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利用Ni催化型探测器测量原子氧密度 被引量：1
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作者 多树旺 李美栓 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期791-794,共4页
利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度.原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的.纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30rain,使其表面充分活化形成一层NiO.探测器活化后测量其在不同条件下原子氧... 利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度.原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的.纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30rain,使其表面充分活化形成一层NiO.探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化.发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关.当气压从10-3 Pa-10-2 Pa之间变化时原子氧密度在10 16-10 17/m3之间变化.采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致. 展开更多
关键词 原子氧 NI 探测器 原子氧密度
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