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超高真空蒸发制备Pd/Ti吸气薄膜的工艺优化与性能研究
1
作者 李伟 李进 +2 位作者 李宇龙 王旭迪 曹青 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第1期76-83,共8页
Pd/Ti吸气剂薄膜作为超高真空系统中重要的真空维持材料,具有激活温度低、抽速快等优点。针对薄膜制备过程中蒸发源热变形导致的镀膜均匀性问题,研究采用COMSOL多物理场仿真分析了靶丝热变形行为,提出了“石英玻璃棒+变距弹簧靶丝”的... Pd/Ti吸气剂薄膜作为超高真空系统中重要的真空维持材料,具有激活温度低、抽速快等优点。针对薄膜制备过程中蒸发源热变形导致的镀膜均匀性问题,研究采用COMSOL多物理场仿真分析了靶丝热变形行为,提出了“石英玻璃棒+变距弹簧靶丝”的复合结构设计,将Pd丝和Ti丝的径向最大热变形量分别降至0.0216 mm和0.0494 mm,相比直丝结构分别提升约303倍和63倍。自主设计搭建了超高真空蒸发镀膜系统,系统研究了Pd/Ti薄膜的蒸发工艺参数,确定了Ti丝45A/60 min、Pd丝18 A/2-10 min的最佳工艺条件。SEM分析表明薄膜呈典型柱状生长结构,Pd覆层连续均匀覆盖Ti底层。镀膜后系统极限真空达到1.41×10^(-8)Pa,真空维持性能显著提升。定压法吸氢测试结果显示,基底材料对吸气性能影响显著,无氧铜箔基底的稳定抽速(0.006 L/(s·cm^(2)))优于工业钛箔基底(0.002 L/(s·cm^(2)));Pd层厚度存在最优值,约50 nm厚度时吸气性能最佳,抽速达0.005 L/(s·cm^(2))。研究为Pd-Ti薄膜吸气剂的工程化制备提供了重要的技术支撑和数据基础。 展开更多
关键词 非蒸散型吸气剂 Pd/Ti薄膜 真空蒸镀 蒸发源结构优化 吸气性能测试
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宽范围、高精度、批量化复合型真空测试校准装置设计与实现
2
作者 刘金生 莫言 +2 位作者 凌波 张兵 陈星 《真空与低温》 2026年第1期31-37,共7页
设计了一种复合型综合真空校准装置,并对其性能进行了系统测试和分析。该装置由多个真空校准室、流导元件、管路系统、供气系统以及真空获得系统组成,覆盖1×10^(-8)~1×10^(5) Pa的宽真空压力校准范围。装置采用模块化设计,根... 设计了一种复合型综合真空校准装置,并对其性能进行了系统测试和分析。该装置由多个真空校准室、流导元件、管路系统、供气系统以及真空获得系统组成,覆盖1×10^(-8)~1×10^(5) Pa的宽真空压力校准范围。装置采用模块化设计,根据不同真空压力区间的特点,分别采用了静态比较法、动态比较法和动态流量法三种校准方法,以满足不同真空计的校准需求。测试中使用了多种类型的真空计进行测试校准,对各个压力校准区间的测量不确定度进行了评定和计算,并且通过传递比较法验证了其在多个校准点上的准确性和一致性。研究结果为宽范围真空校准技术提供了一种高效、高精度的解决方案,可为真空校准技术的研究和应用提供技术支持。 展开更多
关键词 复合型 真空 测试 校准装置
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空间电推进技术概览——新型电推进(上)
3
作者 张天平 陈娟娟 张雪儿 《真空与低温》 2026年第2期223-232,共10页
在一百多年的发展历程中,种类繁多的各种空间电推进技术不断涌现。为了更好地展现空间电推进技术发展全貌,基于历届国际电推进会议(IEPC)论文及其他相关文献,全面梳理了迄今为止出现的各种空间电推进技术,按照经典电推进、演化电推进、... 在一百多年的发展历程中,种类繁多的各种空间电推进技术不断涌现。为了更好地展现空间电推进技术发展全貌,基于历届国际电推进会议(IEPC)论文及其他相关文献,全面梳理了迄今为止出现的各种空间电推进技术,按照经典电推进、演化电推进、新型电推进和非传统电推进等四种类别,分别从工作原理、历史渊源和发展现状等方面对88种电推进技术进行了简要介绍,包括经典电推进12种,演化电推进40种,新型电推进26种,非传统电推进10种。 展开更多
关键词 空间电推进 技术概览 经典电推进 新型电推进 演化电推进 非传统电推进
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空间电推进技术概览——演化电推进(下)
4
作者 张天平 陈娟娟 张雪儿 《真空与低温》 2026年第1期108-119,共12页
在一百多年的发展历程中,种类繁多的各种空间电推进技术不断涌现。为了更好地展现空间电推进技术发展全貌,基于历届国际电推进会议(IEPC)论文及其他相关文献,全面梳理了迄今为止出现的各种空间电推进技术,按照经典电推进、演化电推进、... 在一百多年的发展历程中,种类繁多的各种空间电推进技术不断涌现。为了更好地展现空间电推进技术发展全貌,基于历届国际电推进会议(IEPC)论文及其他相关文献,全面梳理了迄今为止出现的各种空间电推进技术,按照经典电推进、演化电推进、新型电推进和非传统电推进等四种类别,分别从工作原理、历史渊源和发展现状等方面对88种电推进技术进行了简要介绍,包括经典电推进12种,演化电推进40种,新型电推进26种,非传统电推进10种。 展开更多
关键词 空间电推进 技术概览 经典电推进 新型电推进 演化电推进 非传统电推进
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干式螺杆真空泵节能运行的新进展
5
作者 张世伟 张志军 孙坤 《真空》 2026年第1期40-45,共6页
本文以螺杆真空泵的高效节能运行为研究目标,从螺杆真空泵功耗计算基础理论出发,将螺杆转子抽气过程所需要的有用功耗分解为内压缩功耗和外压缩功耗(排气功耗)两部分,并分别给出了相应的计算公式,以此为基础,介绍了降低螺杆真空泵功率... 本文以螺杆真空泵的高效节能运行为研究目标,从螺杆真空泵功耗计算基础理论出发,将螺杆转子抽气过程所需要的有用功耗分解为内压缩功耗和外压缩功耗(排气功耗)两部分,并分别给出了相应的计算公式,以此为基础,介绍了降低螺杆真空泵功率消耗、实现节能运行的几种常用方法,包括:采用大压缩比螺杆转子减小其排气容积来降低外压缩功耗;在螺杆真空泵排气口处安置小型真空泵产生更低的排气压强来降低外压缩功耗;以及为避免大压缩比螺杆转子在高入口压强下内压缩功耗过大,采用变频降速运行(但会导致抽速下降)和设置中间泄压阀两种方法。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 节能 能耗计算 变螺距转子 变频降速
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空间环境模拟设备真空腔室强度及稳定性分析
6
作者 由美雁 朱雨欣 +5 位作者 李儒航 申金雨 卞政 闫虹池 罗森匀 谢元华 《真空》 2026年第2期55-60,共6页
真空腔室是众多真空设备的重要组成部分,对其进行合理设计和计算是保障真空设备安全运行的基石。本文以某空间环境模拟设备的真空腔室为例,探讨了按设计手册公式法、GB/T 150图算法和GB/T 4732公式法对真空腔室壁厚的设计,得出按设计手... 真空腔室是众多真空设备的重要组成部分,对其进行合理设计和计算是保障真空设备安全运行的基石。本文以某空间环境模拟设备的真空腔室为例,探讨了按设计手册公式法、GB/T 150图算法和GB/T 4732公式法对真空腔室壁厚的设计,得出按设计手册公式法设计的壁厚偏安全;通过对其强度和稳定性进行有限元分析,把按标准设计结果与有限元分析结果进行对比分析,GB/T 150图算法、GB/T 4732公式法和ANSYS非线性屈曲分析得到的本真空腔室的许用外压力值比较接近,可为真空腔室可靠性及经济合理性提供参考。 展开更多
关键词 空间环境模拟 真空腔室 有限元计算
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双级阳极层霍尔推力器热优化分析
7
作者 陈兴锴 刘超 +10 位作者 郭宁 高俊 王尚民 李沛 孙明明 杨俊泰 何非 成荣 赵臻 王聪 包振廷 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第2期110-119,共10页
双级阳极层霍尔推力器的阳极与磁路过热问题,是制约该类型推力器广泛应用和功率密度提升的重要因素,研究采用有限元分析结合热平衡实验的方法,建立了较高可信度的热特性仿真模型。在推力器1.1 kW工况工作时,温度模拟值与实测值非常接近,... 双级阳极层霍尔推力器的阳极与磁路过热问题,是制约该类型推力器广泛应用和功率密度提升的重要因素,研究采用有限元分析结合热平衡实验的方法,建立了较高可信度的热特性仿真模型。在推力器1.1 kW工况工作时,温度模拟值与实测值非常接近,4个测温点平均误差为4.71%。并且在此模型的基础上,采用内绕线柱内填充热管,外壳阳极绝缘陶瓷填充等多种技术方案组合对推力器进行热设计优化后,推力器在2.15 kW工况工作时,零部件的温度降低至合理区间,优化后,该推力器功率密度提升95%。仿真结果可以为提升霍尔推力器出口功率密度提供指导,并对同类型推力器提供热特性分析数值方法。 展开更多
关键词 双级阳极层霍尔推力器 热特性 热设计优化 有限元分析
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2025年《真空与低温》优秀科技论文评选结果
8
《真空与低温》 2026年第2期I0001-I0001,共1页
根据《真空与低温》优秀科技论文表彰办法的规定,成立了以编委会主任为组长的2025年度《真空与低温》优秀科技论文评选专家组。编辑部综合考虑论文的科学性、创新性、实用性和可读性等方面情况,结合论文的引用量、阅读量、下载量等因素... 根据《真空与低温》优秀科技论文表彰办法的规定,成立了以编委会主任为组长的2025年度《真空与低温》优秀科技论文评选专家组。编辑部综合考虑论文的科学性、创新性、实用性和可读性等方面情况,结合论文的引用量、阅读量、下载量等因素,并参考审稿专家对论文的评价,向评选专家组推荐了《真空与低温》2025年候选优秀科技论文34篇。 展开更多
关键词 评选结果 优秀科技论文 真空与低温 科学性
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《真空与低温》征稿说明
9
《真空与低温》 2026年第1期I0001-I0002,共2页
《真空与低温》期刊由中国航天科技集团有限公司主管,兰州空间技术物理研究所主办。被《中国科技核心期刊》收录。本刊1982年创刊,1995年起向国内外公开发行。国内统一连续出版物号:CN 62-1125/O4,国际标准连续出版物号:ISSN 1006-7086。
关键词 低温 中国航天科技集团有限公司 真空
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热阴极脉冲电子枪设计与性能仿真
10
作者 史心怡 张虎忠 +4 位作者 李得天 李兴达 习振华 李刚 康伟东 《真空与低温》 2026年第2期129-138,共10页
利用电子束流对高速定向稀薄气体束流的碰撞电离需要在极短时间内产生离子束流,从而收集到较窄的离子脉冲信号。传统热阴极固有的热响应时间限制了电子发射精度,为此,论文设计并仿真了一种能够产生具有指定能量的高脉冲电子束流的热阴... 利用电子束流对高速定向稀薄气体束流的碰撞电离需要在极短时间内产生离子束流,从而收集到较窄的离子脉冲信号。传统热阴极固有的热响应时间限制了电子发射精度,为此,论文设计并仿真了一种能够产生具有指定能量的高脉冲电子束流的热阴极脉冲电子枪,通过从阴极表面提前引出一定数量的热电子,使其能够实现纳秒级脉冲电子束流控制,克服了阴极热响应产生的时间延迟影响,保障了对稀薄气体分子的高效电离。该电子枪由热阴极、反射罩、加速栅极、聚焦极与接地屏蔽罩等部件构成,同时根据使用需求设计了匹配的移动机构,在使用时调节电子束流与需要电离的分子束流的距离,以优化电离效率。仿真表明,该热阴极脉冲电子枪能够在40 ns的脉冲电压周期内产生约70 eV的脉冲电子束流,电子发射效率达13.58%,验证了其用于高速定向稀薄气体束流碰撞电离的有效性,为后续实验研究与应用提供了理论与数据基础。 展开更多
关键词 热阴极 脉冲电子枪 碰撞电离 定向流
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用于原子干涉的光学锁相环技术研究进展
11
作者 刘攀 肖玉华 +4 位作者 张炯阳 王骥 廉吉庆 杨炜 陈江 《真空与低温》 2026年第1期87-99,共13页
光学锁相环(OPLL)作为制备高质量相干光的有效方法,在原子干涉精密测量领域有着广泛而成熟的应用。利用相位锁定环路对光学信号频率与相位进行锁定,从而产生相位相干的激光,OPLL具有频差调节范围宽、相位噪声小、无边带干扰和相干光空... 光学锁相环(OPLL)作为制备高质量相干光的有效方法,在原子干涉精密测量领域有着广泛而成熟的应用。利用相位锁定环路对光学信号频率与相位进行锁定,从而产生相位相干的激光,OPLL具有频差调节范围宽、相位噪声小、无边带干扰和相干光空间易分离等优势。相较于利用声光调制、电光调制等其他相干光制备方法实现的原子干涉精密测量传感器,采用OPLL技术实现的传感器具有更好的性能。通过阐述OPLL的基本原理及光路结构,综述并评价了国内外用于原子干涉的OPLL技术发展现状与采用的技术方案,并结合原子干涉精密测量特点,在分析总结OPLL技术的基础上,提出了与数字控制技术结合、系统向集成化与模块化演进、基于光子集成实现芯片化等三大发展趋势。研究结果为提升OPLL的综合性能,满足基础物理研究、惯性导航及空间探测等领域所需的高精度原子干涉精密测量传感器提供有力支撑。 展开更多
关键词 原子干涉 光学锁相环 相位锁定 相干光
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立方形真空容器壁厚设计校核与透射界面设计
12
作者 苏玉磊 陈建徽 +4 位作者 黄倩 胡志勇 张振 丁怀况 章学华 《真空与低温》 2026年第1期17-24,共8页
针对真空环境下激光与材料相互作用研究的光学平台对观测环境高稳定性的需求,提出一种基于非圆形截面容器设计理论的立方形真空容器设计方案。依据GB/T 150.3—2024进行结构设计,并通过三维有限元仿真验证,系统解析外压载荷下拐角区域... 针对真空环境下激光与材料相互作用研究的光学平台对观测环境高稳定性的需求,提出一种基于非圆形截面容器设计理论的立方形真空容器设计方案。依据GB/T 150.3—2024进行结构设计,并通过三维有限元仿真验证,系统解析外压载荷下拐角区域的三维不连续应力传递机制。采用亚克力-金属复合观察窗设计,结合材料蠕变特性与密封界面变形协调准则进行参数优化。通过多壁厚方案的成本评估,揭示成本非线性增长对制造成本的影响;针对拐角应力集中现象,基于疲劳评估准则提出局部强化策略。该设计成功应用于激光驱动真空实验平台,为特种光学观测设备提供了兼具结构稳定性、经济性与功能匹配性的设计范式。 展开更多
关键词 立方形真空容器 有限元验证 真空技术 非圆形截面
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《真空科学与技术学报》第十届编委会名单
13
《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第3期F0002-F0002,共1页
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单头螺杆真空泵转子热变形与冷却研究
14
作者 何欣祥 干蜀毅 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第1期30-38,共9页
单头螺杆真空泵因转子间隙小、级间泄漏少,成为高效“无污染”真空泵的首选。然而,出口气体反冲易引起转子温升与热变形,导致卡死故障。因此,研究其温度场、热变形特性及冷却方案具有重要现实与经济意义。文章以抽速为50 L/s的单头螺杆... 单头螺杆真空泵因转子间隙小、级间泄漏少,成为高效“无污染”真空泵的首选。然而,出口气体反冲易引起转子温升与热变形,导致卡死故障。因此,研究其温度场、热变形特性及冷却方案具有重要现实与经济意义。文章以抽速为50 L/s的单头螺杆真空泵转子为研究对象,采用ANSYS对其温度场和热变形进行仿真分析,并开展冷却方案研究。结果表明:左右转子轴向变形差值不超过0.025 mm,对运行影响可忽略;而径向变形是叠加的,径向变形最大值为0.14 mm,需重点关注。据此提出螺杆转子的径向间隙参考曲线,为转子加工与装配提供依据。冷却研究显示,冷却吹扫与轴心水冷两种方式均可对转子进行有效降温,其中水冷效果随流量增加提升趋缓。研究为螺杆真空泵转子间隙设计及冷却系统优化提供了参考。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 转子 温度场 热变形 间隙参考曲线 冷却
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基于变论域模糊PID控制算法的电动真空吸取系统
15
作者 毛新涛 万杰 孙中圣 《机电工程》 北大核心 2026年第3期576-583,共8页
针对常规真空吸取系统在协作机器人等领域应用时存在压缩气源获取不便的问题,设计了一种电动真空吸取系统,并提出了一种基于变论域的模糊PID控制方法。首先,通过分析电动真空吸取系统的抽气过程,建立了真空抽气的数学模型;然后,提出了... 针对常规真空吸取系统在协作机器人等领域应用时存在压缩气源获取不便的问题,设计了一种电动真空吸取系统,并提出了一种基于变论域的模糊PID控制方法。首先,通过分析电动真空吸取系统的抽气过程,建立了真空抽气的数学模型;然后,提出了一种基于变论域模糊PID的控制方法,利用论域伸缩因子将变论域方法与模糊PID控制器结合,改善了真空系统中存在的非线性等问题,结合隔膜泵的原理,设计了变论域模糊PID控制方法的模糊规则;最后,建立了MATLAB仿真平台,制定了测试方案,建立了试验台,通过实验和仿真对比了电动真空吸取系统在不同真空度(50 kPa、70 kPa)时常规PID、模糊PID和变论域模糊PID控制方法的控制效果,并利用变论域模糊PID控制方法对不同重量(500 g~3000 g)的物体进行了吸取实验。研究结果表明:模糊PID控制较常规PID控制系统的响应时间更短、抗干扰能力更强,但仍存在明显的超调量;变论域模糊PID控制与模糊PID控制的响应时间相同,超调量能够降低60%,可以提高真空吸取系统的控制性能。实际吸取实验结果表明,该电动真空系统能够对不同重量的物体实现稳定、快速的真空吸取目的。 展开更多
关键词 协作机器人 气压元件 真空吸取技术 抽气模型 变论域 模糊PID算法
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真空加速键合界面水逸散机制的研究
16
作者 郭梓萱 张腾巍 +2 位作者 胡志超 高才 王旭迪 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第3期206-212,共7页
氢氧催化键合强度受键合溶液参数、固化时间和温度等多种因素影响,在常温环境下固化需要等待4周才能完成键合,低温加热虽然可以加速固化、缩短时间,却无法适用于热敏感精密器件。为解决这一问题,文章创新性地提出了真空辅助氢氧催化键... 氢氧催化键合强度受键合溶液参数、固化时间和温度等多种因素影响,在常温环境下固化需要等待4周才能完成键合,低温加热虽然可以加速固化、缩短时间,却无法适用于热敏感精密器件。为解决这一问题,文章创新性地提出了真空辅助氢氧催化键合的方法,通过真空环境加速键合界面水的逸散,以Hertz-Knudsen方程为基础,利用双腔室超高真空系统结合四极质谱仪实时监测水分压(表征水逸散通量),搭配微量天平测量样品失重(表征水逸散量),并通过键合强度测试来验证工艺有效性。结果表明,真空环境下,键合界面水逸散通量较常压显著提升;预键合后经24 h常压固化+4 h真空处理后,平均键合强度达11.31 MPa,固化周期从4周缩短至28 h,且满足热敏感精密器件需求。研究证实,真空是促进键合界面水逸散的高效方式,修正H-K方程可描述其加速机制。 展开更多
关键词 氢氧催化键合 真空 键合强度 水逸散 Hertz-Knudsen方程
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真空下陶瓷的摩擦放气现象及机理研究
17
作者 张腾巍 周瑞安 王旭迪 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第1期23-29,共7页
压电陶瓷电机凭借高精度控制与无润滑系统的特性,在高真空乃至超高真空系统中应用日益广泛。然而,依靠摩擦驱动的压电陶瓷电机在运行时,不可避免地会产生摩擦放气现象,排出的气体将污染洁净的真空环境。因此,开展陶瓷在真空条件下的摩... 压电陶瓷电机凭借高精度控制与无润滑系统的特性,在高真空乃至超高真空系统中应用日益广泛。然而,依靠摩擦驱动的压电陶瓷电机在运行时,不可避免地会产生摩擦放气现象,排出的气体将污染洁净的真空环境。因此,开展陶瓷在真空条件下的摩擦放气实验,研究其放气现象与机理,是有效控制摩擦放气影响的关键。文章以常用的96%氧化铝陶瓷片为研究对象,在不同载荷、滑动速度和滑动距离的变量下,测定其摩擦放气量;运用RGA质谱仪分析摩擦过程中释放的气体成分;利用SEM观测摩擦前后陶瓷微观表面变化。通过分析不同条件下的放气量曲线,探究诱导陶瓷摩擦放气的影响因素。结果表明:放气量与载荷、速度、距离均呈线性正相关,证实其受多因素协同作用,包括缺陷溶解气体释放、亚表面缺陷贯通及摩擦热效应。该发现为真空系统中陶瓷摩擦放气的控制提供了关键依据。 展开更多
关键词 摩擦放气 真空 陶瓷 气体分析
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螺杆真空泵抽气性能预测模型与分析方法研究
18
作者 吴俊 朱文明 +4 位作者 何海斌 王雷 吴青云 王旭迪 吴杰 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第2期101-109,共9页
随着半导体等领域对真空环境洁净度要求的提高,干式螺杆真空泵凭其无油、高抽速、节能等特性被广泛应用。通过数值模型实现对螺杆真空泵的抽气性能预测,是其研发设计的关键。已有螺杆真空泵抽速性能预测的腔室模型,不能正确给出气体在... 随着半导体等领域对真空环境洁净度要求的提高,干式螺杆真空泵凭其无油、高抽速、节能等特性被广泛应用。通过数值模型实现对螺杆真空泵的抽气性能预测,是其研发设计的关键。已有螺杆真空泵抽速性能预测的腔室模型,不能正确给出气体在泵内输运过程的压强连续变化曲线。为此,文章提出了一种新的“动态腔室模型”,用于螺杆真空泵的抽气性能预测研究。通过与实验抽速曲线的对比,验证了提出的新模型能够更精确地预测螺杆真空泵的抽速性能:在趋近泵极限真空度、入口压强为5.8 Pa时,“动态腔室模型”的预测抽速为40.18 m^(3)/h,与实测抽速差异率为31.5%,而已有腔室模型的预测抽速为41.63 m^(3)/h,与实测抽速差异率为63.2%。并且“动态腔室模型”可以给出连续的螺杆转子腔室压强变化曲线,从而能够反映螺杆真空泵整个工作周期的气体输运状态。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 抽速预测 动态腔室模型 数值模拟
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基于阿伦尼乌斯公式的不同材料放气加速因子研究
19
作者 宋仕涵 刘文豪 +1 位作者 周瑞安 王旭迪 《真空科学与技术学报》 北大核心 2026年第2期136-142,共7页
在材料放气的研究中,阿伦尼乌斯公式常用于加速寿命实验的加速因子计算,利用活化能定量表征其与温度之间的关系。然而,当前研究中往往忽略了放气率在实验过程中的变化,导致理论模型与实际结果存在偏差。文章以阿伦尼乌斯公式为基础,从... 在材料放气的研究中,阿伦尼乌斯公式常用于加速寿命实验的加速因子计算,利用活化能定量表征其与温度之间的关系。然而,当前研究中往往忽略了放气率在实验过程中的变化,导致理论模型与实际结果存在偏差。文章以阿伦尼乌斯公式为基础,从理论上分别探讨了其与金属材料(304不锈钢)和聚合物材料(聚酰亚胺)放气机理间的联系。结合材料放气的活化能与衰减因子,建立了统一的加速因子数学模型,并通过两种实验方法(流导法,升压法)进行验证。结果表明:由于放气机理不同,聚酰亚胺与不锈钢的衰减因子存在显著差异:聚酰亚胺的放气衰减现象明显,计算其加速因子时必须予以考虑。该研究为不同材料的加速寿命实验提供理论依据,并为后续多材料样品整体加速因子计算奠定了基础。 展开更多
关键词 阿伦尼乌斯公式 活化能 加速因子 放气衰减
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磁悬浮转子真空计惰性气体校准研究
20
作者 宋云见 李博文 +4 位作者 张子凡 张虎忠 贾文杰 李玉成 李得天 《真空与低温》 2026年第1期25-30,共6页
在半导体制造及空间环境模拟等工业及科研领域中,需采用磁悬浮转子真空计对Ar、Kr、Xe等具有较大分子质量与黏滞系数的惰性气体进行高精度真空压力测量。本研究基于静态膨胀法,对三种不同型号的磁悬浮转子真空计在三种惰性气体环境下的... 在半导体制造及空间环境模拟等工业及科研领域中,需采用磁悬浮转子真空计对Ar、Kr、Xe等具有较大分子质量与黏滞系数的惰性气体进行高精度真空压力测量。本研究基于静态膨胀法,对三种不同型号的磁悬浮转子真空计在三种惰性气体环境下的实际切向动量传递系数σ_(eff)进行了实验校准,并对测量结果的稳定性进行了分析,对不确定度进行了评定。结果表明,1×10^(-4)~1 Pa压力范围内,SRG-2CE对Kr测量结果的稳定性最好,σ_(eff)偏差范围为-0.92%~1.68%;三种不同型号的SRG对Ar、Kr、Xe的σ_(eff)校准结果分别为0.992、0.984、0.999;不确定度主要来源于前级压力测量、容积比标定及磁悬浮转子真空计自身测量偏差,高真空范围内相对合成标准不确定度变化范围为3.31%~0.77%。 展开更多
关键词 磁悬浮转子真空计 惰性气体 计量特性 不确定度评定
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