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锗红外光学窗口海洋潮差区腐蚀特性研究 被引量：1
1
作者 熊长新 王贞贞 李钱陶 《光学与光电技术》 2011年第4期57-60,共4页
对未镀膜及表面镀类金刚石(DLC)膜锗(Ge)红外光学窗口在中国南海海域进行了海洋潮差区腐蚀试验研究,观察测试海洋腐蚀试验前后Ge窗口及膜层的表面形貌和腐蚀速率,报道了腐蚀结果,分析了Ge窗口在海洋潮差区腐蚀特性,探讨了Ge窗口在海洋... 对未镀膜及表面镀类金刚石(DLC)膜锗(Ge)红外光学窗口在中国南海海域进行了海洋潮差区腐蚀试验研究,观察测试海洋腐蚀试验前后Ge窗口及膜层的表面形貌和腐蚀速率,报道了腐蚀结果,分析了Ge窗口在海洋潮差区腐蚀特性,探讨了Ge窗口在海洋腐蚀破坏机理,得出了延长Ge窗口在海洋环境下使用寿命的研究方向。研究结果对于了解Ge窗口在海洋环境下的腐蚀规律、开发新型保护膜系和光学系统的防腐设计有着较高参考价值。 展开更多
关键词 锗 腐蚀 类金刚石 红外
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低损耗Al2O3薄膜离子束溅射法制备与性能研究 被引量：1
2
作者 李钱陶 李定 熊长新 《光学与光电技术》 2020年第4期91-95,共5页
采用离子束溅射技术在反射率大于99.9997%、中心波长(λ)为635 nm的35层高反波堆表面镀制2M(光学厚度为λ/2)的Al2O3低损耗薄膜。测量分析样品制备不同阶段的表面均方根粗糙度、反射率,通过理论分析,计算得出了2M Al2O3薄膜的光学吸收... 采用离子束溅射技术在反射率大于99.9997%、中心波长(λ)为635 nm的35层高反波堆表面镀制2M(光学厚度为λ/2)的Al2O3低损耗薄膜。测量分析样品制备不同阶段的表面均方根粗糙度、反射率,通过理论分析,计算得出了2M Al2O3薄膜的光学吸收。研究分析了氧气流量对Al2O3薄膜吸收、表面均方根粗糙度的影响。结果显示,氧气流量对Al2O3薄膜的表面均方根粗糙度影响较小,表面均方根粗糙度优于0.15 nm;随着氧气流量增加,2M Al2O3薄膜的吸收先减小,达到最小极值后再增加;采用优化后的工艺,可以稳定地获得消光系数优于5×10-6的Al2O3薄膜。对进一步降低Al2O3薄膜的弱吸收和扩展Al2O3薄膜的应用有指导意义。 展开更多
关键词 低损耗薄膜 光学吸收 离子束溅射 表面均方根粗糙度 消光系数
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Fe-ZnO(000)体系的界面化学作用及表面形貌
3
作者 张旺 张文华 +2 位作者 王国栋 李宗木 徐法强 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期554-559,共6页
采用同步辐射光电子能谱、原子力显微镜及场发射扫描电镜等技术研究了3 nm Fe薄膜在极性ZnO(000)表面的沉积和退火过程中的界面化学过程.结果表明:在低覆盖度下,Fe价层电子与极性ZnO表面间存在较强电子迁移作用;当覆盖度超过1个原子层... 采用同步辐射光电子能谱、原子力显微镜及场发射扫描电镜等技术研究了3 nm Fe薄膜在极性ZnO(000)表面的沉积和退火过程中的界面化学过程.结果表明:在低覆盖度下,Fe价层电子与极性ZnO表面间存在较强电子迁移作用;当覆盖度超过1个原子层后,Fe与ZnO的反应在热力学上被禁阻;室温下Fe在表面形成直径约为20 nm的岛状结构,通过对样品退火处理,发现Fe-ZnO在600℃时开始发生强烈作用,形成Fe的氧化态峰,并于800℃完全转换为Fe2+,随着退火温度的继续提高,Fe有继续向Fe3+转变的趋势,并在ZnO表面形成直径120 nm左右的氧化物岛结构. 展开更多
关键词 分子束外延 Fe-ZnO(0001^-)界面 同步辐射光电子能谱 X光电子能谱 原子力显微镜 场发射扫描电镜
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NaCl结构VC薄膜生长过程中原子迁移的第一性原理研究
4
作者 孙士阳 徐平平 +4 位作者 刘学杰 尚海龙 张安明 马冰洋 李戈扬 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1097-1100,共4页
为了解VC薄膜生长过程,通过第一性原理方法,对C(和V)原子在VC晶体表面和晶体内部的迁移情况进行了计算。结果显示,C(和V)的单原子在VC晶体表面格点位置具有最低的系统能量,此时,C原子的活动性仍较强,其迁移激活能仅为0.08 eV,而V原子由... 为了解VC薄膜生长过程,通过第一性原理方法,对C(和V)原子在VC晶体表面和晶体内部的迁移情况进行了计算。结果显示,C(和V)的单原子在VC晶体表面格点位置具有最低的系统能量,此时,C原子的活动性仍较强,其迁移激活能仅为0.08 eV,而V原子由稳定的格点位置迁移则有较大阻力,激活能为2.48 eV;在VC晶体内部,C和V原子在(111)层面内迁移的激活能分别为3.34和4.30 eV,层间激活能分别为2.93和3.64 eV,表明它们在晶内的迁移极为困难。结合此结果,对VC薄膜的制备参数进行了讨论。 展开更多
关键词 第一原理 迁移 VC 生长过程
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氧化锌/银双层膜负反馈阴极电极的制备及性能研究
5
作者 商世广 朱长纯 +1 位作者 贺永宁 刘卫华 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1470-1473,1478,共5页
提出了一种可显著改善碳纳米管(CNTs)场致发射性能的ZnO/Ag双层膜负反馈阴极电极的制备方法.在条形银电极上溅射沉积一定厚度的Zn膜,经热氧化和湿法刻蚀制备成ZnO/Ag双层膜电极.同单层的Ag或氧化铟锡电极相比,该电极不仅具有足够的负反... 提出了一种可显著改善碳纳米管(CNTs)场致发射性能的ZnO/Ag双层膜负反馈阴极电极的制备方法.在条形银电极上溅射沉积一定厚度的Zn膜,经热氧化和湿法刻蚀制备成ZnO/Ag双层膜电极.同单层的Ag或氧化铟锡电极相比,该电极不仅具有足够的负反馈电阻(限流电阻)阻止CNTs场发射中过流的发生,而且降低了条形阴极电极的线性电阻,确保了场发射的均匀性.当溅射沉积Zn膜的厚度从40 nm增到120 nm时,热氧化形成的ZnO由孤岛状的颗粒变为连续体的薄膜,ZnO/Ag双层膜电极的表面光洁度比单层的Ag电极有很大的提高,负反馈电阻层的电阻增大,负反馈的能力增强.CNTs薄膜阴极场发射特性曲线证明,ZnO/Ag双层膜电极能明显降低场发射电流的波动,有效提高器件的稳定性和寿命. 展开更多
关键词 阴极电极 磁控溅射 碳纳米管 场发射
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用于红外光学窗口的多层保护膜 被引量：4
6
作者 刘士军 李钱陶 +1 位作者 熊长新 杨长城 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第1期185-189,共5页
采用GexC1-x(碳化锗)、BP(磷化硼)和α-Si(非晶硅)作为高折射率材料,DLC(类金刚石)作为低折射率材料,在ZnS(硫化锌)、GaAs(砷化镓)、Ge(锗)等常用红外光学窗口表面研制了用于长波红外(8～12μm)波段的GexC1-x/DLC、BP/DLC及α-Si/DLC系... 采用GexC1-x(碳化锗)、BP(磷化硼)和α-Si(非晶硅)作为高折射率材料,DLC(类金刚石)作为低折射率材料,在ZnS(硫化锌)、GaAs(砷化镓)、Ge(锗)等常用红外光学窗口表面研制了用于长波红外(8～12μm)波段的GexC1-x/DLC、BP/DLC及α-Si/DLC系列多层保护膜。通过对比试验,研究了多层红外光学窗口保护膜的光学性能、显微硬度及海洋环境适应性。结合红外窗口及膜系材料特性,对试验结果进行了分析讨论。结果表明:GexC1-x/DLC多层红外保护膜具有最佳的光学性能,BP/DLC多层红外保护膜在海洋环境下具有最佳的保护效果。 展开更多
关键词 红外光学窗口 多层保护膜 海洋环境适应性 光学性能
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蓝宝石基底可见光/激光/中红外多光谱窗口薄膜研究 被引量：6
7
作者 官庆 廖林炜 《光学与光电技术》 2017年第6期66-72,共7页
研究了一种以蓝宝石为基底的可见光/激光/中红外"三光合一"窗口保护型硬质增透膜。首先开展了蓝宝石基底无吸收型硬质氧化物膜层的制备及其工艺最优化的研究,同时基于离子源工艺参数与反应气体流量的控制实现一种中波无吸收... 研究了一种以蓝宝石为基底的可见光/激光/中红外"三光合一"窗口保护型硬质增透膜。首先开展了蓝宝石基底无吸收型硬质氧化物膜层的制备及其工艺最优化的研究,同时基于离子源工艺参数与反应气体流量的控制实现一种中波无吸收的低折射率Si_(1-x)O_x膜层,从而实现了全氧化物膜系在中红外波段上的应用。以此为基础,对蓝宝石基底可见光/激光/中红外三波段窗口膜系进行了优化设计与沉积仿真研究。经过大量镀制实验与工艺改进,最终制备出光学与机械性能良好的"三光合一"窗口薄膜,可见光至中红外波段上的平均透过率达到95%以上。镀膜样品一次性通过高低温试验、恒定湿热试验以及重度磨擦试验等。试验结果表明,膜层致密性和表面机械性能良好,具备一定强度的防潮防腐能力和抗激光损伤阈值水平,可适应海洋环境光电窗口的应用需求。 展开更多
关键词 光学薄膜 多光谱 蓝宝石 增透膜 膜系设计 光电窗口
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