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晶圆总厚度变化测量分析软件设计
1
作者 秦明义 朱祥龙 +2 位作者 康仁科 廖金刚 蔡引娣 《工具技术》 北大核心 2025年第6期135-139,共5页
针对传统晶圆测量设备交互软件界面功能单一、缺乏数据处理及分析模块等问题,面向晶圆面型总厚度变化(total thickness variation,TTV)等关键参数的高效测量重大需求,设计基于Winform的晶圆面型参数采集、数据处理及面型生成一体化测量... 针对传统晶圆测量设备交互软件界面功能单一、缺乏数据处理及分析模块等问题,面向晶圆面型总厚度变化(total thickness variation,TTV)等关键参数的高效测量重大需求,设计基于Winform的晶圆面型参数采集、数据处理及面型生成一体化测量分析软件系统,包括测量平台控制与自动测量轨迹规划、可视化测量分析软件界面设计、数据处理及面型生成算法设计以及测量效率探究实验等内容。通过开发晶圆总厚度变化测量分析软件,实现对晶圆TTV的高效测量,与德国FRT全检仪相比,测量结果值差异在5%以内,且测量总耗时差异仅为3.32%。 展开更多
关键词 晶圆测量 面型参数 软件系统 数据处理
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基于激光三角法的异形深孔检测方法研究 被引量：1
2
作者 邓文斌 于大国 +2 位作者 赵杰 陈路生 朱泽鹏 《工具技术》 北大核心 2025年第4期126-131,共6页
异形深孔多为中间大两头小结构,由于孔内形状复杂,实现远距离的异形深孔检测难度很大。针对上述问题提出一种基于激光三角法的非接触式大口径异形深孔检测方法,采用“激光三点法”检测异形孔内径、锥度、槽参数、圆弧半径等几何量,对装... 异形深孔多为中间大两头小结构,由于孔内形状复杂,实现远距离的异形深孔检测难度很大。针对上述问题提出一种基于激光三角法的非接触式大口径异形深孔检测方法,采用“激光三点法”检测异形孔内径、锥度、槽参数、圆弧半径等几何量,对装置的驱动部分进行力学仿真分析,并阐述装置核心部件的工作原理,分析大口径异形深孔各几何量的具体检测方法,为异形深孔检测探索出一种多参数检测的新方法。 展开更多
关键词 异形深孔 检测 滚珠丝杠 激光三角法 激光三点法
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基于情感化设计理念的适老化界面设计研究 被引量：1
3
作者 李奕霏 《纺织报告》 2025年第11期65-67,共3页
随着我国步入深度老龄化社会,老年群体面临“数字鸿沟”困境已成为当下热议话题。笔者认为,当下适老化界面设计不仅需要解决“功能实现”的问题,还要实现“情感关怀”。因此,文章从老年用户的生理机能、认知模式和情感与社会性需求3个... 随着我国步入深度老龄化社会,老年群体面临“数字鸿沟”困境已成为当下热议话题。笔者认为,当下适老化界面设计不仅需要解决“功能实现”的问题,还要实现“情感关怀”。因此,文章从老年用户的生理机能、认知模式和情感与社会性需求3个方面进行深入解析,归纳清晰性、简化性、容错性、一致性及安全感五大设计原则,以期为界面设计师提供设计指南并为适老化设计研究提供理论参考。 展开更多
关键词 情感化设计 适老化界面设计 交互设计
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公差设计多目标模型及其粒子群优化算法研究 被引量：17
4
作者 肖人彬 邹洪富 陶振武 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2006年第7期976-980,989,共6页
为解决成本—公差设计模型中忽视产品质量的问题,以新型的田口质量观和Pareto最优解集概念为基础,提出了一种公差设计多目标模型。该模型将加工成本和质量损失分别作为设计目标,并以统计法公差装配成功率为约束条件,获得了比极值公差法... 为解决成本—公差设计模型中忽视产品质量的问题,以新型的田口质量观和Pareto最优解集概念为基础,提出了一种公差设计多目标模型。该模型将加工成本和质量损失分别作为设计目标,并以统计法公差装配成功率为约束条件,获得了比极值公差法更加宽松的公差限。改进了传统的粒子群优化算法,利用Pareto最优性重新定义粒子,然后采用快速非支配排序技术进行粒子的适应度排序,使其能够有效地对多目标模型进行求解。该算法对具体工程实例求解时,一次运行就可求得令人满意的Pareto最优解集,设计者可以根据生产实际和市场需求从中进行选取。通过对求得的Pareto进行最优前沿的分析,可得到该类零件公差设计的特性,其结果验证了公差设计的一般规律。 展开更多
关键词 公差设计模型 多目标优化 统计法公差 PARETO最优 粒子群优化
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并联机构动平台的六自由度位姿检测机构 被引量：4
5
作者 王晓飞 王进 +4 位作者 樊锐 刘红艺 郭江真 王丹 陈五一 《工具技术》 2018年第11期126-128,共3页
介绍了并联机构动平台的六自由度位姿检测机构的组成结构和工作原理;介绍了光栅尺测量系统,对其误差来源进行了分析,对主要零部件的设计进行了优化以保证其测量精度;采用牛顿迭代法解算并联机构的运动学正解,通过实验验证了其测量精度... 介绍了并联机构动平台的六自由度位姿检测机构的组成结构和工作原理;介绍了光栅尺测量系统,对其误差来源进行了分析,对主要零部件的设计进行了优化以保证其测量精度;采用牛顿迭代法解算并联机构的运动学正解,通过实验验证了其测量精度的可靠性和实时性。 展开更多
关键词 并联机构 光栅尺测量系统 牛顿迭代法 测量精度 实时性
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平面度误差检测平台设计与数据处理 被引量：5
6
作者 金瑶 时明明 +1 位作者 周洁 孔晓玲 《工具技术》 北大核心 2016年第11期103-106,共4页
平面度误差的数据采集要求严格、耗时耗力,数据处理复杂。本文设计了一种检测系统,采用机械装置驱动百分表(或千分表)自动采集数据,基于Labview软件平台进行数据处理;最终快速得出利用最小区域法、最小二乘法和近似法分别评判的平面度误... 平面度误差的数据采集要求严格、耗时耗力,数据处理复杂。本文设计了一种检测系统,采用机械装置驱动百分表(或千分表)自动采集数据,基于Labview软件平台进行数据处理;最终快速得出利用最小区域法、最小二乘法和近似法分别评判的平面度误差,并可将测得数据和处理结果进行存储和调用。 展开更多
关键词 平面度 误差 LABVIEW
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基于混合群集智能算法的并行公差优化设计 被引量：3
7
作者 肖人彬 陶振武 邹洪富 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期668-674,691,共8页
通过对并行公差优化设计的分析,将其视为一种混合变量组合优化问题。首先给出了并行公差优化设计的数学模型,然后将其映射为一类特殊的旅行商问题——顺序多路旅行商问题,从而降低了问题的求解难度。利用蚁群优化算法和粒子群优化算法,... 通过对并行公差优化设计的分析,将其视为一种混合变量组合优化问题。首先给出了并行公差优化设计的数学模型,然后将其映射为一类特殊的旅行商问题——顺序多路旅行商问题,从而降低了问题的求解难度。利用蚁群优化算法和粒子群优化算法,分别在求解离散和连续变量优化时的优势,提出了一种求解并行公差优化设计问题的混合群集智能算法。通过一个计算实例,将混合群集智能算法分别与遗传算法和模拟退火算法进行了比较,结果表明,前者具有更强的搜索能力和较高的效率。同时,混合群集智能算法也为求解一般意义的混合变量优化问题提供了借鉴和参考。 展开更多
关键词 并行公差设计 混合变量优化 群集智能 旅行商问题
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孔位置度综合量规的设计方法研究 被引量：6
8
作者 梁爱琴 全林斯 李冠峰 《河南农业大学学报》 CAS CSCD 1995年第2期161-166,共6页
结合用于ＥＱ－１４０汽车发动机水泵壳体孔位置度检验的综合量现设计，讨论了孔位置度的检验方法，系统探讨了综合量规的设计步骤及方法，即：检测方法的确定，总体结构设计，测量要素的尺寸选择，分析与计算确定等。可作为设计制造量... 结合用于ＥＱ－１４０汽车发动机水泵壳体孔位置度检验的综合量现设计，讨论了孔位置度的检验方法，系统探讨了综合量规的设计步骤及方法，即：检测方法的确定，总体结构设计，测量要素的尺寸选择，分析与计算确定等。可作为设计制造量规的参考。 展开更多
关键词 孔位置度 综合量规 设计
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二维轮廓测量仪的系统建模及标定 被引量：4
9
作者 王晓强 李兵 +1 位作者 蒋庄德 崔凤奎 《轴承》 北大核心 2007年第9期39-41,共3页
在分析轮廓测量仪测量原理的基础上,建立了二维轮廓测量系统的数学模型,构造了轮廓测量仪的硬件结构。研究了差动式电感传感器的输出特性,在此基础上提出了采用标准组合量块的传感器标定方法。分析了触针测头形状对被测轮廓数据的影响,... 在分析轮廓测量仪测量原理的基础上,建立了二维轮廓测量系统的数学模型,构造了轮廓测量仪的硬件结构。研究了差动式电感传感器的输出特性,在此基础上提出了采用标准组合量块的传感器标定方法。分析了触针测头形状对被测轮廓数据的影响,并提出了对测头半径的两种数据修正方法。经实例验证,所采用的系统数学模型和传感器标定方法满足测量系统的要求。 展开更多
关键词 滚动轴承 轮廓测量 数学模型 标定 数据修正
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基于成本模型的计算机辅助公差优化设计的研究 被引量：9
10
作者 刘玉生 吴昭同 杨将新 《浙江大学学报（自然科学版）》 CSCD 1995年第6期698-705,共8页
本文从机械产品的公差—成本模型出发，研究了采用简化积分域法和蒙特卡罗模拟法进行计算机辅助公差优化设计的方法，并给出了与传统的等公差概率法进行对比的实例计算结果．这对于开展公差ＣＡＤ，促进ＣＡＤ／ＣＡＰＰ／ＣＡＭ的集成... 本文从机械产品的公差—成本模型出发，研究了采用简化积分域法和蒙特卡罗模拟法进行计算机辅助公差优化设计的方法，并给出了与传统的等公差概率法进行对比的实例计算结果．这对于开展公差ＣＡＤ，促进ＣＡＤ／ＣＡＰＰ／ＣＡＭ的集成具有重要意义． 展开更多
关键词 成本模型 公差 CAD 优化设计
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一种设计和工序公差计算机辅助并行设计方法的研究 被引量：6
11
作者 方红芳 吴昭同 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 1995年第6期25-27,共3页
提出一种计算机辅助设计公差和工序公差并行设计的数学模型，以成本公差函数作为目标函数，以装配功能要求、加工方法、加工余量、工序制造公差范围作为约束条件，并用蒙特卡洛法模拟尺寸装配、模拟退火算法用于优化求解，实现了设计公... 提出一种计算机辅助设计公差和工序公差并行设计的数学模型，以成本公差函数作为目标函数，以装配功能要求、加工方法、加工余量、工序制造公差范围作为约束条件，并用蒙特卡洛法模拟尺寸装配、模拟退火算法用于优化求解，实现了设计公差和工序公差并行设计，缩短了设计周期。 展开更多
关键词 公差设计 并行工程 CAD
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基于LabVIEW的铁磁性材料无损检测系统开发 被引量：2
12
作者 王桂森 万熠 +1 位作者 宋明大 孙菲菲 《工具技术》 北大核心 2016年第11期96-99,共4页
为实现对铁磁性材料早期损伤的检测,减少材料因隐藏性缺陷的存在而导致的严重事故,依据铁磁性材料的磁特性参数及其内部微观结构的紧密联系,开发了一种基于Lab VIEW的铁磁性材料损伤检测系统。根据麦克斯韦电磁场理论,得到磁场强度、磁... 为实现对铁磁性材料早期损伤的检测,减少材料因隐藏性缺陷的存在而导致的严重事故,依据铁磁性材料的磁特性参数及其内部微观结构的紧密联系,开发了一种基于Lab VIEW的铁磁性材料损伤检测系统。根据麦克斯韦电磁场理论,得到磁场强度、磁感应强度与电压之间的关系式,完成了检测系统软件和硬件的开发。利用该系统对铁磁性材料进行了无损检测试验,试验与研究结果表明,所开发的检测系统能够检测出存在损伤的铁磁性材料。 展开更多
关键词 LAB VIEW 铁磁性材料 磁滞回线 磁性参数
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内螺纹自动检测机台设计 被引量：4
13
作者 马辉 吕媛媛 《工具技术》 2018年第12期136-140,共5页
由于内螺纹特殊的结构与空间位置的限制,传统的螺纹检测方法效率低且容易造成漏检,因此开发出光学螺纹塞规(OTPG),对内螺纹工件进行非接触式的自动化检测。OTPG以内视镜及电荷藕合元件(CCD)组成取像光学模组,通过触发器与两组马达控制单... 由于内螺纹特殊的结构与空间位置的限制,传统的螺纹检测方法效率低且容易造成漏检,因此开发出光学螺纹塞规(OTPG),对内螺纹工件进行非接触式的自动化检测。OTPG以内视镜及电荷藕合元件(CCD)组成取像光学模组,通过触发器与两组马达控制单元,逐步拼贴连续拍摄到的部分螺纹影像,以重建出360°内螺纹壁的二维全周影像图,然后运用傅立叶转换法将影像还原,并配合统计控制图的二值化法来突显依附在内螺纹上的瑕疵,如螺纹坡上凸起状的刮痕、螺峰或螺谷上凹陷状的崩塌或裂痕等。实验结果显示,自动化检测机台的检测率可达97. 72%,克服了接触式螺纹塞规仅能检测出凸起状瑕疵的限制,确保了内螺纹的品质。 展开更多
关键词 内螺纹 自动光学检测 条状纹理 傅立叶转换 二值化 正规化 影像还原
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轴类零件多功能全自动智能测量仪的设计 被引量：26
14
作者 陈伟伟 严隽藩 娄云鸽 《机械制造》 2016年第4期76-79,共4页
为实现对轴类零件的圆度、圆柱度、同轴度、跳动、表面粗糙度和硬度等多种质量指标的综合检测,满足轴类零件高精度、高效率、多误差的检测需求,采用现代机床设计理念,创新设计了轴类零件定位夹持回转机构和轴类零件测量机构,研制了一种... 为实现对轴类零件的圆度、圆柱度、同轴度、跳动、表面粗糙度和硬度等多种质量指标的综合检测,满足轴类零件高精度、高效率、多误差的检测需求,采用现代机床设计理念,创新设计了轴类零件定位夹持回转机构和轴类零件测量机构,研制了一种契合企业生产节拍,测量环境要求低的多功能全自动智能测量仪。该测量仪自动化程度高、检测精度高、检测功能多、应用范围广。 展开更多
关键词 轴类零件 测量仪 自动化 多功能 机械设计
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基于公差的自动定位设计研究 被引量：1
15
作者 巢炎 杨将新 +1 位作者 吴昭同 王移凤 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期142-144,133,共4页
提出了基于公差的自动定位设计方法。按TTRS理论对特征分类,构建加工前特征集确定定位特征范围;对特征加工方向分类,提出定位特征选择的标准;对零件设计公差分类,确定与定位有关的公差类型,引入相对公差确定公差约束程度,构造相对公差... 提出了基于公差的自动定位设计方法。按TTRS理论对特征分类,构建加工前特征集确定定位特征范围;对特征加工方向分类,提出定位特征选择的标准;对零件设计公差分类,确定与定位有关的公差类型,引入相对公差确定公差约束程度,构造相对公差邻接矩阵搜索相对公差,提出自动定位设计的算法完成定位自动设计,为CAD、CAM和CAPP的进一步集成提供基础。 展开更多
关键词 定位设计 特征加工方向 相对公差 邻接矩阵
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蜗轮蜗杆参数化设计及运动仿真 被引量：4
16
作者 刘其兵 严红 《工具技术》 2012年第8期49-51,共3页
在Pro/E环境下,以蜗轮蜗杆零件的三维建模为基础,将变参设计巧妙融入到零件三维实体的创建过程中,通过生成的可视化变参对话框,实现蜗轮蜗杆的快速建模,在此基础上,对快速建模的蜗轮蜗杆进行了虚拟装配和运动仿真,为蜗轮蜗杆机构的后续... 在Pro/E环境下,以蜗轮蜗杆零件的三维建模为基础,将变参设计巧妙融入到零件三维实体的创建过程中,通过生成的可视化变参对话框,实现蜗轮蜗杆的快速建模,在此基础上,对快速建模的蜗轮蜗杆进行了虚拟装配和运动仿真,为蜗轮蜗杆机构的后续研究奠定了基础。 展开更多
关键词 蜗轮蜗杆 三维实体 参数化 运动仿真
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便携式列车舒适度与平稳性测试仪的设计与实现 被引量：3
17
作者 莫莉 喻洪平 何欣 《工具技术》 北大核心 2017年第8期109-112,共4页
便携式列车舒适度与平稳性测试系统由上位机和下位机组成,上位机完成数据的计算、存储、显示等功能;下位机以TI公司TMS320F2812为核心,完成振动数据采集、处理、显示和传输等功能。本文详细介绍了该系统的硬件和软件设计、上位机调试、... 便携式列车舒适度与平稳性测试系统由上位机和下位机组成,上位机完成数据的计算、存储、显示等功能;下位机以TI公司TMS320F2812为核心,完成振动数据采集、处理、显示和传输等功能。本文详细介绍了该系统的硬件和软件设计、上位机调试、实车测试等。软件设计由CCS平台完成,给出了程序流程图及具体程序段;硬件设计给出了系统各模块电路图及硬件实物平台;上位机调试由LABVIEW平台完成;实车测试在某线某车上完成,并获得了相应的试验数据。同时,将测试仪测得的列车运行舒适度及平稳性指标与上位机计算结果进行对比,结果显示:检测值与计算值基本吻合,误差均在10%以内,符合工程测量要求。 展开更多
关键词 列车 舒适度 平稳性 测试仪 DSP
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基于DSP的容栅传感器输出信号处理 被引量：3
18
作者 傅宗纯 周文祥 《工具技术》 2010年第1期102-104,共3页
容栅传感器具有性价比高、体积小、环境适应能力强等优点,在与位移有关的各类测试中已获得广泛的应用。为实现远距离现场测试监控,介绍一种对容栅传感器输出信号进行接收处理的方案。该方案基于TMS320LF2407中的capture单元和SPI模块,... 容栅传感器具有性价比高、体积小、环境适应能力强等优点,在与位移有关的各类测试中已获得广泛的应用。为实现远距离现场测试监控,介绍一种对容栅传感器输出信号进行接收处理的方案。该方案基于TMS320LF2407中的capture单元和SPI模块,在软件上采用两个中断的方法来实现,经实验证明数据接收稳定可靠。相对单片机处理电路而言,该方案电路外围元器件少,处理速度快,可靠性高且编程方便,在车间现场环境恶劣的位移测试中具有一定实用价值。 展开更多
关键词 控制技术 数字信号处理器(DSP) 容栅传感器 中断 SPI 捕获
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基于光纤光栅传感的卫星温度场测量方法研究 被引量：1
19
作者 张开宇 闫光 +1 位作者 孟凡勇 祝连庆 《工具技术》 2018年第10期117-121,共5页
在太空环境中,卫星的公转会给自身带来较大的温差和温度交替频率,为了对卫星结构的温度场进行实时监控,采用准分布式光纤光栅测温系统。分析对比现有成熟技术,对光纤光栅种类、解调仪选型、卫星内布线方法和传感器封装技术等方面进行探... 在太空环境中,卫星的公转会给自身带来较大的温差和温度交替频率,为了对卫星结构的温度场进行实时监控,采用准分布式光纤光栅测温系统。分析对比现有成熟技术,对光纤光栅种类、解调仪选型、卫星内布线方法和传感器封装技术等方面进行探究,通过一系列模拟试验,得出基于光纤光栅传感器的卫星温度场测量的较优方案,为后续工程提供指导性建议。 展开更多
关键词 光纤光栅 卫星 温度场 温度传感器
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基于激光干涉的接触式微位移测量仪 被引量：2
20
作者 王淑珍 谢铁邦 《工具技术》 2010年第1期105-108,共4页
介绍的基于激光干涉的微位移测量仪具有分辨率高、结构简单、成本低的特点。该微位移测量仪由基于迈克尔逊激光干涉原理的微位移测量装置、工作台、光电阵列、信号处理电路、计算机及数据处理软件等组成。该测量仪位移测量理论分辨力可... 介绍的基于激光干涉的微位移测量仪具有分辨率高、结构简单、成本低的特点。该微位移测量仪由基于迈克尔逊激光干涉原理的微位移测量装置、工作台、光电阵列、信号处理电路、计算机及数据处理软件等组成。该测量仪位移测量理论分辨力可以达到0.01nm,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量,可用于MEMS器件的位移检测,压电器件位移检测等。 展开更多
关键词 计量学 微位移测量 激光干涉 十字片簧铰链 光电阵列
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