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V2O5 Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering: The Influence of Oxygen Content in Physical Properties 被引量:1
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作者 Dwight Acosta Argelia Perez Carlos Magana Francisco Hemaindez 《材料科学与工程(中英文A版)》 2016年第2期81-87,共7页
关键词 射频磁控溅射 沉积薄膜 物理特性 氧含量 V2O5薄膜 透射电子显微镜 电致变色性能 玻璃基板
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Comparison of Laser Performances of 5at.% Yb:Gd2xY2(1-x)SiO5 Crystals between Different Cutting Directions
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作者 于海波 梁晓燕 +7 位作者 何晋平 冷雨欣 李儒新 徐至展 郑丽和 赵广军 苏良碧 徐军 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2008年第7期2496-2499,共4页
We investigate the laser actions of 5at% Yb:Gd2xY2(1-x)SiO5 (Yb:GYSO; x = 0.1) crystals with different cutting directions, parallel and vertical to the growth axis. Our results show that the cutting direction of... We investigate the laser actions of 5at% Yb:Gd2xY2(1-x)SiO5 (Yb:GYSO; x = 0.1) crystals with different cutting directions, parallel and vertical to the growth axis. Our results show that the cutting direction of the sample plays an astonished role in the laser operation. The sample cut vertically to the growth axis possesses the favourable lasing characteristics. Its output power reaches 3.13 W at 1060nm with a slope efficiency of 44.68Yo when the absorbed pump power is 8.9 W. In contrast, the sample cut parallel reaches only 1.65 W at 1044 nm with a slope efficiency of 33.76% with absorbed pump power of 7.99 W. The absorption and emission spectra of the two samples are examined and the merit factor M is calculated. Our analysis is in agreement well with the experimental results. The wavelength tuning range of the superior sample covers from 1013.68 nm to 1084.82nm. 展开更多
关键词 the power-law exponents PRECIPITATION durative abrupt precipitation change
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Optical Transmittance and Band Gap of Ferroelectric BaTi2O5 Bulk Glass
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作者 Javed Ahmad Hidetoshi Minami +3 位作者 Sher Alam Jianding Yu Yasutomo Arai Hiromoto Uwe 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2008年第12期4421-4424,共4页
Optical transmittance and reflectance on ferroelectric BaTi2O5 glasses prepared recently by a containerless synthesis technique are measured at room temperature in the wavelength range 190-800nm. The fundamental absor... Optical transmittance and reflectance on ferroelectric BaTi2O5 glasses prepared recently by a containerless synthesis technique are measured at room temperature in the wavelength range 190-800nm. The fundamental absorption edge located around 340nm demonstrates the coloudess and transparent character of the glass. The optical band gap of 3.32eV has been estimated. The tail of the optical absorption near the fundamental absorption edge is found to follow the Urbach rule. Our analysis of the experimental spectra supports an indirect allowed interband transition between the valence band formed by O-2p orbitals and the conduction band formed by Ti-3d orbitals. 展开更多
关键词 field emission molybdenum dioxide enhancement factor
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Study of L-subshell X-ray Production Cross Sections of Ta by O5+ Bombardments
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作者 Zhang Boli Yang Zhihu +4 位作者 Du Shubin Chang Hongwei Song Zhangyong Xue Yingli Zhu Kexin 《近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版》 2008年第1期123-123,共1页
关键词 产生截面 原子能科学研究院 基因枪 大截面 X射线 壳层 串列加速器 法拉第杯
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磁驱动固体套筒实验模拟中的电流系数 被引量:1
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作者 阚明先 陈涵 +4 位作者 吴凤超 贾月松 张南川 傅贞 段书超 《高压物理学报》 CAS 北大核心 2025年第1期79-85,共7页
采用不可压缩理论模型,对FP-2装置上开展的磁驱动固体套筒实验进行了模拟分析。模拟结果表明,无论是二维磁流体力学理论模型,还是其他不可压缩理论模型,回流罩结构磁驱动固体套筒的边界磁感应强度公式中都包含一个小于1的套筒电流系数... 采用不可压缩理论模型,对FP-2装置上开展的磁驱动固体套筒实验进行了模拟分析。模拟结果表明,无论是二维磁流体力学理论模型,还是其他不可压缩理论模型,回流罩结构磁驱动固体套筒的边界磁感应强度公式中都包含一个小于1的套筒电流系数。对不同套筒厚度、不同套筒半径条件下磁驱动固体套筒实验的电流系数进行了模拟,发现电流系数不仅与套筒内半径有关,还与套筒厚度有关;套筒内半径越大,套筒电流系数越小;套筒厚度越大,套筒电流系数越小。准确掌握磁驱动固体套筒电流系数的变化规律,可使磁流体程序从磁驱动固体套筒实验的后验模拟发展为精确预测,使磁流体力学模型真正具备正确设计和指导磁驱动固体套筒相关实验的理论能力。 展开更多
关键词 磁驱动固体套筒实验 二维磁驱动数值模拟程序 磁流体力学 电流系数 回流罩结构
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露井联采台阶爆破对井下巷道振动的影响 被引量:1
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作者 徐杰 李祥龙 +3 位作者 王建国 胡涛 张彪 刘金保 《高压物理学报》 北大核心 2025年第5期85-102,共18页
在露井联采过程中,为了控制露天台阶爆破振动对井下邻近既有巷道衬砌的破坏,以拉拉铜矿露天转井下过渡开采阶段为背景,采用现场振动监测、理论计算、数值模拟方法,研究既有邻近巷道的动力响应规律。通过对监测数据进行回归分析,得出井... 在露井联采过程中,为了控制露天台阶爆破振动对井下邻近既有巷道衬砌的破坏,以拉拉铜矿露天转井下过渡开采阶段为背景,采用现场振动监测、理论计算、数值模拟方法,研究既有邻近巷道的动力响应规律。通过对监测数据进行回归分析,得出井下振动衰减规律,并对振动主频及瞬时能量进行了分析。采用LS-DYNA数值模拟软件,对露天台阶和井下巷道建立6种不同相对空间位置的模型,进而建立双孔延期爆炸模型,研究了爆破荷载作用下邻近井下既有巷道的动态响应规律。结果表明:露天台阶爆破过程中,爆源下方邻近既有巷道产生的最大振速主要出现在拱部和迎爆侧的边墙部;巷道与爆源的相对空间位置不同,峰值振速所在的方向和位置也不同;在巷道拱顶与炮孔底部竖直方向距离固定为10 m的情况下,巷道边墙与炮孔水平距离在15 m以内时,炸药起爆后巷道结构竖直方向振速较大,超过15 m后,巷道结构水平径向振速较大。通过拟合应力与振速之间的关系,利用巷道极限动态抗拉强度推导出振速阈值为19 cm/s。基于安全阈值调整爆破参数后,可以保证邻近既有巷道的安全。 展开更多
关键词 露井联采 露天台阶爆破 既有邻近巷道 振动响应 安全阈值
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无机闪烁体型探测器γ能谱稳谱方法研究 被引量:1
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作者 张璇 黄建微 +6 位作者 成建波 缪芸锺 李德红 杨智君 周强 陈尔东 拓飞 《核电子学与探测技术》 北大核心 2025年第7期970-979,共10页
无机闪烁体型探测器在实际测量工作中其γ能谱易受环境温度变化的影响而产生漂移,这给放射性核素的识别带来了困难;为校正γ能谱仪在不同温度下发生的能谱漂移,提出了一种基于算法而非改变硬件结构的相对峰位校正稳谱方法并进行了验证。... 无机闪烁体型探测器在实际测量工作中其γ能谱易受环境温度变化的影响而产生漂移,这给放射性核素的识别带来了困难;为校正γ能谱仪在不同温度下发生的能谱漂移,提出了一种基于算法而非改变硬件结构的相对峰位校正稳谱方法并进行了验证。在-20℃~50℃环境温度梯度变化条件下,对NaI(Tl)-光电倍增管、LaBr_(3)(Ce)-光电倍增管和La Br_(3)(Ce)-SiPM 3种典型类型的γ能谱仪基于^(137)Cs、^(152)Eu和^(133)Ba混合源能谱开展了测量实验,探究其全能峰峰位道址和能量分辨率随环境温度变化的规律。利用所提出的方法对-2℃、8℃、18℃、28℃和38℃等温度下各能量的能谱进行校正,将校正后的峰位道址与相应能量在20℃时的峰位道址进行比较,以评估该方法的有效性。在-20℃~50℃范围内,NaI(Tl)-光电倍增管和LaBr_(3)(Ce)-Si PMγ能谱仪的峰位道址随温度变化存在拐点(20℃和35℃),低于拐点温度时峰位道址随温度的升高而增加,高于拐点温度时随温度的升高而减少;而LaBr_(3)(Ce)-光电倍增管γ能谱仪的峰位道址一直随温度的增加而减小。以20℃为参考温度将各温度下的峰位道址进行归一,对于同一种γ能谱仪,各能量点之间的归一化结果基本一致,NaI(Tl)-光电倍增管、LaBr_(3)(Ce)-光电倍增管和La Br3(Ce)-Si PMγ能谱仪的最大漂移率分别为-25.7%、-10.5%和-7.0%,且均在-20℃处;能量分辨率在不同温度下无明显变化。利用归一化值与温度之间的关系对道址进行校正,采用四阶多项式拟合形式实现时,校正后NaI(Tl)-光电倍增管、LaBr_(3)(Ce)-光电倍增管和LaBr_(3)(Ce)-Si PMγ能谱仪峰位道址的最大相对偏差分别为3.39%、-0.79%和-1.67%;采用拉格朗日插值形式实现时,校正后峰位道址的最大相对偏差分别为3.31%、-0.86%和-1.65%。两种实现形式的效果无明显差异。该方法可解决无机闪烁体型探测器γ能谱的温度漂移问题,有效降低温度漂移对放射性核素准确识别的影响。 展开更多
关键词 无机闪烁体型探测器 温度漂移 能谱校正
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爆炸作用下全户内变电站装配式墙板动力响应的有限元分析 被引量:1
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作者 李林 刘勇 +3 位作者 魏珍中 马小敏 雷建银 李世强 《高压物理学报》 北大核心 2025年第6期75-86,共12页
蜂窝芯层具有轻质、比刚度高、比强度高和比吸能高等优点。将纤维混凝土板、蜂窝芯层、铝合金板组合设计一种新型变电站装配式墙板结构,对其进行爆炸冲击实验,研究不同炸药药量、蜂窝孔径下结构的动力学响应。基于实验建立相应的有限元... 蜂窝芯层具有轻质、比刚度高、比强度高和比吸能高等优点。将纤维混凝土板、蜂窝芯层、铝合金板组合设计一种新型变电站装配式墙板结构,对其进行爆炸冲击实验,研究不同炸药药量、蜂窝孔径下结构的动力学响应。基于实验建立相应的有限元模型,数值模拟结果与实验吻合较好。通过改变炸药量和蜂窝芯层配置,详细分析了结构变形失效演化过程、后面板中点挠度、能量分配特性。结果表明:结构主要呈现前面板凹陷、后面板凸起的变形模式;纤维水泥前面板边界处发生了剪切破坏,同时蜂窝芯层被压缩,导致整体变形,随后前面板与蜂窝芯层分离,后面板中心处以及对角线处出现裂纹,并且随着结构继续响应,裂纹不断扩展,芯层压缩量也同时增加。减小蜂窝芯层孔径能够有效降低后面板的挠度。装药距离为300 mm,药量为300、500和700 g时,小孔径蜂窝结构后面板中点的挠度相较于大孔径蜂窝结构分别降低了18.5%、17.1%和18.1%,小孔径蜂窝结构的吸能比大孔径蜂窝结构分别增大了7.8%、6.7%和2.2%,小孔径蜂窝结构具有较好的抗冲击性能。爆炸载荷下,纤维混凝土前面板的吸收能量最大,占50%以上;蜂窝芯层的能量吸收次之,占比为45%左右;纤维混凝土后面板的吸能较少,在5%以内。 展开更多
关键词 爆炸载荷 装配式墙板结构 纤维混凝土板 力学响应 动力响应
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爆炸作用下全户内变电站装配式墙板的动力响应实验研究 被引量:1
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作者 李林 刘勇 +3 位作者 魏珍中 马小敏 雷建银 李世强 《高压物理学报》 北大核心 2025年第4期16-27,共12页
利用纤维水泥板、蜂窝铝板和铝合金板组合设计了一种新型的变电站装配式墙板结构,通过实验研究了该结构在爆炸载荷下的动力响应特性。考察了不同炸药量、不同装药距离时的超压载荷特征,分析了蜂窝孔径等参数对结构变形失效模式、背爆面... 利用纤维水泥板、蜂窝铝板和铝合金板组合设计了一种新型的变电站装配式墙板结构,通过实验研究了该结构在爆炸载荷下的动力响应特性。考察了不同炸药量、不同装药距离时的超压载荷特征,分析了蜂窝孔径等参数对结构变形失效模式、背爆面挠度及应变、芯层压缩量、纤维水泥板裂纹分布的影响。结果表明:在有限空间内,爆炸超压的时间特征与在无限空间中类似,中心独立测量的超压峰值和正压持续时间分别为边缘直接测量的2.4~10.0倍和0.44~0.71倍;结构主要呈现前面板凹陷、后面板凸起的变形模式;迎爆面纤维水泥板水平裂纹多分布于长边边界处,背爆面裂纹多分布于中心和对角线附近;与较小孔径的蜂窝结构相比,具有较大孔径的蜂窝结构的背爆面残余挠度较大,纤维水泥板裂纹总长度较长。因此,小孔径蜂窝板具有较好的抗冲击性能。 展开更多
关键词 装配式墙板 蜂窝夹芯板 纤维水泥板 爆炸 动力响应
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液相冲击波破岩等离子体通道生长发展机理及敏感性探索 被引量:1
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作者 祝效华 唐无忌 +1 位作者 刘伟吉 罗云旭 《天然气工业》 北大核心 2025年第1期14-24,共11页
地球深层、超深层油气资源丰富,但深部地层具有岩性致密、硬度高、研磨性强等特点,采用传统旋转钻井方式成本高、效率低,亟需探索针对深层、超深层硬地层的新型破岩技术。液相放电冲击波破岩技术因其高效、绿色、能量可控等特点受到广... 地球深层、超深层油气资源丰富,但深部地层具有岩性致密、硬度高、研磨性强等特点,采用传统旋转钻井方式成本高、效率低,亟需探索针对深层、超深层硬地层的新型破岩技术。液相放电冲击波破岩技术因其高效、绿色、能量可控等特点受到广泛关注,为研究液相放电等离子体通道生长发展机理与液相放电等离子体通道的参数敏感性,基于电流场、传热场以及带电粒子碰撞扩散方程建立了二维液相的“针—针对排型”放电模型,分析了不同放电参数(加载电压、电极尖端形状、电极间距、电极夹角等)下等离子体通道内能量密度及局部电场强度等参数变化规律。研究结果表明:(1)加载电压、电极尖端形状以及电极间距是等离子体通道内能量密度大小的主要影响因素,其最佳放电电压为140~180 kV;(2)椭圆形放电电极形成的等离子体放电通道具有“区域宽、数值高”等特征,具备高电能密度的同时,减小了对电极头的损伤,可作为优选电极类型;(3)电极间距应在满足最小击穿场强的前提下,尽可能增大电极间距;(4)电极夹角对液相放电过程产生的直接影响微乎其微,但电极夹角的改变会影响等离子体通道在水中的形成位置。结论认为,该研究结果为液电破岩装置的研制和参数优化提供了重要参考,为未来液相冲击波技术在油气工程领域的探索与应用提供了理论支撑。 展开更多
关键词 液相放电 等离子体通道 液相冲击波 能量密度 局部电场 电击穿 参数敏感性分析
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基于知识图谱的“大学物理”AI课程建设与实践 被引量:2
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作者 张红光 李永涛 +5 位作者 杨志红 陈伟 毕岚 董慧媛 王允辉 单俊豪 《大学物理》 2025年第5期41-47,75,共8页
当前,人工智能(AI)正深刻变革教育.我校“大学物理”团队在智慧树平台创新推出知识图谱驱动的AI课程,构建“师/生/机”互动新教学模式.本文概述师-机-生协同教学体系的设计理念、AI课程的建设、实施、成效及反思情况.从实践效果看,基于... 当前,人工智能(AI)正深刻变革教育.我校“大学物理”团队在智慧树平台创新推出知识图谱驱动的AI课程,构建“师/生/机”互动新教学模式.本文概述师-机-生协同教学体系的设计理念、AI课程的建设、实施、成效及反思情况.从实践效果看,基于知识图谱的学习者画像及自适应学习为学生提供个性化的学习能够有效提高自主学习性和学习成绩,为理工科基础课AI课程建设提供了经验参考. 展开更多
关键词 人工智能 大学物理 知识图谱
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基于经典分子动力学模拟的热中子散射数据产生方法 被引量:2
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作者 王立鹏 孔令体 +4 位作者 姜夺玉 胡田亮 曹璐 黄海龙 李达 《现代应用物理》 2025年第2期52-61,共10页
为解决慢化剂材料中子学的精确模拟所需高可靠的热中子散射数据产生问题,以最简单的Al晶体为例,利用基于经典分子动力学模拟的时间关联函数方法来研究慢化剂材料的热中子散射截面变化规律,分析辐照可能引起的级联损伤行为(空位、置换原... 为解决慢化剂材料中子学的精确模拟所需高可靠的热中子散射数据产生问题,以最简单的Al晶体为例,利用基于经典分子动力学模拟的时间关联函数方法来研究慢化剂材料的热中子散射截面变化规律,分析辐照可能引起的级联损伤行为(空位、置换原子、间隙原子)对声子态密度和截面的影响,提出一种温度相关声子态密度的热中子散射数据产生方法,弥补第一性原理晶格动力学难以考虑声子振动温度效应的缺陷,可为高精度热中子散射数据的制备提供参考。 展开更多
关键词 经典分子动力学 辐照损伤 声子态密度 热中子散射 截面
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实现室温超导的可行性路径探讨 被引量:1
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作者 罗会仟 《物理》 北大核心 2025年第4期223-236,共14页
室温超导作为物理学皇冠上的明珠之一,吸引了众多科学家的持续关注和不懈努力。近年来,关于室温超导的报道既屡见不鲜亦充满争议,反映了人们对实现室温超导的热切期待。文章介绍了超导现象的基本特征、判定方法和典型材料,总结了“室温... 室温超导作为物理学皇冠上的明珠之一,吸引了众多科学家的持续关注和不懈努力。近年来,关于室温超导的报道既屡见不鲜亦充满争议,反映了人们对实现室温超导的热切期待。文章介绍了超导现象的基本特征、判定方法和典型材料,总结了“室温超导”相关的多起乌龙事件背后的经验教训。作者依据个人经验,提出了实现室温超导的10条可行性科学路径;最后表达了对室温超导的一些理性思考。作者认为,随着各类超导材料的不断涌现,室温超导的时代必将加速到来。但面对室温超导要保持谨慎乐观的态度,认真审视每一个科学判据,发掘可能的实用化价值,实现科学意义上的重大突破。 展开更多
关键词 室温超导 超导电性 超导材料 高温超导体
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中国原子能科学研究院辐射效应研究发展现状与展望
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作者 郭刚 袁大庆 +19 位作者 隋丽 韩金华 马海亮 汪越 张艳文 范平 陈启明 张乔丽 张付强 朱升云 孔福全 刘建成 张峥 王巧娟 沈东军 殷倩 何安林 孙浩瀚 惠宁 刘翠翠 《原子能科学技术》 北大核心 2025年第9期1822-1837,共16页
面向航天、核工业、医疗、农业等诸多领域对辐射效应研究的需求,中国原子能科学研究院依托HI-13串列加速器、100 MeV质子回旋加速器、多粒子可变能量回旋加速器等大型科研设施建立了一系列应用于电子器件辐射效应、核能系统材料辐照效... 面向航天、核工业、医疗、农业等诸多领域对辐射效应研究的需求,中国原子能科学研究院依托HI-13串列加速器、100 MeV质子回旋加速器、多粒子可变能量回旋加速器等大型科研设施建立了一系列应用于电子器件辐射效应、核能系统材料辐照效应和辐射生物效应的模拟试验装置,并基于这些装置开展了大量辐射效应研究,取得了一批优秀研究成果,为国内相关领域的发展做出了重要贡献。本文对此进行了系统介绍,并对中国原子能科学研究院未来的辐射效应模拟试验装置及重点研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 电子器件 核能系统材料 生物 辐射效应 重离子 质子 中子
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人工智能在等离子体辅助能源转化的应用
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作者 邵涛 曾鑫 +12 位作者 张帅 章程 张远涛 艾飞 李文凯 赵正 刘大伟 白瑞航 卢新培 仲林林 王逸凡 任和 吕建骅 《高电压技术》 北大核心 2025年第8期4313-4332,共20页
等离子体能源转化是实现可再生能源制备化学品的重要途径,是减少化石燃料消耗从而实现净零碳排放的重要手段。然而,等离子体能源转化目前面临可调控参数优化困难、参量获取复杂和反应机理不明的问题,需要建立新方法实现实验、诊断和仿真... 等离子体能源转化是实现可再生能源制备化学品的重要途径,是减少化石燃料消耗从而实现净零碳排放的重要手段。然而,等离子体能源转化目前面临可调控参数优化困难、参量获取复杂和反应机理不明的问题,需要建立新方法实现实验、诊断和仿真3方面对等离子体能源转化的全面分析。随着人工智能在近年来的快速发展,人工神经网络方法在等离子体能源转化上的研究逐渐受到重视。人工智能方法从数据驱动和物理驱动2个方面协助对等离子体能源转化中操作参数优化、等离子体参数获取和机理分析。为此从转化特性预测与操作参数优化、诊断与等离子体参数获取、仿真与机理分析和新范式4个方面介绍人工智能方法在等离子体能源转化中的应用。目前的研究表明在等离子体的多尺度复杂系统建模方面展现出了强大的潜力,有助于求解高度非线性、多物理场交互的复杂动力学过程。这为等离子体能源转化技术向更智能、更高效和更可持续的方向发展提供新方法。 展开更多
关键词 等离子体 人工智能 能源转化 神经网络 大语言模型 可再生能源
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蒙特卡罗粒子输运方法及应用研究
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作者 邓力 李刚 +8 位作者 张宝印 李瑞 张玲玉 付元光 刘鹏 马彦 史敦福 王鑫 秦桂明 《核动力工程》 北大核心 2025年第3期1-17,共17页
蒙特卡罗(MC)粒子输运方法应用概率论随机理论与数理统计知识开发相应程序,并借助计算机工具帮助核领域解决各种粒子输运物理问题。经过70多年的发展,MC粒子输运方法理论和算法已经逐步成熟,先后诞生了多代多个程序软件,在核辐射屏蔽、... 蒙特卡罗(MC)粒子输运方法应用概率论随机理论与数理统计知识开发相应程序,并借助计算机工具帮助核领域解决各种粒子输运物理问题。经过70多年的发展,MC粒子输运方法理论和算法已经逐步成熟,先后诞生了多代多个程序软件,在核辐射屏蔽、核反应堆堆芯临界安全分析、核探测及核医学等传统领域广泛应用。本文从MC粒子输运的理论基础介绍开始,给出了MC方法求解积分形式中子输运方程的中子通量密度公式,以及中子通量密度响应量的计算方法,同时概述了求解输运方程的确定论方法分类,介绍了MC粒子输运方法发展历程和计算应用经历的阶段,以及国内外重要的MC粒子输运分析软件,还有近期国际上采用图形处理单元(GPU)技术发展MC粒子输运软件的方向和进展。同时对自主研制的MC粒子输运软件JMCT的功能和特色进行系统性介绍。 展开更多
关键词 蒙特卡罗(MC)方法 粒子输运 并行计算 JMCT 人工智能
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气体放电与等离子体在芯片制造领域中的应用
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作者 付洋洋 王新新 +11 位作者 邹晓兵 韩星 陈佳毅 张东荷雨 陈健东 林楚彬 杨栋 贾鸿宇 王倩 郑博聪 赵凯 肖舒 《高电压技术》 北大核心 2025年第8期4458-4477,共20页
放电等离子体广泛应用于半导体芯片制造,包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、等离子体清洗等,其技术总成占据集成电路产业份额1/3以上,已发展成为芯片制造工艺与装备领域的关键核心技术。该文对气体放电与等离子体在芯片制造领域的典... 放电等离子体广泛应用于半导体芯片制造,包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、等离子体清洗等,其技术总成占据集成电路产业份额1/3以上,已发展成为芯片制造工艺与装备领域的关键核心技术。该文对气体放电与等离子体在芯片制造领域的典型应用进行了概述。首先,针对光刻光源系统,介绍了气体放电泵浦准分子激光、激光产生等离子体辐射极紫外光的基本原理,其本质都是利用等离子体产生的光辐射;其次,针对刻蚀用射频等离子体,介绍了低气压射频放电的产生、特性、调控及相关工艺技术;再次,对薄膜工艺、离子注入装备原理及相关放电等离子体技术原理进行了介绍与讨论;随后,在量测与检测方面,分别介绍了光学检测与电子束检测的特点,阐述了激光维持等离子体实现宽谱强辐射光源的基本原理与特性;最后,介绍了基于辉光放电的等离子体清洗技术,以及其在去除刻蚀残留物中的应用。通过总结梳理气体放电与等离子体在半导体制造领域中的应用及相关核心技术,明晰放电等离子体科学基础研究方向,助力解决半导体装备国产化过程中的等离子体技术瓶颈。 展开更多
关键词 气体放电 等离子体 芯片制造 气体激光 等离子体辐射 射频放电 等离子体刻蚀 激光维持等离子体 辉光放电清洗
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