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汇聚涡旋光束中离轴相位奇点的传输轨迹
1
作者 王溢秋 刘志鹏 +3 位作者 靳琪琳 殷澄 单鸣雷 韩庆邦 《江西师范大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期128-133,共6页
在涡旋光场中相位奇点的传输特性是研发基于复杂光场的新型光电子器件的关键,而离轴相位奇点在汇聚涡旋光中的传输机理至今还未被阐明.该文针对这一课题展开研究,基于近轴传输方程直接推导了相位奇点在任意宿主光束中的轨迹方程;并证明... 在涡旋光场中相位奇点的传输特性是研发基于复杂光场的新型光电子器件的关键,而离轴相位奇点在汇聚涡旋光中的传输机理至今还未被阐明.该文针对这一课题展开研究,基于近轴传输方程直接推导了相位奇点在任意宿主光束中的轨迹方程;并证明在汇聚高斯光束中焦场附近的离轴涡旋点做随光束同步缩放的螺旋状运动.但该结论与波束传输法仿真得到的结果相矛盾,后者表明离轴相位奇点沿直线穿过光束截面.为解决上述矛盾,该文进行了相关实验研究,证明了离轴涡旋点在焦场附近的螺旋状轨迹.该研究成果可推广至多个相位奇点并存的情形,为有效辨识和操控复杂光场中的相位奇点奠定理论基础. 展开更多
关键词 涡旋光束 离轴相位奇点 焦场
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TiO_(2)@SiO_(2)纳米复合材料薄膜的制备及其疏水性研究
2
作者 廖荣凯 曹敬乐 +1 位作者 杨建刚 毛阿芳 《太阳能》 2025年第9期40-48,共9页
首先制备TiO_(2)@SiO_(2)纳米微球,随后采用垂直沉积法,在光伏玻璃表面镀制TiO_(2)@SiO_(2)纳米复合材料薄膜;然后通过激光粒径分析、X射线粉末衍射(XRD)分析、红外光谱分析,对TiO_(2)@SiO_(2)纳米微球进行了物相方面的分析;最后对TiO_(... 首先制备TiO_(2)@SiO_(2)纳米微球,随后采用垂直沉积法,在光伏玻璃表面镀制TiO_(2)@SiO_(2)纳米复合材料薄膜;然后通过激光粒径分析、X射线粉末衍射(XRD)分析、红外光谱分析,对TiO_(2)@SiO_(2)纳米微球进行了物相方面的分析;最后对TiO_(2)@SiO_(2)纳米复合材料薄膜的透光率和疏水性进行了研究。研究结果表明:1)加入不同量的钛酸四丁酯,会对TiO_(2)@SiO_(2)纳米微球的粒径分布产生影响;随着加入的钛酸四丁酯量的增多,TiO_(2)@SiO_(2)纳米微球的粒径分布范围呈现先变窄后变宽的趋势;加入3 mL钛酸四丁酯时,得到的TiO_(2)@SiO_(2)纳米微球的粒径分布较为均匀且壳层厚度合适。2)经过煅烧及退火可以有效提高TiO_(2)@SiO_(2)纳米微球的晶化程度,且加入的钛酸四丁酯的量越多,晶化程度越好。3)随着加入的钛酸四丁酯量的增多,TiO_(2)@SiO_(2)纳米复合材料薄膜的透光率呈现先上升后下降的变化趋势。4)利用甲基三乙氧基硅烷(MTES)对TiO_(2)@SiO_(2)纳米复合材料薄膜进行改性,可以提高其疏水性;且MTES的掺杂比越高,TiO_(2)@SiO_(2)纳米复合材料薄膜的疏水性越好。 展开更多
关键词 TiO_(2)@SiO_(2)纳米复合材料 光伏玻璃 核壳结构 垂直沉积法 透光率 疏水性
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卫星用高能激光防护技术发展现状 被引量：2
3
作者 曹生珠 何延春 +6 位作者 王健 成功 马东锋 左华平 王虎 武生虎 李毅 《真空与低温》 2024年第1期1-9,共9页
高能激光技术不断发展,逐渐成为卫星在轨安全的威胁。介绍了高能连续激光和脉冲激光武器对卫星损伤机制的研究进展。针对卫星太阳电池阵、相机、星敏感器等光学系统以及热控多层、复合材料推进剂储箱等非光学关键结构防护特点,总结分析... 高能激光技术不断发展,逐渐成为卫星在轨安全的威胁。介绍了高能连续激光和脉冲激光武器对卫星损伤机制的研究进展。针对卫星太阳电池阵、相机、星敏感器等光学系统以及热控多层、复合材料推进剂储箱等非光学关键结构防护特点,总结分析了线性光学防护薄膜、非线性光学防护薄膜、相变材料、机械快门、高损伤阈值薄膜和防护罩等各种高能激光防护技术的主要原理、发展现状和技术特点。 展开更多
关键词 卫星 高能激光防护 线性光学 非线性光学 相变材料 机械快门 损伤阈值 防护罩
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退火温度对Ta_(2)O_(5)薄膜光学和表面特性的影响 被引量：1
4
作者 李坤 何延春 +5 位作者 王兰喜 周超 贺颖 王虎 王艺 熊玉卿 《真空与低温》 2024年第1期78-82,共5页
针对退火温度影响Ta_(2)O_(5)薄膜的光学和表面特性的问题,采用电子束蒸发技术在石英基底上制备了该薄膜,并将薄膜样品分别在200℃、400℃和600℃下进行退火。利用光谱仪测试了薄膜的透射率并反演计算得到薄膜的折射率和消光系数的变化... 针对退火温度影响Ta_(2)O_(5)薄膜的光学和表面特性的问题,采用电子束蒸发技术在石英基底上制备了该薄膜,并将薄膜样品分别在200℃、400℃和600℃下进行退火。利用光谱仪测试了薄膜的透射率并反演计算得到薄膜的折射率和消光系数的变化规律,采用X射线衍射仪和原子力显微镜表征了薄膜的表面性能。研究表明,薄膜透射率曲线的峰值随退火温度升高而显著提升。随着退火温度升高,薄膜的折射率和消光系数均逐渐变大,表面粗糙度呈现下降的趋势,表面变得致密。退火前后薄膜均为非晶态。该研究为进一步提高Ta_(2)O_(5)薄膜的性能提供了试验数据。 展开更多
关键词 Ta_(2)O_(5)薄膜 退火温度 光学 表面
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锡掺杂对氧化锌纳米柱阵列结构与光电性能的影响 被引量：1
5
作者 汤小兰 吴振英 《功能材料与器件学报》 CAS 2024年第2期74-78,共5页
选择不同的Sn浓度,以溶胶凝胶法在N型重掺杂基板上制备了系列Zn_(1-x)Sn_(x)O(x=0.01-0.07)纳米柱样品,并在不同温度下(500℃、600℃、700℃)进行了退火热处理。利用光/暗电流测试对样品的光电性能进行了表征,发现当偏压为5V时,在600℃... 选择不同的Sn浓度,以溶胶凝胶法在N型重掺杂基板上制备了系列Zn_(1-x)Sn_(x)O(x=0.01-0.07)纳米柱样品,并在不同温度下(500℃、600℃、700℃)进行了退火热处理。利用光/暗电流测试对样品的光电性能进行了表征,发现当偏压为5V时,在600℃退火1小时后,x=0.04的样品表现出最佳的光/暗电流变化比(600%)。XRD与FE-SEM结果显示该纳米柱样品具有最大的长度以及较好的结晶度,意味着样品具有较高的结晶质量;PL测试发现x=0.04时样品缺陷浓度最小,这说明在该缺陷浓度下锡对锌进行替代时产生了更多的载流子,从而导致了最优的光电性能。 展开更多
关键词 锡掺杂氧化锌 光电性能 溶胶凝胶法
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基于波导模式分裂效应的涡旋声束平移调制
6
作者 阚雪芬 王玉树 +3 位作者 吴磊 刘雪玉 缪晓宇 杨雨 《江西师范大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期134-140,共7页
随着结构声场的迅速发展,对声场的调控提出了更高的要求,其中对声束的侧向位移的亚波长级别的调控是研发基于结构声场的通信、传感类声子器件的关键.该文基于常见的平板声波导结构,利用2个导波层之间的模式耦合-分裂效应来增强涡旋声场... 随着结构声场的迅速发展,对声场的调控提出了更高的要求,其中对声束的侧向位移的亚波长级别的调控是研发基于结构声场的通信、传感类声子器件的关键.该文基于常见的平板声波导结构,利用2个导波层之间的模式耦合-分裂效应来增强涡旋声场的Goos-H nchen(GH)效应和Imbert-Fedorov(IF)效应,实现对反射声场的纵向和横向反射位移的精细调节.研究结果表明:波导模式分裂与声束位移之间呈对应关系,在波导能带结构中的一个能级分别对应着正负2次横向IF位移和1次纵向GH位移;而通过入射声束参数或结构参数调节分裂能级,可实现对声束的连续精准操控.该文揭示了声学轨道角动量与波导导模之间的耦合机理,为结构声场的调控器件提供了新的研究思路. 展开更多
关键词 声涡旋 多层平板结构 能带结构 模式耦合
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Ti掺杂非晶碳复合光热转换薄膜的制备及性能研究
7
作者 令晓明 陈欣仪 +1 位作者 王伟奇 王曼 《真空与低温》 2024年第6期629-633,共5页
光热转换薄膜是太阳能光热利用的核心部件,直接影响光热转换效率。采用反应磁控溅射技术,使用Ti靶和石墨靶制备了Ti/a-C:H/Ti(H)/a-C:H/Ti(L)/a-C:H复合光热转换薄膜,研究讨论了薄膜的形貌特征和结构组成,并对其光吸收特性进行了分析。... 光热转换薄膜是太阳能光热利用的核心部件,直接影响光热转换效率。采用反应磁控溅射技术,使用Ti靶和石墨靶制备了Ti/a-C:H/Ti(H)/a-C:H/Ti(L)/a-C:H复合光热转换薄膜,研究讨论了薄膜的形貌特征和结构组成,并对其光吸收特性进行了分析。结果显示:复合薄膜具有显著的光谱选择性特性,其中Ti和C以TiC形式存在于吸收层中;薄膜较高的表面粗糙度有助于增强光的吸收能力;复合薄膜的吸收率为0.91,发射率为0.13,具有优异的光学性能。 展开更多
关键词 光热转换薄膜 反应磁控溅射 非晶碳薄膜 光学性能
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GaAs太阳电池中减反射薄膜的梯度折射率调控
8
作者 吴昊 涂洁磊 +4 位作者 杨宇羽 谢雨岑 杨艳云 徐章洋 张琪鑫 《云南师范大学学报（自然科学版）》 2024年第2期13-17,共5页
使用溶胶凝胶法制备了TiO_(2)和SiO_(2)两种材料,结合梯度折射率的结构设计将不同比例的TiO_(2)/SiO_(2)沉积在GaAs太阳能电池上实现宽带减反射效果,最终制备的6层减反射薄膜在200~1 800 nm的波长范围内平均反射率为8.7%,同时确定了300... 使用溶胶凝胶法制备了TiO_(2)和SiO_(2)两种材料,结合梯度折射率的结构设计将不同比例的TiO_(2)/SiO_(2)沉积在GaAs太阳能电池上实现宽带减反射效果,最终制备的6层减反射薄膜在200~1 800 nm的波长范围内平均反射率为8.7%,同时确定了300℃的退火温度和1 000μm/s的提拉速度为制备薄膜的最佳工艺条件. 展开更多
关键词 溶胶凝胶 梯度折射率 宽带减反射膜
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超高陡度长波通拉曼滤光片的研制
9
作者 白皓宇 姚春龙 +3 位作者 董明 秦瑞 白永浩 王奕楠 《真空》 CAS 2024年第4期12-16,共5页
长波通滤光片是拉曼光谱仪中滤除瑞利散射光的重要光学元件,更高的陡度能进一步提升其检测精度和范围。介绍了超高陡度长波通膜系设计方案与超多膜层高精度膜厚控制技术,基于磁控溅射技术实现了超高陡度长波通滤光片产品的制造。测试表... 长波通滤光片是拉曼光谱仪中滤除瑞利散射光的重要光学元件,更高的陡度能进一步提升其检测精度和范围。介绍了超高陡度长波通膜系设计方案与超多膜层高精度膜厚控制技术,基于磁控溅射技术实现了超高陡度长波通滤光片产品的制造。测试表明该产品的陡度优于0.5%,通带波纹优于4%,可实现532nm激光附近最低100 cm^(-1)的低波数拉曼检测。 展开更多
关键词 长波通滤光片 陡度 磁控溅射 拉曼检测
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麦蚜对小麦冠层光谱特性的影响研究 被引量：30
10
作者 乔红波 程登发 +3 位作者 孙京瑞 田喆 陈林 林芙蓉 《植物保护》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期21-26,共6页
通过对田间不同程度麦蚜危害的小麦冠层反射光谱测量,研究了各波段反射光谱的变异特征,并对光谱反射曲线进行微分分析。结果表明:在麦蚜危害的初期,近红外反射率明显降低,即陡坡效应受到明显的削弱,随着麦蚜危害程度加重,小麦冠层的反... 通过对田间不同程度麦蚜危害的小麦冠层反射光谱测量,研究了各波段反射光谱的变异特征,并对光谱反射曲线进行微分分析。结果表明:在麦蚜危害的初期,近红外反射率明显降低,即陡坡效应受到明显的削弱,随着麦蚜危害程度加重,小麦冠层的反射率在不同波段有明显下降,尤其在近红外区下降更为显著。利用光谱微分技术,对受麦蚜不同程度危害的小麦冠层反射率求一阶导数,得到红边斜率。结果表明,麦蚜危害后小麦冠层的红边斜率在近红外波段发生剧烈的变化,且随着危害程度的加重其值逐步下降。将归一化植被指数(NDVI)分别和百株蚜量进行相关及回归分析,并对监测蚜虫敏感波段的选择做了初步的探讨。 展开更多
关键词 麦蚜 冠层 小麦 光谱特性 归一化植被指数 光谱反射曲线 危害程度 红外反射率 近红外波段 光谱测量 变异特征 反射光谱 微分分析 近红外区 一阶导数 回归分析 下降 行相关 加重 斜率 红边 田间 蚜虫
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黄海、东海上空春季气溶胶光学特性观测分析 被引量：24
11
作者 赵崴 唐军武 +1 位作者 高飞 林明森 《海洋学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期46-53,共8页
2003年春季国家卫星海洋应用中心等几家单位在黄海和东海海区进行了为期40d的二类水体信息测量试验，试验中使用手持太阳辐射计对海区上空大气光学特性进行了观测，并获得了大量晴空天气条件下的大气光学数据．利用本次试验获取的测量... 2003年春季国家卫星海洋应用中心等几家单位在黄海和东海海区进行了为期40d的二类水体信息测量试验，试验中使用手持太阳辐射计对海区上空大气光学特性进行了观测，并获得了大量晴空天气条件下的大气光学数据．利用本次试验获取的测量数据得到了黄海、东海海区春季的大气气溶胶光学特性，其中包括气溶胶光学厚度和气溶胶粒子谱分布．采用Langley方法对测量得到的太阳直射辐射量进行处理得到了海区上空气溶胶光学厚度，利用得到的气溶胶光学厚度来反演气溶胶粒子谱分布．反演结果表明无云情况下黄海、东海上空的气溶胶光学厚度在0．2～0．4左右，且气溶胶粒子谱分布的变化趋势也很接近；海区上空霾层较厚时测量得到的气溶胶光学厚度明显增大，最大接近0．8；气溶胶粒子谱分布的变化趋势发生了明显的变化． 展开更多
关键词 光学特性 黄海 观测分析 春季 气溶胶光学厚度 海上 气溶胶粒子 东海海区 变化趋势 2003年 太阳辐射计 大气气溶胶 谱分布 测量试验 水体信息 测量数据 大气光学 天气条件 行处理 辐射量 反演 接近 海洋 霾
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薄膜滤光片的光学稳定性研究 被引量：30
12
作者 白胜元 顾培夫 +1 位作者 刘旭 唐晋发 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期576-580,共5页
薄膜滤光片中心波长的稳定性是非常重要的参量 .这不仅取决于膜层的聚集密度 ,而且与薄膜材料和基板的折射率温度系数及线性膨胀系数有着紧密的关系 .本文根据滤光片的实验参量 ,分析计算了它们对滤光片中心波长漂移影响的大小 。
关键词 光学薄膜 带通滤光片 光学稳定性 波长 薄膜滤光片 漂移 聚集密度 折射率温度系数 线性膨胀系数
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射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的发光特性 被引量：23
13
作者 王卿璞 张德恒 +2 位作者 薛忠营 陈寿花 马洪磊 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期69-72,共4页
利用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出具有 (0 0 2 )择优取向的氧化锌薄膜 ,用波长为 30 0nm的光激发 ,观察到在 44 6nm处有一强的光致发光峰 ,它来自于氧空位浅施主能级上的电子到价带上的跃迁。并讨论了发光峰与氧压的关系以及退火对... 利用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出具有 (0 0 2 )择优取向的氧化锌薄膜 ,用波长为 30 0nm的光激发 ,观察到在 44 6nm处有一强的光致发光峰 ,它来自于氧空位浅施主能级上的电子到价带上的跃迁。并讨论了发光峰与氧压的关系以及退火对它的影响 ,且给出了解释。 展开更多
关键词 射频磁控溅射法 制备 发光特性 ZNO薄膜 光致发光 氧化锌薄膜
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ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究 被引量：20
14
作者 马颖 张方辉 +2 位作者 靳宝安 牟强 袁桃利 《液晶与显示》 CAS CSCD 2004年第5期376-379,共4页
以氯化铟和氯化锡为前驱物,采用溶胶 凝胶法在玻璃基片上制备了ITO薄膜。研究了掺锡浓度、热处理温度和热处理时间等工艺条件对ITO薄膜光电特性的影响。制备的ITO薄膜的方阻为300Ω/□,可见光平均透过率为80%,电阻率为4×10-3Ω... 以氯化铟和氯化锡为前驱物,采用溶胶 凝胶法在玻璃基片上制备了ITO薄膜。研究了掺锡浓度、热处理温度和热处理时间等工艺条件对ITO薄膜光电特性的影响。制备的ITO薄膜的方阻为300Ω/□,可见光平均透过率为80%,电阻率为4×10-3Ω·cm,其光电特性已达到了TN LCD透明电极的要求。 展开更多
关键词 ITO薄膜 溶胶-凝胶法 透光率 液晶显示器 热处理 光电特性
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TiO_2纳米薄膜微观结构及光学性能研究 被引量：19
15
作者 张德恺 胡晓云 +3 位作者 李婷 黄亚娜 马一平 李莉莎 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期982-985,共4页
用sol gel法制备了纳米TiO2 薄膜 ,用原子力显微镜 (AFM)观察了薄膜的表面形貌 ,测量了薄膜的表面粗糙度 (RMS)为 2 .832nm ;用红外光谱 (IR)研究了TiO2 薄膜前驱体溶胶的组成 ;探讨了TiO2 薄膜的焙烧温度、层数等制备条件对TiO2 光催... 用sol gel法制备了纳米TiO2 薄膜 ,用原子力显微镜 (AFM)观察了薄膜的表面形貌 ,测量了薄膜的表面粗糙度 (RMS)为 2 .832nm ;用红外光谱 (IR)研究了TiO2 薄膜前驱体溶胶的组成 ;探讨了TiO2 薄膜的焙烧温度、层数等制备条件对TiO2 光催化活性的影响 ,结果发现在 4 90℃ ,8层膜的TiO2 展开更多
关键词 纳米TIO2薄膜 微观结构 光催化活性 红外光谱 原子力显微镜
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In_2O_3:Sn(ITO)薄膜的光学特性研究 被引量：23
16
作者 陈猛 白雪冬 +4 位作者 裴志亮 孙超 宫骏 黄荣芳 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期934-938,共5页
对掺锡三氧化铟（Sn－dopedIn2O3，简称ITO）薄膜光学特性进行了研究结果表明，该薄膜在可见光区具有高的透射率；低电阻率的ITO薄膜在红外区的的反射率随薄膜方块电阻的减小而增大，表现出类金属性质，ITO薄膜的电磁本构特性参数光学... 对掺锡三氧化铟（Sn－dopedIn2O3，简称ITO）薄膜光学特性进行了研究结果表明，该薄膜在可见光区具有高的透射率；低电阻率的ITO薄膜在红外区的的反射率随薄膜方块电阻的减小而增大，表现出类金属性质，ITO薄膜的电磁本构特性参数光学折射率n和消光系数k在450－800nm区间的色散很弱，基于对薄膜光学吸收边附近吸收系数的线性拟合表明，薄膜在K＝0处价带至导带的跃迁是禁戒跃迁。 展开更多
关键词 薄膜 红外反射率 ITO 光学特性
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TiO_2薄膜的结构和光学性质的研究 被引量：20
17
作者 谢强 王取泉 +1 位作者 魏正和 周正国 《武汉大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期593-596,共4页
以金属钛为靶材 ,用反应射频溅射法制备了TiO2 薄膜 ,并在 6 0 0～ 90 0℃下进行了热处理 .经XRD测量 ,在 6 0 0～ 80 0℃下TiO2 薄膜为锐钛矿和金红石两种结构的混合态 ,在 90 0℃下TiO2 薄膜为纯金红石结构 .研究TiO2薄膜的SEM照片和U... 以金属钛为靶材 ,用反应射频溅射法制备了TiO2 薄膜 ,并在 6 0 0～ 90 0℃下进行了热处理 .经XRD测量 ,在 6 0 0～ 80 0℃下TiO2 薄膜为锐钛矿和金红石两种结构的混合态 ,在 90 0℃下TiO2 薄膜为纯金红石结构 .研究TiO2薄膜的SEM照片和UV vis透射光谱发现 ,不同的热处理温度会影响TiO2 薄膜中锐钛矿和金红石两种结构的比例 ,从而导致TiO2 薄膜的微观形貌、折射率、禁带宽度等性质的变化 . 展开更多
关键词 TIO2薄膜 结构特性 光学性质 二氧化钛薄膜 反应射频溅射法 微观形貌 折射率
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偶氮染料掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜的热光性质研究 被引量：12
18
作者 翟剑峰 邱玲 +4 位作者 周家云 赵榆霞 沈玉全 凌启淡 杨慕杰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期125-128,共4页
本文演示了用阿贝折射仪测定染料掺杂聚合物薄膜热光系数的方法 ;通过改变掺杂体含量的方法 ,方便地实现了聚合物体系的折射率控制 ;通过热光系数的测量 ,计算了聚合物薄膜的热膨胀系数 ,并用以解释了聚合物薄膜的热光系数随掺杂体含量... 本文演示了用阿贝折射仪测定染料掺杂聚合物薄膜热光系数的方法 ;通过改变掺杂体含量的方法 ,方便地实现了聚合物体系的折射率控制 ;通过热光系数的测量 ,计算了聚合物薄膜的热膨胀系数 ,并用以解释了聚合物薄膜的热光系数随掺杂体含量增加先增大后减小的实验观察 . 展开更多
关键词 聚合物 热光系数 体积热膨胀系数 偶氮染料 掺杂 薄膜
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射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学特性 被引量：11
19
作者 张源涛 李万程 +4 位作者 王金忠 杨晓天 马艳 殷宗友 杜国同 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期73-75,共3页
采用射频 (RF)反应磁控溅射法在n Si(0 0 1)衬底上外延生长ZnO薄膜。XRD谱测量显示出较强的 (0 0 2 )衍射峰 ,表明ZnO薄膜为c轴择优取向生长的。室温PL谱测量观察到了较强的紫外光发射和深能级发射。
关键词 射频磁控溅射 结构 光学特性 ZNO薄膜 光荧光谱 氧化锌薄膜 外延生长
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红外透明导电金属网栅薄膜 被引量：16
20
作者 高劲松 孙连春 +2 位作者 郑宣明 朱世栋 赵晶丽 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第6期558-559,共2页
介绍了一种既高效透过红外光 ,同时又能有效屏蔽电磁干扰的金属网栅薄膜的基本原理和制备工艺。分析了网栅参数对其光学及电磁性能的影响。介绍了利用光刻和镀膜技术 ,在红外基片上制作线条宽度小于 10 μm ,周期约 35 0 μm的金属网栅。
关键词 光刻 镀膜 金属网栅 电磁屏蔽 红外
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