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杂质磷对单晶硅微结构疲劳特性的影响——基于Paris公式的分析
被引量：
2
1
作者
刘彬
陶俊勇
+2 位作者
张云安
陈循
王晓晶
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第24期86-92,共7页
硅基微机电系统中的单晶硅微结构常工作于循环加载状态,易发生疲劳失效。单晶硅微结构疲劳寿命的分散度较大,难以根据不同掺磷浓度试样的疲劳寿命测试数据对比分析出杂质磷对单晶硅微梁弯曲疲劳特性的影响规律,针对此问题进行研究。设...
硅基微机电系统中的单晶硅微结构常工作于循环加载状态,易发生疲劳失效。单晶硅微结构疲劳寿命的分散度较大,难以根据不同掺磷浓度试样的疲劳寿命测试数据对比分析出杂质磷对单晶硅微梁弯曲疲劳特性的影响规律,针对此问题进行研究。设计一种弯曲测试结构,该结构可同时对四根微梁进行疲劳测试;设计一种简易的弯曲测试装置,该装置在满足测试精度的同时有效地控制了成本。用各向异性湿法工艺制备6组不同掺磷浓度的试样,并在常温空气环境中对试样进行弯曲疲劳测试。基于Paris公式建立一种微结构疲劳寿命预测的概率模型,用模型对测试数据进行拟合计算,得到材料常数C和n。C随掺磷浓度降低近3个量级,而n增量较小,表明C的变化占主导。所以疲劳裂纹扩展速率有随掺磷浓度增高而降低,这可为硅基微机电系统的疲劳可靠性设计提供有价值的参考。
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关键词
微机电系统
单晶硅微梁
弯曲疲劳寿命
掺磷
Paris公式
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职称材料
机器人研磨抛光工艺研究与实现
被引量：
18
2
作者
王瑞芳
徐方
《新技术新工艺》
2008年第9期19-22,共4页
机器人研磨抛光工艺研究建立在大量机器人磨抛试验的基础上。本文针对加工对象——有机玻璃,在满足被加工工件质量的前提下,确定了机器人研磨抛光加工时磨片的合理使用顺序、规划加工路径和安排正交试验,以获得机器人磨抛加工的最优工...
机器人研磨抛光工艺研究建立在大量机器人磨抛试验的基础上。本文针对加工对象——有机玻璃,在满足被加工工件质量的前提下,确定了机器人研磨抛光加工时磨片的合理使用顺序、规划加工路径和安排正交试验,以获得机器人磨抛加工的最优工艺参数组合,并制定机器人磨抛的加工策略。最后通过机器人研磨抛光加工实例,进一步验证了机器人的研磨抛光工艺知识有其合理性。
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关键词
机器人
研磨抛光
正交试验
最优工艺参数
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职称材料
喷砂对激光选区熔化AlSi10Mg合金片螺栓连接件性能影响
被引量：
1
3
作者
李晓丹
张英伟
+3 位作者
杨林青
费昺强
赵晴
许良
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
2018年第4期52-56,共5页
采用喷砂工艺对激光熔化成形AlSi10Mg合金片螺栓连接件进行表面处理,对比观察试件喷砂处理前后的表面状态,并从静力拉伸和疲劳性能两个方面研究喷砂对AlSi10Mg合金片螺栓连接件的影响。试验结果表明,喷砂处理提升了激光熔化成形AlSi10M...
采用喷砂工艺对激光熔化成形AlSi10Mg合金片螺栓连接件进行表面处理,对比观察试件喷砂处理前后的表面状态,并从静力拉伸和疲劳性能两个方面研究喷砂对AlSi10Mg合金片螺栓连接件的影响。试验结果表明,喷砂处理提升了激光熔化成形AlSi10Mg合金试件表面的粗糙度,且喷砂处理可以有效改善激光熔化成形AlSi10Mg合金试件的疲劳性能,降低疲劳寿命的分散程度。
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关键词
激光熔化成形
喷砂
A1Si10Mg合金
螺栓连接件
疲劳性能
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职称材料
题名
杂质磷对单晶硅微结构疲劳特性的影响——基于Paris公式的分析
被引量：
2
1
作者
刘彬
陶俊勇
张云安
陈循
王晓晶
机构
国防科学技术大学装备综合保障技术重点实验室
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第24期86-92,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51175503)
文摘
硅基微机电系统中的单晶硅微结构常工作于循环加载状态,易发生疲劳失效。单晶硅微结构疲劳寿命的分散度较大,难以根据不同掺磷浓度试样的疲劳寿命测试数据对比分析出杂质磷对单晶硅微梁弯曲疲劳特性的影响规律,针对此问题进行研究。设计一种弯曲测试结构,该结构可同时对四根微梁进行疲劳测试;设计一种简易的弯曲测试装置,该装置在满足测试精度的同时有效地控制了成本。用各向异性湿法工艺制备6组不同掺磷浓度的试样,并在常温空气环境中对试样进行弯曲疲劳测试。基于Paris公式建立一种微结构疲劳寿命预测的概率模型,用模型对测试数据进行拟合计算,得到材料常数C和n。C随掺磷浓度降低近3个量级,而n增量较小,表明C的变化占主导。所以疲劳裂纹扩展速率有随掺磷浓度增高而降低,这可为硅基微机电系统的疲劳可靠性设计提供有价值的参考。
关键词
微机电系统
单晶硅微梁
弯曲疲劳寿命
掺磷
Paris公式
Keywords
micro-electro-mechanical systems
single crystal silicon micro-beam
bending fatigue lifetime
phosphorus doping
Paris formula
分类号
TG692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
机器人研磨抛光工艺研究与实现
被引量：
18
2
作者
王瑞芳
徐方
机构
沈阳航空工业学院
中国科学院沈阳自动化研究所
出处
《新技术新工艺》
2008年第9期19-22,共4页
文摘
机器人研磨抛光工艺研究建立在大量机器人磨抛试验的基础上。本文针对加工对象——有机玻璃,在满足被加工工件质量的前提下,确定了机器人研磨抛光加工时磨片的合理使用顺序、规划加工路径和安排正交试验,以获得机器人磨抛加工的最优工艺参数组合,并制定机器人磨抛的加工策略。最后通过机器人研磨抛光加工实例,进一步验证了机器人的研磨抛光工艺知识有其合理性。
关键词
机器人
研磨抛光
正交试验
最优工艺参数
Keywords
robot
grinding and polishing
orthogonal experiment
optimal specification parameters
分类号
TG692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TP242.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
喷砂对激光选区熔化AlSi10Mg合金片螺栓连接件性能影响
被引量：
1
3
作者
李晓丹
张英伟
杨林青
费昺强
赵晴
许良
机构
沈阳飞机工业(集团)有限公司
沈阳航空航天大学航空制造工艺数字化国防重点学科实验室
出处
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
2018年第4期52-56,共5页
文摘
采用喷砂工艺对激光熔化成形AlSi10Mg合金片螺栓连接件进行表面处理,对比观察试件喷砂处理前后的表面状态,并从静力拉伸和疲劳性能两个方面研究喷砂对AlSi10Mg合金片螺栓连接件的影响。试验结果表明,喷砂处理提升了激光熔化成形AlSi10Mg合金试件表面的粗糙度,且喷砂处理可以有效改善激光熔化成形AlSi10Mg合金试件的疲劳性能,降低疲劳寿命的分散程度。
关键词
激光熔化成形
喷砂
A1Si10Mg合金
螺栓连接件
疲劳性能
Keywords
selective laser melting
sand blasting
A1SilOMg alloy
bolt connectionpiece
fatigue property
分类号
TG692.4 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
杂质磷对单晶硅微结构疲劳特性的影响——基于Paris公式的分析
刘彬
陶俊勇
张云安
陈循
王晓晶
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
在线阅读
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职称材料
2
机器人研磨抛光工艺研究与实现
王瑞芳
徐方
《新技术新工艺》
2008
18
在线阅读
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职称材料
3
喷砂对激光选区熔化AlSi10Mg合金片螺栓连接件性能影响
李晓丹
张英伟
杨林青
费昺强
赵晴
许良
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
2018
1
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职称材料
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