真空测试计量技术及其航天应用 被引量：11

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作者 李得天 习振华 +7 位作者 王永军 成永军 郭宁 王鹢 秦晓刚 张虎忠 李刚 赵呈选 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期795-816,共22页

真空测试计量技术是确保载人航天、探月工程、北斗导航等重大航天工程顺利实施的重要基础。围绕计量发展和航天发展建设对真空测试计量提出的新任务、新要求,真空测试计量发展在深度、广度及维度上表现出强劲的态势。近年来,围绕国家重... 真空测试计量技术是确保载人航天、探月工程、北斗导航等重大航天工程顺利实施的重要基础。围绕计量发展和航天发展建设对真空测试计量提出的新任务、新要求,真空测试计量发展在深度、广度及维度上表现出强劲的态势。近年来,围绕国家重大战略需求,瞄准真空测试计量技术核心科学问题,开展了面向航天应用的真空测试计量原始创新研究,实现了由真空中性气体测试计量向空间电推进真空等离子体测试、卫星充放电真空模拟测试、真空环境下空间计量等交叉领域的拓展,并在月球样品采样、飞船交会对接、空间守时原子钟研制、卫星平台升级换代、卫星安全防护等应用中发挥了至关重要的作用。 展开更多

关键词 真空测量 真空计量标准 真空等离子体测试 充放电真空模拟测试 真空环境下空间计量

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笼网型空心阴极氩气放电特性研究 被引量：4

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作者 吴明忠 田修波 +2 位作者 李慕勤 巩春志 魏荣华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期323-329,共7页

采用高功率脉冲电源,研究了氩气气氛下工作气压、脉冲电压和频率等参数对笼网型空心阴极放电特性的影响,并对等离子体发射光谱进行了分析。结果发现:在脉冲电压增加到一定程度,脉冲电流随时间呈指数型(n>1)激增。提高工作气压、脉冲... 采用高功率脉冲电源,研究了氩气气氛下工作气压、脉冲电压和频率等参数对笼网型空心阴极放电特性的影响,并对等离子体发射光谱进行了分析。结果发现:在脉冲电压增加到一定程度,脉冲电流随时间呈指数型(n>1)激增。提高工作气压、脉冲频率及脉冲电压,笼型空心阴极放电增强。脉冲峰值电流随气压和脉冲电压的升高而增大,但随频率增大呈现降低趋势。光谱分析表明,氩气笼型空心阴极放电主要物种是Ar*和Ar+粒子,随脉冲电压、工作气压及频率的增大,Ar*和Ar+粒子数量增多。 展开更多

关键词 笼网空心阴极放电 击穿电压 脉冲电流 等离子体光谱

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空心阴极N^(2+)等离子体放电电子温度的研究 被引量：2

3

作者 隗晓云 王建忠 +3 位作者 刘燕萍 余晋勇 高原 徐重 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期223-227,共5页

利用双层辉光放电空心阴极效应,针对N2发射光谱相对强度的变化,采用SII-IV型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下的光谱进行测绘,获得一系列谱线及测量数据。通过玻尔兹曼方程式求得不同工艺条件下的N2+等离子体的电子温度。并分析... 利用双层辉光放电空心阴极效应,针对N2发射光谱相对强度的变化,采用SII-IV型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下的光谱进行测绘,获得一系列谱线及测量数据。通过玻尔兹曼方程式求得不同工艺条件下的N2+等离子体的电子温度。并分析了工件电压、源极电压和工作气压对电子温度的影响。结果表明:当工作气压和工件电压一定时,电子温度随源极电压的升高先减小后增大,最后又减小;当源电压一定时,电子温度随工件电压和工作气压的升高而明显减小,并且其减小幅度随源极电压的升高而逐渐降低;当工作气压一定时,工件电压的变化较源极电压的变化对电子温度的影响大。 展开更多

关键词 电子温度 等离子体 空心阴极效应 辉光放电 光谱分析

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大孔径差分真空系统中充气气流效应分析 被引量：2

4

作者 张素平 杨晓天 +5 位作者 蒙峻 张军辉 赵玉刚 张喜平 胡振军 侯生军 《真空》 CAS 北大核心 2007年第5期48-51,共4页

分析了在分子流态下差分真空系统中充气气流效应的存在,通过引入了差分比,定量计算出充气气流效应对差分真空系统的影响。

关键词 充气气流效应 大孔径 差分真空系统 差分比 分子流

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低气压射频空心阴极放电氩等离子体发射光谱分析 被引量：2

5

作者 许建平 巩春志 田修波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期980-984,共5页

利用射频空心阴极作为放电结构,测试了放电结构在低气压下的发射光谱,并计算了电子温度,分析了不同放电条件对光谱强度及电子温度的影响。研究发现,随着气体流量的增加,氩原子谱线强度和等离子体电子温度呈现出先增加后降低的变化规律,... 利用射频空心阴极作为放电结构,测试了放电结构在低气压下的发射光谱,并计算了电子温度,分析了不同放电条件对光谱强度及电子温度的影响。研究发现,随着气体流量的增加,氩原子谱线强度和等离子体电子温度呈现出先增加后降低的变化规律,这是由于频繁的碰撞造成的。光谱强度随着射频功率的增加而升高。气体流量低于20 mL/min(标准状态)时,随着射频空心阴极放电气压的增加,电子温度呈现先增加后降低的变化趋势;当气体流量高于30 mL/min时,电子温度不随着放电气压的变化而变化。低气体流量下的电子温度大于高气体流量下的电子温度。 展开更多

关键词 射频放电 发射光谱 空心阴极 电子温度

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钛表面辉光等离子渗钯电极结构尺寸的优化 被引量：1

6

作者 李争显 杜继红 +4 位作者 王少鹏 张跃飞 徐重 张树林 周廉 《真空》 CAS 北大核心 2008年第4期75-79,共5页

分析了钛表面双层辉光等离子渗钯放电状态中的空心阴极放电,分析认为工件极内部是等电位空心阴极放电,源极与工件极是不等电位空心阴极放电。通过对放电状态下电子的作用分析,论证了源极与工件极距离选择20mm,工件极尺寸选择50mm,气体... 分析了钛表面双层辉光等离子渗钯放电状态中的空心阴极放电,分析认为工件极内部是等电位空心阴极放电,源极与工件极是不等电位空心阴极放电。通过对放电状态下电子的作用分析,论证了源极与工件极距离选择20mm,工件极尺寸选择50mm,气体压力选择20Pa是比较合理的电极结构尺寸和气体压力参数。 展开更多

关键词 钛表面 辉光放电 空心阴极 电极结构 优化

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6T超导扭摆磁铁的特殊真空问题 被引量：3

7

作者 蒋迪奎 殷立新 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期16-21,共6页

6T超导扭摆磁铁的低温和磁铁系统以及HLS的储存环决定了Wiggler的真空问题的特殊性。两个LHe容器使磁体准直方便，LHe补充周期长。为了减小磁间隙，采用了77K低温薄壁真空束管，束管内应达2×10—8Pa的超高真空，特殊结构和材料允... 6T超导扭摆磁铁的低温和磁铁系统以及HLS的储存环决定了Wiggler的真空问题的特殊性。两个LHe容器使磁体准直方便，LHe补充周期长。为了减小磁间隙，采用了77K低温薄壁真空束管，束管内应达2×10—8Pa的超高真空，特殊结构和材料允许来管直接通电烘烤。束管和磁体相对位置的调整简便准确。 展开更多

关键词 低温 超导扭摆磁铁 束流真空管道

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超导铌材低温表面气体吸附实验研究 被引量：1

8

作者 胡传飞 李春龙 +3 位作者 白峰 宋玉堃 赵玉刚 张军辉 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第8期760-765,共6页

超导直线加速器中超导腔等低温表面在吸附气体后会对其工作性能及稳定性产生恶劣影响。为了提高超导加速器性能和稳定性,文中搭建了一套实验平台,将样品腔降温至极低温4 K,并通过等温吸附实验,研究了铌材低温表面对氢气等不同气体的吸... 超导直线加速器中超导腔等低温表面在吸附气体后会对其工作性能及稳定性产生恶劣影响。为了提高超导加速器性能和稳定性,文中搭建了一套实验平台,将样品腔降温至极低温4 K,并通过等温吸附实验,研究了铌材低温表面对氢气等不同气体的吸附过程。文中给出了一定表面处理工艺及温度下吸附能力和吸附过程压力与吸附量关系以及氢气饱和蒸气压等实验结果,并与相关参考文献数据进行了比较。实验结果表明:在超导直线加速器中,氢气、氦气饱和蒸气压远高于其运行允许值;在极低温条件下,如4 K,在吸附过程中吸附量决定了真空压力大小,而非真空压力大小决定吸附量;极低温真空管路内由于气体传输或泄露时,实际测得压力上升存在一定的时间延后,延后时长与气体种类、温度及管线几何结构均有着密切关系。 展开更多

关键词 真空与低温 低温吸附 实验研究 超导加速器

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低温下液体饱和蒸气压的测试 被引量：4

9

作者 王娟 张建可 +1 位作者 冀勇夫 闫格 《真空与低温》 1995年第3期149-152,共4页

着重介绍了静态法测试低温下（－１００～５０℃）液体饱和蒸气压的原理及方法，给出了低温下液体全氟三乙胺饱和蒸气压的测试结果，并进行了讨论。

关键词 饱和蒸气压 低温 液体

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离子源放电电流对真空室压力影响机理研究 被引量：1

10

作者 舒雄文 徐晨 +1 位作者 田增霞 沈光地 《真空》 CAS 北大核心 2006年第4期36-38,共3页

揭示了真空室压力随离子源放电电流增长,而且在不同的气流速率时的增长率不同这一现象,并对其机理进行了分析,认为真空室压力随放电电流的增长主要是离化粒子束流密度的增长引起的,当然离化粒子的平均能量的增长也起了作用,而在不同气... 揭示了真空室压力随离子源放电电流增长,而且在不同的气流速率时的增长率不同这一现象,并对其机理进行了分析,认为真空室压力随放电电流的增长主要是离化粒子束流密度的增长引起的,当然离化粒子的平均能量的增长也起了作用,而在不同气流速率时该压力增长率的不同则主要是因为在不同的气流速率时离化率不同。 展开更多

关键词 真空室压力 放电电流 离化

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真空多层绝热管道结露、结冰问题分析研究 被引量：1

11

作者 赵洲 张安军 《真空》 CAS 2019年第2期41-44,共4页

本文对某发射场部分真空多层绝热管道外表面结露、局部结冰问题进行了详细的分析,提出改进措施,为后续真空绝热管道的生产提供借鉴。

关键词 真空绝热 结露 结冰 质量分析

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乙炔笼网形空心阴极放电特性研究

12

作者 吴明忠 田修波 +3 位作者 李慕勤 任逸群 巩春志 魏荣华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1403-1407,共5页

为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了"笼网等离子体浸没离子沉积技术"。采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分压等工艺参数对笼形空... 为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了"笼网等离子体浸没离子沉积技术"。采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分压等工艺参数对笼形空心阴极放电动力学的影响。结果表明:在单个脉冲辉光放电过程中存在自辉光和空心阴极两种放电模式。工艺参数的影响表现为,乙炔气压由2.5升高到8 Pa,笼网放电击穿电压由1100降为620 V;当脉冲电压从900升高到1400 V,对应乙炔流量为200和100 m L/min时,工作气压分别下降1.4和3.9 Pa;提高脉冲电压或氩气分压,笼形空心阴极辉光增强,笼网电流增大,在p(C2H2):p(Ar)为1∶4时有最高值32 A。 展开更多

关键词 笼网等离子体浸没离子沉积 放电特性 工艺参数 电流波形

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优化绝缘结构提高有机材料真空沿面闪络特性的研究 被引量：1

13

作者 黄奇峰 周庆庆 《陕西电力》 2012年第4期16-19,24,共5页

从绝缘结构优化考虑提出了一种新的B/A/B 3层有机绝缘结构,通过控制B层介电常数来提高绝缘子的真空沿面闪络性能。以聚乙烯为研究对象,制备了B/A/B 3层有机绝缘结构,即聚乙烯基复合材料(炭黑半导电母料和聚乙烯)/聚乙烯/聚乙烯基复合材... 从绝缘结构优化考虑提出了一种新的B/A/B 3层有机绝缘结构,通过控制B层介电常数来提高绝缘子的真空沿面闪络性能。以聚乙烯为研究对象,制备了B/A/B 3层有机绝缘结构,即聚乙烯基复合材料(炭黑半导电母料和聚乙烯)/聚乙烯/聚乙烯基复合材料的绝缘结构。通过实验发现,当B层介电常数在一定范围内变化,聚乙烯的真空沿面闪络性能得到了显著提高。同时采用数值仿真方法模拟了这种3层结构的电场分布,仿真结果表明这种结构通过改变B层介电常数调控绝缘子的电场分布可以有效地减小电极/绝缘子/真空3结合点处的电场强度,从而抑制了真空沿面闪络的发生。 展开更多

关键词 绝缘结构 3结合点 真空沿面闪络

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轨道分子屏极高真空实验室设计技术研究

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作者 达道安 崔志云 杨亚天 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期121-125,167,共6页

给出了一种新型的近地轨道极高真空分子屏实验室设计。作者计算了可变翼分子屏周围大气分子的入射及散射、分子屏材料放气在屏内的分子数流密度。通过调整分子屏的翼角,分子屏内的压力可以达到10-12Pa。计算结果指出:在近地轨道选择合... 给出了一种新型的近地轨道极高真空分子屏实验室设计。作者计算了可变翼分子屏周围大气分子的入射及散射、分子屏材料放气在屏内的分子数流密度。通过调整分子屏的翼角,分子屏内的压力可以达到10-12Pa。计算结果指出:在近地轨道选择合适的分子屏参数,可以在极高真空环境下加工超纯材料。 展开更多

关键词 极高真空 轨道分子屏 材料加工

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TiAlN涂层制备过程中Ti,Al元素存在形式的演变分析 被引量：9

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作者 梁俊才 周武平 +2 位作者 张凤戈 穆健刚 赵海波 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期561-566,共6页

采用目前商用原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺,在硬质合金基体上沉积TiAl和TiAlN涂层。借助扫描电镜(SEM),X射线衍射仪(XRD)对Ti,Al元素在靶材和涂层中的存在形式作了分析,利用洛氏硬度试验机和纳米硬度仪对涂层的结合强... 采用目前商用原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺,在硬质合金基体上沉积TiAl和TiAlN涂层。借助扫描电镜(SEM),X射线衍射仪(XRD)对Ti,Al元素在靶材和涂层中的存在形式作了分析,利用洛氏硬度试验机和纳米硬度仪对涂层的结合强度和硬度等力学性能做了测试分析。结果表明:Ti,Al元素在TiAl合金靶材中以纯Ti相和纯Al相存在,其中Ti原子颗粒镶嵌在Al原子的基体中;在TiAl涂层中以纯Ti单质相和Ti3Al合金相存在;在TiAlN涂层中以面心立方TiN相和密排六方AlN相存在。在涂层的制备过程中,靶材的溅射阶段属于靶材金属离子的产生过程,Ti,Al两种元素由靶材中双单质相结构转变为具有一定能量的离子流状态;涂层的沉积阶段属于Ti,Al两种元素的重新结合状态,无反应气体参与情况下形成合金化结构,反应气体的参与下Ti原子与N原子结合成TiN相,Al以置换TiN晶格中的Ti原子存在。Ti,Al元素的氮化作用导致涂层力学性能发生了变化,涂层硬度由12.8 GPa提高到23.5 GPa;涂层的结合强度由HF-1变为HF-2,均具有较好的结合强度。 展开更多

关键词 TiAl靶材 TIALN涂层 磁控溅射 相结构 力学性能

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溅射靶材对TiAlN涂层形貌、结构和力学性能的影响 被引量：7

16

作者 梁俊才 周武平 +2 位作者 张凤戈 穆健刚 赵海波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期714-719,共6页

采用粉末冶金和真空熔炼方法制备了原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺在同一工艺参数下制备了TiAlN涂层,借助扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕和结合强度实验,研究了溅射靶材对TiAlN涂层的形貌、结构和力学性... 采用粉末冶金和真空熔炼方法制备了原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺在同一工艺参数下制备了TiAlN涂层,借助扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕和结合强度实验,研究了溅射靶材对TiAlN涂层的形貌、结构和力学性能的影响。结果表明:粉末靶材中Ti和Al以单质相存在,Ti镶嵌于Al基体周围,熔炼靶材中形成了TiAl和Ti3Al合金化片层组织;由于两种靶材在组织结构和导热性能上的不同导致其溅射产额、靶材温度和溅射金属离子能量等都出现了明显的差异;对涂层的影响表现为,相比于熔炼靶材涂层,粉末靶材涂层的沉积速率高44%,表面粗糙度低24%,涂层表面熔滴数目和尺寸较小;粉末靶材涂层呈现Ti2AlN相等轴晶生长方式,熔炼靶材涂层由于沉积温度较高表现为Ti2AlN相和TiN相,以等轴晶和柱状晶混合生长;相结构的不同导致涂层的硬度和结合强度出现差异,粉末靶材涂层硬度为25.69 GPa,结合强度属于HF-3,熔炼靶材涂层的硬度为28.22 GPa,结合强度属于HF-5。 展开更多

关键词 溅射靶材 TIALN涂层 形貌 结构 硬度 结合强度

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气体放电实验与帕邢定律 被引量：18

17

作者 侯清润 茅卫红 陈宜保 《物理实验》 北大核心 2004年第1期3-4,8,共3页

利用真空镀膜机的离子轰击装置研究了气体放电电压与气体压力的关系 .在保持气体放电电流不变的情况下 ,气体放电电压是气体压力的函数 .改变气体压力时 ,放电电压有一极小值 .

关键词 帕邢定律 气体放电 真空镀膜 离子轰击 放电电压 气体压力 真空电子学

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真空比对法校准装置的研究 被引量：4

18

作者 宋瑞海 张书锋 +2 位作者 王欢 贾军伟 田虎林 《真空》 CAS 北大核心 2011年第3期32-35,共4页

真空比对法校准装置采用了动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法,在一台装置上复合了三种方法,满足了拓宽量程的需求。该装置可以1×105~5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,是一种结构简单、操作方便、检定效率高、... 真空比对法校准装置采用了动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法,在一台装置上复合了三种方法,满足了拓宽量程的需求。该装置可以1×105~5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的真空标准装置。整套装置由涡轮分子泵、校准容器、副标准真空计和金属膨胀阀等部件组成,主要技术指标符合国际标准化组织和国内有关真空标准的规定。 展开更多

关键词 真空 比对法 真空计量 标准

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真空低温下接触表面对接触热阻的影响 被引量：11

19

作者 徐烈 张涛 +2 位作者 熊炜 杨军 徐佳梅 《真空与低温》 1998年第1期1-4,共4页

通过接触表面的形貌分析，建立了表面形貌和界面接触热阻的理论模型。通过实验得出了有关参数对接触热阻的影响关系。

关键词 接触热阻 低温 真空 接触面 表面形貌

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低温等离子体对有机物表面改性的实验研究 被引量：4

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作者 梁素珍 徐电 许劲 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第3期212-214,共3页

用平板气体放电等离子体对聚丙烯微孔膜与聚四氟乙烯表面进行改性的实验研究结果：经等离子体改性的聚丙烯微孔膜表面由流水特性变为亲水特性，接触角小于20°；聚四氟乙烯棒表面经等离子体处理，用专用粘结剂粘结后，其强度比未处... 用平板气体放电等离子体对聚丙烯微孔膜与聚四氟乙烯表面进行改性的实验研究结果：经等离子体改性的聚丙烯微孔膜表面由流水特性变为亲水特性，接触角小于20°；聚四氟乙烯棒表面经等离子体处理，用专用粘结剂粘结后，其强度比未处理的提高了3．5倍。 展开更多

关键词 低温等离子体 表面处理

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