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气氛烧端炉
1
作者 邓斌 程远贵 孙晓华 《电子工业专用设备》 2004年第2期79-80,84,共3页
介绍了气氛烧端炉的设计思路、结构特点、主要技术参数及应用范围。
关键词 气氛烧端炉 文丘里式排气管 喷射器 水冷 控制系统
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应用MBTC温控系统实现对扩散炉的先进工艺要求 被引量：2
2
作者 李彦斌 《电子工业专用设备》 2004年第3期60-63,共4页
说明了如何设计、开发及应用于扩散炉之MBTC温控系统以满足先进工艺需求。MBTC温控系统是由搭配H∞多变数控制设计法建构一模型表示温度与加热丝功率化的关系,以取代传统PID控制系统,并可提供更优异的温度控制、生产效率、工艺质量与投... 说明了如何设计、开发及应用于扩散炉之MBTC温控系统以满足先进工艺需求。MBTC温控系统是由搭配H∞多变数控制设计法建构一模型表示温度与加热丝功率化的关系,以取代传统PID控制系统,并可提供更优异的温度控制、生产效率、工艺质量与投资回收率。 展开更多
关键词 扩散 扩散炉 温度控制
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