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径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析 被引量：1
1
作者 谢元华 佟英博 +6 位作者 谢天意 王桂鹏 窦仁超 孟冬辉 刘坤 孙立臣 闫荣鑫 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第1期36-42,共7页
涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输... 涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输理论,采用数学粒子追踪方法,对9种不同形状的叶片结构进行对比分析,使用COMSOL软件模拟不同叶片结构下叶列间气体粒子的正、反向传输几率,探究叶片形状对气体粒子正、反向传输几率和压缩比的影响。结果表明,涡轮分子泵转子叶片一侧为弧形凸面结构,另一侧为平面结构时,分子泵的压缩比提升1个数量级,分子泵性能显著提升。研究对涡轮分子泵的设计与优化具有一定的参考价值和指导意义。 展开更多
关键词 涡轮分子泵 径向 叶片形状 传输几率 压缩比
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无油涡旋真空泵温度场、应力场和热变形的ANSYS模拟 被引量：17
2
作者 杨广衍 盛林 +1 位作者 张秀丽 李春燕 《真空》 CAS 北大核心 2008年第5期17-19,共3页
本文运用有限元分析软件ANSYS对涡旋真空泵动、定涡旋盘的温度场及其产生的热变形、应力场进行了模拟和研究。模拟结果与实测数据进行了对比。首先对无油涡旋真空泵动、定涡旋盘体使用UG软件三维实体建模,再对三维实体模型进行转化处理... 本文运用有限元分析软件ANSYS对涡旋真空泵动、定涡旋盘的温度场及其产生的热变形、应力场进行了模拟和研究。模拟结果与实测数据进行了对比。首先对无油涡旋真空泵动、定涡旋盘体使用UG软件三维实体建模,再对三维实体模型进行转化处理,开启ANSYS系统将UG中建好的模型导入,输入所需参数以及相应热载荷进行运算,最终得出无油涡旋真空泵动、定涡旋盘盘体的温度场、应力场和热变形云图与数值信息并找到变化规律。其结果验证了涡旋真空泵动、定涡旋盘设计的合理性,对涡旋真空泵的设计有所帮助。 展开更多
关键词 无油涡旋真空泵 UG ANSYS 温度场 热变形 应力场
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严格密封型螺杆真空泵转子型线研究 被引量：11
3
作者 巫修海 张宝夫 陈文华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期947-954,共8页
结合现有干式螺杆真空泵螺杆转子型线的特点,提出了一种严格密封的单头螺杆转子端面新型线,其端面型线依次由齿顶圆、齿顶圆弧过渡曲线、渐开线、齿根圆过渡曲线、齿根圆、长幅外摆线顺序相接组成;采用该型线螺杆转子的主要特征是:两段... 结合现有干式螺杆真空泵螺杆转子型线的特点,提出了一种严格密封的单头螺杆转子端面新型线,其端面型线依次由齿顶圆、齿顶圆弧过渡曲线、渐开线、齿根圆过渡曲线、齿根圆、长幅外摆线顺序相接组成;采用该型线螺杆转子的主要特征是:两段圆弧、两段过渡曲线和渐开线相切过渡,严格密封且没有滞留区,不会形成泄露三角,从而提高泵的抽速和极限真空度。文中通过啮合理论给出了端面型线推导过程和曲线参数方程,可供设计人员参考借鉴;从实际应用角度出发,采用螺旋面等距面法设计啮合间隙均匀的成对螺杆,从而得到带啮合间隙的端面型线。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 转子型线 密封 间隙
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干式螺杆真空泵研究现状与展望 被引量：31
4
作者 郭蓓 薛建国 +2 位作者 牛瑞 张建 吴炎 《真空》 CAS 北大核心 2009年第5期37-40,共4页
介绍目前螺杆式真空泵现状,分析了螺杆端面型线研究情况和整机冷却中存在的问题。
关键词 螺杆真空泵 端面型线 机体冷却
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一种新型干式螺杆真空泵转子端面型线的研究 被引量：9
5
作者 刘春姐 徐成海 +1 位作者 张世伟 关奎之 《真空》 CAS 北大核心 2003年第6期40-43,共4页
介绍了一种新型的干式螺杆真空泵的转子端面型线———双边对称圆弧型线,给出其端面型线方程。介绍了推导方法及参数计算方法,开发了计算程序并给出实例。
关键词 干式螺杆真空泵 双边对称圆弧型线 端面型线 阳转子 阴转子
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内压缩干式螺杆真空泵工作特性数学建模 被引量：7
6
作者 巫修海 陈文华 张宝夫 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期987-994,共8页
内压缩螺杆真空泵工作过程中,工作型腔内部同时存在粘滞流、转移流和分子流等多种流态,针对该问题,提出了稳定的操作状态下,等熵压缩的孔径流系数法计算质量流的方法,建立了离散化、漩涡式多级螺杆真空泵工作特性计算模型,解决了内压缩... 内压缩螺杆真空泵工作过程中,工作型腔内部同时存在粘滞流、转移流和分子流等多种流态,针对该问题,提出了稳定的操作状态下,等熵压缩的孔径流系数法计算质量流的方法,建立了离散化、漩涡式多级螺杆真空泵工作特性计算模型,解决了内压缩螺杆真空泵抽速与入口压力关系、消耗功率与入口压力关系理论计算问题。分析比较了仿真与试验结果,发现仿真值与试验数据较吻合,理论计算模型计算精度达到预期效果。理论计算模型用于样机试验之前找到最佳的设计参数,为快速开发内压缩螺杆真空泵提供设计方法和技术支撑。 展开更多
关键词 内压缩 螺杆真空泵 工作特性 数学建模
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无油螺杆真空泵螺杆转子设计理念的回顾与展望 被引量：11
7
作者 张世伟 赵凡 +2 位作者 张杰 张志军 韩进 《真空》 CAS 2015年第5期1-12,共12页
基于对国内外公开文献资料的学习和作者多年研究工作的总结,本文回顾了当前关于无油螺杆真空泵中螺杆转子的设计思路与方法,从转子设计的几何学计算、常用转子型线的构成、等螺距与变螺距的螺旋展开方式、转子动平衡设计方法等几方面,... 基于对国内外公开文献资料的学习和作者多年研究工作的总结,本文回顾了当前关于无油螺杆真空泵中螺杆转子的设计思路与方法,从转子设计的几何学计算、常用转子型线的构成、等螺距与变螺距的螺旋展开方式、转子动平衡设计方法等几方面,进行了详细的综述;选择介绍在国内有产品销售的六款采用特殊结构螺杆转子的外国螺杆泵产品,对其转子特点进行了分析。针对干式泵在应用领域所面临的新挑战,本文还提出了基于气体热力过程分析的螺杆泵专属设计新理念和采用通用泵体和专属转子的螺杆泵生产新方法,并展望由此可能带来的新变化。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 转子 综述 设计方法
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干式螺杆真空泵转子温度场的有限元分析 被引量：11
8
作者 刘春姐 徐成海 祖文文 《真空》 CAS 北大核心 2006年第1期17-20,共4页
利用有限元建立了计算干式螺杆真空泵转子温度场的数值方法,考虑了热传导及转子表面与工作介质的对流换热因素对温度场的影响,采用相似准则方程—迪特斯-玻尔特(D ittus-Boe lter)公式计算了对流换热系数。计算结果表明:转子温度场由进... 利用有限元建立了计算干式螺杆真空泵转子温度场的数值方法,考虑了热传导及转子表面与工作介质的对流换热因素对温度场的影响,采用相似准则方程—迪特斯-玻尔特(D ittus-Boe lter)公式计算了对流换热系数。计算结果表明:转子温度场由进气端至排气端近似为线性增长,排气端温度约为120℃。随着转子转速降低,排气端温度迅速降低,当转速在2000 r/m in以下时,转子由进气端至排气端的温度变化在30℃以下。实验结果验证了上述结论,误差在15%以内。本文的研究工作不仅提供了干式螺杆真空泵转子的温度分布,也为进一步研究转子的热变形,合理确定泵腔内各密封间隙提供了理论与实验依据。 展开更多
关键词 干式真空泵 螺杆 有限元 温度场
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特殊爪型真空泵转子型线参数的优化 被引量：10
9
作者 徐学忠 谭翰墨 《流体机械》 CSCD 北大核心 2010年第12期41-43,共3页
建立了特殊爪型真空泵转子型线参数优化数学模型,以泵的容积利用系数为目标函数,以保持转子曲线光滑为约束条件对影响转子形状的参数进行了优化选择,得到了满足设计要求的一系列最优参数值。
关键词 优化 干式真空泵 型线 特殊爪型
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滑阀真空泵振动机理的研究 被引量：6
10
作者 刘正士 李志远 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期15-17,共3页
对滑阀真空泵的振动机理进行研究，用谱分析和波形分析等技术识别泵的振源；对泵进行动力分析，定量计算振动力的大小。为进一步控制滑阀泵的振动，改进设计提供依据。
关键词 滑阀 真空泵 振动机理 数值计算
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特殊爪型真空泵转子型线的研究 被引量：8
11
作者 徐学忠 谭翰墨 刘建花 《机床与液压》 北大核心 2013年第5期81-84,共4页
根据平面啮合理论,应用复数矢量法对一种特殊爪型真空泵的理论型线进行研究,给出了转子的曲线方程并据此作出了转子曲线。对真空泵的容积利用系数进行了计算和分析,结果表明:真空泵的形状系数是影响泵的容积利用率的主要因素。
关键词 干式真空泵 型线 特殊爪型
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干式涡旋真空泵的发展与关键问题 被引量：5
12
作者 黄英 李建军 +1 位作者 韩晶雪 张以忱 《真空》 CAS 2013年第3期26-29,共4页
涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵,具有结构简单,有效容积利用系数大,压缩比大,在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速,真空度高,驱动力矩小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式... 涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵,具有结构简单,有效容积利用系数大,压缩比大,在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速,真空度高,驱动力矩小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式产品的工作原理、间隙和密封、结构特点、存在的技术问题及相应的解决方法等。 展开更多
关键词 真空泵 涡旋 无油 抽速 真空度
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机械真空泵振动控制的研究 被引量：4
13
作者 胡焕林 李志远 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 1993年第5期335-341,共7页
机械真空泵是组成真空系统的必不可少的部分,它的振动必须严格控制,因为泵的振动不仅反映泵的设计、制造水平。过大的振动将严重影响真空系统的稳定性、限制真空系统的安装位置。本文通过理论分析和实验证明,泵的主要振源来自运动系统... 机械真空泵是组成真空系统的必不可少的部分,它的振动必须严格控制,因为泵的振动不仅反映泵的设计、制造水平。过大的振动将严重影响真空系统的稳定性、限制真空系统的安装位置。本文通过理论分析和实验证明,泵的主要振源来自运动系统所产生的不平衡惯性力,泵的振动特点是整体振动,减少振动的有效方法是进行动力分析和动平衡,并用实验验证结果。 展开更多
关键词 机械真空泵 振动 动平衡
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双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算 被引量：1
14
作者 黄英 李建军 +1 位作者 常亮 张国庆 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1199-1202,共4页
涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路,... 涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路,给出了泵主要结构及抽气性能参数的设计计算。此设计提高了泵的抽速,解决了泵初始抽气时状态不稳定等问题,减小了对涡旋齿的强度要求,增大了涡旋盘抽气的有效利用面积。 展开更多
关键词 真空泵 涡旋 抽速 双面 非对称
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无油机械真空泵及其应用 被引量：5
15
作者 徐成海 刘春姐 +1 位作者 张世伟 关奎之 《真空电子技术》 2002年第4期63-67,共5页
综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类 ,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题 ,以及对泵的选择和应用。
关键词 真空泵 无油机械 应用 种类 结构
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涡旋真空泵的设计与操作 被引量：2
16
作者 杨广衍 滕普光 +1 位作者 张鹏 郭海洋 《真空》 CAS 北大核心 2006年第4期19-22,共4页
本文总结了涡旋真空泵的工作原理、设计原则与经验、制造要点和使用注意事项;介绍了涡旋真空泵的设计与加工方法;讨论了涡旋盘的加工、密封的设计与选择、间隙的确定以及泵体的动平衡等问题并阐明这些问题是影响泵性能指标的几个重要因... 本文总结了涡旋真空泵的工作原理、设计原则与经验、制造要点和使用注意事项;介绍了涡旋真空泵的设计与加工方法;讨论了涡旋盘的加工、密封的设计与选择、间隙的确定以及泵体的动平衡等问题并阐明这些问题是影响泵性能指标的几个重要因素;同时指出了涡旋真空泵使用的几个注意事项。 展开更多
关键词 真空泵 涡旋技术 设计
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双螺杆真空泵齿顶圆周间隙泄漏模拟计算 被引量：3
17
作者 施毅 谭昱全 +4 位作者 董中林 李琦 杨炼 倪小洪 干蜀毅 《真空》 CAS 2017年第2期6-9,共4页
在研究螺杆泵各项间隙构成原理的基础上,通过CFX软件对同一级齿顶圆周间隙模型进行模拟计算,分析了流体温度、间隙高度、泄露通道宽度对泄漏量的影响。研究结果表明:流体温度对通过泄漏通道的质量流量影响显著,且排气级气体温度不宜过低... 在研究螺杆泵各项间隙构成原理的基础上,通过CFX软件对同一级齿顶圆周间隙模型进行模拟计算,分析了流体温度、间隙高度、泄露通道宽度对泄漏量的影响。研究结果表明:流体温度对通过泄漏通道的质量流量影响显著,且排气级气体温度不宜过低;螺杆泵稳定运行时的最大齿顶圆周间隙高度应有一定的限制;在相同条件下泄漏量随泄露通道宽度增加而减小。计算结果对双螺杆真空泵腔内间隙的设计计算和优化提供了模拟计算方法和理论基础,对提高双螺杆真空泵的抽气性能有着积极的意义。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 齿顶圆周间隙 泄漏 CFX
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螺杆真空泵设计的常见问题分析 被引量：4
18
作者 张世伟 孙坤 韩峰 《真空》 CAS 2021年第1期23-28,共6页
针对我国目前螺杆真空泵产品同质化特征明显、与多样性的用户需求不相适应的现状,本文从螺杆真空泵设计的角度出发,分别就螺杆泵的整体结构布局、螺杆转子的螺旋展开方式、冷却系统与温度控制、密封形式等几方面,尝试开展设计思路和方... 针对我国目前螺杆真空泵产品同质化特征明显、与多样性的用户需求不相适应的现状,本文从螺杆真空泵设计的角度出发,分别就螺杆泵的整体结构布局、螺杆转子的螺旋展开方式、冷却系统与温度控制、密封形式等几方面,尝试开展设计思路和方案对比分析,进而提出兼顾产品标准化大批量生产和针对用户特殊需求个性化小批量定制的设计原则,并给出具体实施策略。期望有助于我国螺杆泵产品开发制造水平的提升。 展开更多
关键词 螺杆泵 设计方法 变螺距 温度控制 密封
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开拓发展大抽速双级滑阀真空泵 被引量：3
19
作者 于振华 刘兴善 +1 位作者 胡焕林 张明达 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期28-31,共4页
长期以来,我国发展双级滑阀真空泵遇到不少困难和挑战,标准制定后相隔二十多年才有生产2H-150等产品。实际上由于大抽速的双级滑阀真空泵设计制造会遇到动平衡、控制双级供油、降低噪声等一系列的问题,所以其设计制造给厂方带来很大麻... 长期以来,我国发展双级滑阀真空泵遇到不少困难和挑战,标准制定后相隔二十多年才有生产2H-150等产品。实际上由于大抽速的双级滑阀真空泵设计制造会遇到动平衡、控制双级供油、降低噪声等一系列的问题,所以其设计制造给厂方带来很大麻烦。但是大抽速双级滑阀真空泵在使用上有很广泛的应用前景,本文介绍大抽速双级滑阀真空泵开拓发展的必要性和介绍研制成功的2H-150滑阀真空泵设计特点,并提出发展更大抽速的双级滑阀真空泵的必要性。 展开更多
关键词 滑阀真空泵 抽速 双级
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涡旋式真空泵 被引量：7
20
作者 王旭迪 胡焕林 《真空与低温》 1999年第1期32-34,共3页
涡旋真空泵是一种新型的无油机械泵，它具有结构简单、密封性能好、极限真空高（可达５×１０－１Ｐａ）等优点。作为一种高新技术产品，它不易仿制，应用前景广阔。目前在国外，仅有少数几个公司有产品问世。
关键词 涡旋式 真空泵 结构 特点 工作原理
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