期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到21,382篇文章
< 1 2 … 250 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
第二十三讲离子注入与离子辅助沉积技术
1
作者 张以忱 《真空》 2026年第1期109-112,共4页
(接2025年第6期114页)图26是1980年代美国Eaton公司生产的电子束蒸发与离子束辅助轰击相结合的Z-200型离子束辅助沉积装置的示意图。图中下方为电子束蒸发装置。当电子束加速到10 keV轰击坩埚内材料时,材料熔化蒸发(升华),形成喷向靶台... (接2025年第6期114页)图26是1980年代美国Eaton公司生产的电子束蒸发与离子束辅助轰击相结合的Z-200型离子束辅助沉积装置的示意图。图中下方为电子束蒸发装置。当电子束加速到10 keV轰击坩埚内材料时,材料熔化蒸发(升华),形成喷向靶台的粒子流。蒸发台上有四个坩埚,顺次转位,保证在不破坏真空的条件下,可沉积四种不同的材料。沉积靶台与离子束及蒸发的粒子流成45°. 展开更多
关键词 电子束蒸发 Z-200型 离子辅助沉积 离子注入
原文传递
溶剂散逸自组装法制备定向透光金属有序光子膜
2
作者 程欣 王芃芃 贾若琨 《吉林大学学报(理学版)》 北大核心 2026年第1期143-148,共6页
在潮湿条件下,利用溶剂散逸自组装法制备聚己内酯(PCL)有序光子膜.通过控制溶液浓度得到高度有序的多孔贯通膜.用离子溅射法将贯通膜表面吸附一层金属,并将银氨溶液置换成银.结果表明:这种银包覆的有序多孔贯通膜具有双层有序多孔结构,... 在潮湿条件下,利用溶剂散逸自组装法制备聚己内酯(PCL)有序光子膜.通过控制溶液浓度得到高度有序的多孔贯通膜.用离子溅射法将贯通膜表面吸附一层金属,并将银氨溶液置换成银.结果表明:这种银包覆的有序多孔贯通膜具有双层有序多孔结构,显著增强其导电性;与单层膜相比,双层膜透光性受入射角度的限制,可实现定向透光的功能;经热处理后的光子膜性质发生变化,具有耐高温性质,且各角度的透光性均增强;这种定向透光有序阵列膜具有电磁屏蔽的特性. 展开更多
关键词 溶剂散逸自组装 聚己内酯 有序光子膜 定向透光
在线阅读 下载PDF
Al_(1-x)Sc_(x)N铁电薄膜的研究进展
3
作者 赵泳淞 周大雨 +2 位作者 童祎 王新朋 秦海鸣 《物理学报》 北大核心 2026年第1期151-171,共21页
作为新一代的纤锌矿铁电材料,Al_(1-x)Sc_(x)N具有高的剩余极化强度、理想的矩形电滞回线、与CMOS后道工艺兼容、稳定的铁电相等优点.作为近几年铁电领域的热点材料,国内外科研人员进行了深入研究.本文对Al_(1-x)Sc_(x)N铁电薄膜的研究... 作为新一代的纤锌矿铁电材料,Al_(1-x)Sc_(x)N具有高的剩余极化强度、理想的矩形电滞回线、与CMOS后道工艺兼容、稳定的铁电相等优点.作为近几年铁电领域的热点材料,国内外科研人员进行了深入研究.本文对Al_(1-x)Sc_(x)N铁电薄膜的研究进展进行了全面的综述.在Al_(1-x)Sc_(x)N铁电性的影响因素方面,讨论了Sc含量、衬底类型、沉积条件、薄膜厚度、测试频率及温度等因素对薄膜的作用.在极化翻转机制方面,详细阐述Al_(1-x)Sc_(x)N电畴特性、翻转动力学、形核位置等微观物理机制.在应用前景上,Al_(1-x)Sc_(x)N薄膜在铁电随机存储器、铁电场效应管和铁电隧道结等铁电存储器中表现出巨大潜力,为新一代高密度、低功耗铁电存储器及纳米电子器件的发展提供有力支持. 展开更多
关键词 Al_(1-x)Sc_(x)N薄膜 铁电性 电畴翻转机制 铁电存储器
在线阅读 下载PDF
CO_(2)气体分析用中波红外窄带滤光片的研制
4
作者 于志强 王忠连 +6 位作者 任少鹏 娄海宇 林晓敏 黎冰 刘伟航 杨兆祥 程佳祥 《真空》 2026年第1期9-14,共6页
为提升中波红外CO_(2)气体检测的精度与灵敏度,研制了一种高性能中波红外窄带滤光片。采用蓝宝石作为基底材料,选用Ge与ZnS材料构建膜层,通过等效导纳匹配设计方法优化了膜系结构。同时,引入了敏感层拆分控制技术和比例因子差分控制薄... 为提升中波红外CO_(2)气体检测的精度与灵敏度,研制了一种高性能中波红外窄带滤光片。采用蓝宝石作为基底材料,选用Ge与ZnS材料构建膜层,通过等效导纳匹配设计方法优化了膜系结构。同时,引入了敏感层拆分控制技术和比例因子差分控制薄膜厚度,有效解决了红外波段高精度控制难题。测试结果表明:最终产品的中心波长为4269 nm,峰值透射率为89.7%,通带半宽度为126 nm,2~15μm平均截止深度达到OD2.83,该红外窄带滤光片能够有效提升气体的探测精度,为气体探测技术的进步提供了有力支撑。 展开更多
关键词 光学薄膜 中波红外 窄带滤光片 CO_(2) 气体探测器
原文传递
三元阳离子钙钛矿光电探测器及阵列化图像传感
5
作者 付梦雨 宋亚南 +2 位作者 王时茂 陶汝华 孟钢 《量子电子学报》 北大核心 2026年第1期131-140,共10页
利用光电性能优异、可通过低温溶液法制备的三元阳离子钙钛矿薄膜作为光吸收层,制备成肖特基结型光电探测器。本文首先分析了该器件在625 nm光照下的光电探测性能,当工作在0.5 V的反向偏压时,该器件的响应度可达9.21 A·W^(-1),外... 利用光电性能优异、可通过低温溶液法制备的三元阳离子钙钛矿薄膜作为光吸收层,制备成肖特基结型光电探测器。本文首先分析了该器件在625 nm光照下的光电探测性能,当工作在0.5 V的反向偏压时,该器件的响应度可达9.21 A·W^(-1),外量子效率约为1828%,归一化探测率大于10^(10) Jones,开关比可达10^(2)量级。随后以该探测器为基础,构建了10 pixel×10 pixel的光电探测器阵列,并将其应用于图像传感。通过调节像素点大小提升了器件成像的性能,最终得到了清晰的字母“I”的图案。本研究表明,三元阳离子钙钛矿在光电探测领域具有广阔的应用前景,为实现钙钛矿光电探测器阵列成像提供了一种简单有效的路线。 展开更多
关键词 光电信息 薄膜光学 三元阳离子钙钛矿 光电探测器阵列结构 反溶剂法 图像传感
在线阅读 下载PDF
同位素^(150)Sm和^(147)Sm核反应靶的制备
6
作者 孙乐妍 孟波 +3 位作者 王华 张榕 马海亮 樊启文 《原子能科学技术》 北大核心 2026年第2期458-465,共8页
通过库仑激发实验研究稀土区Sm系列同位素的核结构需要使用同位素^(150)Sm和^(147)Sm金属单质靶作为核反应靶。为将^(150)Sm_(2)O_(3)和^(147)Sm_(2)O_(3)高效率地还原成^(150)Sm和^(147)Sm金属单质,设计和建立了新型还原与蒸馏装置,研... 通过库仑激发实验研究稀土区Sm系列同位素的核结构需要使用同位素^(150)Sm和^(147)Sm金属单质靶作为核反应靶。为将^(150)Sm_(2)O_(3)和^(147)Sm_(2)O_(3)高效率地还原成^(150)Sm和^(147)Sm金属单质,设计和建立了新型还原与蒸馏装置,研究了Sm_(2)O_(3)的还原与蒸馏工艺,并成功将粉末状^(150)Sm_(2)O_(3)和^(147)Sm_(2)O_(3)还原蒸馏成钟乳石状^(150)Sm和^(147)Sm。结果显示,Zr是一种优选的还原剂,密闭式水冷DLC/Cu针收集器的效果更好,最佳还原温度和还原时间分别为1500℃和30 min,^(150)Sm_(2)O_(3)和^(147)Sm_(2)O_(3)的还原收集效率分别为94.8%和95.3%,还原蒸馏过程几乎没有引入额外的杂质。采用滚轧技术制备自支撑同位素^(150)Sm和^(147)Sm单质靶,厚度分别为2.1 mg/cm^(2)和2.3 mg/cm^(2),材料利用率均接近100%。采用碳弧-超短源衬距离转动衬底蒸发复合镀膜技术制备^(150)Sm/C和^(147)Sm/C靶,使用扫描电子显微镜研究蒸发电流对Sm靶表面质量的影响。结果显示,蒸发电流为75~80 A时沉积的Sm靶表面光洁度较好,无明显缺陷和液滴;C衬厚度为25μg/cm^(2),^(150)Sm和^(147)Sm靶厚度分别为255μg/cm^(2)和267μg/cm^(2),^(150)Sm和^(147)Sm的材料利用率分别为7.19%和7.32%。 展开更多
关键词 ^(150)Sm靶 ^(147)Sm靶 还原蒸馏 滚轧 真空蒸发
在线阅读 下载PDF
周期性光学薄膜应力建模
7
作者 董莹 刘莹奇 +3 位作者 陶忠 贠平平 胡荣 韩娟妮 《应用光学》 北大核心 2026年第1期73-79,共7页
光学薄膜应力会严重影响光学器件的表面面形,研究多层薄膜残余应力是高面形精度多层薄膜器件研制的核心。基于膜系结构和工艺过程重构周期性多层膜结构,建立了周期性多层膜残余应力模型,此模型与中心波长λ0、单周期应力σC、周期数m及... 光学薄膜应力会严重影响光学器件的表面面形,研究多层薄膜残余应力是高面形精度多层薄膜器件研制的核心。基于膜系结构和工艺过程重构周期性多层膜结构,建立了周期性多层膜残余应力模型,此模型与中心波长λ0、单周期应力σC、周期数m及周期间应力σC|C有关。设计了中心波长λ0=900 nm的周期性多层膜,使用应力模型估测残余应力,沉积该样片并通过基底形变法测试残余应力。测试结果表明,使用应力模型估测的残余应力与实测残余应力的误差约为30%,证明建立的周期性多层膜应力模型具有较高的精确度,适用于周期性多层膜应力估测。 展开更多
关键词 光学薄膜 膜层应力 周期性多层膜 表面面形 界面应力
在线阅读 下载PDF
用于光伏板静电除尘的单壁碳纳米管透明导电薄膜老化性能研究 被引量：2
8
作者 刘云鹏 李浩义 +3 位作者 李乐 尹晓萱 吴欣玥 周松松 《电工技术学报》 北大核心 2025年第3期864-877,共14页
该文基于光伏板静电除尘的应用需求,制备得到一种单壁碳纳米管透明导电薄膜。首先搭建人工加速光老化、盐雾老化、高温老化、高低温老化实验平台,开展单壁碳纳米管透明导电薄膜的老化实验,并进行薄膜的耐老化性能分析。然后搭建光伏板... 该文基于光伏板静电除尘的应用需求,制备得到一种单壁碳纳米管透明导电薄膜。首先搭建人工加速光老化、盐雾老化、高温老化、高低温老化实验平台,开展单壁碳纳米管透明导电薄膜的老化实验,并进行薄膜的耐老化性能分析。然后搭建光伏板静电除尘实验平台,对该薄膜在静电除尘中的应用效果进行评价。实验结果表明,高温老化和高低温老化对单壁碳纳米管透明导电薄膜结构形貌和光电性能的影响较小,而经过2 000 h光老化和盐雾老化后,薄膜方阻分别上升至未老化时的14.6倍和28.7倍。盐雾老化造成部分导电薄膜从基底上脱落,使得静电除尘率由未老化时的98.35%下降至81.76%,而其他三种类型的老化不会对静电除尘效果造成明显影响。最后采用整合自回归移动平均模型预测单壁碳纳米管透明导电薄膜的品质因数和应用寿命。研究结果对单壁碳纳米管透明导电薄膜在以光伏玻璃外表面为代表的室外应用场景下的有效使用和寿命评估具有重要意义。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管 透明导电薄膜 人工加速老化 静电除尘
在线阅读 下载PDF
计及陷阱演变的高介电芳香族聚脲老化特性及机理 被引量：1
9
作者 冯阳 张硕 +3 位作者 周彬 刘培焱 杨心如 李盛涛 《物理学报》 北大核心 2025年第8期236-246,共11页
采用热氧老化方式模拟聚脲(polyurea,PU)薄膜在高温工况下的老化行为,根据PU薄膜介电储能特性的变化规律将其老化过程划分为3个阶段.结果表明:老化初期,氧气的桥接作用促使分子链规整排列,相邻脲基团之间的氢键作用稍有增强,分子链间距... 采用热氧老化方式模拟聚脲(polyurea,PU)薄膜在高温工况下的老化行为,根据PU薄膜介电储能特性的变化规律将其老化过程划分为3个阶段.结果表明:老化初期,氧气的桥接作用促使分子链规整排列,相邻脲基团之间的氢键作用稍有增强,分子链间距减小,介电常数减小,而击穿场强变化较小;老化中期,醚键断裂并诱导形成联苯结构,体系无定形程度加剧,介电常数增大,但联苯结构加深了陷阱深度,导致载流子迁移率降低,这提高了薄膜的击穿场强;老化后期,氧气促使脲基分解,造成贡献深陷阱能级的基团数量减少,同时主链发生裂解,并释放CO_(2)与H_(2)O等小分子物质,这些因素共同导致了PU的击穿场强显著降低.热氧老化过程中PU的储能密度表现出与击穿场强相同的时间依赖性,证明了计及陷阱演变的PU储能性能退化机理:氧气对醚键和脲基的分解作用分别诱发了联苯结构的形成和主链的裂解,这改变了陷阱深度,其中陷阱深度越浅,PU性能退化越显著. 展开更多
关键词 聚脲 储能特性 热氧老化 退化机理
在线阅读 下载PDF
孕镶金刚石基底Co原子嵌入深度对金刚石涂层膜基界面结合强度的影响 被引量：1
10
作者 简小刚 张婷婷 唐文杰 《物理学报》 北大核心 2025年第10期214-221,共8页
采用第一性原理方法,对孕镶金刚石基底表层Co原子金刚石涂层膜基界面结合作用进行仿真计算分析,以探究基底中黏结相Co的嵌入深度对金刚石涂层膜基界面结合强度的影响.计算结果表明,膜基界面结合能随基底中Co嵌入深度的增大呈先降低后升... 采用第一性原理方法,对孕镶金刚石基底表层Co原子金刚石涂层膜基界面结合作用进行仿真计算分析,以探究基底中黏结相Co的嵌入深度对金刚石涂层膜基界面结合强度的影响.计算结果表明,膜基界面结合能随基底中Co嵌入深度的增大呈先降低后升高的趋势.当Co原子排列位于第3层时,涂层生长易出现明显的石墨结构,Co促金刚石石墨化作用最为显著,膜基界面结合强度达到最小值.分析结构及电荷发现,此时在表面效应及Co—C键键长的共同作用下基底第2层C移至表层,并由sp^(3)杂化转变为sp^(2)杂化,且C的移动导致Co与周围C原子的作用空间增大、作用数量增多,加之Co价层未配对电子较多,易与周围多个碳原子发生电子轨道的混合与重排,最终使得基底表面呈现为石墨结构.Co位于第5层时不再影响基底表面的稳定构型及膜基界面结合强度. 展开更多
关键词 金刚石涂层 Co元素 膜基结合强度 石墨化
在线阅读 下载PDF
集光效应对InGaN太阳能电池性能的影响研究
11
作者 袁天昊 王党会 +3 位作者 张梦凡 许天旱 冯超宇 赵淑 《电子与封装》 2026年第1期89-94,共6页
InGaN以其高吸收系数、直接带隙特性及与太阳光谱的良好匹配,成为高效光伏电池的理想材料。基于Silvaco仿真软件,研究了室温下不同光照强度对p-n结InGaN太阳能电池性能参数的影响。结果表明,太阳能光伏电池的性能参数均与光照强度具有... InGaN以其高吸收系数、直接带隙特性及与太阳光谱的良好匹配,成为高效光伏电池的理想材料。基于Silvaco仿真软件,研究了室温下不同光照强度对p-n结InGaN太阳能电池性能参数的影响。结果表明,太阳能光伏电池的性能参数均与光照强度具有明显的相关性,其中短路电流密度和功率转换效率受光照强度影响较为明显,而开路电压受光照强度的影响变化较小——这是由于较高的光照强度虽然提高了电子-空穴对的生成率,但同时耗尽区对载流子俘获与复合增大了反向饱和电流。得出的结论对进一步设计和开发更高效能的太阳能光伏电池提供了理论依据。 展开更多
关键词 集光效应 InGaN太阳能电池 功率转换效率 光电性能
在线阅读 下载PDF
紫外探测系统宽谱段深截止滤光器件的研制
12
作者 张静 吴永焜 +6 位作者 付秀华 潘永刚 林兆文 杨飞 黄卓彬 吴桂青 王奔 《光子学报》 北大核心 2025年第5期199-208,共10页
为了提高紫外系统的探测精度,基于诱导透射膜系设计理论,研制了金属与介质组合的深截止滤光器件。选用Al和UV-SiO_(2)制备滤光膜,使用椭圆偏振法获得Al膜相位差和振幅比参数,利用通用振子模型叠加Tauc-Lorentz振子和Drude振子建立椭偏... 为了提高紫外系统的探测精度,基于诱导透射膜系设计理论,研制了金属与介质组合的深截止滤光器件。选用Al和UV-SiO_(2)制备滤光膜,使用椭圆偏振法获得Al膜相位差和振幅比参数,利用通用振子模型叠加Tauc-Lorentz振子和Drude振子建立椭偏分析模型,拟合得到Al膜的光学常数。针对膜厚误差引起的光谱差异,通过逆向反演拟合对膜厚误差进行分析;构建均匀等效吸收层模型,分析了薄膜表面粗糙度对光谱的影响。最终制备的滤光器件在280~1200 nm波段范围内,平均截止深度优于4 OD,峰值波长225 nm处透过率为31.55%,通带半波宽为28 nm,该器件通过恒温恒湿及附着力测试,满足紫外探测系统的使用要求。 展开更多
关键词 紫外滤光器件 诱导透射 椭圆偏振法 等效吸收层
在线阅读 下载PDF
量子密钥分发系统中高面形相位调控反射元件的研制
13
作者 潘永刚 王由德 +4 位作者 付秀华 林兆文 杜昕 谢海峰 石澎 《光子学报》 北大核心 2025年第3期253-263,共11页
根据量子密钥分发系统使用要求,采用Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)两种材料研制了高面形相位调控反射元件。基于等效层原理结合Essential Macleod软件优化获得膜层厚度敏感度较低的相位调控反射膜系。采用电子束离子辅助沉积方法,通过应力补偿... 根据量子密钥分发系统使用要求,采用Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)两种材料研制了高面形相位调控反射元件。基于等效层原理结合Essential Macleod软件优化获得膜层厚度敏感度较低的相位调控反射膜系。采用电子束离子辅助沉积方法,通过应力补偿校正了反射元件的面形。测试结果表明,该反射元件在45°入射时,632.8 nm±5 nm波段反射率为87.92%;1540 nm波段p光反射率为99.73%、s光反射率为99.80%、相位差为0.16°;1563 nm波段p光反射率为99.74%、s光反射率为99.78%、相位差为0.88°,反射面形均方根值(Root Mean Square,RMS)为0.00494λ(λ=632.8 nm),并通过了水溶性、附着力、温度冲击、湿热等试验,满足量子密钥分发系统的使用要求。 展开更多
关键词 薄膜 反射元件 相位差 面形调控 量子密钥分发
在线阅读 下载PDF
石墨烯与Fe_(3)O_(4)超疏水复合膜的制备与性能研究
14
作者 丁继军 韦程溪 张鑫 《化工新型材料》 北大核心 2025年第3期107-110,114,共5页
采用水浴法和真空抽滤等方法,在棉布表面成功制备了具有微纳米级粗糙结构的Fe_(3)O_(4)/石墨烯/硬脂酸复合膜,与原始棉布相比,复合膜表现出从超亲水到超疏水的显著变化,水接触角达到156.1°。此外,复合膜在不同pH环境下表现出稳定... 采用水浴法和真空抽滤等方法,在棉布表面成功制备了具有微纳米级粗糙结构的Fe_(3)O_(4)/石墨烯/硬脂酸复合膜,与原始棉布相比,复合膜表现出从超亲水到超疏水的显著变化,水接触角达到156.1°。此外,复合膜在不同pH环境下表现出稳定的超疏水性,对多种油水混合物的分离效率均高于98.4%。并且分离效率和通量在10个循环内没有表现出显著的波动,仍然保持在98%以上。 展开更多
关键词 Fe_(3)O_(4)/石墨烯复合膜 超疏水性 油水分离 稳定性
原文传递
第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
15
作者 张以忱 《真空》 2025年第1期86-88,共3页
(接2024年第6期88页)电荷双层对来自阴极的电子起到加速和聚焦的作用,强化了这一区域的电离,实现了对等离子体的第一次压缩。被“第一电荷双层”聚成一束的电子流,通过中间电极孔进入阳极区域。该区域在中间电极和磁感应线圈的作用下形... (接2024年第6期88页)电荷双层对来自阴极的电子起到加速和聚焦的作用,强化了这一区域的电离,实现了对等离子体的第一次压缩。被“第一电荷双层”聚成一束的电子流,通过中间电极孔进入阳极区域。该区域在中间电极和磁感应线圈的作用下形成非均匀磁场,通过强磁场的压缩,阳极孔形成的等离子体密度比“等离子体泡”更强,即又形成了一个电荷双层。我们把它叫做第二电荷双层区。 展开更多
关键词 离子辅助沉积 非均匀磁场 等离子体密度 离子注入 电极孔 强磁场 电子流 电荷
原文传递
气体分离膜材料从空气中分离氙气性能研究 被引量：2
16
作者 陈占营 刘蜀疆 +3 位作者 常印忠 盛毓强 王建龙 黑东炜 《膜科学与技术》 北大核心 2025年第1期137-145,共9页
大气放射性氙监测对于核试验检测具有重要意义.以从空气中分离浓缩氙为应用背景,实验测试了N_(2)、O_(2)、CO_(2)和Xe 4种气体在不同类别膜材料中的渗透性,评价了不同膜材料对4种气体之间的分离性能;考察了温度、压力等操作条件变化对... 大气放射性氙监测对于核试验检测具有重要意义.以从空气中分离浓缩氙为应用背景,实验测试了N_(2)、O_(2)、CO_(2)和Xe 4种气体在不同类别膜材料中的渗透性,评价了不同膜材料对4种气体之间的分离性能;考察了温度、压力等操作条件变化对氙气分离性能的影响.结果表明,在聚酰亚胺(PI)、聚苯醚(PPO)和聚砜(PSf)3类材料中,PI具有明显优于其他两类材料的氙气分离性能;温度和压力变化对氙气分离性能的影响均不明显.上述研究工作对于气体分离膜从空气中分离氙气的实际应用具有重要意义. 展开更多
关键词 气体分离膜 放射性氙 渗透性能 分离性能
在线阅读 下载PDF
第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
17
作者 张以忱 《真空》 2025年第6期112-114,共3页
(接2025年第5期100页)当近表面区碰撞能量足够高时,将会有原子从表面原子区中逐出,形成反溅射,降低薄膜的生长速率。因组成元素的溅射产额不同,也会使薄膜成分改变。此外,高能量的离子束轰击也会引起辐照损伤,产生点缺陷、间隙缺陷和缺... (接2025年第5期100页)当近表面区碰撞能量足够高时,将会有原子从表面原子区中逐出,形成反溅射,降低薄膜的生长速率。因组成元素的溅射产额不同,也会使薄膜成分改变。此外,高能量的离子束轰击也会引起辐照损伤,产生点缺陷、间隙缺陷和缺陷聚集团。但如果离子通过电子激活来释放能量,则不发生原子碰撞引起的辐照损伤。总之,离子束辅助沉积膜的生成机制十分复杂,它不仅包含了一般的物理气相沉积及离子束轰击中存在的多种相互矛盾的机制,而且各对矛盾间还存在着关联,其膜生成的最终面貌取决于相互制约的多种矛盾过程中的主要矛盾的主要方面。 展开更多
关键词 反溅射 薄膜生长速率 离子辅助沉积 离子注入
原文传递
第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
18
作者 张以忱 《真空》 2025年第5期98-100,共3页
(接2025年第5期100页)离子注入使得晶圆表面带正电,这会对后续正离子的注入产生排斥,引起离子束弯曲(见图21(a)),造成掺杂的不均匀分布和晶圆表面的弧形缺陷,甚至击穿栅氧化层,降低工艺的成品率,这就是充电效应。因此,离子注入过程需要... (接2025年第5期100页)离子注入使得晶圆表面带正电,这会对后续正离子的注入产生排斥,引起离子束弯曲(见图21(a)),造成掺杂的不均匀分布和晶圆表面的弧形缺陷,甚至击穿栅氧化层,降低工艺的成品率,这就是充电效应。因此,离子注入过程需要通过电子中和系统(见图21(b)),即在离子束中注入电子来中和晶圆表面电荷,以消除和减弱充电效应。 展开更多
关键词 充电效应 晶圆表面 离子辅助沉积 离子注入
原文传递
第二十三讲 离子注入与离子辅助沉积技术
19
作者 张以忱 《真空》 2025年第4期97-100,共4页
(接2025年第3期96页)(7)加速的离子可通过薄膜注入到金属衬底内,这种技术被称为离子束混合和离子束缝合技术。它可使薄膜与衬底界面处形成合金层,使得薄膜与衬底牢固粘合,实现辐射增强合金化与离子束辅助增强粘合。
关键词 离子辅助沉积 离子束缝合 离子注入 离子束混合
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 250 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部