方法。设计了一种标准器,并用更高精度等级的三坐标测量机对标准器上各个目标点之间的空间几何位置关系进行标定,把这些几何位置关系作为约束条件。现场应用中多站大尺寸测量仪分别测量标准器上的目标点,计算出各个几何关系与通过标定的约束关系之差,将这个差值与设定的误差限进行比较,确定公共点的测量值是否有效。对该方法进行了理论分析和仿真证明。提出了7参数坐标配准算法对大尺寸测量进行空间坐标数据配准。用激光跟踪仪和激光雷达及4个标准器进行现场实验,实验结果与传统方法相比,坐标配准误差得到降低。为了进一步验证该方法的有效性,把一根经过检定的基准尺放置于测量空间的12个不同位置,使用标准器约束前后的两组坐标配准参数分别计算基准尺长度的平均值和标准差。实验结果表明,使用标准器约束方法能够提高大尺寸测量系统坐标统一化精度。
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关键词
大尺寸测量
标准器
坐标统一化
约束
现场溯源
坐标配准算法
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职称材料
智能三坐标系统中的零件图像信息提取技术
5
作者
陈锦
裘祖荣
张宏伟
《计量技术》
2007年第6期3-4,24,共3页
针对图像信息的复杂性、不精确性,提出一种结合贪婪遗传算法和自适应模糊增强算法的图像处理方法,实现了智能三坐标测量机系统中零件图像信息提取。
关键词
三坐标测量机
贪婪遗传算法
白适应模糊增强
信息提取
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职称材料
精密平面凸轮曲线加工坐标变换近似计算
6
作者
谢金标
《云光技术》
1995年第3期24-26,共3页
以工厂某产品小凸轮为例，对如何将滚珠中心坐标变换成模具的加工坐标，进行理论分析的近似计算通式的推导，经实际验证能满足零件精度要求。
关键词
坐标变换
精密平面
凸轮曲线
加工
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职称材料
题名
半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测方法
1
作者
宋婉贞
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《自动化应用》
2025年第6期225-227,共3页
文摘
由于传统的激光切割焦点位置检测方法多采用接触式或机械式方式,存在操作复杂、精度不高等问题,因此提出半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测方法。首先设计柔性电容式传感器进行标定,将标定后的柔性电容式传感器安装在晶圆上方,然后通过电容量计算加工焦点和被加工对象间位置,实现加工焦点位置的高精度自动检测。实验结果表明,应用设计方法,其半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测结果最大误差仅为0.09 mm,满足高精度的检测需求。
关键词
半导体晶圆
激光切割
加工焦点
焦点位置
高精度自动检测
柔性电容式传感器
Keywords
semiconductor wafer
laser cutting
processing focus
focus position
high-precision automatic detection
flexible capacitive sensor
分类号
TH721.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
柔性关节式坐标测量机的结构设计分析
被引量：
2
2
作者
尚平
费业泰
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
出处
《合肥工业大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期886-889,共4页
基金
2004年台湾科学技术委员会专题研究计划资助项目(NSC93-2212-E-269-015)
文摘
文章阐述了六自由度柔性关节式坐标测量机的机械结构和测量原理,推导出了其测量方程;重点进行了整体方案设计,使得坐标测量机的测量空间尽可能大,减少测量死角,同时对杆长进行优化设计;最后,比较了国际上生产坐标测量机的3家公司产品的特点。
关键词
柔性
坐标测量机
非正交
Keywords
flexibility
coordinate measuring machine（CMM）
non-perpendicular
分类号
TH721.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
柔性坐标测量机结构参数标定的采样覆盖率研究
被引量：
1
3
作者
刘菲
于连栋
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
出处
《电子科技》
2013年第7期4-6,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(51075117)
文摘
采用非线性最小二乘法作为柔性坐标测量机标定的优良算法,提出采样覆盖率来评定采样是否充分。转角范围和采样角度是各个关节采样覆盖率的必要求解因子,首先通过模拟实验计算各个关节转角变量对测量精度权的大小,并找出权重最大的关节1和关节2,然后对其进行实验对比,结果证明,良好的采样覆盖率会使采样更充分,测量结果更精确。
关键词
标定
采样覆盖率
转角变量
权重
Keywords
calibration
sampling coverage
angle variable
weight
分类号
TH721.4 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
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职称材料
题名
基于标准器的大尺寸测量系统坐标统一化方法
被引量：
16
4
作者
王德元
唐文彦
张晓琳
马强
王军
机构
哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院
吉林铁道职业技术学院电子工程系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期1845-1852,共8页
基金
国家自然科学基金(61108073)项目资助
文摘
针对大尺寸测量系统坐标统一化过程中公共点的测量误差不可控制的问题,提出了利用可现场溯源的标准器取代传统的独立公共点的方法。设计了一种标准器,并用更高精度等级的三坐标测量机对标准器上各个目标点之间的空间几何位置关系进行标定,把这些几何位置关系作为约束条件。现场应用中多站大尺寸测量仪分别测量标准器上的目标点,计算出各个几何关系与通过标定的约束关系之差,将这个差值与设定的误差限进行比较,确定公共点的测量值是否有效。对该方法进行了理论分析和仿真证明。提出了7参数坐标配准算法对大尺寸测量进行空间坐标数据配准。用激光跟踪仪和激光雷达及4个标准器进行现场实验,实验结果与传统方法相比,坐标配准误差得到降低。为了进一步验证该方法的有效性,把一根经过检定的基准尺放置于测量空间的12个不同位置,使用标准器约束前后的两组坐标配准参数分别计算基准尺长度的平均值和标准差。实验结果表明,使用标准器约束方法能够提高大尺寸测量系统坐标统一化精度。
关键词
大尺寸测量
标准器
坐标统一化
约束
现场溯源
坐标配准算法
Keywords
large scale metrology
standard artifact
coordinate unification
constraint
field traceability
coordinate registration algo-rithm
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TH721.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
智能三坐标系统中的零件图像信息提取技术
5
作者
陈锦
裘祖荣
张宏伟
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《计量技术》
2007年第6期3-4,24,共3页
文摘
针对图像信息的复杂性、不精确性,提出一种结合贪婪遗传算法和自适应模糊增强算法的图像处理方法,实现了智能三坐标测量机系统中零件图像信息提取。
关键词
三坐标测量机
贪婪遗传算法
白适应模糊增强
信息提取
分类号
TH721.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
精密平面凸轮曲线加工坐标变换近似计算
6
作者
谢金标
出处
《云光技术》
1995年第3期24-26,共3页
文摘
以工厂某产品小凸轮为例，对如何将滚珠中心坐标变换成模具的加工坐标，进行理论分析的近似计算通式的推导，经实际验证能满足零件精度要求。
关键词
坐标变换
精密平面
凸轮曲线
加工
分类号
TH132.47 [机械工程—机械制造及自动化]
TH721.402 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体晶圆激光切割加工焦点位置自动检测方法
宋婉贞
《自动化应用》
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
柔性关节式坐标测量机的结构设计分析
尚平
费业泰
《合肥工业大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
柔性坐标测量机结构参数标定的采样覆盖率研究
刘菲
于连栋
《电子科技》
2013
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
基于标准器的大尺寸测量系统坐标统一化方法
王德元
唐文彦
张晓琳
马强
王军
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
16
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
智能三坐标系统中的零件图像信息提取技术
陈锦
裘祖荣
张宏伟
《计量技术》
2007
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
精密平面凸轮曲线加工坐标变换近似计算
谢金标
《云光技术》
1995
0
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职称材料
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