期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到699篇文章
< 1 2 … 35 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
基于变论域模糊PID控制算法的电动真空吸取系统
1
作者 毛新涛 万杰 孙中圣 《机电工程》 北大核心 2026年第3期576-583,共8页
针对常规真空吸取系统在协作机器人等领域应用时存在压缩气源获取不便的问题,设计了一种电动真空吸取系统,并提出了一种基于变论域的模糊PID控制方法。首先,通过分析电动真空吸取系统的抽气过程,建立了真空抽气的数学模型;然后,提出了... 针对常规真空吸取系统在协作机器人等领域应用时存在压缩气源获取不便的问题,设计了一种电动真空吸取系统,并提出了一种基于变论域的模糊PID控制方法。首先,通过分析电动真空吸取系统的抽气过程,建立了真空抽气的数学模型;然后,提出了一种基于变论域模糊PID的控制方法,利用论域伸缩因子将变论域方法与模糊PID控制器结合,改善了真空系统中存在的非线性等问题,结合隔膜泵的原理,设计了变论域模糊PID控制方法的模糊规则;最后,建立了MATLAB仿真平台,制定了测试方案,建立了试验台,通过实验和仿真对比了电动真空吸取系统在不同真空度(50 kPa、70 kPa)时常规PID、模糊PID和变论域模糊PID控制方法的控制效果,并利用变论域模糊PID控制方法对不同重量(500 g~3000 g)的物体进行了吸取实验。研究结果表明:模糊PID控制较常规PID控制系统的响应时间更短、抗干扰能力更强,但仍存在明显的超调量;变论域模糊PID控制与模糊PID控制的响应时间相同,超调量能够降低60%,可以提高真空吸取系统的控制性能。实际吸取实验结果表明,该电动真空系统能够对不同重量的物体实现稳定、快速的真空吸取目的。 展开更多
关键词 协作机器人 气压元件 真空吸取技术 抽气模型 变论域 模糊PID算法
在线阅读 下载PDF
真空加速键合界面水逸散机制的研究
2
作者 郭梓萱 张腾巍 +2 位作者 胡志超 高才 王旭迪 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第3期206-212,共7页
氢氧催化键合强度受键合溶液参数、固化时间和温度等多种因素影响,在常温环境下固化需要等待4周才能完成键合,低温加热虽然可以加速固化、缩短时间,却无法适用于热敏感精密器件。为解决这一问题,文章创新性地提出了真空辅助氢氧催化键... 氢氧催化键合强度受键合溶液参数、固化时间和温度等多种因素影响,在常温环境下固化需要等待4周才能完成键合,低温加热虽然可以加速固化、缩短时间,却无法适用于热敏感精密器件。为解决这一问题,文章创新性地提出了真空辅助氢氧催化键合的方法,通过真空环境加速键合界面水的逸散,以Hertz-Knudsen方程为基础,利用双腔室超高真空系统结合四极质谱仪实时监测水分压(表征水逸散通量),搭配微量天平测量样品失重(表征水逸散量),并通过键合强度测试来验证工艺有效性。结果表明,真空环境下,键合界面水逸散通量较常压显著提升;预键合后经24 h常压固化+4 h真空处理后,平均键合强度达11.31 MPa,固化周期从4周缩短至28 h,且满足热敏感精密器件需求。研究证实,真空是促进键合界面水逸散的高效方式,修正H-K方程可描述其加速机制。 展开更多
关键词 氢氧催化键合 真空 键合强度 水逸散 Hertz-Knudsen方程
原文传递
真空下陶瓷的摩擦放气现象及机理研究
3
作者 张腾巍 周瑞安 王旭迪 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第1期23-29,共7页
压电陶瓷电机凭借高精度控制与无润滑系统的特性,在高真空乃至超高真空系统中应用日益广泛。然而,依靠摩擦驱动的压电陶瓷电机在运行时,不可避免地会产生摩擦放气现象,排出的气体将污染洁净的真空环境。因此,开展陶瓷在真空条件下的摩... 压电陶瓷电机凭借高精度控制与无润滑系统的特性,在高真空乃至超高真空系统中应用日益广泛。然而,依靠摩擦驱动的压电陶瓷电机在运行时,不可避免地会产生摩擦放气现象,排出的气体将污染洁净的真空环境。因此,开展陶瓷在真空条件下的摩擦放气实验,研究其放气现象与机理,是有效控制摩擦放气影响的关键。文章以常用的96%氧化铝陶瓷片为研究对象,在不同载荷、滑动速度和滑动距离的变量下,测定其摩擦放气量;运用RGA质谱仪分析摩擦过程中释放的气体成分;利用SEM观测摩擦前后陶瓷微观表面变化。通过分析不同条件下的放气量曲线,探究诱导陶瓷摩擦放气的影响因素。结果表明:放气量与载荷、速度、距离均呈线性正相关,证实其受多因素协同作用,包括缺陷溶解气体释放、亚表面缺陷贯通及摩擦热效应。该发现为真空系统中陶瓷摩擦放气的控制提供了关键依据。 展开更多
关键词 摩擦放气 真空 陶瓷 气体分析
原文传递
MIM真空烧结炉电气系统设计
4
作者 李柳芽 金用 陈鹏 《电子工业专用设备》 2026年第1期49-52,共4页
针对金属注射成型(MIM)工艺对烧结设备的高精度温控、高真空稳定性及气氛适配性要求,提出一套基于PLC的MIM真空烧结炉电气系统设计方案。通过优化温控算法、真空-气氛联动控制逻辑及安全保护机制,解决了传统设备温区均匀性差、真空波动... 针对金属注射成型(MIM)工艺对烧结设备的高精度温控、高真空稳定性及气氛适配性要求,提出一套基于PLC的MIM真空烧结炉电气系统设计方案。通过优化温控算法、真空-气氛联动控制逻辑及安全保护机制,解决了传统设备温区均匀性差、真空波动大、工艺适配性不足等痛点。 展开更多
关键词 金属注射成形 电气系统设计 高精度温控
在线阅读 下载PDF
MIM烧结炉金属热场设计与温度场仿真
5
作者 姜梦磊 蔡传辉 +1 位作者 李金伟 丁大鹏 《电子工业专用设备》 2026年第1期53-61,共9页
面向1600℃级MIM(金属注射成型)真空烧结装备对均温性(±3℃)的刚性需求,开展全金属热场系统梯度设计与数值仿真研究。采用钼镧合金加热元件、钛锆钼(TZM)合金承载构件及“4层TZM+4层SUS310S不锈钢”八层梯度反射屏构建六面加热布局... 面向1600℃级MIM(金属注射成型)真空烧结装备对均温性(±3℃)的刚性需求,开展全金属热场系统梯度设计与数值仿真研究。采用钼镧合金加热元件、钛锆钼(TZM)合金承载构件及“4层TZM+4层SUS310S不锈钢”八层梯度反射屏构建六面加热布局,通过六区独立控温实现三维温度场矢量优化。仿真结果表明:在加热管温度1670℃工况下,物料区温度均匀性达±2.9%(温差5.75℃),优于±3℃目标;揭示加热元件相对控温热偶存在70℃超调现象,为元件耐温裕度设计提供量化依据;反射屏温度梯度数据(最内层1414℃至最外层961℃)直接支撑梯度材料选型的工程合理性。研究建立了材料-结构-工艺参数耦合的热场正向设计仿真方法,为同类高洁净真空炉热场开发提供理论参考。 展开更多
关键词 真空烧结设备 金属热场 MIM烧结炉 温度场仿真 钼镧合金 TZM合金 梯度材料
在线阅读 下载PDF
复合铜集流体制造工艺及其支撑层改性方案综述
6
作者 高科 沈光宇 +7 位作者 罗一凡 张蕾 宋琳琳 范藤辉 步绍宁 翁子航 翁伟嘉 武俊伟 《真空与低温》 2026年第1期1-16,共16页
复合铜集流体通过“铜膜-高分子支撑层-铜膜”三层结构设计,以轻量化(铜用量减少50%以上)显著提升锂离子电池能量密度,以纵向断裂与横向绝缘特性可阻断热失控蔓延,同步解决能量密度与安全性间的矛盾,在新能源市场领域具有重要应用价值... 复合铜集流体通过“铜膜-高分子支撑层-铜膜”三层结构设计,以轻量化(铜用量减少50%以上)显著提升锂离子电池能量密度,以纵向断裂与横向绝缘特性可阻断热失控蔓延,同步解决能量密度与安全性间的矛盾,在新能源市场领域具有重要应用价值。其制造工艺分为三类路径:一步法(全干法,以磁控溅射设备升级为迭代方向,设备投资大)、二步法(磁控溅射-电化学镀,当前产业化主流)、三步法(磁控溅射-真空蒸镀-电化学镀,蒸镀提高铜层完整性,但高温易损伤基膜)。核心制造工艺为磁控溅射镀膜,通常采用卷对卷镀膜方式。复合铜集流体支撑层研究聚焦PP基膜(成本低、耐电解液腐蚀、断裂伸长率高),但其非极性表面导致PP/Cu界面结合力不足。改性方案分两类:表面原位改性(等离子体刻蚀和化学刻蚀,通过增加粗糙度和引入极性官能团强化机械互锁,但存在时效性衰退和基膜损伤风险);涂层功能修饰(如TA-APTES纳米球和PDA涂层,通过C=O和N-H与铜配位实现化学键合,更具潜力)。复合铜集流体产业化需解决界面强化和工艺效率问题,未来研究应整合材料创新(如功能涂层)与设备升级,推动其规模化应用。 展开更多
关键词 复合铜集流体 聚丙烯薄膜 磁控溅射 涂层改性 能量密度 安全性
在线阅读 下载PDF
PVD镀膜设备阴极系统均匀布气结构的仿真与实验优化
7
作者 蒋钊 马占吉 张延帅 《真空与低温》 2026年第2期123-128,共6页
为了解决工业化PVD镀膜刀具批量生产中因气体分布不均导致的膜层外观色差问题,论文以单管喷嘴型布气管路为研究对象,开展了阴极系统均匀布气结构的设计与实验研究。通过建立三维流体仿真模型,分析了孔距相等与孔距渐变两种布气方式对气... 为了解决工业化PVD镀膜刀具批量生产中因气体分布不均导致的膜层外观色差问题,论文以单管喷嘴型布气管路为研究对象,开展了阴极系统均匀布气结构的设计与实验研究。通过建立三维流体仿真模型,分析了孔距相等与孔距渐变两种布气方式对气体流场分布的影响,并针对孔口束流效应优化了布气结构,使气体出口向下,以增强扩散混合。仿真结果表明,采用等差数列递减的孔距布置可使不同气孔中的气体流速偏差控制在5%以内,改善了气流分布的均匀性。在LIP1400型多弧离子镀设备中进行了TiCN薄膜沉积实验,EDS成分分析显示,采用孔距渐变布气结构后,上、中、下位置刀具试件膜层中C元素含量偏差小于10%,外观颜色由原来的黄褐-玫瑰金-浅黄梯度分布改善为均匀一致的玫瑰金色。研究表明,基于流场仿真优化的渐变孔距布气结构可有效提升PVD镀膜设备轴向沉积的均匀性,方法简便,适于工业化推广。 展开更多
关键词 PVD 阴极系统 均匀布气 TiCN薄膜 有限元仿真 薄膜均匀性
在线阅读 下载PDF
基于氮气流动辅助的板级封装基板翘曲改善实验研究
8
作者 李婷 陈志强 +3 位作者 方安安 胡小波 杨洪生 张晓军 《真空》 2026年第1期22-27,共6页
扇出型面板级封装(FOPLP)技术在异质晶片整合和降本增效方面优势显著,但在热应力影响下,基板尺寸增大时翘曲也随之增大。本文针对大尺寸玻璃基板在真空腔体中的升降温过程,设计系列验证试验,研究了高温腔体压力(10-3 Pa、20 Pa、100 Pa... 扇出型面板级封装(FOPLP)技术在异质晶片整合和降本增效方面优势显著,但在热应力影响下,基板尺寸增大时翘曲也随之增大。本文针对大尺寸玻璃基板在真空腔体中的升降温过程,设计系列验证试验,研究了高温腔体压力(10-3 Pa、20 Pa、100 Pa、105 Pa)及N_(2)气流辅助对基板升降温行为和温度分布的影响。结果表明:相同升温参数和时间下,随腔体压力降低,基板升温速率减小,中心与边角温差增大,降温过程中则呈相反趋势;腔体压力大约100 Pa时,升降温过程中基板表面温度均匀性较好,引入N_(2)气流可提高升降温效率,使边缘与中心区域温差维持在5~10℃。 展开更多
关键词 扇出型板级先进封装 玻璃基板 除气 N_(2)辅助 热应力翘曲
原文传递
新型石墨除气真空热处理炉的研制
9
作者 王磊 刘俊杰 +3 位作者 曾雷 李佳云 艾博 聂亚民 《铸造工程》 2026年第1期72-78,共7页
石墨制品在工业与高科技领域应用广泛,但其在热处理过程中存在易挥发物析出、吸附性强等特性,极易造成加热元件绝缘失效或氧化,导致设备故障频发。文中提出了一种专用于石墨制品热处理的新型设备设计理念与构型,着重对加热室结构、加热... 石墨制品在工业与高科技领域应用广泛,但其在热处理过程中存在易挥发物析出、吸附性强等特性,极易造成加热元件绝缘失效或氧化,导致设备故障频发。文中提出了一种专用于石墨制品热处理的新型设备设计理念与构型,着重对加热室结构、加热元件选型与布局以及其他辅助系统进行针对性创新。将加热元件与被加热材质选用相同材质,有效消除了材质污染;优化加热元件整体布局,加热元件采用悬挂式设计,与炉体无接触,杜绝了加热元件与炉体异常导通的现象;同时,对绝缘结构件位置进行重新规划,将加热元件绝缘结构组件置于隔热屏外部,利用隔热屏的屏蔽作用阻隔石墨粉尘漂浮至绝缘位置,有效防止绝缘失效。该设备通过针对性优化设计,显著降低了石墨热处理过程中的加热系统故障率,保障了长期稳定运行,为石墨相关产业提供了一种可靠的热处理解决方案,具有良好的应用与推广前景。 展开更多
关键词 钛合金铸造 真空 热处理 石墨除气 电阻加热
在线阅读 下载PDF
连续式IGBT真空焊接设备的设计与应用
10
作者 李金伟 陆玉 蔡传辉 《真空》 2026年第2期75-83,共9页
本文针对DBC基板氧化、均匀化快速升降温、连续生产等问题,设计了连续式IGBT真空焊接设备,其长期使用温度400℃、工作真空度1 mbar、极限真空度0.1 mbar。详细介绍了设备连续式运行时的逻辑,IGBT芯片在载具上依次经过进口平台、预热腔... 本文针对DBC基板氧化、均匀化快速升降温、连续生产等问题,设计了连续式IGBT真空焊接设备,其长期使用温度400℃、工作真空度1 mbar、极限真空度0.1 mbar。详细介绍了设备连续式运行时的逻辑,IGBT芯片在载具上依次经过进口平台、预热腔、焊接腔、冷却腔和出口平台,采用甲酸作为还原剂,通过对真空焊接过程进行温度、压力等参数的控制完成IGBT芯片的真空焊接工艺过程,并对设备布局及动作逻辑、反应腔体、真空系统、气路系统、其它机械系统以及电气系统进行设计。设备装配调试完成后,根据IGBT芯片的真空焊接工艺进行了试验,其空洞率<1%,设备性能均达到车规级要求。 展开更多
关键词 IGBT芯片 真空焊接 连续式设计 空洞率
原文传递
杨木纤维复合芯材真空绝热板的制备与表征
11
作者 张浩天 靳海 +4 位作者 于小雪 王家祥 詹衡 李坤曌 陈舟 《真空》 2026年第2期47-54,共8页
真空绝热板(Vacuum Insulation Panel,VIP)是一种高性能绝热材料,通过真空技术和多孔芯材协同效应实现极低的导热系数,广泛应用于绿色建筑、低温冷链和超低能耗家电等领域,是未来绝热节能材料发展的重要方向。传统的VIP大多以玻璃纤维... 真空绝热板(Vacuum Insulation Panel,VIP)是一种高性能绝热材料,通过真空技术和多孔芯材协同效应实现极低的导热系数,广泛应用于绿色建筑、低温冷链和超低能耗家电等领域,是未来绝热节能材料发展的重要方向。传统的VIP大多以玻璃纤维作为芯材,但存在难降解、难回收、在生产过程中易造成环境污染等问题。植物纤维因其来源广、可降解、绿色环保等特性有望解决上述问题。但由于植物纤维自身导热系数高、力学性能差,需要无机纤维作为增强相以改善VIP整体性能。因此,本研究选用杨木纤维为芯材基体,离心玻璃棉为增强相,制备了一种综合性能优异的复合芯材VIP,测试了复合芯材微观形貌、均匀性以及压缩率、回弹率,并对所制备的VIP热性能、力学性能及老化性能进行了研究。结果表明,杨木纤维复合芯材VIP综合性能优异,伴随离心玻璃棉含量从0%增加至75wt.%,杨木纤维复合芯材的导热系数下降31.78%,杨木纤维复合芯材VIP导热系数下降50.05%,拉伸强度增加420.21%,VIP对气压敏感性也在不断降低。 展开更多
关键词 真空绝热板 杨木纤维 离心玻璃棉 导热系数
原文传递
紧凑型氘氘中子发生器中氧化铝涂层阻氘实验研究
12
作者 王维海 徐伟 +3 位作者 冯子楠 耿成龙 李佳乐 侯志宇 《真空与低温》 2026年第1期38-43,共6页
靶作为紧凑型氘氘中子发生器的核心组件,其储氘性能对装置的中子产额与稳态运行具有决定性影响。为防止氘粒子向靶衬底扩散导致靶材中氘富集度下降,引入阻氘涂层是一种有效的技术途径。该研究围绕氧化铝阻氘涂层在中子发生器靶中的应用... 靶作为紧凑型氘氘中子发生器的核心组件,其储氘性能对装置的中子产额与稳态运行具有决定性影响。为防止氘粒子向靶衬底扩散导致靶材中氘富集度下降,引入阻氘涂层是一种有效的技术途径。该研究围绕氧化铝阻氘涂层在中子发生器靶中的应用展开,重点从涂层制备工艺、表面形貌表征、阻氘性能及中子产额四个方面进行分析。在涂层制备方面,为保障涂层的结构致密性,采用磁控溅射技术在无氧铜靶衬底表面沉积厚度为1μm的纯铝层,随后通过空气中自然氧化的方式使其转化为氧化铝涂层。利用扫描电子显微镜对涂层进行表面与截面形貌分析,结果显示:尽管表面存在微小缝隙,但其截面呈现出均匀致密的微观结构。进一步在气体驱动渗透实验平台上开展不同温度下的氘渗透行为研究,结果表明:该氧化铝涂层在750 K、850 K与950 K温度条件下,其阻氘下降因子(PRF)分别达到145、153与138,显示出良好的高温阻氘稳定性。在中子发生器靶中的实际应用测试表明:在氘离子束能量为60 kV、束流强度为4.82 mA的辐照条件下,未覆盖阻氘层时的中子计数总额为24255,覆盖后提升至28335,中子计数增幅约达17%,验证了该氧化铝阻氘层在提升中子发生器性能方面的有效性与工程应用潜力。 展开更多
关键词 中子发生器 氧化铝涂层 阻氘下降因子 磁控溅射涂层
在线阅读 下载PDF
磁控溅射镀膜技术新进展 被引量：1
13
作者 王福贞 《真空与低温》 2025年第5期543-555,共13页
磁控溅射镀膜技术是当今制备高新技术产品中各种功能薄膜的重要技术。随着高新技术和高端制造业的发展及人民生活水平的提高,磁控溅射镀膜技术面临更多样化的需求和更高的性能要求,推动磁控溅射镀膜技术不断进步。介绍了磁控溅射镀膜技... 磁控溅射镀膜技术是当今制备高新技术产品中各种功能薄膜的重要技术。随着高新技术和高端制造业的发展及人民生活水平的提高,磁控溅射镀膜技术面临更多样化的需求和更高的性能要求,推动磁控溅射镀膜技术不断进步。介绍了磁控溅射镀膜技术的原理及特点,综述了磁控溅射靶、电源、镀膜工艺和应用等方面的研究进展,评价了在工模具和耐磨零件等领域镀膜中的应用效果。 展开更多
关键词 辉光放电 阴极溅射 平面磁控溅射靶 柱状磁控溅射靶 非平衡闭合磁场 高功率脉冲磁控溅射
在线阅读 下载PDF
有机/无机叠层高阻隔膜性能研究
14
作者 董茂进 王毅 +3 位作者 秦丽丽 冯尔鹏 韩仙虎 李中华 《真空与低温》 2025年第1期18-22,共5页
柔性电子封装用阻隔膜需具备水氧高阻隔性、光学高透明性,膜层结合牢固等特性。采用有机/无机叠层技术开发高阻隔膜,通过PECVD制备无机SiO_(x)C_(y)H_(z)膜层,真空蒸发制备丙烯酸酯有机膜层。对有机膜层、无机膜层及叠层的膜厚、膜层表... 柔性电子封装用阻隔膜需具备水氧高阻隔性、光学高透明性,膜层结合牢固等特性。采用有机/无机叠层技术开发高阻隔膜,通过PECVD制备无机SiO_(x)C_(y)H_(z)膜层,真空蒸发制备丙烯酸酯有机膜层。对有机膜层、无机膜层及叠层的膜厚、膜层表面形貌、光谱进行测试,同时对阻隔膜层的阻隔性展开测试,并针对叠层应力性能进行研究。所制备的结构为“PET/无机层/有机层/无机层”的叠层膜透水率达到0.03 g/(m^(2)·d),透光率89.2%,得到高透光率、高阻隔性柔性薄膜材料。并分别测试了叠层结构中有机膜层、无机膜层的应力,通过有机层/无机层厚度匹配,抑制单层薄膜的高应力,制备了应力耦合的叠层阻隔膜。 展开更多
关键词 阻隔膜 叠层 光谱 应力
在线阅读 下载PDF
真空腔室气锁结构对碳传输与碳沉积抑制作用的实验研究 被引量：2
15
作者 郝明 张雨豪 +5 位作者 滕帅 刘佳兴 巴要帅 张虎忠 谢元华 刘坤 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期278-284,共7页
极紫外光刻技术是目前最先进的半导体制造工艺之一,而在工艺过程中,由于材料放气、光致物理化学反应等,产生的碳氢化合物和水蒸气等会进入到投影腔室,进一步在多层反射镜表面形成碳沉积,大幅影响产品质量同时增加了零部件的更换维修成... 极紫外光刻技术是目前最先进的半导体制造工艺之一,而在工艺过程中,由于材料放气、光致物理化学反应等,产生的碳氢化合物和水蒸气等会进入到投影腔室,进一步在多层反射镜表面形成碳沉积,大幅影响产品质量同时增加了零部件的更换维修成本。采用气锁结构引入清洁气体能够有效地缓解污染源的扩散过程,是目前可行的技术手段。文章通过仿真和正交模拟实验的方法,对不同气锁结构下,清洁气体和污染气体的流量、温度开展研究,得到了不同工艺条件下气锁对污染气体的抑制率参数。研究结论为气锁结构的设计和工艺试验的参数选取提供了数值基础,也预期能够为同类型真空环境下的污染源控制手段提供技术思路。 展开更多
关键词 极紫外光刻 清洁技术 气锁 真空环境
原文传递
热氧老化效应对航天器橡胶密封性能的影响研究 被引量：1
16
作者 史纪军 王莉娜 +5 位作者 孙立臣 张进 郭飞 綦磊 刘恩均 郭崇武 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第6期442-452,共11页
密封性能是航天器橡胶密封系统的关键指标,橡胶材料密封性能的劣化规律直接决定航天器橡胶密封系统的使用寿命。目前,针对橡胶密封性能变化规律的研究多集中于材料宏观接触性能或橡胶材料特定力学性能变化的定性研究,少有基于橡胶密封... 密封性能是航天器橡胶密封系统的关键指标,橡胶材料密封性能的劣化规律直接决定航天器橡胶密封系统的使用寿命。目前,针对橡胶密封性能变化规律的研究多集中于材料宏观接触性能或橡胶材料特定力学性能变化的定性研究,少有基于橡胶密封泄漏通道的泄漏率计算方面的定量研究。文章针对航天器用三元乙丙橡胶材料,基于接触面泄漏通道和分子流气体流动特征构建了微观泄漏模型,泄漏率的理论计算结果得到了测试结果的验证。基于时温等效理论,测试橡胶材料压缩永久变形,并构建热氧老化数学模型以预测橡胶材料的寿命。获得橡胶材料在经过不同条件的热氧老化后的应力-应变本构关系,并将测得的本构关系应用于橡胶密封性能分析的有限元模型中。根据测得的热氧老化前后橡胶材料表面微观形貌,以及计算的接触压力和接触宽度变化情况,建立考虑热氧老化效应的橡胶密封微观泄漏模型。计算不同热氧老化效应影响下橡胶密封的泄漏率,用泄漏率测试结果验证理论计算结果。 展开更多
关键词 航天器 橡胶密封 热氧老化 泄漏模型 泄漏性能
原文传递
束源炉结构及布局对分子束外延薄膜材料均匀性影响的仿真 被引量：1
17
作者 陶先童 段莹瑞 +8 位作者 李壮壮 宋立媛 杨春章 杨晋 李艳辉 孔金丞 赵俊 姬荣斌 王善力 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第6期461-468,共8页
亿像素红外探测器是下一代红外探测器发展的重要方向,8英寸高均匀碲镉汞薄膜成为实现该技术的最重要一环。分子束外延系统中束源炉结构及布局是影响分子束外延碲镉汞薄膜材料组分及厚度均匀性的关键因素之一。文章从满足大尺寸高均匀碲... 亿像素红外探测器是下一代红外探测器发展的重要方向,8英寸高均匀碲镉汞薄膜成为实现该技术的最重要一环。分子束外延系统中束源炉结构及布局是影响分子束外延碲镉汞薄膜材料组分及厚度均匀性的关键因素之一。文章从满足大尺寸高均匀碲镉汞外延薄膜材料的要求出发,对束源炉的束流产生和出射分布做了理论分析,模拟计算了束源炉布局和坩埚内源材料状态对衬底上外延薄膜材料膜厚均匀性的影响。使用多物理场仿真软件COMSOL,以圆柱形坩埚的束源炉为模型,模拟了束源炉装料量对到达衬底表面束流的影响,以束源炉到衬底平面的间距和束源炉与衬底平面的夹角两个维度的变化进行了仿真,计算了到达衬底表面的束流均匀性。结果显示,随着源材料的使用,到达衬底表面的束流接近线性下降;在束源炉与衬底平面角度为46°时,衬底平面的束流均匀性最好;随束源炉到衬底平面中心间距的增加衬底平面的束流均匀性逐渐变好,当距离大于300 mm时,束流均匀性在±1.5%以内,保障了8英寸高均匀碲镉汞薄膜材料的制备。 展开更多
关键词 束源炉 均匀性 分子束外延 束流变化
原文传递
真空炉传热与水冷技术研究 被引量：1
18
作者 宋涛 张柏诚 +1 位作者 姜正鹤 张黎源 《工业加热》 2025年第3期47-50,共4页
针对高温真空炉壁的水冷水道选型设计困难,而传统水道设计方法依赖经验的现状,提出了一套适用于真空炉壁水冷水道的设计方法。在带反射屏炉衬的辐射传热环境下,该方法首先用玻尔兹曼定律计算通过反射屏损失的热流量;其次利用比例法计算... 针对高温真空炉壁的水冷水道选型设计困难,而传统水道设计方法依赖经验的现状,提出了一套适用于真空炉壁水冷水道的设计方法。在带反射屏炉衬的辐射传热环境下,该方法首先用玻尔兹曼定律计算通过反射屏损失的热流量;其次利用比例法计算反射屏炉衬边缘损失的热流量,即可得到真空炉体损失的热流量;再次通过比热容公式计算冷却水的体积流量与水管当量直径;最后通过仿真实验对设计的真空炉体进行验证。结果表明,设计的真空炉体在辐射传热中的炉体内壁温度小于310 K,基本上与计算结果一致。该方法计算的结果与仿真实验结果具有较高的一致性,可满足类似真空炉体水冷水道散热系统的设计。 展开更多
关键词 真空炉体 辐射传热 水冷壁 设计选型
在线阅读 下载PDF
原子层刻蚀:工艺、材料兼容性与应用研究进展
19
作者 曹勇 高远 +2 位作者 王正铎 樊秀微 刘忠伟 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第11期907-919,共13页
原子层刻蚀(Atomic Layer Etching,ALE)是一种基于“表面改性-刻蚀”循环机制的原子级精度材料去除技术,凭借其单层自限性、高选择性和三维均匀性,被广泛应用于半导体制造、纳米器件加工及光电子器件开发等领域。根据刻蚀过程所需能量... 原子层刻蚀(Atomic Layer Etching,ALE)是一种基于“表面改性-刻蚀”循环机制的原子级精度材料去除技术,凭借其单层自限性、高选择性和三维均匀性,被广泛应用于半导体制造、纳米器件加工及光电子器件开发等领域。根据刻蚀过程所需能量来源不同,ALE技术主要分为热原子层刻蚀(T-ALE)、激光原子层刻蚀(L-ALE)、离子束原子层刻蚀(IB-ALE)和等离子体原子层刻蚀(P-ALE)。文章综述了各类ALE技术的基本原理、工艺特征及最新研究进展,重点探讨了等离子体原子层刻蚀(P-ALE)在硅基材料、氮化硅、氧化硅及过渡金属化合物等体系中的最新应用。同时,对比国内外发展现状,提出国内ALE技术有待突破多材料兼容性、工艺稳定性及环保前驱体开发等挑战。最后,展望了ALE技术的未来发展方向,包括激光-等离子体耦合工艺、机器学习驱动的智能化控制及低全球变暖潜能值(GWP)气体替代,为下一代原子级制造技术的研发与应用提供理论支撑。 展开更多
关键词 等离子体原子层刻蚀 激光原子层刻蚀 热原子层刻蚀 离子束原子层刻蚀 纳米制造
原文传递
硅-钛酸锂复合薄膜阳极制备及电化学性能研究
20
作者 郑文育 朱归胜 +2 位作者 徐华蕊 蒋坤朋 赵昀云 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第7期767-773,共7页
硅薄膜阳极凭借其高比容量、低锂化电压等优势备受瞩目。然而,在初始充放电循环时,硅材料会发生剧烈体积膨胀,严重影响其体积稳定性。同时,固体电解质界面(SEI)薄膜的形成消耗了锂离子,导致首次库仑效率偏低。本研究借助磁控共溅射技术... 硅薄膜阳极凭借其高比容量、低锂化电压等优势备受瞩目。然而,在初始充放电循环时,硅材料会发生剧烈体积膨胀,严重影响其体积稳定性。同时,固体电解质界面(SEI)薄膜的形成消耗了锂离子,导致首次库仑效率偏低。本研究借助磁控共溅射技术,成功制备出具有非晶态相的复合薄膜阳极。结果表明,利用磁控共溅射工艺对硅基薄膜进行改性,可显著提升复合薄膜阳极的结构稳定性与首次库仑效率。硅-钛酸锂复合薄膜展现出优异的电化学性能,其可逆比容量达753.3 mAh/g,初始库仑效率为83.6%,在420 mA/g电流密度下循环150次后,比容量仍保持在686.3 mAh/g,容量保持率为91.11%。该复合负极薄膜为硅基复合薄膜应用于锂金属电池开辟了新路径。 展开更多
关键词 复合薄膜阳极 体积稳定性 库伦效率 锂离子电池 磁控共溅射
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 35 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部