离子型柔性压力传感器研究进展

1

作者 杨伟平 王润 +1 位作者 周丽娟 梁敬业 《化工新型材料》 北大核心 2025年第3期8-12,共5页

传统的刚性传感器由于难以集成到柔性电子器件中且不能适应复杂变形环境等问题,应用受到严重限制,制备基于人类自然感知能力的柔性压力传感器是解决上述问题的有效途径之一。概述了压阻式、电容式、压电式柔性压力传感器的工作机理,从... 传统的刚性传感器由于难以集成到柔性电子器件中且不能适应复杂变形环境等问题,应用受到严重限制,制备基于人类自然感知能力的柔性压力传感器是解决上述问题的有效途径之一。概述了压阻式、电容式、压电式柔性压力传感器的工作机理,从传感层所使用的离子活性材料和微结构设计的角度重点介绍了离子型柔性压力传感器的研究现状,综述了离子型柔性压力传感器在电子皮肤、医疗健康、运动检测等方面的应用。 展开更多

关键词 离子型 离子凝胶 柔性传感器 压力传感器 可穿戴电子设备

原文传递

宽线性柔性压阻式压力传感器的研究进展

2

作者 赵雨健 孙萍 +2 位作者 缪璐蔚 王彦博 王煜 《复合材料学报》 北大核心 2025年第8期4283-4297,共15页

柔性压阻式压力传感器因其优异的性能、良好的柔韧性及在健康监测和电子皮肤等多个领域的广泛应用前景而受到广泛关注。然而,现有的柔性压阻式压力传感器在宽压力范围内往往面临灵敏度降低和线性度不足的问题。本文综述了柔性压阻式压... 柔性压阻式压力传感器因其优异的性能、良好的柔韧性及在健康监测和电子皮肤等多个领域的广泛应用前景而受到广泛关注。然而,现有的柔性压阻式压力传感器在宽压力范围内往往面临灵敏度降低和线性度不足的问题。本文综述了柔性压阻式压力传感器在扩大线性范围方面的最新研究进展,重点探讨了通过分层多孔结构、分层微结构及材料协同作用等方法提升传感器性能的有效策略。基于这些方法的研究成果表明,优化传感器的结构设计和材料选择是提升其整体性能的关键。还对柔性压阻式压力传感器的未来发展趋势进行了展望,提出了多功能化、智能制造技术的应用及生物兼容性材料的开发等未来研究方向,以期为该领域的进一步发展提供理论支持。 展开更多

关键词 柔性压阻压力传感器 复合材料 宽线性范围 性能优化 应用

原文传递

压阻式压力传感器硅电阻条浅槽刻蚀的研究 被引量：1

3

作者 王天靖 梁庭 +2 位作者 雷程 王婧 冀鹏飞 《舰船电子工程》 2024年第4期199-202,共4页

MEMS压阻式压力传感器的电阻条刻蚀效果对传感器的性能及高温环境下工作寿命起着至关重要的作用。采用SPTS深硅刻蚀机以SF6为刻蚀气体,C4F8为保护气体进行刻蚀实验。通过改变刻蚀气体通入时长、保护气体通入时长以及射频功率进行参数匹... MEMS压阻式压力传感器的电阻条刻蚀效果对传感器的性能及高温环境下工作寿命起着至关重要的作用。采用SPTS深硅刻蚀机以SF6为刻蚀气体,C4F8为保护气体进行刻蚀实验。通过改变刻蚀气体通入时长、保护气体通入时长以及射频功率进行参数匹配,根据台阶仪和SEM电镜的观察数据对刻蚀效果进行评估,最终确定了刻蚀气体流量25 sccm,刻蚀气体通入的时长为2.5 s;保护气体流量50 sccm,保护气体的通入时长为2.5 s,射频功率为2 500 W的刻蚀条件。该条件下刻蚀速率为1.54μm/loop。刻蚀均匀性为2.9%. 展开更多

关键词 压力传感器 电阻条 深硅刻蚀 刻蚀 刻蚀速率 均匀性

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于非均匀分布微结构的柔性压力传感器性能调控

4

作者 颜黄苹 李远哲 +2 位作者 王子俊 周锐 尹靖博 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期241-251,共11页

[目的]为了适应柔性压力传感器面向特定应用的定制化设计需求,提出一种基于非均匀分布微结构的电容式柔性压力传感器,开展传感器性能调控研究.[方法]首先,基于敏感层微结构非均匀分布方式,提出一种灵敏度预测模型,并通过与实际测试结果... [目的]为了适应柔性压力传感器面向特定应用的定制化设计需求,提出一种基于非均匀分布微结构的电容式柔性压力传感器,开展传感器性能调控研究.[方法]首先,基于敏感层微结构非均匀分布方式,提出一种灵敏度预测模型,并通过与实际测试结果的对比分析,验证模型的正确性.其次,研究当介电层微结构为微圆台时,不同微圆台顶面半径、高度、底面半径等几何参数以及次级微结构对传感器灵敏度和线性范围的影响.最后,基于该调控方法制备了综合性能良好的多级非均匀微结构分布的柔性压力传感器,进行性能测试与应用测试.[结果]非均匀分布微结构柔性压力传感器的灵敏度与微结构的分布及几何参数密切相关.通过对微结构分布的调控可筛选出具有最优灵敏度的传感器,对敏感层微结构几何参数的调控可实现对柔性压力传感器性能的调控.[结论]该性能调控方法对面向特定应用的传感器定制化设计具有一定的指导价值. 展开更多

关键词 柔性压力传感器 非均匀分布 微结构 性能调控

在线阅读 下载PDF 职称材料

平行梁冲量式谷物质量流量传感器信号处理方法 被引量：26

5

作者 周俊 刘成良 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期183-187,共5页

冲量式谷物质量流量传感器是联合收割机测产系统的核心部件,但对振动干扰敏感。在传感器平行梁弹性元件结构优化设计基础上,给出了传感器输出信号的处理方法。设计了动态补偿器来改善传感器动态特性,以克服机械结构阻尼难以大幅度提高... 冲量式谷物质量流量传感器是联合收割机测产系统的核心部件,但对振动干扰敏感。在传感器平行梁弹性元件结构优化设计基础上,给出了传感器输出信号的处理方法。设计了动态补偿器来改善传感器动态特性,以克服机械结构阻尼难以大幅度提高弹性元件系统阻尼的问题;设计了自适应陷波滤波器,以消除工作环境中存在的非稳定低频振动干扰;给出了传感器零点动态修正方法,以减少农田地形变化对测量精度的影响。试验结果证明了各算法的有效性,其中大田测产误差小于10%。 展开更多

关键词 谷物质量流量传感器 信号处理 精准农业 联合收割机

在线阅读 下载PDF 职称材料

低温压力传感器的研制

6

作者 姚东媛 谢胜秋 王俊巍 《中小企业管理与科技》 2017年第24期179-180,183,共3页

介绍了低温绝压传感器的研制过程,采用钛合金-硅-蓝宝石、陶瓷密封组件、低温电缆、插针连接等,通过材料选择和结构设计及优化,提高传感器整体耐低温的能力和绝压腔密封可靠性。研制出量程为(0~500)kPa、精度不大于0.2%FS、热漂移不大于... 介绍了低温绝压传感器的研制过程,采用钛合金-硅-蓝宝石、陶瓷密封组件、低温电缆、插针连接等,通过材料选择和结构设计及优化,提高传感器整体耐低温的能力和绝压腔密封可靠性。研制出量程为(0~500)kPa、精度不大于0.2%FS、热漂移不大于0.03%FS/℃、工作温度范围为(-100~200)℃的低温压力传感器,可用于电离性、腐蚀性高低温介质压力的直接测量。 展开更多

关键词 硅-蓝宝石 低温 绝压 传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于传感器阵列的触觉图像识别技术的研究

7

作者 季进军 《机械》 2013年第10期67-71,共5页

传感器触觉识别技术是机器人研究领域的重要研究方向。引用X型硅压力传感器作为敏感元件,设计了基于触觉传感器阵列和计算机ISA总线的采样接口电路,提出了建立在模糊聚类原理基础上的图像统计特征识别技术,针对样本有限集图像进行识别... 传感器触觉识别技术是机器人研究领域的重要研究方向。引用X型硅压力传感器作为敏感元件,设计了基于触觉传感器阵列和计算机ISA总线的采样接口电路,提出了建立在模糊聚类原理基础上的图像统计特征识别技术,针对样本有限集图像进行识别取得了较好的实验结果。基于无监督学习进行聚类分析,引入改进的传递闭包方法求等价关系矩阵的思想,提供了一种简捷、快速的分类算法。 展开更多

关键词 传感器 阵列触觉 图像识别 聚类分析

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于MXene的柔性压力传感器制备及其表征 被引量：6

8

作者 叶天辰 段升顺 吴俊 《电子器件》 CAS 北大核心 2022年第3期509-514,共6页

柔性压力传感器在可穿戴电子设备、电子皮肤、人机交互等领域具有广泛的应用。我们以MXene修饰的聚氨酯海绵作为导电材料、微结构化设计的PET薄膜作为基础材料,设计并制备了一种基于MXene的柔性压阻式压力传感器。该传感器具有制造工艺... 柔性压力传感器在可穿戴电子设备、电子皮肤、人机交互等领域具有广泛的应用。我们以MXene修饰的聚氨酯海绵作为导电材料、微结构化设计的PET薄膜作为基础材料,设计并制备了一种基于MXene的柔性压阻式压力传感器。该传感器具有制造工艺简单、成本较低等优点。对传感器的压力传感性能和稳定性功能进行了表征,结果表明,该传感器灵敏度高(0.345 kPa^(-1),0~6 kPa;2.270 kPa^(-1),6 kPa~11 kPa)、动态响应时间快(380 ms),在连续的加载-卸载测试循环中保持良好的重复稳定性。我们还对传感器的压力感知功能进行了可视化验证。该传感器有望应用于可穿戴设备、柔性电路、电子皮肤等相关领域。 展开更多

关键词 压力传感器 柔性电子器件 MXene 聚氨酯海绵 可穿戴电子设备

在线阅读 下载PDF 职称材料

高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器的研究 被引量：5

9

作者 高颖 姜岩峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期839-848,共10页

针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路。根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳米硅薄膜压敏电... 针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路。根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳米硅薄膜压敏电阻的阻值大小和尺寸。采用ANSYS有限元分析(FEA)对所设计的传感器结构进行仿真,根据仿真结果确定了压敏电阻在膜片上的最佳放置位置。基于标准MEMS制造技术,在SOI基纳米硅薄膜上设计并实现了该压力传感器。实测结果表明,室温下,在0~40 kPa微压测量范围内所设计的传感器检测灵敏度可达0.45 mV/(kPa·V),非线性度达到0.108%F.S。在-40℃~125℃的工作温度范围内,温度稳定性好,零点温度漂移系数与灵敏度温度漂移系数分别为0.0047%F.S与0.089%F.S。所设计的压力传感器及其检测电路,在现代医疗、工业控制等领域具有较大的应用潜力。 展开更多

关键词 SOI基 纳米硅薄膜 微压阻式压力传感器 检测电路 有限元分析(FEA)

在线阅读 下载PDF 职称材料

新生儿无创正压呼吸机校准方法的研究 被引量：3

10

作者 林为国 《计量与测试技术》 2020年第9期53-55,58,共4页

针对无创呼吸机是否可以校准进行了探讨。对于新生儿无创正压呼吸机的工作原理和涉及的工作参数深入研究,进行实验,验证了制订《新生儿无创正压呼吸机校准规范》的可行性。

关键词 压力发生器 气体流量 气道压力 校准方法

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于绝缘体上硅的颅内压力传感器的设计与制作 被引量：2

11

作者 钟长志 王凌云 +2 位作者 卜振翔 刘路江 谷丹丹 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期517-524,共8页

基于当前医疗领域对颅内压(intracranial pressure,ICP)测量的迫切需要,设计并制造了一款量程为-10~50 kPa的绝缘体上硅(silicon-on-insulator,SOI)压阻式压力传感器.根据硅的压阻效应原理和小挠度变形理论,完成了传感器的整体结构设计... 基于当前医疗领域对颅内压(intracranial pressure,ICP)测量的迫切需要,设计并制造了一款量程为-10~50 kPa的绝缘体上硅(silicon-on-insulator,SOI)压阻式压力传感器.根据硅的压阻效应原理和小挠度变形理论,完成了传感器的整体结构设计,采用微电子机械系统(micro-electromechanical systems,MEMS)加工工艺完成了敏感芯片的制备,并结合柔性印刷电路板(flexible printed circuit,FPC)和生物柔性硅胶技术对芯片进行了放大补偿和封装.最后对其进行了压力疲劳循环测试,测试结果表明:FPC封装的压力传感器在常温环境下具有较低的非线性误差、迟滞性和重复性,经过放大后的输出灵敏度可以达到3.706 mV/kPa. 展开更多

关键词 压力传感器 颅内压(ICP) 微机电系统(MEMS) 压阻效应 柔性印刷电路板(FPC)

在线阅读 下载PDF 职称材料

高可靠红外光电水浸传感器研制 被引量：3

12

作者 何迎辉 谢明 +1 位作者 石慧杰 曹勇全 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期707-711,共5页

基于红外光电检测原理的水浸传感器灵敏度高,响应时间快,但环境自然光、水雾等干扰测试准确度。本文通过对光学探头材料与结构的优化设计,提高传感器测试精度,通过双层防护结构设计与恒温加热设计,避免自然光、凝露等环境因素对光电检... 基于红外光电检测原理的水浸传感器灵敏度高,响应时间快,但环境自然光、水雾等干扰测试准确度。本文通过对光学探头材料与结构的优化设计,提高传感器测试精度,通过双层防护结构设计与恒温加热设计,避免自然光、凝露等环境因素对光电检测的测试干扰,设计获得了高可靠的红外光电水浸传感器。 展开更多

关键词 红外光电检测 水浸传感器 光学探头

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于PVDF压力传感器的三维流速仪的流速模拟分析

13

作者 孔维伟 贾妍 卢娜 《新型工业化》 2021年第6期205-205,230,共2页

PVDF压力传感器能够以电信号的形式测出水流对其的撞击压力,结合动量定理和新型装置结构,可同时测出待测点在三维坐标下的流速,通过矢量合成,最终得出水流待测点处实际流速变化过程。本文利用Fluent软件模拟该新型流速仪在流场中的测速... PVDF压力传感器能够以电信号的形式测出水流对其的撞击压力,结合动量定理和新型装置结构,可同时测出待测点在三维坐标下的流速,通过矢量合成,最终得出水流待测点处实际流速变化过程。本文利用Fluent软件模拟该新型流速仪在流场中的测速结果,根据模拟结果显示:该装置迎水面的压力为正值,背水面的压力几乎为零,其他四个坐标方向的压力均为负值且大小相近,说明待测点迎水面的流速主要与外流场流速相同,但仍存在其他方向上的流速分量。 展开更多

关键词 Fluent流体仿真 PVDF压力传感器 三维流速 矢量合成

在线阅读 下载PDF 职称材料

计算机在推压力传感器计量检定中的应用 被引量：4

14

作者 林旋琴 《价值工程》 2014年第15期223-224,共2页

随着计算机技术的不断发展和进步,推压力传感器计量检定技术越来越广泛。传统的计量检定技术都存在着一定的缺陷,为了能够更好的去发展计量检定技术,就应该要充分的利用计算机技术。本文主要就是针对计算机技术在推压力传感器计量检定... 随着计算机技术的不断发展和进步,推压力传感器计量检定技术越来越广泛。传统的计量检定技术都存在着一定的缺陷,为了能够更好的去发展计量检定技术,就应该要充分的利用计算机技术。本文主要就是针对计算机技术在推压力传感器计量检定当中的应用进行了介绍。 展开更多

关键词 计算机技术 推压力传感器 计量检定 应用

在线阅读 下载PDF 职称材料

船舶柴油机维修决策研究 被引量：4

15

作者 苏六十 《内燃机与配件》 2021年第8期113-114,共2页

随着社会经济体制的全面改革,推动了我国各行业的发展。船运行业中船舶的稳定运行是提高船运效率和质量,保障船务企业发展的重要条件。因此,船务企业必须重视船舶柴油机维修工作,及时处理船舶柴油机问题能够提高船运效率,强化船舶服务质... 随着社会经济体制的全面改革,推动了我国各行业的发展。船运行业中船舶的稳定运行是提高船运效率和质量,保障船务企业发展的重要条件。因此,船务企业必须重视船舶柴油机维修工作,及时处理船舶柴油机问题能够提高船运效率,强化船舶服务质量,提高船运企业的市场竞争力。因此,准确的开展船舶柴油机维修决策至关重要。本文针对船舶柴油机维修决策进行研究,了解现阶段船舶柴油机维修管理发展趋势,明确船舶柴油机维修决策方法,促进我国船务企业的健康发展。 展开更多

关键词 船舶 柴油机维修 决策方法

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于Multisim的汽车进气压力传感器的仿真实现 被引量：2

16

作者 张淼 李纪红 陈影 《价值工程》 2018年第36期158-160,共3页

本文介绍了汽车进气压力传感器的组成,主要包括压力转换元件、集成电路两个部分,并对电路利用Multisim软件进行仿真调试,从而帮助我们更加直观的理解汽车进气压力传感器的组成和功能。

关键词 MULTISIM 压力转换元件 集成电路 仿真

在线阅读 下载PDF 职称材料

多参数监护仪进入静态压力测试模式方法总结 被引量：2

17

作者 夏德志 《计量与测试技术》 2021年第3期9-10,共2页

针对不同厂家型号的多参数监护仪进入静态压力测试模式的方法不同这一现实情况,对已实际检定过的多参数监护仪静态压力测试模式进入方法进行分类总结,供广大计量检定员参考,从而更好地开展多参数监护仪检定工作,为广大人民群众生命健康... 针对不同厂家型号的多参数监护仪进入静态压力测试模式的方法不同这一现实情况,对已实际检定过的多参数监护仪静态压力测试模式进入方法进行分类总结,供广大计量检定员参考,从而更好地开展多参数监护仪检定工作,为广大人民群众生命健康提供计量保障。 展开更多

关键词 多参数监护仪 静态压力 测试模式

在线阅读 下载PDF 职称材料

传感器密封联接装置设计

18

作者 李亚辉 《自动化应用》 2015年第4期84-85,共2页

针对传感器输出信号联接头与输出端连接不稳定,且市售L5(M5)母头与小尺寸传感器配合连接困难的问题,设计一种用于传感器的密封联接头,主要应用于信号输出方式为单线输出的传感器。

关键词 传感器 密封头 联接装置 紧密联接

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于集成式数字压力传感器的洗衣机水位检测方法 被引量：1

19

作者 朱小丽 周杰 高利敏 《家电科技》 2020年第3期80-83,共4页

在家用智能洗衣机设计中,洗衣机桶内水位高度检测的精度非常重要。水位是否精确直接影响到洗净比、能效、用户使用感受等方面。传统的水位传感器都是两线式或三线式,而且受到走线长短、温度、抗干扰性能的影响,检测精度仅能达到10%左右... 在家用智能洗衣机设计中,洗衣机桶内水位高度检测的精度非常重要。水位是否精确直接影响到洗净比、能效、用户使用感受等方面。传统的水位传感器都是两线式或三线式,而且受到走线长短、温度、抗干扰性能的影响,检测精度仅能达到10%左右,导致洗衣机判断水位高度上的误差较大,不利于洗衣机的智能化控制。介绍一种集成式数字压力传感器来作为水位检测,可大大提高水位检测精度,有效保证水位误差在可控范围内,保证了洗衣机的能效、洗净比及用户体验。 展开更多

关键词 自动控制 压力传感器 水位检测

在线阅读 下载PDF 职称材料

薄膜高压传感器焊接封装技术研究 被引量：1

20

作者 何迎辉 谢明 +1 位作者 李剑斌 张勇 《电子工业专用设备》 2020年第3期54-56,79,共4页

测量高温、高压、强振动等恶劣环境下的压力,薄膜压力传感器具有不可替代的优势。结合薄膜传感器特点,设计全焊接式一体化结构,应用先进的焊接方法与焊接工艺进行传感器结构封装,可获得长期恶劣环境下应用的高可靠薄膜高压传感器。

关键词 薄膜高压传感器 焊接 封装

在线阅读 下载PDF 职称材料