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ELID镜面磨削中砂轮生成氧化膜特性及其作用的研究 被引量：31
1
作者 关佳亮 郭东明 袁哲俊 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期89-92,共4页
研究砂轮电解氧化膜的粘附强度、硬度、致密性、导电性和生成速度等物理特性与砂轮结合剂成分、磨削液成分和电解参数的关系，并分析氧化膜在ＥＬＩＤ磨削中的作用。
关键词 ELID 镜面磨削 电解氧化膜 砂轮结合剂 砂轮
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ELID镜面磨削技术——综述 被引量：37
2
作者 周曙光 关佳亮 +1 位作者 郭东明 袁哲俊 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2001年第2期38-40,共3页
在线电解修整砂轮 (ELID)精密镜面磨削是近 10来年发展起来的一项磨削新技术 ,在日本等国已经较广泛地应用于生产中。我国哈尔滨工业大学袁哲俊教授的ELID课题组从 1993年起就开始了这方面的研究 ,现已成熟。本刊从这期起连续刊登 5篇E... 在线电解修整砂轮 (ELID)精密镜面磨削是近 10来年发展起来的一项磨削新技术 ,在日本等国已经较广泛地应用于生产中。我国哈尔滨工业大学袁哲俊教授的ELID课题组从 1993年起就开始了这方面的研究 ,现已成熟。本刊从这期起连续刊登 5篇ELID镜面磨削技术文章 ,希望有助于这项技术在生产中推广使用。 展开更多
关键词 ELID磨削 镜面磨削 在线电解修整 砂轮磨削
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化学机械抛光中抛光垫的研究 被引量：21
3
作者 魏昕 熊伟 +1 位作者 黄蕊慰 袁慧 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2004年第5期40-43,共4页
抛光垫是化学机械抛光 (CMP)系统的重要组成部分。它具有贮存抛光液 ,并把它均匀运送到工件的整个加工区域等作用。抛光垫的性能主要由抛光垫的材料种类、材料性能、表面结构与状态以及修整参数等决定。本文介绍CMP过程常用的抛光垫材... 抛光垫是化学机械抛光 (CMP)系统的重要组成部分。它具有贮存抛光液 ,并把它均匀运送到工件的整个加工区域等作用。抛光垫的性能主要由抛光垫的材料种类、材料性能、表面结构与状态以及修整参数等决定。本文介绍CMP过程常用的抛光垫材料种类、材料性能、表面结构 ,总结了抛光垫的性能对CMP过程影响规律 ,认为 :抛光垫的剪切模量或增大抛光垫的可压缩性 ,CMP过程材料去除率增大 ;采用表面合理开槽的抛光垫 ,可提高材料去除率 ,降低晶片表面的不均匀性 ;抛光垫粗糙的表面有利于提高材料去除率。对抛光垫进行适当的修整可以增加抛光垫表面粗糙度、使材料去除率趋于一致。与离线修整相比较 。 展开更多
关键词 化学机械抛光 抛光垫 聚氨酯 修整
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ELID镜面磨削砂轮氧化膜生成机理 被引量：19
4
作者 关佳亮 郭东明 袁哲俊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期630-632,共3页
采用铸铁结合剂微细超硬磨料砂轮进行在线电解修整磨削时，ＥＬＩＤ砂轮表面产生的氧化膜起着极其重要的作用。研究了ＥＬＩＤ砂轮电解氧化膜的粘附强度、硬度、致密性、导电性、生成速度与砂轮结合剂成分、磨削液成分和电解参数的关系。
关键词 ELID 镜面磨削 砂轮 氧化膜
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ELID磨削技术在硬脆材料精密超精密加工中的应用 被引量：9
5
作者 关佳亮 范晋伟 马春敏 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期486-488,共3页
介绍了ＥＬＩＤ磨削技术的基本原理，分析了ＥＬＩＤ技术磨削硬脆材料的加工机理，并应用该技术对硬质合金、工程陶瓷和光学玻璃等典型硬脆材料实现了超精密镜面加工．磨后工件达到Ｒａ为０．００３～０．０１８的镜面．
关键词 ELID磨削 硬脆材料 加工机理 超精密镜面加工 磨削原理 精密超精密加工
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ELID镜面磨削技术——金属结合剂砂轮的研制 被引量：7
6
作者 关佳亮 郭东明 +1 位作者 周曙光 袁哲俊 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2001年第3期25-27,共3页
采用铜粉、还原铁粉、铸铁粉并辅以改善铁粉和铸铁粉末冶金性能的金属添加剂作配方，烧制出适合现有生产条件的 ＥＬＩＤ磨削用砂轮磨块。性能检验表明该配方满足了 ＥＬＩＤ磨削要求。
关键词 ELID 砂轮 铁粉 金属结合剂 研制 镜面磨削
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主动抛光盘磨制非球面镜面控制技术的研究 被引量：8
7
作者 汪达兴 李颖 +1 位作者 杨世海 高必烈 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期373-375,379,共4页
介绍了抛光盘机械结构和基本运动方式,探讨了主动抛光盘的控制系统和面形检测,重点对变形技术进行了数学分析,并给出了实验结果。根据实验结果分析了面形误差产生的原因,讨论了主动抛光盘的动态响应和校正,给出了直径910mm,焦比为F/2的... 介绍了抛光盘机械结构和基本运动方式,探讨了主动抛光盘的控制系统和面形检测,重点对变形技术进行了数学分析,并给出了实验结果。根据实验结果分析了面形误差产生的原因,讨论了主动抛光盘的动态响应和校正,给出了直径910mm,焦比为F/2的实验镜面磨制结果。 展开更多
关键词 主动抛光盘 非球面镜面 计算机控制
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ELID超精密磨削钢结硬质合金及其表面质量分析 被引量：7
8
作者 朱波 袁哲俊 +1 位作者 张飞虎 赵清亮 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第8期866-868,共3页
运用铁基结合剂金刚石砂轮与专用高频脉冲电源相配合 ,对钢结硬质合金 ( GT35)进行在线电解修整 ( ELID)精密磨削。分析了 ELID超精密镜面磨削异相非均质材料钢结硬质合金表面的磨削机理 ,并通过原子力显微镜对其表面进行了微观表面形... 运用铁基结合剂金刚石砂轮与专用高频脉冲电源相配合 ,对钢结硬质合金 ( GT35)进行在线电解修整 ( ELID)精密磨削。分析了 ELID超精密镜面磨削异相非均质材料钢结硬质合金表面的磨削机理 ,并通过原子力显微镜对其表面进行了微观表面形貌的分析。研究结果表明 ,采用 ELID磨削技术解决了钢结硬质合金零件的超精密磨削加工 ,钢结硬质合金磨削表面粗糙度可达纳米级 ,Ra≤ 2 0 nm。 展开更多
关键词 在线电解修整 钢结硬质合金 超精密磨削
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轴承套圈内圆在线电解修整磨削试验 被引量：9
9
作者 杨黎健 任成祖 靳新民 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期212-214,共3页
提出了一种新的在线电解修整磨削轴承内圈的方法。该方法直接将导电的金属工件做为电解阴极,将铸铁基CBN砂轮作为阳极,在磨削过程中利用工件电极对砂轮进行修锐,维持了与传统在线电解修整磨削相同的磨削过程,保证了磨削过程的稳定进行... 提出了一种新的在线电解修整磨削轴承内圈的方法。该方法直接将导电的金属工件做为电解阴极,将铸铁基CBN砂轮作为阳极,在磨削过程中利用工件电极对砂轮进行修锐,维持了与传统在线电解修整磨削相同的磨削过程,保证了磨削过程的稳定进行。使用W10的砂轮可获得表面粗糙度Ra为0.03μm的加工表面。 展开更多
关键词 在线电解修整 内圆磨削 电火花整形 轴承套圈
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主动抛光盘磨制非球面的工艺与面形检测 被引量：5
10
作者 朱政 高必烈 +1 位作者 李新南 刘鸣 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期341-343,共3页
主动抛光盘技术特别适用于磨制焦比大的深度非球面,能够根据需要对抛光盘面实时地主动变形成偏轴非球面来磨制非球面镜面。它具有较高的磨削速率和较大范围内的自然平滑(无切带)。用计算机控制磨制,可以像加工球面一样来加工一个深度的... 主动抛光盘技术特别适用于磨制焦比大的深度非球面,能够根据需要对抛光盘面实时地主动变形成偏轴非球面来磨制非球面镜面。它具有较高的磨削速率和较大范围内的自然平滑(无切带)。用计算机控制磨制,可以像加工球面一样来加工一个深度的非球面。介绍了用国内首次研制成功的主动抛光盘对加工直径910mm、焦比F/2的抛物面镜的工艺方法的初步探讨,并给出了抛物面镜的检验方案和检测结果。 展开更多
关键词 光学工艺 非球面磨制 主动抛光盘 光学检验
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在线电解修整镜面磨削中砂轮耐用度的研究 被引量：5
11
作者 张飞虎 张春河 +1 位作者 欧海涛 袁哲俊 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期9-11,共3页
在线电解修整（ＥＬＩＤ） 磨削是镜面磨削加工的新技术． 在分析ＥＬＩＤ 镜面磨削机理的基础上，对ＥＬＩＤ磨削过程中影响砂轮耐用度的主要因素，包括电解修整参数、磨削液成分、磨削工艺参数和砂轮结合剂等进行了实验研究和理论分... 在线电解修整（ＥＬＩＤ） 磨削是镜面磨削加工的新技术． 在分析ＥＬＩＤ 镜面磨削机理的基础上，对ＥＬＩＤ磨削过程中影响砂轮耐用度的主要因素，包括电解修整参数、磨削液成分、磨削工艺参数和砂轮结合剂等进行了实验研究和理论分析，说明由于在线电解修整过程中的非线性电解作用，这些因素对砂轮磨损速度的影响可以通过残留维持电流反映出来，最后根据在线电解修整过程的特点，给出了用残留维持电流估算砂轮耐用度的计算公式． 展开更多
关键词 在线电解修整 砂轮 耐用度 磨削 镜面磨削
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缓变自由曲面圆弧包络加工法的表面误差分析 被引量：3
12
作者 阎秋生 林彬 +2 位作者 张自强 于爱兵 荘司克雄 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期619-622,共4页
研究了缓变自由曲面的圆弧包络加工法 ,分析了产生于加工表面的凸峰误差 ,并进行了模拟计算 .圆弧包络加工法可有效利用圆弧工具的全宽减小工具的局部磨损提高其寿命 ,但圆弧工具形状残留于加工表面产生凸峰误差 .对圆弧包络加工法加工... 研究了缓变自由曲面的圆弧包络加工法 ,分析了产生于加工表面的凸峰误差 ,并进行了模拟计算 .圆弧包络加工法可有效利用圆弧工具的全宽减小工具的局部磨损提高其寿命 ,但圆弧工具形状残留于加工表面产生凸峰误差 .对圆弧包络加工法加工横截面为抛物线曲面的凸峰误差模拟结果表明 ,工具圆弧半径增大和进给间隔减小可显著减小凸峰误差 ,采用工具圆弧半径 r=2 0 mm进给间隔 Δl=0 .1mm,凸峰误差可以减小到 0 .0 6μm左右 . 展开更多
关键词 超精密加工 自由曲面 圆弧包络加工法 表面误差 加工原理 圆弧包络磨削
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微晶玻璃超精密磨削技术研究 被引量：6
13
作者 张飞虎 仇中君 陈明君 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第8期863-865,共3页
分析实现微晶玻璃超精密磨削的技术条件和在线电解修整超精密磨削机理 ,并采用铸铁基金刚石砂轮结合在线电解的磨削方法对微晶玻璃进行了精密磨削 ,获得 Ra为 2 .30 8nm的超光滑表面。
关键词 在线电解修整 微晶玻璃 超精密加工 超精密磨削
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陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究 被引量：8
14
作者 周曙光 关佳亮 徐中耀 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2000年第6期23-24,27,共3页
在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精... 在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精度高、表面质量好 。 展开更多
关键词 精密镜面磨削 超硬磨料砂轮 陶瓷喷涂层 ELID
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ELID 超精密镜面磨削砂轮磨损规律的研究 被引量：4
15
作者 林彬 张春河 徐燕申 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第1期74-76,共3页
分析了在线电解修整（ＥＬＩＤ）超精密镜面磨削中砂轮的磨损规律，给出了砂轮径向磨损速率和体积磨损速率的估算公式，并进行了实验验证．
关键词 在线电解修整 砂轮磨损 镜面磨削 超精密磨削
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新型反应烧结碳化硅陶瓷的超精密磨削 被引量：9
16
作者 戴玉堂 姜德生 大森整 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期595-597,共3页
介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅。采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削,研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响,分析了磨削面微段差的形成机理。... 介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅。采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削,研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响,分析了磨削面微段差的形成机理。获得了表面粗糙度Ra=0.57nm的超平滑镜面。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 超精密磨削 在线电解修整 表面特性
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铸铁基金刚石微粉砂轮的电火花整形试验 被引量：3
17
作者 高大晓 任成祖 +1 位作者 王志强 靳新民 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期584-588,共5页
为了得到可靠和高效的铸铁基金刚石微粉砂轮精密整形过程,建立了基于LabVIEW数据采集系统、电火花状态和砂轮圆度监控系统以及可小到纳米级进给的间隙自动实时控制系统,并在此基础上进行了针状电极试验和铸铁基金刚石微粉砂轮的整形试验... 为了得到可靠和高效的铸铁基金刚石微粉砂轮精密整形过程,建立了基于LabVIEW数据采集系统、电火花状态和砂轮圆度监控系统以及可小到纳米级进给的间隙自动实时控制系统,并在此基础上进行了针状电极试验和铸铁基金刚石微粉砂轮的整形试验.针状电极试验证明了砂轮与电极之间存在一放电圆弧区域,在砂轮转动一圈的周期内,砂轮表面某一点的电火花放电最大时间为此点转过这段区域的时间,即使再增大脉宽也不会提高材料的去除率.在电火花整形试验中,对各种电参数和不同的电介质对整形过程的影响进行了研究和选择.最后在合理参数的基础上,选用去离子水作为放电介质,整形过程稳定高效,最终得到砂轮的圆度为0.75μm,锥度误差小于0.5μm. 展开更多
关键词 数据采集 电火花整形 铸铁基金刚石微粉砂轮 在线电解修锐
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非球面复制成型技术的研究 被引量：4
18
作者 王勤 余景池 胡祖元 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期121-123,共3页
光学非球面复制成型技术是一种通过面形转移的方法成型光学非球面的技术,即将高精度非球面光学元件(母模)的表面利用脱模膜和胶粘剂转移到球面光学元件(基体)的表面上,并保持原非球面光学元件的光学品质,使球面变成非球面。介绍了该技... 光学非球面复制成型技术是一种通过面形转移的方法成型光学非球面的技术,即将高精度非球面光学元件(母模)的表面利用脱模膜和胶粘剂转移到球面光学元件(基体)的表面上,并保持原非球面光学元件的光学品质,使球面变成非球面。介绍了该技术的基本原理以及所进行的工艺实验(镀膜、脱模、胶合等),给出了母模和复制件的面形图,证明了该技术用于中小口径非球面光学元件的制造具有较高的精度。 展开更多
关键词 非球面 复制 母模 基体
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ELID精密镜面内孔磨削技术的应用 被引量：6
19
作者 关佳亮 袁哲俊 张飞虎 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 1998年第1期25-26,共2页
采用金属基超硬磨料砂轮和在线电解修整（ＥＬＩＤ）技术对碳化硅陶瓷、工具钢等材料进行精密镜面内孔磨削，得到了表面粗糙度Ｒａ０．０２～０．
关键词 在线电解修整 镜面磨削 内孔磨削
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工程陶瓷超声磨削轨迹仿真 被引量：4
20
作者 李瑜 赵波 +1 位作者 焦锋 卞平艳 《工具技术》 北大核心 2007年第1期39-42,共4页
进行了工程陶瓷一维、二维超声磨削试验;通过对超声磨削陶瓷工件表面划痕轨迹的计算机模拟仿真,重点分析了安装角与二维超声相位差对单颗磨粒运动轨迹的影响;通过对比超声磨削试验SEM照片,讨论了超声磨削各参数对加工质量的影响。研究... 进行了工程陶瓷一维、二维超声磨削试验;通过对超声磨削陶瓷工件表面划痕轨迹的计算机模拟仿真,重点分析了安装角与二维超声相位差对单颗磨粒运动轨迹的影响;通过对比超声磨削试验SEM照片,讨论了超声磨削各参数对加工质量的影响。研究结果完善了加工因素对去除率的影响规律。 展开更多
关键词 工程陶瓷 超声磨削 轨迹仿真
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