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干式螺杆真空泵节能运行的新进展
1
作者 张世伟 张志军 孙坤 《真空》 2026年第1期40-45,共6页
本文以螺杆真空泵的高效节能运行为研究目标,从螺杆真空泵功耗计算基础理论出发,将螺杆转子抽气过程所需要的有用功耗分解为内压缩功耗和外压缩功耗(排气功耗)两部分,并分别给出了相应的计算公式,以此为基础,介绍了降低螺杆真空泵功率... 本文以螺杆真空泵的高效节能运行为研究目标,从螺杆真空泵功耗计算基础理论出发,将螺杆转子抽气过程所需要的有用功耗分解为内压缩功耗和外压缩功耗(排气功耗)两部分,并分别给出了相应的计算公式,以此为基础,介绍了降低螺杆真空泵功率消耗、实现节能运行的几种常用方法,包括:采用大压缩比螺杆转子减小其排气容积来降低外压缩功耗;在螺杆真空泵排气口处安置小型真空泵产生更低的排气压强来降低外压缩功耗;以及为避免大压缩比螺杆转子在高入口压强下内压缩功耗过大,采用变频降速运行(但会导致抽速下降)和设置中间泄压阀两种方法。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 节能 能耗计算 变螺距转子 变频降速
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基于氮气流动辅助的板级封装基板翘曲改善实验研究
2
作者 李婷 陈志强 +3 位作者 方安安 胡小波 杨洪生 张晓军 《真空》 2026年第1期22-27,共6页
扇出型面板级封装(FOPLP)技术在异质晶片整合和降本增效方面优势显著,但在热应力影响下,基板尺寸增大时翘曲也随之增大。本文针对大尺寸玻璃基板在真空腔体中的升降温过程,设计系列验证试验,研究了高温腔体压力(10-3 Pa、20 Pa、100 Pa... 扇出型面板级封装(FOPLP)技术在异质晶片整合和降本增效方面优势显著,但在热应力影响下,基板尺寸增大时翘曲也随之增大。本文针对大尺寸玻璃基板在真空腔体中的升降温过程,设计系列验证试验,研究了高温腔体压力(10-3 Pa、20 Pa、100 Pa、105 Pa)及N_(2)气流辅助对基板升降温行为和温度分布的影响。结果表明:相同升温参数和时间下,随腔体压力降低,基板升温速率减小,中心与边角温差增大,降温过程中则呈相反趋势;腔体压力大约100 Pa时,升降温过程中基板表面温度均匀性较好,引入N_(2)气流可提高升降温效率,使边缘与中心区域温差维持在5~10℃。 展开更多
关键词 扇出型板级先进封装 玻璃基板 除气 N_(2)辅助 热应力翘曲
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弘扬科学家精神 金建中
3
《数理天地(初中版)》 2026年第1期F0001-F0001,共1页
物理学家原籍安徽黟县,1919年7月生于北京,1944年毕业于北京大学。1946年在辅仁大学研究生院毕业。1980年当选为中国科学院院士(学部委员)。1989年10月12日逝世。曾任航天工业部总工程师、科技委员会委员,兰州物理研究所所长、研究员,... 物理学家原籍安徽黟县,1919年7月生于北京,1944年毕业于北京大学。1946年在辅仁大学研究生院毕业。1980年当选为中国科学院院士(学部委员)。1989年10月12日逝世。曾任航天工业部总工程师、科技委员会委员,兰州物理研究所所长、研究员,博士研究生导师,中国真空学会第一届理事长,全国人大代表。主要从事真空物理与技术的研究,是中国真空科学的创始人与开拓者。 展开更多
关键词 物理学家 北京大学 安徽黟县
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径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析 被引量：1
4
作者 谢元华 佟英博 +6 位作者 谢天意 王桂鹏 窦仁超 孟冬辉 刘坤 孙立臣 闫荣鑫 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第1期36-42,共7页
涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输... 涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输理论,采用数学粒子追踪方法,对9种不同形状的叶片结构进行对比分析,使用COMSOL软件模拟不同叶片结构下叶列间气体粒子的正、反向传输几率,探究叶片形状对气体粒子正、反向传输几率和压缩比的影响。结果表明,涡轮分子泵转子叶片一侧为弧形凸面结构,另一侧为平面结构时,分子泵的压缩比提升1个数量级,分子泵性能显著提升。研究对涡轮分子泵的设计与优化具有一定的参考价值和指导意义。 展开更多
关键词 涡轮分子泵 径向 叶片形状 传输几率 压缩比
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离子电推进发展历史回顾与启示(下) 被引量：1
5
作者 张天平 陈娟娟 张雪儿 《真空与低温》 2025年第4期520-541,共22页
离子电推进是空间电推进中最具代表性的技术之一,追溯离子电推进从概念到工程应用的历史过程,能够为洞见离子电推进技术的未来发展提供有力依据。从早期孕育、初期发展、中期发展、当代发展和创新发展等五个方面,对世界各国离子电推进... 离子电推进是空间电推进中最具代表性的技术之一,追溯离子电推进从概念到工程应用的历史过程,能够为洞见离子电推进技术的未来发展提供有力依据。从早期孕育、初期发展、中期发展、当代发展和创新发展等五个方面,对世界各国离子电推进技术的发展历史进行了包括技术发展、产品研发、工程应用等内容的全面回顾。在此基础上,将离子电推进从初始概念到工程应用经历的漫长过程分为五个方面系统总结了离子电推进发展的成功经验和失败教训,从正确认识离子电推进等七个方面梳理了对离子电推进未来发展具有借鉴意义的启示。 展开更多
关键词 离子电推进 离子推力器 发展历史 启示 产品研制 工程应用
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离子电推进发展历史回顾与启示(中) 被引量：1
6
作者 张天平 陈娟娟 张雪儿 《真空与低温》 2025年第2期248-275,共28页
离子电推进是空间电推进中最具代表性的技术之一,追溯离子电推进从概念到工程应用的历史过程,能够为洞见离子电推进技术的未来发展提供有力依据。从早期孕育、初期发展、中期发展、当代发展和创新发展等五个方面,对世界各国离子电推进... 离子电推进是空间电推进中最具代表性的技术之一,追溯离子电推进从概念到工程应用的历史过程,能够为洞见离子电推进技术的未来发展提供有力依据。从早期孕育、初期发展、中期发展、当代发展和创新发展等五个方面,对世界各国离子电推进技术的发展历史进行了包括技术发展、产品研发、工程应用等内容的全面回顾。在此基础上,将离子电推进从初始概念到工程应用经历的漫长过程分为五个方面系统总结了离子电推进发展的成功经验和失败教训,从正确认识离子电推进等七个方面梳理了对离子电推进未来发展具有借鉴意义的启示。 展开更多
关键词 离子电推进 离子推力器 发展历史 启示 产品研制 工程应用
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离子电推进发展历史回顾与启示(上) 被引量：1
7
作者 张天平 陈娟娟 张雪儿 《真空与低温》 2025年第1期114-132,共19页
离子电推进是空间电推进中最具代表性的技术之一,追溯离子电推进从概念到工程应用的历史过程,能够为洞见离子电推进技术的未来发展提供有力依据。从早期孕育、初期发展、中期发展、当代发展和创新发展等五个方面,对世界各国离子电推进... 离子电推进是空间电推进中最具代表性的技术之一,追溯离子电推进从概念到工程应用的历史过程,能够为洞见离子电推进技术的未来发展提供有力依据。从早期孕育、初期发展、中期发展、当代发展和创新发展等五个方面,对世界各国离子电推进技术的发展历史进行了包括技术发展、产品研发、工程应用等内容的全面回顾。在此基础上,将离子电推进从初始概念到工程应用经历的漫长过程分为五个方面系统总结了离子电推进发展的成功经验和失败教训,从正确认识离子电推进等七个方面梳理了对离子电推进未来发展具有借鉴意义的启示。 展开更多
关键词 离子电推进 离子推力器 发展历史 启示 产品研制 工程应用
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HEPS储存环弧区真空盒研制
8
作者 郭迪舟 董海义 +5 位作者 何平 李琦 王徐建 刘佰奇 刘天锋 田丕龙 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第12期1037-1047,共11页
高能同步辐射光源(High Energy Photon Source,HEPS)是一台束流能量6 GeV,流强200 mA,发射度34.2 pm·rad的第四代光源,HEPS光源由直线加速器、增强器、储存环和连接它们在一起的三条输运线组成。其中储存环是HEPS的核心部分,储存... 高能同步辐射光源(High Energy Photon Source,HEPS)是一台束流能量6 GeV,流强200 mA,发射度34.2 pm·rad的第四代光源,HEPS光源由直线加速器、增强器、储存环和连接它们在一起的三条输运线组成。其中储存环是HEPS的核心部分,储存环真空系统包括48个弧区并直线节区段,真空盒采用了紧凑型磁聚焦结构及小孔径(内径22 mm)的设计,使用铬锆铜(C18150)、不锈钢(SS316LN)和镍合金(Inconel625)三种材料,单个弧区共24种型号真空盒,其中20种型号使用铬锆铜材料,4种型号使用不锈钢材料,法兰使用镍合金材料加工。文章概述了储存环弧区真空盒的设计及研制的过程,重点介绍了关键技术难点和创新解决方案。HEPS储存环真空系统在国际上首次采用铬锆铜合金挤压成型的真空盒并在其内壁镀吸气剂膜,用来解决真空盒同步辐射光热沉积大,真空盒流导受限的问题。储存环真空系统于2022年6月进行了单个弧区的试安装实验,于2023年11月开始正式安装,并于2024年7月完成。通过对真空系统分段在线烘烤和吸气剂膜激活,平均静态真空达到5×10^(-8) Pa,优于设计指标。 展开更多
关键词 高能同步辐射光源 真空盒 铬锆铜 316 LN不锈钢 电子束焊 钎焊
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束流轰击角度与材料解吸特性关系研究
9
作者 谢文君 蒙峻 +5 位作者 罗成 杨伟顺 焦纪强 柴振 刘建龙 李超 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第12期1087-1094,共8页
针对材料解吸导致的真空劣化问题,重点研究了轰击角度与材料解吸率的关联机制。通过自主研发可调角度的多样靶材解吸率测试装置,采用143 KeV/u Bi32+离子束对氧化锆陶瓷、陶瓷镀金及不锈钢镀金三类材料进行解吸特性研究。结果表明:材料... 针对材料解吸导致的真空劣化问题,重点研究了轰击角度与材料解吸率的关联机制。通过自主研发可调角度的多样靶材解吸率测试装置,采用143 KeV/u Bi32+离子束对氧化锆陶瓷、陶瓷镀金及不锈钢镀金三类材料进行解吸特性研究。结果表明:材料解吸率随入射角度增加呈现显著增长趋势,束流轰击靶材时H_(2)占比迅速增加;表面镀金处理可使氧化锆样件解吸率降低约50%,而不同基材镀金样品间解吸率差异小于15%,证实解吸过程主要受表层物理化学特性主导,基材影响较小。基于溅射产额与入射角度的理论模型,引入表面效应修正系数α,给出修正后的解吸模型并进行实验验证。该研究可为真空系统粒子解吸率的工程预测提供理论模型与实验依据。 展开更多
关键词 解吸率 轰击角度 解吸模型 真空
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载人航天器舱体撞击及泄漏点的声学定位方法
10
作者 綦磊 闫荣鑫 +4 位作者 孙立臣 张宇 芮小博 崔寓淏 石宁波 《载人航天》 北大核心 2025年第2期270-275,共6页
针对载人航天器舱体撞击及泄漏点难以准确定位的问题,提出一种基于声传感器的载人航天器撞击及泄漏定位方法。通过声传感器感知航天器舱体撞击及泄漏所产生的声信号,利用门限电平法和互相关强度谱法实现对撞击及泄漏点的准确定位。结果... 针对载人航天器舱体撞击及泄漏点难以准确定位的问题,提出一种基于声传感器的载人航天器撞击及泄漏定位方法。通过声传感器感知航天器舱体撞击及泄漏所产生的声信号,利用门限电平法和互相关强度谱法实现对撞击及泄漏点的准确定位。结果表明:该方法可准确判断1×10^(-3) kg·m/s的碎片撞击和直径1 mm以上漏孔泄漏,撞击定位误差≤2.16 cm,泄漏定位误差≤4.23 cm,并通过我国首次在轨泄漏撞击定位试验成功验证。 展开更多
关键词 声传感器 载人航天器 泄漏定位 撞击定位
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用于空间电推进系统真空环境模拟的氙泵和氪泵
11
作者 赵月帅 龚洁 +3 位作者 周盈 邵容平 汪志伟 李征 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期308-316,共9页
以Xe/Kr等惰性气体为推进工质的电推进技术在越来越多的航天器中得到应用,这些推进系统必须在地面试验设备中进行试验验证。在这些测试设备中,采用专用的氙泵/氪泵相较于常规真空获得设备具有抽速大、极限真空度高等优势。文章通过理论... 以Xe/Kr等惰性气体为推进工质的电推进技术在越来越多的航天器中得到应用,这些推进系统必须在地面试验设备中进行试验验证。在这些测试设备中,采用专用的氙泵/氪泵相较于常规真空获得设备具有抽速大、极限真空度高等优势。文章通过理论分析及CFD数值仿真的方式对氙泵及氪泵的抽速、热负荷、降温过程进行了研究,讨论了冷板的形状、材料、氙/氪冰的成长等对真空泵性能的影响。同时,建立了测试系统对氙泵/氪泵的抽速进行了测试,理论计算抽速和实测抽速的结果,计算误差低于5%。 展开更多
关键词 低温抽气 电推进 氙泵 氪泵
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连续流下挡板阀流导的数值模拟研究
12
作者 王涛 王宇钢 +3 位作者 王林 池春光 陆宗浩 赵华通 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第11期964-974,共11页
挡板阀的流导求解一般采用近似等效计算方法或稳态数值模拟方法,其求解结果准确性和适用性有待提升。文章基于RANS和NS方程,构建了包含真空室、规则管道和挡板阀的动态流导测定模型,采用Fluent瞬态求解器模拟了连续流气体的低真空抽气... 挡板阀的流导求解一般采用近似等效计算方法或稳态数值模拟方法,其求解结果准确性和适用性有待提升。文章基于RANS和NS方程,构建了包含真空室、规则管道和挡板阀的动态流导测定模型,采用Fluent瞬态求解器模拟了连续流气体的低真空抽气过程。通过监测挡板阀进出口的压力和流率,求解挡板阀在不同压力下的流导值,并采用最小二乘法拟合得到挡板阀的流导计算公式。模拟方法的验证实验表明,模拟所得流导值与理论值吻合良好,验证了该方法的准确性和适用性。将挡板阀流导计算公式应用于抽气预测曲线的计算中,对比抽气预测曲线与抽气实验曲线发现,抽气结束时间的预测值与实际值的相对误差为4.76%,表明得到的挡板阀流导计算公式具有实用性和可靠性。研究可为低真空抽气过程中的异型管路元件流导计算提供方法上的参考。 展开更多
关键词 流导 连续流 挡板阀 数值模拟
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面向空间应用的铱-氧化钇灯丝研制
13
作者 李志伟 李洋 +3 位作者 张光华 毛舒宇 郭等柱 魏贤龙 《真空与低温》 2025年第3期360-364,共5页
真空电子器件在空间应用中具有关键作用,其核心电子源需满足高发射电流、抗振动冲击、抗热冲击及长寿命等严苛要求。现有热发射灯丝中,铱-氧化钇灯丝抗氧化性强,但发射性能有限。面向空间应用设计了螺旋形铱-氧化钇灯丝,显著提升了发射... 真空电子器件在空间应用中具有关键作用,其核心电子源需满足高发射电流、抗振动冲击、抗热冲击及长寿命等严苛要求。现有热发射灯丝中,铱-氧化钇灯丝抗氧化性强,但发射性能有限。面向空间应用设计了螺旋形铱-氧化钇灯丝,显著提升了发射性能,单个灯丝的发射电流超200 mA。同时,为灯丝引入了绝缘支撑结构,显著增强了抗振性能和连续工作能力。所制备的螺旋灯丝通过了鉴定级测试,并可以连续工作2300 h以上。研究表明了铱-氧化钇灯丝的卓越性能,拓展了其在航天领域的应用前景。 展开更多
关键词 热电子发射 热阴极 氧化钇 空间应用 商业航天
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罗茨真空泵转子型线容积利用率的分析研究
14
作者 李正清 李小金 +4 位作者 成永军 孙雯君 杨建斌 刘筱文 马凤英 《真空》 2025年第3期42-46,共5页
容积利用率是罗茨泵转子型线设计的重要内容之一。为了选取合理的转子参数及型线,使其在相同的几何抽速条件下具有长度短、体积小的优势,对容积利用率与可变参数及型线种类之间的关系进行了分析研究。结果表明:单变量转子型线的容积利... 容积利用率是罗茨泵转子型线设计的重要内容之一。为了选取合理的转子参数及型线,使其在相同的几何抽速条件下具有长度短、体积小的优势,对容积利用率与可变参数及型线种类之间的关系进行了分析研究。结果表明:单变量转子型线的容积利用率为常数;双变量和三变量转子型线的容积利用率均随着转子顶圆半径和节圆半径比值的增加而增加;顶圆半径与节圆半径之比能够取较大值时,可选用优化摆线和圆弧线转子型线,若取值较小时则优先选用渐开线转子型线;对于三变量型线,顶部椭圆转子型线容积利用率高于腰部椭圆转子型线,且椭圆偏心率对容积利用率也有影响;在给定几何抽速条件下,可设计选用较大的转子半径来减小转子的长度及容积。 展开更多
关键词 罗茨真空泵 转子型线 容积利用率 顶圆半径 节圆半径
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空间电推进技术概览——经典电推进
15
作者 张天平 贾艳辉 +1 位作者 陈娟娟 张雪儿 《真空与低温》 2025年第5期651-665,共15页
在一百多年的发展历程中,种类繁多的各种空间电推进技术不断涌现。为了更好地展现空间电推进技术发展全貌,基于历届国际电推进会议(IEPC)论文及其他相关文献,全面梳理了迄今为止出现的各种空间电推进技术,按照经典电推进、演化电推进、... 在一百多年的发展历程中,种类繁多的各种空间电推进技术不断涌现。为了更好地展现空间电推进技术发展全貌,基于历届国际电推进会议(IEPC)论文及其他相关文献,全面梳理了迄今为止出现的各种空间电推进技术,按照经典电推进、演化电推进、新型电推进和非传统电推进等四种类别,分别从工作原理、历史渊源和发展现状等方面对88种电推进技术进行了简要介绍,包括经典电推进12种,演化电推进40种,新型电推进26种,非传统电推进10种。 展开更多
关键词 空间电推进 技术概览 经典电推进 新型电推进 演化电推进 非传统电推进
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基于分子动力学模拟真空成膜过程辅助实验教学
16
作者 杨亮 霍纯青 +2 位作者 涂进春 张盛 王小红 《教育进展》 2025年第10期1410-1417,共8页
真空镀膜实验因其操作复杂、知识量大及应用面广在材料类实验项目中占据重要地位,探索不同教学手段和教学方法以提高教学质量成为实验指导教师的教学任务之一。本文以分子动力学方法为工具,以金属铝、金及镍为研究对象对成膜过程及膜生... 真空镀膜实验因其操作复杂、知识量大及应用面广在材料类实验项目中占据重要地位,探索不同教学手段和教学方法以提高教学质量成为实验指导教师的教学任务之一。本文以分子动力学方法为工具,以金属铝、金及镍为研究对象对成膜过程及膜生长模式进行了仿真,直观展现了岛状生长、层状生长及岛状–层状生长三种膜生长模式。通过这种方法,学生可以直观观察到膜生长的微观演化过程及生长模式,提高科学素养,培养解决问题的能力。同时,该仿真方法有利于提高实验教学质量和探索基于分子动力学算法的虚实结合实验教学模式。 展开更多
关键词 真空镀膜 分子动力学 生长模式 虚拟仿真 实验教学
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溅射镀膜单体机真空室气压的滑模控制策略设计
17
作者 胡明 许泽宇 +4 位作者 来华杭 赵德明 高兴文 高云 吴梅 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第10期868-880,共13页
针对溅射镀膜单体机工艺过程中真空室气压控制的非线性、时滞及参数时变等问题,提出一种自适应模糊滑模控制策略。通过建立真空系统的一阶惯性加纯滞后模型,采用遗忘因子递推最小二乘法辨识参数,得到气压控制的传递函数。设计积分滑模... 针对溅射镀膜单体机工艺过程中真空室气压控制的非线性、时滞及参数时变等问题,提出一种自适应模糊滑模控制策略。通过建立真空系统的一阶惯性加纯滞后模型,采用遗忘因子递推最小二乘法辨识参数,得到气压控制的传递函数。设计积分滑模面与模糊逻辑补偿机制,构建自适应模糊滑模控制器,补偿真空系统的非线性特性并抑制外部扰动。经仿真与试验验证可知,所设计的控制器在0.1 Pa~10 Pa压力范围内的响应速度相较于常规滑模控制器提升35.7%,稳态气压超调量降低62.5%,有效提升溅射镀膜单体机镀膜过程中的气压控制精度与鲁棒性。 展开更多
关键词 非线性 一阶时延对象 真空气压控制 自适应模糊滑模控制
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制冷剂直凝地板辐射供暖空气源热泵试验研究
18
作者 牛建会 吕天舒 +2 位作者 王海超 李永亮 卜跃刚 《流体机械》 北大核心 2025年第5期15-21,55,共8页
针对建筑能耗大、居民舒适性要求提高的现状,设计一种直凝毛细管地板辐射供暖末端,并在环境控制室搭建制冷剂直凝地板辐射供暖空气源热泵系统,研究不同室外温度下直凝毛细管地板辐射供暖末端温度特性及热泵制热性能变化,并与光管毛细管... 针对建筑能耗大、居民舒适性要求提高的现状,设计一种直凝毛细管地板辐射供暖末端,并在环境控制室搭建制冷剂直凝地板辐射供暖空气源热泵系统,研究不同室外温度下直凝毛细管地板辐射供暖末端温度特性及热泵制热性能变化,并与光管毛细管辐射末端性能进行对比分析。结果表明,不同室外温度下,光管毛细管壁升温速率高于水泥层下毛细管壁升温速率,水泥地板表面温度稳定时间滞后于其下毛细管壁温稳定时间;当室外温度为0℃时,光管毛细管壁排气段与过冷段之间温差仅为1.6℃,而水泥地板表面两者温差则为4.4℃;当室外温度为-10℃时,敷设水泥层后的毛细管地板供暖系统制热量与制热COP分别达到1.67 kW和4.20,比光管毛细管末端系统分别下降21.6%和13.9%。研究结果可为毛细管地板辐射供暖系统的设计与应用提供参考。 展开更多
关键词 空气源热泵 制冷剂直凝 地板辐射 制热性能
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有机/无机叠层高阻隔膜性能研究
19
作者 董茂进 王毅 +3 位作者 秦丽丽 冯尔鹏 韩仙虎 李中华 《真空与低温》 2025年第1期18-22,共5页
柔性电子封装用阻隔膜需具备水氧高阻隔性、光学高透明性,膜层结合牢固等特性。采用有机/无机叠层技术开发高阻隔膜,通过PECVD制备无机SiO_(x)C_(y)H_(z)膜层,真空蒸发制备丙烯酸酯有机膜层。对有机膜层、无机膜层及叠层的膜厚、膜层表... 柔性电子封装用阻隔膜需具备水氧高阻隔性、光学高透明性,膜层结合牢固等特性。采用有机/无机叠层技术开发高阻隔膜,通过PECVD制备无机SiO_(x)C_(y)H_(z)膜层,真空蒸发制备丙烯酸酯有机膜层。对有机膜层、无机膜层及叠层的膜厚、膜层表面形貌、光谱进行测试,同时对阻隔膜层的阻隔性展开测试,并针对叠层应力性能进行研究。所制备的结构为“PET/无机层/有机层/无机层”的叠层膜透水率达到0.03 g/(m^(2)·d),透光率89.2%,得到高透光率、高阻隔性柔性薄膜材料。并分别测试了叠层结构中有机膜层、无机膜层的应力,通过有机层/无机层厚度匹配,抑制单层薄膜的高应力,制备了应力耦合的叠层阻隔膜。 展开更多
关键词 阻隔膜 叠层 光谱 应力
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基于光学方法的真空计量技术研究进展
20
作者 成永军 董猛 +3 位作者 孙雯君 贾文杰 张亚飞 冯村 《宇航计测技术》 2025年第4期1-11,共11页
国际单位制(SI)的重新定义促进真空计量体系向量子化转变,基于光学方法的真空计量技术在量限拓展及精度提升方面具有独特优势,空间探测、超精密测量与高端装备制造等高新技术领域对全新跨代真空计量新技术有广泛需求。本研究介绍了基于... 国际单位制(SI)的重新定义促进真空计量体系向量子化转变,基于光学方法的真空计量技术在量限拓展及精度提升方面具有独特优势,空间探测、超精密测量与高端装备制造等高新技术领域对全新跨代真空计量新技术有广泛需求。本研究介绍了基于光学方法测量真空参数的基本原理,系统综述了国内外基于量子理论及光学方法反演真空参数的最新研究进展,总结了目前存在的主要问题,展望了量子真空计量技术的未来发展前景。 展开更多
关键词 真空测量 量子计量 量子真空测量传感器
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