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离轴非球面镜检测中坐标系偏差对参数拟合的影响 被引量:2
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作者 郭玲玲 张星祥 +1 位作者 张立国 任建岳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第10期2800-2804,共5页
光学装调前精确测量离轴非球面元件的顶点半径等参数是保证装调质量的关键。离轴非球面测量中,得到非球面坐标数据后,为了提高参数拟合的准确度,分析了测量坐标系偏差的影响。为了消除该偏差,提出了数据拟合模型和处理方法,并给出了详... 光学装调前精确测量离轴非球面元件的顶点半径等参数是保证装调质量的关键。离轴非球面测量中,得到非球面坐标数据后,为了提高参数拟合的准确度,分析了测量坐标系偏差的影响。为了消除该偏差,提出了数据拟合模型和处理方法,并给出了详细的参数拟合的步骤。与直接拟合相比,该方法得到的误差平方和、均方根误差更小,决定系数更接近1,验证了拟合模型及处理方法的有效性。该方法适用于所有离轴非球面镜检测时坐标系的偏差分析和参数的拟合处理。 展开更多
关键词 光学检测 离轴非球面 坐标系误差 参数拟合
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离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究 被引量:2
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作者 张心明 徐鑫莉 +2 位作者 蔡鹏 于阳 赵立新 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1719-1727,共9页
离心熔铸技术在大口径非球面镜镜胚的制造方面具有独特优势。本文通过自行研制的缩比模型实验机进行试验,深入研究了离心熔铸工艺及成型镜胚质量,详细介绍了模具涂层的制备、离心熔铸的加热及冷却等工艺过程,制备了非球面镜镜胚模型。... 离心熔铸技术在大口径非球面镜镜胚的制造方面具有独特优势。本文通过自行研制的缩比模型实验机进行试验,深入研究了离心熔铸工艺及成型镜胚质量,详细介绍了模具涂层的制备、离心熔铸的加热及冷却等工艺过程,制备了非球面镜镜胚模型。采用数值模拟与试验研究相结合的方法,对所得镜胚面形偏差工艺参数的敏感性进行了研究。分析了模具的热膨胀系数、镜胚冷却速率、直径及加热温度对面形偏差的影响,得到了偏差工艺参数的敏感性规律。通过对面形偏差进行两次迭代补偿,面形偏差值从-84μm降到33μm,补偿后的结果满足设计要求。采用离心熔铸技术,可以制备满足上表面垂直偏差在30~40μm范围内的非球面镜镜胚。 展开更多
关键词 离心熔铸 非球面镜镜胚 工艺 面形偏差 迭代补偿
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基于曲面拟合的离轴非球面镜顶点半径计算方法
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作者 郭玲玲 任建岳 +3 位作者 张星祥 张立国 赵其昌 吴泽鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第8期2694-2698,共5页
为了解决大口径、离轴非球面顶点半径等参数测量不准的问题,提出了一种基于曲面拟合的非球面参数计算方法。建立了测量坐标系下的非球面准确方程,给出了非线性最小二乘拟合的迭代算法。同时提出了采用补偿器端面数据拟合得到光轴指向,... 为了解决大口径、离轴非球面顶点半径等参数测量不准的问题,提出了一种基于曲面拟合的非球面参数计算方法。建立了测量坐标系下的非球面准确方程,给出了非线性最小二乘拟合的迭代算法。同时提出了采用补偿器端面数据拟合得到光轴指向,通过测量坐标系下的光轴指向给出合适的拟合初值。对实测数据的实验表明,拟合优度的确定系数接近1,均方根误差约为0.0026mm,计算结果的顶点半径偏离设计值0.0188%。该方法可用于非球面检测阶段的参数计算分析,尤其是计算高精度的顶点半径值,为系统光机装调提供有效的数据支持。 展开更多
关键词 光学检测 非球面检测 顶点半径 曲面拟合
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