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离子束抛光加工矩形离轴非球面镜 被引量：10
1
作者 廖文林 戴一帆 +3 位作者 周林 王建敏 袁征 解旭辉 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期100-104,共5页
采用一种简单的方法使用线性三轴离子束系统实现了矩形离轴非球面镜的抛光加工。根据离子束材料去除机理,分析了去除函数的法向材料去除特性,并且以去除函数束径、峰值去除速率和体积去除速率为指标,评价了入射角的小扰动鲁棒性。利用... 采用一种简单的方法使用线性三轴离子束系统实现了矩形离轴非球面镜的抛光加工。根据离子束材料去除机理,分析了去除函数的法向材料去除特性,并且以去除函数束径、峰值去除速率和体积去除速率为指标,评价了入射角的小扰动鲁棒性。利用相关的分析和实验结果,对矩形离轴镜的抛光加工进行了合理的简化,并在自行研制的离子束抛光机床上进行了修形试验,经过多次迭代加工后,总计用时584min,其面形精度均方根误差RMS由初始的0.295λ,提高到0.046λ,收敛率达到了6.4。实验结果表明,利用离子束抛光独特的材料去除特性,能够有效地改善面形精度,可以对非球面镜进行高效高精度修形。 展开更多
关键词 离子束抛光 离轴非球面 去除函数 材料去除特性
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离子束螺旋扫描方式修正光学镜面方法 被引量：1
2
作者 解旭辉 焦长君 +2 位作者 李圣怡 段纬然 周林 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期192-197,共6页
研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法。根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模型,采用基于Bayesian原理的改进Richard-Lucy迭代法求解驻留时间。在分析驻留时间的连续速度实现基础上,... 研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法。根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模型,采用基于Bayesian原理的改进Richard-Lucy迭代法求解驻留时间。在分析驻留时间的连续速度实现基础上,给出螺旋路径参数的确定准则。建立螺旋扫描加工方式的工艺流程并进行试验验证研究。试验研究对φ100平面镜和φ200非球面镜修形加工得到了面形方均根误差均优于0.01λ。研究结果表明:极轴加工与普通的全口径加工一样是一种高效率、高确定性的加工方法,能够对镜面进行精确修形,同时可以节约加工成本。 展开更多
关键词 光学加工 离子束修形 螺旋扫描方式 Richard-Lucy迭代算法
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