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光栅传感器正交信号自动实时补偿技术研究
被引量:
7
1
作者
赵雨露
夏豪杰
张瑞
《工具技术》
2019年第5期112-116,共5页
为提高光栅尺的测量精度和分辨率,对光栅位移传感器输出信号的自动实时处理方法进行研究。分析了光栅尺输出信号中存在的误差因素,根据Heydemann误差补偿模型修正信号中的非正交误差、直流误差和不等幅误差,利用CORDIC算法对修正后的信...
为提高光栅尺的测量精度和分辨率,对光栅位移传感器输出信号的自动实时处理方法进行研究。分析了光栅尺输出信号中存在的误差因素,根据Heydemann误差补偿模型修正信号中的非正交误差、直流误差和不等幅误差,利用CORDIC算法对修正后的信号进行细分。处理过程在LabVIEW环境下进行,利用FPGA模块实现信号实时处理,并与XL-80干涉仪比对验证该处理可有效补偿信号中的各类误差,且测量相对误差不超过±2μm。
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关键词
光栅尺
误差补偿
细分辨向
LABVIEW
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职称材料
题名
光栅传感器正交信号自动实时补偿技术研究
被引量:
7
1
作者
赵雨露
夏豪杰
张瑞
机构
合肥工业大学
出处
《工具技术》
2019年第5期112-116,共5页
基金
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(51427805)
文摘
为提高光栅尺的测量精度和分辨率,对光栅位移传感器输出信号的自动实时处理方法进行研究。分析了光栅尺输出信号中存在的误差因素,根据Heydemann误差补偿模型修正信号中的非正交误差、直流误差和不等幅误差,利用CORDIC算法对修正后的信号进行细分。处理过程在LabVIEW环境下进行,利用FPGA模块实现信号实时处理,并与XL-80干涉仪比对验证该处理可有效补偿信号中的各类误差,且测量相对误差不超过±2μm。
关键词
光栅尺
误差补偿
细分辨向
LABVIEW
Keywords
grating sensor
error compensation
subdivision
LabVIEW
分类号
TG741.6 [金属学及工艺—刀具与模具]
TH741.6 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光栅传感器正交信号自动实时补偿技术研究
赵雨露
夏豪杰
张瑞
《工具技术》
2019
7
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