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单晶硅放电成形切割-电解组合加工建模分析与实验研究
1
作者 辛彬 冀佳木 张隽铖 《机械工程学报》 北大核心 2026年第1期436-447,共12页
针对电火花线切割加工(Wire electrical discharge machining, WEDM)过程中,工件表面易产生大量的放电凹坑和重铸层,从而造成工件表面粗糙度高的问题。提出一种单晶硅的放电成形切割-电解组合加工(Discharge forming cutting-electroche... 针对电火花线切割加工(Wire electrical discharge machining, WEDM)过程中,工件表面易产生大量的放电凹坑和重铸层,从而造成工件表面粗糙度高的问题。提出一种单晶硅的放电成形切割-电解组合加工(Discharge forming cutting-electrochemical machining, DFCEM)方法。在同一台加工设备上,首先通过放电成形切割完成单晶硅的切割,其次采用电化学阳极反应技术实现单晶硅表面放电凹坑和重熔层的溶解。在分析该加工过程的加工机理的基础上,引入法拉第定律和双电层模型,建立了电化学阳极溶解过程中紫铜箔电极运动速度的物理模型,设计了相关实验对理论模型进行了验证。实验验证结果表明,放电成形切割-电解组合加工可以有效的消除放电切割后单晶硅表面的放电凹坑和重铸层,进而降低工件的表面粗糙度。 展开更多
关键词 放电加工 放电切割 电解加工 阳极溶解 建模
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往复走丝电火花高效切割关键技术研究
2
作者 陈明豪 刘志东 +1 位作者 陈龙跃 潘红伟 《电加工与模具》 北大核心 2026年第S1期31-36,共6页
回顾了往复走丝电火花线切割在切割效率方面的发展历程,重点分析了切割效率提升的关键因素及其机理,指出切割效率的提升主要依靠提高能量实现。但实现高效切割是一项系统工程,首先,维持极间正常放电状态是高效切割的基础,其核心在于维... 回顾了往复走丝电火花线切割在切割效率方面的发展历程,重点分析了切割效率提升的关键因素及其机理,指出切割效率的提升主要依靠提高能量实现。但实现高效切割是一项系统工程,首先,维持极间正常放电状态是高效切割的基础,其核心在于维持极间工作液具备足够的排屑动力;其次,为确保电极丝在高效切割条件下往复走丝的持久性,必须通过工作液对电极丝进行保护,以降低电极丝损耗,减少电极丝的断丝概率;再次,进电方式的改进,电极丝材质的升级等也是需考虑的要素。此外,对高效切割后工艺规律的改变进行了分析,对往复走丝电火花线切割切割效率的发展也做出了相应的预测。 展开更多
关键词 高速往复走丝电火花线切割 高效切割 关键技术 工艺指标 发展趋势
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削边电极电火花加工深小盲孔电极损耗特性及孔深控制研究
3
作者 刘宇豪 贾建宇 +2 位作者 李赞 王燕青 沈兴全 《电加工与模具》 北大核心 2026年第1期35-41,61,共8页
针对深小盲孔电火花加工过程中排屑困难、加工稳定性差及深度控制精度低等问题,开展了双侧削边电极电火花加工深小盲孔电极损耗特性及孔深控制研究。通过对不同深度盲孔加工后的电极轮廓曲线与深孔边界曲线进行分析,揭示了在深小盲孔加... 针对深小盲孔电火花加工过程中排屑困难、加工稳定性差及深度控制精度低等问题,开展了双侧削边电极电火花加工深小盲孔电极损耗特性及孔深控制研究。通过对不同深度盲孔加工后的电极轮廓曲线与深孔边界曲线进行分析,揭示了在深小盲孔加工过程中双侧削边电极的损耗规律与孔深变化规律,并进行了多次进给相同深度的深小盲孔加工实验。结果表明:双侧削边电极在深小盲孔加工中沿轴向呈线性磨损,深径比14、孔径360μm的深小盲孔深度变化在1%以内。 展开更多
关键词 削边电极 电火花加工 电极损耗 深盲孔 孔深控制
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交叉预孔对闭式整体叶盘电火花加工影响
4
作者 王乾 卢军成 +1 位作者 赵福春 赵万生 《电加工与模具》 北大核心 2026年第1期30-34,共5页
为提高闭式整体叶盘电火花加工效率,提出了一种通过加工交叉预孔来提高抬刀过程排屑效率的方法。通过三维流场仿真分析了交叉预孔数量、直径及角度对排屑效果的影响规律。针对闭式整体叶盘流道弯扭程度较大,工艺实验选用六轴联动电火花... 为提高闭式整体叶盘电火花加工效率,提出了一种通过加工交叉预孔来提高抬刀过程排屑效率的方法。通过三维流场仿真分析了交叉预孔数量、直径及角度对排屑效果的影响规律。针对闭式整体叶盘流道弯扭程度较大,工艺实验选用六轴联动电火花穿孔机,通过坐标转换在流道两侧分别加工斜孔使其交叉贯通的方法实现交叉预孔加工。仿真及工艺实验结果表明:交叉预孔的数量、孔径对闭式整体叶盘加工效率提升有显著作用,使整体加工效率提高了16%左右,交叉预孔的角度对效率影响不大。 展开更多
关键词 电火花加工 闭式整体叶盘 交叉预孔 排屑
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超浓缩电火花线切割加工液的研制与应用
5
作者 潘传艺 谭超武 +6 位作者 谭凯元 李红庆 黎健凤 潘春阳 胡升 罗洪盛 谢珍茗 《模具制造》 2026年第3期31-32,共2页
分析了高速往复走丝电火花线切割工作介质的性能要求,阐述了快走丝电火花线切割加工液的加工性能的影响因素,通过筛选材料进行调配,成功研制出了一种超浓缩电火花线切割加工液,并在两种不同线切割机床上进行实机测试,试验表明其满足电... 分析了高速往复走丝电火花线切割工作介质的性能要求,阐述了快走丝电火花线切割加工液的加工性能的影响因素,通过筛选材料进行调配,成功研制出了一种超浓缩电火花线切割加工液,并在两种不同线切割机床上进行实机测试,试验表明其满足电火花线切割加工要求,兑水比例高达1∶40以上,综合性价比高。 展开更多
关键词 线切割加工液 超浓缩液 防锈
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基于特殊过程要求的高温钛合金电火花加工参数优化研究
6
作者 廖旺 赵建社 +2 位作者 彭兴 周永春 邹吉亮 《电加工与模具》 北大核心 2026年第1期24-29,共6页
基于特殊过程确认要求,采用渗铜石墨作为电极材料,通过三因素五水平正交试验(L25(5~3)),以重铸层厚度、材料去除率、表面不平度及外观目视为评价指标,研究工艺参数峰值电流IP、脉冲宽度Ton、脉冲间隙Toff对加工综合性能的影响。采用极... 基于特殊过程确认要求,采用渗铜石墨作为电极材料,通过三因素五水平正交试验(L25(5~3)),以重铸层厚度、材料去除率、表面不平度及外观目视为评价指标,研究工艺参数峰值电流IP、脉冲宽度Ton、脉冲间隙Toff对加工综合性能的影响。采用极差分析和方差分析揭示各参数的独立与耦合作用机制。结果表明:脉冲间隙Toff是加工稳定性的主导因素(F=9.39,P<0.01);脉冲宽度Ton表现出显著的非线性效应,最优值为24μs,以实现熔化与抛出效率的平衡;峰值电流IP需与Ton、Toff协同优化,增大电流(>14 A)会引起蚀除产物在间隙中过度累积,导致频繁短路和拉弧。所提出的面向高效率与高表面质量不同目标的参数优化策略,为耐热高温钛合金精密电火花加工的工程应用提供理论依据和数据支撑。 展开更多
关键词 电火花加工 高温钛合金 特殊过程确认 渗铜石墨 正交试验
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基于Python的微细电火花加工机床数控系统开发
7
作者 卢宪东 杜连明 《电加工与模具》 北大核心 2026年第S1期21-25,共5页
针对微细电火花加工机床对开放性与高精度的需求,以模块化与多线程理念设计了一种基于Python的开放式数控系统。该系统通过功能解耦划分出用户界面、运动控制及数据管理等核心模块,设计了独立的G代码解析与仿真引擎,实现了加工程序的离... 针对微细电火花加工机床对开放性与高精度的需求,以模块化与多线程理念设计了一种基于Python的开放式数控系统。该系统通过功能解耦划分出用户界面、运动控制及数据管理等核心模块,设计了独立的G代码解析与仿真引擎,实现了加工程序的离线校验。结果表明:该系统采用的模块化架构降低了各功能间的耦合,提高了系统的稳定性与可维护性;多线程设计分离了界面与后台控制任务,保证了系统的流畅响应,为实现高精度微细电火花加工提供了可靠的软件平台支持。 展开更多
关键词 开放式数控系统 微细电火花加工 PYTHON 运动控制 软件架构
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铝基金刚石复合材料的高速电弧锯切加工
8
作者 蒋立杰 王小卡 +1 位作者 李柯林 顾琳 《电加工与模具》 北大核心 2026年第S1期26-30,36,共6页
由于金刚石增强颗粒硬度极高,传统加工方法难以实现对该材料的高效加工。基于高速电弧放电加工原理,提出了高速电弧锯切加工方法,并将其应用于铝基金刚石复合材料高效切割。极间流场仿真结果表明,锯片电极的高速旋转能够驱动极间流体高... 由于金刚石增强颗粒硬度极高,传统加工方法难以实现对该材料的高效加工。基于高速电弧放电加工原理,提出了高速电弧锯切加工方法,并将其应用于铝基金刚石复合材料高效切割。极间流场仿真结果表明,锯片电极的高速旋转能够驱动极间流体高速流动,协同实现了机械运动与流体动力作用下的复合断弧,并及时排出蚀除产物,维持极间放电状态的稳定性。加工试验表明,该方法实现了对体积分数为20%的铝基金刚石复合材料115.08 mm^(2)/min的切割速度,同时将表面粗糙度控制在18.87μm,为该类材料的高效加工提供了有效解决方案。 展开更多
关键词 铝基金刚石复合材料 高速电弧放电加工 电弧放电切割 流场仿真
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电火花加工H13钢表面的摩擦磨损性能研究
9
作者 白殊如 姚继开 +1 位作者 唐伟东 康小明 《电加工与模具》 北大核心 2026年第1期18-23,共6页
实验研究了电火花加工表面粗糙度和重铸层厚度随放电参数的变化规律,并通过摩擦磨损试验研究了不同放电参数下的加工表面形貌对工件摩擦性能的影响。结果表明:相比于脉宽,放电电流对电火花加工表面粗糙度的影响更加明显,而放电电流和脉... 实验研究了电火花加工表面粗糙度和重铸层厚度随放电参数的变化规律,并通过摩擦磨损试验研究了不同放电参数下的加工表面形貌对工件摩擦性能的影响。结果表明:相比于脉宽,放电电流对电火花加工表面粗糙度的影响更加明显,而放电电流和脉宽对重铸层厚度都有显著影响;随着放电电流从8 A增加到26 A,加工表面平均摩擦系数降低了64.23%,磨损量降低了58.33%;随着脉宽从25μs增加到100μs,加工表面平均摩擦系数增加了17.09%,磨损量增加了18.52%。 展开更多
关键词 电火花加工 重铸层 摩擦 磨损
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超声不同位置辅助电火花线切割复合加工Ti-Ta合金试验研究
10
作者 郭千瑜 祝锡晶 +1 位作者 李婧 李祚庥 《机床与液压》 北大核心 2026年第4期110-116,共7页
为了探究超声振动加在工件或工具电极上两种辅助方式,对电火花线切割加工Ti-Ta合金的加工精度和加工速率的影响,采用正交试验法,研究峰值电流、脉冲宽度、超声振幅、脉冲间隔比4个参数的影响。通过极差分析法评估各参数对表面粗糙度和... 为了探究超声振动加在工件或工具电极上两种辅助方式,对电火花线切割加工Ti-Ta合金的加工精度和加工速率的影响,采用正交试验法,研究峰值电流、脉冲宽度、超声振幅、脉冲间隔比4个参数的影响。通过极差分析法评估各参数对表面粗糙度和加工速率的影响主次,并使用共聚焦显微镜和SEM观测工件表面三维形貌。结果表明:两种方式对表面粗糙度和加工速率影响最大的参数均为峰值电流;与超声加在工具电极上相比,超声加在工件上时表面粗糙度平均降低53.32%,加工速率平均提升10.24%;超声加在工具电极上比超声加在工件上局部区域的表面粗糙度降低29.8%,但存在材料堆积和表面不均匀的问题;除脉冲宽度外,各参数对表面粗糙度的影响趋势基本一致;除超声振幅外,各参数对加工速率的影响趋势一致。采用超声辅助电火花线切割可有效提升Ti-Ta合金的加工性能,研究为该合金在精密零件加工中的工艺优化提供了参考。 展开更多
关键词 超声加工 电火花线切割加工 Ti-Ta合金
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不同电导率溶液放电-电解复合钻孔工艺特性研究
11
作者 陈豫龙 张阿健 陈小康 《机床与液压》 北大核心 2026年第1期93-98,共6页
为探究不同电导率溶液对放电-电解复合钻孔工艺特性的影响,以提升镍基高温合金的加工效率和质量,以不同电导率的去离子水和碳酸钠溶液作为电解质,以材料去除率、工具电极磨损率、电极宏观形貌、孔口三维形貌、孔锥度、孔壁粗糙度、微观... 为探究不同电导率溶液对放电-电解复合钻孔工艺特性的影响,以提升镍基高温合金的加工效率和质量,以不同电导率的去离子水和碳酸钠溶液作为电解质,以材料去除率、工具电极磨损率、电极宏观形貌、孔口三维形貌、孔锥度、孔壁粗糙度、微观形貌和重铸层等为评价指标,研究不同电解质对放电-电解钻孔特性的影响规律,并分析加工后孔表面和截面表面完整性。结果表明:电导率为2.4 mS/cm的碳酸钠溶液表现出最优的综合加工性能;与去离子水作为电解液溶液进行放电-电解加工相比,工具电极磨损率降低76%,材料去除率提高23%,孔锥度减少65%,孔壁粗糙度降低82%,加工孔壁表面几乎没有重铸层,微裂纹数量显著减少,孔口圆度明显改善,有效控制了加工表面缺陷和裂纹的产生。电解液电导率的提高增强了电化学溶解效应,促进电流均匀分布,减少局部过热和放电缺陷,从而提高材料去除率并改善加工质量。 展开更多
关键词 放电-电解复合加工 电导率 工具电极磨损率 加工精度 加工质量
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金刚石线锯电火花复合多线切割装置设计与试验
12
作者 常皓 王文建 +1 位作者 张文超 李中盼 《机械设计与研究》 北大核心 2026年第1期293-299,305,共8页
为进一步提高硬脆半导体材料及金属材料的切割加工质量和生产效率、降低其生产成本,提出研制一种新型金刚石线锯电火花复合多线切割装置,用于实现硬脆半导体材料及其他金属材料的高效、高质量、低成本加工。该装置可通过调节线间距,实... 为进一步提高硬脆半导体材料及金属材料的切割加工质量和生产效率、降低其生产成本,提出研制一种新型金刚石线锯电火花复合多线切割装置,用于实现硬脆半导体材料及其他金属材料的高效、高质量、低成本加工。该装置可通过调节线间距,实现对切片厚度或切槽宽度的改变,能够对硬脆半导体材料及金属材料进行多线高效切割。为使装置结构紧凑、体积小以及质量轻,以减轻多线槽导轮支撑体质量和提高其一阶固有频率为目标,构建多目标优化数学模型,开展拓扑优化。对优化后的装置模型进行重构,并验证其力学性能。利用金属3D打印技术制造样件,开展运丝和加工试验。结果表明,优化后的上支撑体和下支撑体质量分别减轻57.4%和59.4%,一阶频率分别提升了48.6%和59.3%,优化后装置力学性能和动态特性得到明显改善。装置工作稳定、金刚石线与被加工工件之间能够实现稳定放电以及连续稳定切割。 展开更多
关键词 金刚石线锯电火花复合多线切割 动静态分析 多目标拓扑优化 轻量化设计 金属3D打印
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欢迎订阅《电加工与模具》
13
《电加工与模具》 北大核心 2026年第S1期68-68,共1页
《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:电火花加工、电化学/电解加工、激光及高能束加工、增材制造(3D打印)、超声加工、复合特种加工或其他特种加工以及特种加工应用于模具制... 《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:电火花加工、电化学/电解加工、激光及高能束加工、增材制造(3D打印)、超声加工、复合特种加工或其他特种加工以及特种加工应用于模具制造领域的设计研究成果、工艺应用技术、使用维修经验、产品开发信息和行业发展动态等。 展开更多
关键词 电火花加工 激光加工 电化学加工 模具
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基于灰色关联度法的硼酸溶液中Zr-4合金高效电火花加工参数优化
14
作者 刘中阳 刘建勇 +1 位作者 罗学科 曹钛语 《电加工与模具》 北大核心 2026年第S1期15-20,共6页
系统性构建了涵盖硼酸浓度、放电脉宽、峰值电流、伺服基准电压等关键参数的Zr-4合金电火花加工参数灰色关联度法,以满足硼酸溶液中Zr-4合金电火花加工高效低损耗放电参数组合的快速优化要求。首先,搭建了由电火花主机装置、去离子水循... 系统性构建了涵盖硼酸浓度、放电脉宽、峰值电流、伺服基准电压等关键参数的Zr-4合金电火花加工参数灰色关联度法,以满足硼酸溶液中Zr-4合金电火花加工高效低损耗放电参数组合的快速优化要求。首先,搭建了由电火花主机装置、去离子水循环系统和专用试验夹具组成的试验平台,建立了该类参数的基础数据库;接着,基于该平台开展了单因素试验,研究了硼酸浓度对加工效率和电极损耗的影响;然后,基于正交试验研究了给定硼酸浓度下影响加工效率和电极损耗的关键参数,基于试验数据库构建了Zr-4合金电火花加工关键参数的灰色关联度法;最后,在试验平台上验证了所构建数学模型生成参数组合的加工效果。结果表明:经该算法优化后,电极损耗降低了26.02%、加工效率提高了13.8%,满足在核电站特定加工环境中的加工要求,为核电站乏燃料池复杂工况下Zr-4材料的高效低损耗电火花加工参数的快速生成提供了一定的理论支撑。 展开更多
关键词 电火花加工 ZR-4合金 硼酸溶液 灰色关联度法
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第十四届中国数控机床展览会(CCMT2026)电加工机床展品简介
15
作者 无 《电加工与模具》 北大核心 2026年第S1期89-99,共11页
第十四届中国数控机床展览会(CCMT2026)由中国机床工具工业协会主办,并与上海市国际展览(集团)有限公司共同承办,将于2026年4月21日~25日在上海新国际博览中心举办。据介绍,CCMT2026以“数字·互联·智造”为展会主题,启动上海... 第十四届中国数控机床展览会(CCMT2026)由中国机床工具工业协会主办,并与上海市国际展览(集团)有限公司共同承办,将于2026年4月21日~25日在上海新国际博览中心举办。据介绍,CCMT2026以“数字·互联·智造”为展会主题,启动上海新国际博览中心全部的17个室内展馆(E1-E7、N1-N5、W1-W5)和1个临时馆(ON6),展会总面积20.2万平方米,吸引了来自27个国家和地区的2 000多家机床工具企业同台竞技,有望成为本年度亚洲规模最大的机床工具专业展览会。本届展会的看点和技术发展趋势可以概括为五方面:一是新兴市场崛起引导机床技术发展;二是核心技术突破推动机床性能和能力边界的跃升;三是智网融合驱动机床自主能力跨越式发展;四是核心部件铸就机床迭代的强力引擎;五是“绿”动未来,节能、环保的成果厚积薄发。为便于读者了解特种加工机床行业企业及其展品的参展情况,本刊编辑部特基于中国机床工具工业协会特种加工机床分会提供的资料,选择部分CCMT2026电加工机床展品简介于此。 展开更多
关键词 机床工具 CCMT2026 特种加工机床 电加工机床
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基于SVM的面向绿色制造的电火花加工工艺综合评价研究
16
作者 程美 黄宁 《时代汽车》 2026年第1期122-124,共3页
文章通过对电火花加工工艺进行分析,从环境、成本、时间、资源损耗和质量五个维度构建面向绿色制造的电火花加工工艺评价体系,结合电火花加工的特点,选取了噪声、电磁辐射、刺激性气体等12个评价指标,采用主成分分析法(PCA)对各指标进... 文章通过对电火花加工工艺进行分析,从环境、成本、时间、资源损耗和质量五个维度构建面向绿色制造的电火花加工工艺评价体系,结合电火花加工的特点,选取了噪声、电磁辐射、刺激性气体等12个评价指标,采用主成分分析法(PCA)对各指标进行降维,并采用SVM模型对电火花加工工艺进行综合评价,实验结果表明当维度为6时,SVM模型的正确率为0.881,召回率为0.873,F值达到0.877,综合评价效果良好。?噪声、电磁辐射、刺激性气体、电极损耗、材料损耗、加工耗电量对模型评估影响较大。 展开更多
关键词 电火花 绿色制造 支持向量机 加工工艺 综合评价
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氩气辅助准干式电火花铣削加工钛合金的试验研究
17
作者 李岩欣 孔令蕾 +3 位作者 康绍鹏 赵宇繁 廖威杰 章楷 《南方农机》 2026年第7期116-121,142,共7页
准干式电火花铣削加工是一种对环境友好的绿色制造电火花加工方法,它采用气体和水组成的两相雾化介质作为放电加工介质,其常用的气相介质为空气,其他气体甚少。文章分别以空气和惰性气体氩气作为准干式电火花铣削加工的气相介质,开展钛... 准干式电火花铣削加工是一种对环境友好的绿色制造电火花加工方法,它采用气体和水组成的两相雾化介质作为放电加工介质,其常用的气相介质为空气,其他气体甚少。文章分别以空气和惰性气体氩气作为准干式电火花铣削加工的气相介质,开展钛合金铣削加工对比试验。结果显示,氩气辅助准干式电火花铣削加工(Ar-NEDM)相较于空气辅助准干式电火花铣削加工(Air-NEDM),MRR提高了约40%,Ra降低了约10%,但是EWR提高了近300%;Ar-NEDM获得的样件表面无明显微裂纹、微孔等缺陷特征。分析认为,氩气介质的惰性特点在放电过程中起到隔绝与保护的作用,减少了极间熔融产物与外界的接触,且在极间碰撞电离时易产生更多的电子轰击工件表面而改善加工效果。随后,采用正交试验设计,结合极差分析与方差分析方法,明确了电流、气体压力、雾化量、占空比等加工参数对MRR、EWR、Ra、MGW等工艺指标影响的主次顺序及显著性,进而得出相应指标的最佳放电加工参数。 展开更多
关键词 准干式电火花铣削加工 钛合金 氩气 表面形貌 材料去除率
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高速旋转磨粒电极电化学放电加工氧化锆陶瓷小孔试验研究 被引量：1
18
作者 黄志坚 吴志铭 +1 位作者 邹治湘 刘江文 《制造技术与机床》 北大核心 2025年第6期34-42,共9页
氧化锆陶瓷因其高硬度、高熔点等优异特性,被广泛应用于各工业领域中,然而,该材料加工难大,难以实现高效率、高质量、高精度加工。传统电化学放电加工(electro-chemical discharge machining,ECDM)氧化锆陶瓷,虽可通过增大能量提升加工... 氧化锆陶瓷因其高硬度、高熔点等优异特性,被广泛应用于各工业领域中,然而,该材料加工难大,难以实现高效率、高质量、高精度加工。传统电化学放电加工(electro-chemical discharge machining,ECDM)氧化锆陶瓷,虽可通过增大能量提升加工效率,但易因材料内部热应力过大等问题,而产生大量的微裂纹等缺陷。为此,提出采用高速旋转磨粒电极电化学放电加工的方法对氧化锆进行小孔加工。通过与传统电化学放电加工进行对比试验以分析其加工特性,研究发现磨粒电极能够提升气膜的稳定性,减少放电热冲击所产生的热缺陷,进而改善小孔的加工质量,结果表明其加工精度提高了63.9%。此外,还进一步研究了不同占空比、电解液浓度、频率以及转速对氧化锆陶瓷的加工影响规律。通过单因素试验,确定了适宜的工艺参数组合为占空比80%、电解液浓度15 wt%、脉冲频率17.5 kHz和转速10000 r/min。在该参数组合下,成功加工出深度达670.4μm、过切量为108.9μm的小孔。 展开更多
关键词 高速旋转磨粒电极 电化学放电加工 氧化锆陶瓷 小孔加工 气膜
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电火花加工单晶硅微结构的表面质量及成形精度 被引量：1
19
作者 孙瑶 董俊逸 +1 位作者 唐本甲 李思慧 《东北大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期96-103,共8页
以电火花加工(EDM)P型单晶硅为实验对象,探究单晶硅加工表面的形貌特征及微观放电凹坑特性,揭示电火花加工单晶硅的材料去除机理,即应力蚀除作用大于熔化和气化蚀除作用.开展单晶硅微槽和微孔的加工工艺实验研究,探究电火花加工单晶硅... 以电火花加工(EDM)P型单晶硅为实验对象,探究单晶硅加工表面的形貌特征及微观放电凹坑特性,揭示电火花加工单晶硅的材料去除机理,即应力蚀除作用大于熔化和气化蚀除作用.开展单晶硅微槽和微孔的加工工艺实验研究,探究电火花加工单晶硅微结构的成形精度、尺寸偏差、截面轮廓起伏高度和表面质量,揭示主要加工参数对电火花加工单晶硅的材料去除率、表面形貌、表面粗糙度的影响规律. 展开更多
关键词 单晶硅 电火花加工 微槽 微孔 表面形貌 成形精度
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电火花加工过程的观测与仿真研究进展 被引量：1
20
作者 杨晓冬 李其 《电加工与模具》 北大核心 2025年第1期1-14,共14页
虽然电火花加工技术在现代制造业得到了广泛应用,但目前电火花加工的微观过程仍未完全明确,限制了其进一步应用与发展。近年来,高速摄像技术和数值模拟技术的发展,极大地推动了电火花加工机理相关的研究进展。首先,概述了单次放电过程... 虽然电火花加工技术在现代制造业得到了广泛应用,但目前电火花加工的微观过程仍未完全明确,限制了其进一步应用与发展。近年来,高速摄像技术和数值模拟技术的发展,极大地推动了电火花加工机理相关的研究进展。首先,概述了单次放电过程中的放电通道特性及材料蚀除机理的相关研究成果,重点介绍了放电通道的静态与动态特性以及熔融材料蚀除驱动力的相关研究;接着,简述了连续放电过程情况下的极间环境观测及表面形成过程仿真的研究现状;最后,展望了后续研究方向。 展开更多
关键词 电火花加工 加工机理 高速摄像 数值模拟
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