为了解决在超精密光学系统中对高反射薄膜损耗的要求越来越低的问题,提出了一种通过镀制一层或多层薄膜来调控场强探索降低散射损耗的方法。首先研究了利用TFCalc光学薄膜分析软件,以K9玻璃为基底与金属Al分别构建了G/Al/A、G/AlLH/A、G...为了解决在超精密光学系统中对高反射薄膜损耗的要求越来越低的问题,提出了一种通过镀制一层或多层薄膜来调控场强探索降低散射损耗的方法。首先研究了利用TFCalc光学薄膜分析软件,以K9玻璃为基底与金属Al分别构建了G/Al/A、G/AlLH/A、G/AlLHLH/A(高、低折射率材料为TiO_(2)和SiO_(2))三种Al高反射膜,分别对其反射率以及场强进行分析。其次分别建立以完全相关及完全非相关这两种条件下的界面粗糙度散射模型,仿真分析三个膜系进而得到薄膜表面三种膜系的双向反射分布函数(Bidirectional Reflectance Distribution Function,BRDF)与散射角之间为先增大后减小的关系。结果表明在完全相关条件下FBRDF虽有降低但不明显,在完全非相关条件下膜系G/AlLH/A、膜系G/AlLHLH/A相较于膜系G/Al/A散射分别有42.32%和48.84%的降低。表明了散射的降低与电场界面中的降低相吻合。因此,可以通过界面电场调控能够有效的降低散射,为制备低损耗薄膜提供了指导意义。展开更多
文摘为了解决在超精密光学系统中对高反射薄膜损耗的要求越来越低的问题,提出了一种通过镀制一层或多层薄膜来调控场强探索降低散射损耗的方法。首先研究了利用TFCalc光学薄膜分析软件,以K9玻璃为基底与金属Al分别构建了G/Al/A、G/AlLH/A、G/AlLHLH/A(高、低折射率材料为TiO_(2)和SiO_(2))三种Al高反射膜,分别对其反射率以及场强进行分析。其次分别建立以完全相关及完全非相关这两种条件下的界面粗糙度散射模型,仿真分析三个膜系进而得到薄膜表面三种膜系的双向反射分布函数(Bidirectional Reflectance Distribution Function,BRDF)与散射角之间为先增大后减小的关系。结果表明在完全相关条件下FBRDF虽有降低但不明显,在完全非相关条件下膜系G/AlLH/A、膜系G/AlLHLH/A相较于膜系G/Al/A散射分别有42.32%和48.84%的降低。表明了散射的降低与电场界面中的降低相吻合。因此,可以通过界面电场调控能够有效的降低散射,为制备低损耗薄膜提供了指导意义。
