DL-10型石英真空计的性能 被引量：5

1

作者 王逊 张云峰 唐镇松 《真空》 CAS 北大核心 2010年第4期72-74,共3页

本文叙述了DL-10型石英真空计的研制结果,它用Φ2×6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10～105 Pa,误差约10%。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计。DL-10型石英真空计的振荡电... 本文叙述了DL-10型石英真空计的研制结果,它用Φ2×6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10～105 Pa,误差约10%。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计。DL-10型石英真空计的振荡电路中的晶振同时也是压强传感器。 展开更多

关键词 真空计 石英晶振 压强传感器 测量范围 谐振阻抗

原文传递

DL-10A型石英真空计 被引量：10

2

作者 王逊 张云峰 唐镇松 《真空》 CAS 2014年第4期35-37,共3页

DL-10A型石英真空计,测量范围为5×10-1～105 Pa。石英真空计的特点是传感器的体积小,这样该真空计除与其它真空计一样测量气体压强外,它能测量小体积,例如1 cm3大小的密封器件的气体压强,并能检测真空的保持状态。

关键词 石英真空计 石英晶振 谐振阻抗

原文传递

恒温式微热板电阻真空传感器 被引量：1

3

作者 张凤田 唐祯安 +1 位作者 余隽 汪家奇 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1253-1257,共5页

研究了微热板的传热特性，从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响。设计了一种边长为93μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空传感器，支撑桥长65μm、宽21μm，微热板与衬底之间的气隙... 研究了微热板的传热特性，从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响。设计了一种边长为93μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空传感器，支撑桥长65μm、宽21μm，微热板与衬底之间的气隙高度为0．5μm；采用表面微机械加工技术成功实现了该传感器的加工。用恒温电路进行测试的结果显示，该微热板真空传感器气压测量范围约2～10^5Pa，且响应特性与理论计算结果相符。 展开更多

关键词 微热板 电阻真空传感器 恒温

在线阅读 下载PDF 职称材料

石英真空计及其应用 被引量：1

4

作者 王逊 张云峰 唐振松 《真空》 CAS 2018年第4期38-41,共4页

石英真空计测量范围是10^(-1)Pa-10~5Pa。石英真空计的优点是传感器体积小,耗电功率小,精度较高,量程较宽,因而它将会有广泛的应用。

关键词 石英真空计 石英晶振 谐振阻抗

原文传递

气相沉积中电阻真空计的使用问题

5

作者 石玉龙 彭红瑞 李世直 《真空》 CAS 北大核心 1998年第4期42-45,共4页

本文叙述了气相沉积中使用电阻真空计遇到的一些问题及解决的方法。

关键词 气相沉积 真空计 电阻真空计 CVD PVD 真空镀膜

原文传递

RS-485接口在真空测量中的应用

6

作者 王逊 张云峰 《真空》 CAS 2014年第1期5-6,共2页

本文以DL系列真空计为例,介绍RS-485接口在真空计中的使用方法。

关键词 RS-485接口 真空测量

原文传递

DL-6A型电阻真空计的误差

7

作者 王逊 《真空》 CAS 北大核心 2011年第4期38-39,共2页

本文介绍DL-6A型电阻真空计的误差。DL-6A型电阻真空计测量范围是10^-1～10^5Pa，在10～5×10^3Pa，误差为10％，在小于10Pa和大于5×10^3Pa误差为35％。

关键词 量程 误差 电阻真空计

原文传递

智能型电阻真空计研制

8

作者 黄家贤 《真空电子技术》 北大核心 1995年第4期36-40,32,共6页

本文采用ＭＣＳ－５１单片机系统实现真空测量仪的智能化。该仪具有数字显示、量程自动切换、放大倍数自动调整、非线性测量、误差补偿、给定压强控制、多通道测量、联机通讯和自动打印等功能。本文着重介绍电阻真空计的硬件设计和数据... 本文采用ＭＣＳ－５１单片机系统实现真空测量仪的智能化。该仪具有数字显示、量程自动切换、放大倍数自动调整、非线性测量、误差补偿、给定压强控制、多通道测量、联机通讯和自动打印等功能。本文着重介绍电阻真空计的硬件设计和数据处理方法。 展开更多

关键词 智能化 真空计 量程 电阻真空计

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于气动加热原理的火星大气密度传感器可行性研究 被引量：3

9

作者 柯于俊 陈学康 +1 位作者 王兰喜 曹生珠 《真空与低温》 2012年第3期171-175,共5页

火星大气密度测量需要传感器灵敏度高、功耗低、响应时间短,为此提出了基于气动加热原理的新型传感器方案。通过对火星轨道气体流动状态进行判断、对分子与热敏器件碰撞产生的热功率密度和正压强的计算和对噪声及性能的分析,新型传感器... 火星大气密度测量需要传感器灵敏度高、功耗低、响应时间短,为此提出了基于气动加热原理的新型传感器方案。通过对火星轨道气体流动状态进行判断、对分子与热敏器件碰撞产生的热功率密度和正压强的计算和对噪声及性能的分析,新型传感器可行性从理论上得到了论证。传感器测量火星轨道高度范围为90 km到400 km,理论热响应时间为122 ms,最小可探测压强为2.05×10-8Pa。 展开更多

关键词 大气密度传感器 理论可行性 气动加热 火星

在线阅读 下载PDF 职称材料

细金属丝用作电子测量传感器的若干问题

10

作者 黄志洵 《中国传媒大学学报（自然科学版）》 1998年第3期3-15,共13页

本文论述了用于微波功率计、电阻真空计、湍流测量等方面的细金属丝传感器的设计原理。给出了实验结果。

关键词 规管 细金属丝 热阻 冷阻

在线阅读 下载PDF 职称材料

进口电阻真空计的校准和测量精度的提高

11

作者 程惠民 《真空与低温》 1992年第4期206-209,202,共5页

对于使用进口龟阻真空计时如何保证测量吸气剂放气量的精度这一问题进行了探索。首先通过对膨胀法标准装置的改进、提高极限真空、提高静态保持的真空度、改进取气方法等项措施,提高了校准精度。使校准误差控制在不大于±10%以内。... 对于使用进口龟阻真空计时如何保证测量吸气剂放气量的精度这一问题进行了探索。首先通过对膨胀法标准装置的改进、提高极限真空、提高静态保持的真空度、改进取气方法等项措施,提高了校准精度。使校准误差控制在不大于±10%以内。同时又讨论了测量时的环境温度、气体种类、真空计的灵敏度、热丝的污染等因素对仪器测量精度的影响和消除方法。 展开更多

关键词 真空计 测量 精度 电阻真空计

在线阅读 下载PDF 职称材料