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基于振动数据驱动的深小孔退钻时机识别方法
1
作者 梁杰 范文浩 高琳 《机电工程》 北大核心 2025年第7期1367-1377,共11页
在航天用螺栓保险丝孔钻削过程中,退钻时机的判断通常依赖操作人员的经验,缺乏有效的实时监测手段,导致加工效率低下。针对这一问题,从振动监测角度提出了一种基于振动数据驱动的螺栓保险丝孔钻削退钻时机识别方法。首先,搭建了钻孔实... 在航天用螺栓保险丝孔钻削过程中,退钻时机的判断通常依赖操作人员的经验,缺乏有效的实时监测手段,导致加工效率低下。针对这一问题,从振动监测角度提出了一种基于振动数据驱动的螺栓保险丝孔钻削退钻时机识别方法。首先,搭建了钻孔实验平台及信号采集设备,进行了恒进给钻削实验并采集得到了断裂信号;然后,通过小波变换揭示了断裂信号的时频变化特征,利用最大重叠离散小波变换(MODWT)实现了对特征信号的重构目的;接着,将模糊熵特征评价指标与滑动窗口重叠采样进行了结合,计算并分析了模糊熵随钻削深度的变化趋势;最后,采用实验验证了不同切削参数和退钻模式下识别方法的有效性。研究结果表明:在正常钻削工况下,工件与主轴处高频振动信号的模糊熵值分别稳定于0.01和0.0015阈值线以下,当钻头进入断裂临界状态时,两测点的模糊熵值均呈现持续上升趋势,并最终超出阈值线;以钻削过程模糊熵标准差最小为优化目标,得到了两种退钻模式下的最优切削参数,相较于传统依赖经验的固定深度啄钻方法,优化后的两种切削参数在效率上分别提高了41.8%和36.7%。振动数据驱动的螺栓保险丝孔钻削退钻时机识别方法能有效识别不同退钻模式和切削参数下的退钻时机,且其识别准确性不受测量位置影响,具有较好的鲁棒性。优化后的切削参数为螺栓保险丝孔高效率加工提供了参考依据。 展开更多
关键词 数据驱动 钻削 最大重叠离散小波变换 滑动窗口 模糊熵 全因子实验设计
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低铌蠕铁钻削轴向力及制孔质量试验研究
2
作者 林勇传 黄荣稳 +3 位作者 侯彦辰 马济阳 邓淇元 赖德斌 《工具技术》 北大核心 2025年第6期15-20,共6页
低铌蠕铁是一种铌微合金化的铸铁材料,相比于传统蠕墨铸铁具有耐高温、硬度高、强度高等优良性能。然而更高的强度和硬度使其加工性能面临更大的挑战。因此,有必要对低铌蠕铁的钻削加工性能开展研究,改善蠕墨铸铁加工中存在的孔表面质... 低铌蠕铁是一种铌微合金化的铸铁材料,相比于传统蠕墨铸铁具有耐高温、硬度高、强度高等优良性能。然而更高的强度和硬度使其加工性能面临更大的挑战。因此,有必要对低铌蠕铁的钻削加工性能开展研究,改善蠕墨铸铁加工中存在的孔表面质量较差等问题。本文采用3个工艺参数对低铌蠕铁进行钻削加工,分别为钻头直径D、每转进给量f和主轴转速n,对试验结果使用方差分析确定影响钻孔所需的轴向力和表面粗糙度的显著工艺参数,并分析孔的入出口缺陷。结果表明,钻头直径和每转进给量对钻削低铌蠕铁的轴向力有显著影响,而主轴转速的影响并不显著。钻头直径对钻削低铌蠕铁的孔壁表面粗糙度有显著影响,而每转进给量和主轴转速的影响都不显著。孔入口撕裂程度比出口的小,随着钻头直径和每转进给量的增大,孔入出口撕裂因子整体呈现增长趋势,随着主轴转速的增大,孔入出口撕裂因子逐渐减小。 展开更多
关键词 低铌蠕铁 轴向力 入出口撕裂 表面粗糙度
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基于循环神经网络的深孔钻削刀具断刀状态振动监测
3
作者 赵秀芹 《石河子科技》 2025年第6期13-14,共2页
钻削技术通常被应用于一些需要满足大尺寸要求的深孔加工过程。为克服刀具状态监测缺陷,设计了一种基于循环神经网络的深孔钻削刀具断刀状态振动监测方法。研究结果表明:深孔镗床测试结果达到了99.6%的准确率,获得了理想监测效果。相比... 钻削技术通常被应用于一些需要满足大尺寸要求的深孔加工过程。为克服刀具状态监测缺陷,设计了一种基于循环神经网络的深孔钻削刀具断刀状态振动监测方法。研究结果表明:深孔镗床测试结果达到了99.6%的准确率,获得了理想监测效果。相比较模糊PID与BP神经网络,采用LSTM网络进行处理时除了可以实现降噪功能以外还能够有效保留信号本身的有用信息。 展开更多
关键词 深孔钻削 状态监测 长短时记忆网络 诊断 准确率
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深孔加工技术研究综述 被引量：4
4
作者 王健 葛荣雨 鲁绪阁 《制造技术与机床》 北大核心 2025年第4期96-105,共10页
深孔加工技术在能源开采等装备的核心部件制造过程中发挥着重要作用,其技术水平直接影响着装备的整体发展水平。首先,针对现有的深孔切削和特种加工方法,阐述了各种加工方法的原理,并分类综述了在提高加工性能方面所做的相关研究。其次... 深孔加工技术在能源开采等装备的核心部件制造过程中发挥着重要作用,其技术水平直接影响着装备的整体发展水平。首先,针对现有的深孔切削和特种加工方法,阐述了各种加工方法的原理,并分类综述了在提高加工性能方面所做的相关研究。其次,以解决深孔加工轴线偏斜、振动等问题为目的,报道了深孔直线度检测、纠偏技术和减振技术的研究现状。最后,对未来深孔加工发展趋势进行了展望,为深孔加工研究方向进一步选择提供了一定参考。 展开更多
关键词 深孔加工 切削加工 特种加工 直线度 检测纠偏 减振
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大长径比无氧铜深孔钻削工艺参数多目标优化 被引量：2
5
作者 韩晓兰 王凯 +1 位作者 刘战锋 赵升吨 《制造技术与机床》 北大核心 2025年第3期112-118,共7页
为解决无氧铜深孔钻削时存在断屑难、排屑困难等问题,基于响应面分析法开展了多孔TU1无氧铜枪钻钻削试验研究。以进给量、切削速度和切削液压力作为输入变量,以切屑形态的容屑系数、切屑变形系数作为响应值,建立输入变量和响应值之间的... 为解决无氧铜深孔钻削时存在断屑难、排屑困难等问题,基于响应面分析法开展了多孔TU1无氧铜枪钻钻削试验研究。以进给量、切削速度和切削液压力作为输入变量,以切屑形态的容屑系数、切屑变形系数作为响应值,建立输入变量和响应值之间的回归模型,获得优化参数组合。结果表明,单因素对容屑系数和切屑变形系数影响程度由大到小依次为进给量、切削速度、切削液压力;多因素交互影响中切削速度和切削液压力的交互作用对容屑系数和切屑变形系数的影响最显著。当进给量为0.023 mm/r、切削速度为47.1 m/min、切削液压力为2.1 MPa时,获得的C型切屑是理想的切屑,排屑顺畅。为易切削大变形材料的深孔加工工艺参数选择提供理论参考。 展开更多
关键词 无氧铜 多目标参数优化 枪钻 响应面分析 深孔钻削
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金刚石/β-SiC复合多层结构涂层刀具制备和切削性能研究
6
作者 刘鲁生 袁子尧 +3 位作者 黄楠 宋昊哲 杨兵 姜辛 《工具技术》 北大核心 2025年第12期42-51,共10页
应用热丝化学气相沉积技术,将微米金刚石、纳米金刚石、微米—纳米金刚石多层、金刚石/β-SiC复合界面层+微米—纳米多层、(金刚石/β-SiC复合)/微米金刚石多层+纳米金刚石顶层、(金刚石/β-SiC复合)/纳米金刚石多层等6种金刚石结构涂... 应用热丝化学气相沉积技术,将微米金刚石、纳米金刚石、微米—纳米金刚石多层、金刚石/β-SiC复合界面层+微米—纳米多层、(金刚石/β-SiC复合)/微米金刚石多层+纳米金刚石顶层、(金刚石/β-SiC复合)/纳米金刚石多层等6种金刚石结构涂层分别沉积在二刃硬质合金立铣刀上。在五轴数控加工中心对上述不同结构金刚石涂层刀具进行切削试验,切削对象为7075航空铝合金工件,选择未涂层的硬质合金刀具作为对照,以评估其加工性能。利用光学显微镜观察刀具磨损状态随切削时间变化的情况,并测量刀具的磨损量,对比沉积不同结构金刚石涂层和未涂层刀具在切削5 min,10 min,30 min,45 min,65 min和90 min后的光学显微形貌,得出后刀面磨损量随切削时间增加的变化曲线。采用激光共聚焦显微镜测试刀具切削后对应工件表面的粗糙度。结果表明:(金刚石/β-SiC复合)/微米金刚石多层结构涂层+纳米金刚石顶层的涂层刀具磨损程度最低,为36.67μm,在切削全程均表现出极佳的切削性能,切削后的工件具有最低的表面粗糙度,Ra值为5.77μm,服役性能表现最佳。(金刚石/β-SiC复合)/微米金刚石多层结构涂层+纳米金刚石顶层的涂层结构可以有效解决硬质合金与金刚石涂层结合强度和涂层在服役过程中过早失效的问题。 展开更多
关键词 金刚石涂层 复合多层涂层 切削性能
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AF1410高强钢薄壁板厚度对钻削轴向力和变形的影响
7
作者 张玉璞 黄树涛 +4 位作者 刘成炜 李如玉 于晓琳 孙永社 许立福 《工具技术》 北大核心 2025年第3期32-37,共6页
钻孔加工是高强钢薄壁件切削加工的重要加工工序之一。由于工件刚性差,钻削过程中极易产生变形,影响加工精度。本文针对AF1410高强钢薄壁板钻削过程中工件厚度对钻削轴向力和变形的影响规律进行研究。实验结果表明:钻削初期,薄壁件发生... 钻孔加工是高强钢薄壁件切削加工的重要加工工序之一。由于工件刚性差,钻削过程中极易产生变形,影响加工精度。本文针对AF1410高强钢薄壁板钻削过程中工件厚度对钻削轴向力和变形的影响规律进行研究。实验结果表明:钻削初期,薄壁件发生弹性凸变形,钻头不能迅速钻入工件,此时轴向力主要由工件的弹性变形抗力造成,并随钻头的进给呈线性增大;钻头最大凸变形量随工件厚度的增大而减小,工件厚度>2.5 mm后,最大凸变形量数值明显变小且趋于稳定。钻削最大轴向力基本发生在钻头主副切削刃交点实际钻至工件上表面位置,最大轴向力随工件厚度的增加而增大,在工件厚度≥3.5 mm时,最大轴向力基本稳定。 展开更多
关键词 AF1410钢薄壁件 钻削 工件厚度 轴向力 变形
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CFRP/Ti叠层结构制孔缺陷有限元仿真与实验研究
8
作者 李航 孙会来 +2 位作者 邢文涛 刘雨 赵方方 《宇航材料工艺》 北大核心 2025年第5期20-27,共8页
利用Abaqus有限元分析软件,建立了CFRP/Ti钻削有限元仿真模型,将Hashin(3D)失效准则写入VUMAT子程序作为碳纤维层合板的失效分析判据,分析了YG8硬质合金钻头钻削CFRP/Ti叠层材料时的轴向力、应变规律,进一步研究了切削速度、进给量、钻... 利用Abaqus有限元分析软件,建立了CFRP/Ti钻削有限元仿真模型,将Hashin(3D)失效准则写入VUMAT子程序作为碳纤维层合板的失效分析判据,分析了YG8硬质合金钻头钻削CFRP/Ti叠层材料时的轴向力、应变规律,进一步研究了切削速度、进给量、钻头顶角对CFRP/Ti叠层结构制孔缺陷的影响规律,并开展钻削实验进行验证。仿真与实验结果表明:主轴转速为750 r/min,进给量为0.025 mm/r,钻头顶角为140°时得到的碳纤维入口质量最优。在低转速、低进给量,大钻头顶角的情况下,轴向力更小,叠层板的钻孔质量更好,标准顶角钻头不适合加工叠层材料。 展开更多
关键词 碳纤维复合材料 钛合金 叠层结构 有限元分析 切削参数 表面损伤
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PCB数控钻床Z轴模块设计与应用 被引量：1
9
作者 陈恒安 封志明 +2 位作者 闵兴龙 周转南 谌相志 《机械》 2025年第4期73-80,共8页
针对PCB数控钻床在模块划分中体现的层级特性进行分析研究,以不同层级作为切入点,进行PCB数控钻床Z轴机构模块化设计。利用基于最小产品装配时间的模块化设计的思想,以零部件的几何、功能、结构关联为依据对产品进行初步划分,建立零部... 针对PCB数控钻床在模块划分中体现的层级特性进行分析研究,以不同层级作为切入点,进行PCB数控钻床Z轴机构模块化设计。利用基于最小产品装配时间的模块化设计的思想,以零部件的几何、功能、结构关联为依据对产品进行初步划分,建立零部件关联矩阵,并定义单个最小子集为最小模块。根据模块组间的关联度和模块聚合度计算结果,以动态聚类赋予各模块组之间的关联度,对PCB数控钻床Z轴机构进行合理地模块划分。利用SolidWorks完成样机的三维模型,并利用干涉检查等命令针对模型进行优化,提高零部件兼容性,再输出工程图进行实际生产并装配。结果显示,样机装配时间减少40%,最高速度可达600孔/min,钻孔精度偏差稳定在±0.025 mm以内,在第二精度等级钻孔的成功率达99.9%。有效提高了PCB数控钻床钻孔精度,为产品的模块化设计和优化设计结合的解决方案提供了参考。 展开更多
关键词 PCB数控钻床 模块化设计方法 模块划分 多层级研究方法
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微小孔钻削过程轴向力和扭矩的模拟研究 被引量：2
10
作者 唐英 马鹤坤 吴权 《工具技术》 2009年第6期61-66,共6页
对微小孔标准麻花钻钻削力进行研究,采用UG的驱动方程曲线功能建立微小孔标准麻花钻并测量相关角度,建立钻削过程的简化模型;利用金属成型有限元仿真专用软件DEFORM3D对微小孔钻削过程的轴向力和扭矩进行了研究。将仿真结果与传统经验... 对微小孔标准麻花钻钻削力进行研究,采用UG的驱动方程曲线功能建立微小孔标准麻花钻并测量相关角度,建立钻削过程的简化模型;利用金属成型有限元仿真专用软件DEFORM3D对微小孔钻削过程的轴向力和扭矩进行了研究。将仿真结果与传统经验公式及实验数据进行了对比,结果表明:DEFORM分析的简化模型结果表明加宽后的横刃对钻削过程中轴向力的贡献远远大于经验数据,该简化模型在仿真结果的准确性上优于经验公式,更接近于实际情况。 展开更多
关键词 微小孔标准麻花钻 简化模型 轴向力 扭矩 有限元法 DEFORM 3D
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变进给量振动钻削断屑的研究 被引量：4
11
作者 朱晓翠 王丽慧 《工具技术》 北大核心 2008年第1期64-66,共3页
应用压电陶瓷振动钻削装置,采用变进给量振动钻削的方法加工微孔。通过理论分析得出:变进给量振动钻削有利于断屑,使切屑体积小,排屑顺畅。实验中选取黄铜作为加工材料,通过改变进给量进行孔径0.5mm的分组钻削实验。将实验所得的切屑与... 应用压电陶瓷振动钻削装置,采用变进给量振动钻削的方法加工微孔。通过理论分析得出:变进给量振动钻削有利于断屑,使切屑体积小,排屑顺畅。实验中选取黄铜作为加工材料,通过改变进给量进行孔径0.5mm的分组钻削实验。将实验所得的切屑与普通钻削所得的切屑比较可知,变进给量振动钻削所得切屑长度远远小于普通钻削的切屑长度,说明变进给量振动钻削优于普通钻削。 展开更多
关键词 微孔 压电陶瓷 振动钻削 变进给量
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TC11钛合金大孔径阶梯螺旋铣孔实验研究
12
作者 孙富建 王磊 +2 位作者 杨志勇 廖君慧 李时春 《机械科学与技术》 北大核心 2025年第9期1587-1593,共7页
大孔径阶梯孔在钛合金结构件中较为常见,钛合金的难加工性能导致其加工质量差、效率低,螺旋铣孔不仅具有具有切削力小、切削温度低、表面质量好的优点,而且能够一次性制孔。本文针对钛合金大孔径阶梯孔不同的质量和尺寸精度要求的特点,... 大孔径阶梯孔在钛合金结构件中较为常见,钛合金的难加工性能导致其加工质量差、效率低,螺旋铣孔不仅具有具有切削力小、切削温度低、表面质量好的优点,而且能够一次性制孔。本文针对钛合金大孔径阶梯孔不同的质量和尺寸精度要求的特点,对阶梯孔的Ø13.5 mm孔和Ø18 mm孔分别进行单因素实验,研究主轴转速、切向每齿进给量和螺距这3个因素对螺旋铣孔轴向力、表面粗糙度和孔径的影响,优化两孔的螺旋制孔工艺参数,并利用优化参数进行钛合金大孔径阶梯孔的加工。试验结果表明:螺距对轴向力和表面粗糙度的影响最大,孔径的主要影响因素是切向每齿进给量和螺距,一次螺旋铣孔能够加工出高质量和高尺寸精度的钛合金大孔径阶梯孔。 展开更多
关键词 钛合金材料 螺旋铣孔 大孔径阶梯孔
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航空发动机用粉末高温合金钻孔工艺研究
13
作者 钟立翔 陈锦华 +1 位作者 马铮 明伟伟 《工具技术》 北大核心 2025年第7期13-20,共8页
航空发动机是装备制造领域的高端产品,镍基粉末高温合金广泛运用于航空发动机部件,但其强度高的特性导致加工困难。本文采用正交试验法,通过参数优化试验探究不同切削参数对二代粉末FGH96高温合金钻削力、扭矩、表面形貌、粗糙度、残余... 航空发动机是装备制造领域的高端产品,镍基粉末高温合金广泛运用于航空发动机部件,但其强度高的特性导致加工困难。本文采用正交试验法,通过参数优化试验探究不同切削参数对二代粉末FGH96高温合金钻削力、扭矩、表面形貌、粗糙度、残余应力以及刀具磨损、加工孔精度等切削性能的影响。研究结果表明:轴向力和扭矩随进给量增大而显著增大;FGH96表面粗糙度在不同参数下受影响较小;FGH96高温合金的残余应力随切削速度的增大而增大;其他条件相同时,啄钻加工的孔精度优于连续钻削的孔精度,FGH96高温合金加工孔精度在啄钻、切削速度为30 m/min、进给量为0.05 mm/r的条件下最优。 展开更多
关键词 粉末高温合金 切削参数 钻削
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基于工业机器人的CFRP制孔工艺与参数优化研究 被引量：1
14
作者 单奕萌 张嘉伟 +2 位作者 康瑞浩 宣善勇 胡俊山 《工具技术》 北大核心 2025年第1期88-94,共7页
在飞机制造装配领域引入机器人制孔装备可以提高制孔效率,但由于机器人弱刚度会导致加工变形,一般通过在末端执行器增加压力脚来减少加工过程中的振动,这对碳纤维复合材料(CFRP)钻削制孔产生较大影响。为了提高工业机器人对CFRP制孔的质... 在飞机制造装配领域引入机器人制孔装备可以提高制孔效率,但由于机器人弱刚度会导致加工变形,一般通过在末端执行器增加压力脚来减少加工过程中的振动,这对碳纤维复合材料(CFRP)钻削制孔产生较大影响。为了提高工业机器人对CFRP制孔的质量,本文设计了机器人制孔正交试验,通过多因素方差处理的方法分析主轴转速、进给速度和压力脚压力对轴向力的影响,并结合制孔机器人的加工条件,通过BP神经网络对轴向力回归预测,进而使用遗传算法优化得出最优工艺参数。结果表明:各因素对轴向力的影响顺序为压力脚压力>进给速度>主轴转速;机器人制孔时采用高转速、低进给、大压力脚压力可以获得更小的轴向力;通过BP神经网络和遗传算法结果分析,在主轴转速7437.3 r/min、进给速度20.5 mm/min、压力脚压力497.8 N时,制孔质量较好,孔壁粗糙度为0.865μm,满足当前航空复合材料加工要求。 展开更多
关键词 制孔机器人 压力脚 CFRP 钻削轴向力 正交试验 参数优化
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螺旋槽型对麻花钻钻削C45号钢性能的影响:建模和实验
15
作者 黄梓霖 刘战强 +5 位作者 赵金富 王兵 汪澎洋 江爱胜 王吉波 李玉成 《硬质合金》 2025年第5期25-34,共10页
大量研究已深入分析了切削刃几何参数对麻花钻钻孔性能的影响,但针对螺旋排屑槽几何结构的研究仍存在不足。本文建立了成型砂轮圆弧半径与麻花钻螺旋槽截面轮廓半径的定量关系模型,通过改变砂轮三段圆弧半径R_(1)、R_(2)、R_(3)来确定... 大量研究已深入分析了切削刃几何参数对麻花钻钻孔性能的影响,但针对螺旋排屑槽几何结构的研究仍存在不足。本文建立了成型砂轮圆弧半径与麻花钻螺旋槽截面轮廓半径的定量关系模型,通过改变砂轮三段圆弧半径R_(1)、R_(2)、R_(3)来确定螺旋槽几何形状。为探究R_(1)和R_(2)的影响规律,设计了UD、SU、GD三种典型螺旋槽结构,并选取切削温度、切削力、切屑形态和刀具磨损作为关键评价指标,通过切削实验对C45钢的钻削性能进行系统评估。研究结果表明:在相同钻孔条件下,GD型麻花钻表现出最小轴向力、最稳定的切削温度波动、最优异的切屑形态以及最佳的耐磨性,而UD型麻花钻和SU型麻花钻的钻削性能差异不大。因此,适当减少R_(2)能够显著提升切削性能,而改变R_(1)对切削性能的影响较小。 展开更多
关键词 麻花钻 砂轮 螺旋槽 圆弧半径
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断屑槽结构参数对可转位浅孔钻钻削H13钢钻削力的影响
16
作者 刘顔菲 任小平 +2 位作者 刘战强 赵金富 江爱胜 《硬质合金》 2025年第5期35-43,74,共10页
H13钢是一种高性能的热模具钢,因其具有良好的耐热性、耐磨性、抗腐蚀性和韧性而广泛应用于汽车制造、航空航天、模具制造等机械制造业。然而,正是这些优异的性能,尤其是其高韧性和耐热性,使其在机械加工过程中容易产生难以断裂的连续... H13钢是一种高性能的热模具钢,因其具有良好的耐热性、耐磨性、抗腐蚀性和韧性而广泛应用于汽车制造、航空航天、模具制造等机械制造业。然而,正是这些优异的性能,尤其是其高韧性和耐热性,使其在机械加工过程中容易产生难以断裂的连续切屑。因此,切屑的控制直接影响加工精度及生产效率。本文基于现有刀片槽型对刀片断屑槽进行槽型优化以提高断屑性能,有效避免切屑缠绕刀具或工件,减少加工表面缺陷。首先,选用四种类型刀片进行钻削试验,采集并对比分析轴向切削力,选出钻削H13钢的最优刀片槽型;然后,基于AdvantEdge对上述优先槽型刀片进行三维钻削仿真建模并进行了实验验证,在此基础上,设计正交实验对优选刀片的典型槽型参数进行优化。结果表明,槽型参数对断屑的影响程度从大到小依次为切削刃宽、槽宽、槽深和倒棱角度。在本实验方案中,最优方案为方案1,即槽宽为0.75mm,槽深为0.2mm,倒棱角为4.67°,刃宽为0.08mm,与原有槽型相比,轴向切削力减少了5.93%。该研究不仅可为H13钢浅孔钻刀片断屑槽设计提供初始设计参数范围,还对其生产实践中的断屑控制提供理论依据。 展开更多
关键词 槽型优化 切削力 有限元仿真 钻削
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高深度通孔TSV转接板成孔工艺研究
17
作者 高浩 张伟强 +4 位作者 顾玥 王一丁 李浩 王越飞 崔凯 《电子机械工程》 2025年第2期41-45,51,共6页
文中针对硅基微流道等硅通孔(Through Silicon Via,TSV)转接板应用中兼容基板厚度和层间电互连的需求,开发厚度超过500μm的通孔TSV转接板制备工艺,突破高深度通孔刻蚀的关键工艺技术。制备的TSV转接板的孔径为80μm,深度超过500μm,深... 文中针对硅基微流道等硅通孔(Through Silicon Via,TSV)转接板应用中兼容基板厚度和层间电互连的需求,开发厚度超过500μm的通孔TSV转接板制备工艺,突破高深度通孔刻蚀的关键工艺技术。制备的TSV转接板的孔径为80μm,深度超过500μm,深宽比超过6∶1,且垂直度大于89.85°,同时能够将侧壁粗糙度控制在250 nm以内。基于该成孔工艺制备的TSV转接板具有良好的膜层均匀性和电互连效果,能够满足高机械强度、高腔深、低成本的TSV转接板的应用需求。 展开更多
关键词 硅通孔 刻蚀 高深度
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立式玻璃钻孔设备的设计与优化研究
18
作者 关欣 《造纸装备及材料》 2025年第6期17-19,共3页
文章通过对玻璃钻孔工艺流程进行分析研究,从工艺流程出发设计了立式玻璃钻孔设备的结构和控制系统,并制造了一台中试样机。结合样机在实际钻孔过程中出现的问题,对钻孔总成的主轴进行了有限元分析,在此基础上进行了优化设计。该立式玻... 文章通过对玻璃钻孔工艺流程进行分析研究,从工艺流程出发设计了立式玻璃钻孔设备的结构和控制系统,并制造了一台中试样机。结合样机在实际钻孔过程中出现的问题,对钻孔总成的主轴进行了有限元分析,在此基础上进行了优化设计。该立式玻璃钻孔设备使得玻璃钻孔加工可以在成本远低于计算机数字控制机床的全自动控制设备上进行生产,加工质量和性能指标能够满足当前玻璃钻孔加工的质量要求。 展开更多
关键词 立式钻孔设备 玻璃钻孔加工 有限元分析 优化设计
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超声振动辅助下304不锈钢微孔钻削实验研究
19
作者 闵林锋 付炎杰 李峰 《机械制造与自动化》 2025年第4期99-103,共5页
为了开展超声振动辅助下304不锈钢微孔钻削实验研究,在分析超声振动微孔钻削机制的基础上,深入研究微细孔加工过程,保证微细孔加工精度。研究结果表明:钻削载荷过程形成钻入、稳定和钻出的3个阶段。超声波振动钻削力振幅较小,超声波振... 为了开展超声振动辅助下304不锈钢微孔钻削实验研究,在分析超声振动微孔钻削机制的基础上,深入研究微细孔加工过程,保证微细孔加工精度。研究结果表明:钻削载荷过程形成钻入、稳定和钻出的3个阶段。超声波振动钻削力振幅较小,超声波振动钻削的稳态钻削力显著小于常规钻削方式。随着进给速度的增大使钻头受到的轴向作用力更大,形成更大的平均轴向力。在主轴转速5000 r/min及进给速度7 mm/min下超声波振动可以有效降低切削温度,钻削轴向力为1.28 N,比常规钻削方式减小了18.46%。 展开更多
关键词 微孔钻削 不锈钢 超声振动 进给速度 表面质量
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深孔振动钻削系统振幅损失研究
20
作者 李英 曹选平 《工具技术》 北大核心 2008年第6期62-64,共3页
振动钻削是实现精密、无排屑故障深孔加工的必要条件。文章对振动钻削理论进行系统分析,给出了断屑条件,并在此基础上建立了振动钻削加工过程动力学模型,通过解析计算和实验验证,总结出该模型能够对振动钻削系统的振幅损失进行估算,从... 振动钻削是实现精密、无排屑故障深孔加工的必要条件。文章对振动钻削理论进行系统分析,给出了断屑条件,并在此基础上建立了振动钻削加工过程动力学模型,通过解析计算和实验验证,总结出该模型能够对振动钻削系统的振幅损失进行估算,从而为实现振动钻削过程的自主控制奠定理论基础。 展开更多
关键词 振幅损失 振动钻削 断屑
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