期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到214篇文章
< 1 2 … 11 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
真空加热炉温度均匀性提升研究
1
作者 徐星宇 李早阳 +6 位作者 史睿菁 王成君 王君岚 罗金平 金雨琦 朱帆 张辉 《电子与封装》 2025年第12期92-96,共5页
针对电子器件热处理中常用的晶圆键合台真空加热炉建立三维仿真模型,研究炉体内部的热量传递与温度分布规律。在此基础上评估加热炉的温度均匀性,并提出保温环结构与高导热材料设计方案。研究结果表明,加热炉加热面温度分布不均主要由... 针对电子器件热处理中常用的晶圆键合台真空加热炉建立三维仿真模型,研究炉体内部的热量传递与温度分布规律。在此基础上评估加热炉的温度均匀性,并提出保温环结构与高导热材料设计方案。研究结果表明,加热炉加热面温度分布不均主要由加热丝的非中心对称布置和加热面边缘漏热导致,在加热面边缘布置保温环或加热盘材料使用碳化硅陶瓷时,面温度非均匀性由3.2%分别优化至2.5%和1.7%,这为晶圆键合台真空加热炉温度均匀性的提升起到积极推动作用。 展开更多
关键词 温度均匀性 真空加热炉 保温环结构 高导热材料
在线阅读 下载PDF
IPSEN真空卧式正压气淬炉炉温均匀性分析
2
作者 马金来 谷跃朋 +1 位作者 王东 贺瑞军 《设备管理与维修》 2025年第22期134-136,共3页
炉温均匀性是影响真空热处理工艺质量的重要因素,分析IPSEN H3636-6 bar型真空卧式正压气淬炉炉温均匀性测试过程和原理,针对炉温均匀性测试数据不符现象,阐述炉温均匀性数据调整的措施。
关键词 真空炉 炉温均匀性 调整测试
在线阅读 下载PDF
真空渗碳炉加热系统结构优化数值模拟研究 被引量：15
3
作者 刘静 李家栋 +1 位作者 王昊杰 王昭东 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期641-646,共6页
为了优化加热系统结构,保证真空渗碳炉加热性能,采用COMSOL有限元软件建立真空渗碳炉加热过程数值模型,分析了加热系统中石墨加热管的数量、长度和分布半径等关键结构参数对工件表面热流密度、有效加热区温度分布的影响规律.模拟结果表... 为了优化加热系统结构,保证真空渗碳炉加热性能,采用COMSOL有限元软件建立真空渗碳炉加热过程数值模型,分析了加热系统中石墨加热管的数量、长度和分布半径等关键结构参数对工件表面热流密度、有效加热区温度分布的影响规律.模拟结果表明:加热功率恒定,减小加热管数量、长度和分布半径均可以使工件表面热流密度增大,加热效率提高;将加热管数量设为偶数,并适当减小加热管长度,增加加热管分布半径可以显著改善有效加热区内温度分布均匀性.该研究结果对真空渗碳炉加热系统结构设计优化具有一定指导意义. 展开更多
关键词 真空渗碳炉 加热系统 结构优化 加热效率 温度均匀性 数值模拟
在线阅读 下载PDF
真空渗碳炉加热室温度场数值模拟与分析 被引量：15
4
作者 王昊杰 李勇 +2 位作者 王昭东 李家栋 韩毅 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2016年第24期172-176,180,共6页
加热室是真空渗碳炉的核心部分。炉温均匀性及工件加热效率等参数是衡量真空炉性能的重要指标,加热室设计直接影响炉子的使用性能和生产效率。本文基于有限元计算平台,建立真空渗碳炉加热过程的数学模型,对不同加热室参数及整体输出负... 加热室是真空渗碳炉的核心部分。炉温均匀性及工件加热效率等参数是衡量真空炉性能的重要指标,加热室设计直接影响炉子的使用性能和生产效率。本文基于有限元计算平台,建立真空渗碳炉加热过程的数学模型,对不同加热室参数及整体输出负荷下的温度场进行模拟及预测,确定了加热管数量、加热管外径及整体输出负荷对工件温度均匀性及加热效率的影响规律。结果表明:适当地增加加热管数量、合理选择加热管外径和整体输出负荷能提高工件的加热速率,降低工件的温差。 展开更多
关键词 数值模拟 真空渗碳 加热室 温度场
原文传递
稀有金属管材半连续真空退火炉控制系统研制 被引量：4
5
作者 张乃禄 郝佳 +1 位作者 徐竟天 于润康 《真空》 CAS 北大核心 2008年第2期16-19,共4页
针对稀有金属管材半连续真空退火工艺和控制要求,采用研华工控机(IPC)作上位机,可编程控制器S7-300(PLC)和可编程温度控制仪Eurotherm 3504作为下位机,构成IPC+PLC+智能仪表集散控制系统(DCS),该系统实现了退火过程的工艺参数检测与全... 针对稀有金属管材半连续真空退火工艺和控制要求,采用研华工控机(IPC)作上位机,可编程控制器S7-300(PLC)和可编程温度控制仪Eurotherm 3504作为下位机,构成IPC+PLC+智能仪表集散控制系统(DCS),该系统实现了退火过程的工艺参数检测与全过程优化控制,在生产中取得显著效果,在钛、锆等稀有金属加工领域有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 稀有金属管材 半连续真空退火炉 PLC 控制系统
原文传递
基于PLC和触摸屏的S16D型英国真空退火炉的电控系统改造 被引量：5
6
作者 秦孝峰 雷伟 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第8期82-84,共3页
介绍了用PLC和触摸屏技术对英国真空退火炉电控系统进行改造的方案,电控系统以PLC为控制核心,触摸屏为人机接口,使系统控制界面友好,简单直观,便于操作。改造后解决了原有电控系统存在的问题,保证了控制系统的可靠性,增强了控制系统的... 介绍了用PLC和触摸屏技术对英国真空退火炉电控系统进行改造的方案,电控系统以PLC为控制核心,触摸屏为人机接口,使系统控制界面友好,简单直观,便于操作。改造后解决了原有电控系统存在的问题,保证了控制系统的可靠性,增强了控制系统的操作性。 展开更多
关键词 S16D型英国真空退火炉 PLC 触摸屏 电控系统 改造
在线阅读 下载PDF
稀有金属板材真空退火炉控制系统研制 被引量：7
7
作者 张乃禄 刘峰 徐竞天 《工业加热》 CAS 2008年第1期63-65,共3页
针对稀有金属板材真空退火炉的设备特点和工艺要求,介绍研制以西门子S7-200为核心的稀有金属板材真空退火炉PLC控制系统。系统已投产运行,取得显著效果,具有一定的应用价值。
关键词 真空退火炉 稀有金属 控制系统
在线阅读 下载PDF
基于模糊控制的真空退火炉温度控制系统 被引量：27
8
作者 骆东松 孙冠琼 《控制工程》 CSCD 北大核心 2019年第4期625-630,共6页
针对真空退火炉温度控制过程出现的响应速度慢、超调量大、抗干扰能力差及时滞性等问题,提出自整定模糊PID控制策略,设计自整定模糊PID控制器,实现对真空退火过程工艺参数检测与全过程优化控制。从生产设备及主要技术参数为出发点,设计... 针对真空退火炉温度控制过程出现的响应速度慢、超调量大、抗干扰能力差及时滞性等问题,提出自整定模糊PID控制策略,设计自整定模糊PID控制器,实现对真空退火过程工艺参数检测与全过程优化控制。从生产设备及主要技术参数为出发点,设计了一套基于PLC、智能仪表以及自整定模糊PID控制的工业退火炉温度控制系统。采用MATLAB实现对自整定模糊PID控制算法的仿真并观察效果,最终实现对系统参数的在线优化。实际运行表明,系统稳定可靠、各项参数均满足要求。 展开更多
关键词 真空退火炉 可编程逻辑控制器 温度控制 模糊PID
原文传递
1750℃高温钽片真空炉的研制 被引量：3
9
作者 黄以平 薛兴 朱国坤 《真空》 CAS 北大核心 2001年第2期39-41,共3页
本文介绍了一种用于高压电容器钽粉高温脱气处理的新型金属热处理炉。这种炉子是针对钽粉高温脱气的特点开发研制的 ,即使在工作温度、真空度较高 ,除气量、温度梯度较大的情况下 ,仍能保证高温脱气的合理性和延长加热器的使用寿命 ;并... 本文介绍了一种用于高压电容器钽粉高温脱气处理的新型金属热处理炉。这种炉子是针对钽粉高温脱气的特点开发研制的 ,即使在工作温度、真空度较高 ,除气量、温度梯度较大的情况下 ,仍能保证高温脱气的合理性和延长加热器的使用寿命 ;并能广泛适用于高温脱气。 展开更多
关键词 热处理炉 高温脱气 金属 高温钽片真空炉 高压电容器 钽粉
原文传递
基于CFD模拟的气冷室结构的优化设计 被引量：1
10
作者 郝晓伟 陈乃录 张伟民 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第B08期371-374,共4页
针对双室真空气冷油淬炉,存在气冷流场分布不均匀现象,采用三维CFD(计算流体动力学)数学模型对炉内流场进行了模拟。在模拟的基础上对实际真空炉的均流结构进行了优化,并对实际流场进行了测量。模拟结果表明,原有结构的设计存在不足,在... 针对双室真空气冷油淬炉,存在气冷流场分布不均匀现象,采用三维CFD(计算流体动力学)数学模型对炉内流场进行了模拟。在模拟的基础上对实际真空炉的均流结构进行了优化,并对实际流场进行了测量。模拟结果表明,原有结构的设计存在不足,在工件冷却区内流速波动很大,而且存在反向气流。流场测量结果证明,经过模拟优化后的均流结构是合理的,它使流场的均匀性得到明显改善。 展开更多
关键词 CFD模拟 气淬 流体场分布 结构优化
在线阅读 下载PDF
真空加压气淬炉炉壳应力的三维有限元计算 被引量：1
11
作者 徐成海 姜涛 +2 位作者 石岩 陈晓东 王家杰 《真空》 CAS 北大核心 1990年第3期50-53,共4页
本文以加压高速气冷真空炉旋箍式炉门锁紧结构的强度计算为例，介绍了用三维有 限单元法解决真空工程设计中真空压力容器的计算问题。文中以实例讲述了如何选取合 理的力学模型、单元及位移模式和边界条件。
关键词 真空加压 气淬炉 应力 有限元计算
原文传递
真空处理炉炉温均匀性探讨 被引量：6
12
作者 易光 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期14-17,共4页
对影响真空热处理炉膛温度均匀性的各种因素进行了扼要的讨论与分析 ,并对保证炉膛温度均匀性的可行措施做了说明 ,所得结论得到了实践的证实。
关键词 热处理 炉温 温度均匀性 真空热处理炉
在线阅读 下载PDF
蓄热式辐射管烧嘴在真空炉上的应用 被引量：8
13
作者 宋庆彬 《工业加热》 CAS 2001年第1期39-41,共3页
新型密封技术的开发 ,使蓄热式辐射管烧嘴得以应用在真空炉上 ,并获得了均匀的加热效果。另外 ,由于采用外部排气再循环 ,从而实现了低 NOX 的排放。
关键词 烧嘴 真空炉 蓄热式 辐射管 热处理
在线阅读 下载PDF
真空正压气淬现状和发展趋势 被引量：6
14
作者 张善庆 王广生 《国外金属热处理》 2005年第4期7-10,共4页
真空热处理加热结束后的冷却,按所用冷却介质与冷却方式可分为真空炉冷、真空气冷(淬)、真空油淬、真空水淬、真空正压气淬和真空硝盐等温淬火。而真空正压气淬工艺是目前国内、外最为先进的真空热处理工艺之一。本文系统地阐述了真空... 真空热处理加热结束后的冷却,按所用冷却介质与冷却方式可分为真空炉冷、真空气冷(淬)、真空油淬、真空水淬、真空正压气淬和真空硝盐等温淬火。而真空正压气淬工艺是目前国内、外最为先进的真空热处理工艺之一。本文系统地阐述了真空正压气淬的理论基础、真空正压气淬炉、真空正压气淬热处理工艺、真空正压气淬的发展趋势。从而为确定不同材料的真空正压气淬工艺参数提供了可靠的依据。 展开更多
关键词 真空热处理 真空正压气淬 气体流速 气体压力 冷却速度 真空热处理工艺 发展趋势 气淬炉 正压 现状
在线阅读 下载PDF
低压真空渗碳技术及低压真空渗碳多用炉 被引量：5
15
作者 张善庆 张连进 《航空制造技术》 2000年第6期52-55,共4页
介绍了当今国际上先进的低压真空渗碳技术、低压真空渗碳多用炉及相关的工艺 ,并与传统的渗碳工艺进行了比较。最后给出了应用实例。
关键词 气体渗碳 工艺 低压真空渗碳多用炉
在线阅读 下载PDF
真空热处理技术的新近进展及其发展趋势 被引量：9
16
作者 阎承沛 《热处理》 CAS 2006年第3期7-13,共7页
近年来,国内外真空热处理设备和技术在迅速发展。国内研发了WZDGQ30型单室高压气淬真空炉、WZGQ型对流加热高压气淬真空炉和WZLQH型铝钎焊真空炉;国外研发了燃气真空炉,半连续和连续式真空炉,流态化真空炉,多用途真空炉,高温超高压真空... 近年来,国内外真空热处理设备和技术在迅速发展。国内研发了WZDGQ30型单室高压气淬真空炉、WZGQ型对流加热高压气淬真空炉和WZLQH型铝钎焊真空炉;国外研发了燃气真空炉,半连续和连续式真空炉,流态化真空炉,多用途真空炉,高温超高压真空炉,真空烧结炉和真空炉生产线等。本文简单介绍了上述设备,并提出了真空热处理技术的发展趋势。 展开更多
关键词 真空热处理 真空炉 发展
在线阅读 下载PDF
真空炉低温区炉温均匀性探讨 被引量：1
17
作者 张善庆 刘忠秋 +1 位作者 莫卫红 孙强 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期46-46,48,共2页
真空炉低温区炉温均匀性探讨北京航空材料研究院（北京１０００９５）张善庆刘忠秋莫卫红北京华翔机电技术联合公司孙强１前言一般真空炉都在高于５００℃使用，主要用于淬火或高温回火。如何扩大真空炉的使用范围，使其能在低温下使用... 真空炉低温区炉温均匀性探讨北京航空材料研究院（北京１０００９５）张善庆刘忠秋莫卫红北京华翔机电技术联合公司孙强１前言一般真空炉都在高于５００℃使用，主要用于淬火或高温回火。如何扩大真空炉的使用范围，使其能在低温下使用是真空热处理界非常关注的一个问题。... 展开更多
关键词 热处理 真空炉 炉温 均匀性
在线阅读 下载PDF
真空热处理炉恒温区均匀性的测定 被引量：4
18
作者 李安华 王永卿 苗俊芳 《装备制造技术》 2012年第7期136-138,共3页
介绍了真空热处理炉恒温区的测量原理、测量步骤及测量过程中需要注意的事项,恒温区的均匀性,是保证热处理工艺需求、保证热处理产品品质、提高生产率的重要保障。
关键词 真空热处理 恒温区 均匀性
在线阅读 下载PDF
燃气式真空热处理炉技术研究开发及应用 被引量：5
19
作者 阎承沛 《热处理》 CAS 2002年第4期1-7,共7页
本文概要论述了燃气式真空炉技术的发展概况 ,重点阐述了燃气式真空炉的主要炉型、结构及特点 ,以及蓄热式辐射管燃气真空炉技术的特点、HTAC烧嘴结构、炉内温度分布、热平衡计算和NOx特性等。同时简介了电炉和燃气真空炉的技术经济效... 本文概要论述了燃气式真空炉技术的发展概况 ,重点阐述了燃气式真空炉的主要炉型、结构及特点 ,以及蓄热式辐射管燃气真空炉技术的特点、HTAC烧嘴结构、炉内温度分布、热平衡计算和NOx特性等。同时简介了电炉和燃气真空炉的技术经济效益比较 ,并对我国高温空气燃烧技术和天然气燃气热处理技术设备的研究开发和推广应用进行了探讨。 展开更多
关键词 燃气式真空炉 蓄热式辐射管 高温空气燃烧技术 天燃气
在线阅读 下载PDF
H3636真空正压气淬炉的冷却性能研究 被引量：1
20
作者 莫卫红 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期40-42,39,共4页
通过在Ｈ３６３６炉中测试冷却过程曲线，研究气体在真空炉内热交换规律，并比较不同压力及空冷、油冷冷却速度， 掌握了Ｈ３６３６炉冷却能力与压力的关系， 对今后生产、研究起到指导作用。
关键词 真空正压气淬 冷却曲线 气淬炉
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 11 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部